一种卷绕式ito结晶设备的制作方法
【专利摘要】一种卷绕式ITO结晶设备，包括放膜辊，第一组夹紧辊，高温辊，第二组夹紧辊，收膜辊，第一速度检测传感器，薄膜，第二速度检测传感器；其中：放膜辊与第一组夹紧辊平行布置在框架上，第一组夹紧辊和高温辊平行布置在框架上；高温辊和第二组夹紧辊平行布置在框架上，第二组夹紧辊和收膜辊平行布置在框架上；第一速度检测传感器布置在第二组夹紧辊的下后方；第二速度检测传感器布置在第一组夹紧辊的下前方；薄膜绕在放膜辊上，顺次通过第一组夹紧辊、高温辊、第二组夹紧辊和收膜辊上。本实用新型的优点：加热辊能与零张力的薄膜完整贴合，且能保证每一点都能受热均匀，可以有效解决薄膜宽度的限制，可制备大尺寸ITO结晶膜。
【专利说明】一种卷绕式I TO结晶设备
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及Ι--结晶膜生产设备，特别涉及了一种卷绕式ΙΤ0结晶设备。
【背景技术】
[0002] 现在对于薄膜ΙΤ0结晶来说，薄膜主要的承载方式为平面式承载，即在0张力情 况下薄膜依附于平面板上，放置于加热真空腔室内。这种方式的缺点，薄膜宽度不能大于 500_，因为宽度过大，会造成四周与中心受热不均匀，影响结晶效果。 实用新型内容
[0003] 本实用新型的目的是为了能够有效解决薄膜宽度的限制，制备大尺寸ΙΤ0结晶 膜，特提供了一种卷绕式ΙΤ0结晶设备。
[0004] 本实用新型提供了一种卷绕式ΙΤ0结晶设备，其特征在于：所述的卷绕式ΙΤ0结晶 设备，包括放膜辊1，第一组夹紧辊2,高温辊4,第二组夹紧辊5,收膜辊6,第一速度检测传 感器7,薄膜8,第二速度检测传感器9 ;
[0005] 其中：放膜辊1与第一组夹紧辊2平行布置在框架上，第一组夹紧辊2和高温辊4 平行布置在框架上；
[0006] 高温辊4和第二组夹紧辊5平行布置在框架上，第二组夹紧辊5和收膜辊6平行 布置在框架上；
[0007] 第一速度检测传感器7布置在第二组夹紧辊5的下后方；第二速度检测传感器9 布置在第一组夹紧辊2的下前方；
[0008] 薄膜8绕在放膜辊1上，顺次通过第一组夹紧辊2、高温辊4、第二组夹紧辊5和收 膜辊6上。
[0009] 所述的卷绕式ΙΤ0结晶设备，还包括一个能抽真空环境的封闭箱体3 ;
[0010] 放膜辊1、第一组夹紧辊2、高温辊4、第二组夹紧辊5、收膜辊6、第一速度检测传感 器7、薄膜8和第二速度检测传感器9均布置在能抽真空环境的封闭箱体3内。
[0011] 所述的卷绕式Ι--结晶设备，还包括控制单元，控制单元为PC。
[0012] 所述的卷绕式ΙΤ0结晶设备，还包括电机驱动装置，电机驱动装置分别连接放膜 辊1、高温辊4和收膜辊6。
[0013] 工作原理：
[0014] 通过放膜辊的薄膜，经过第一组夹紧辊，使其自然下垂，通过重力自然吸附在高温 辊上，薄膜贴合着高温辊来进行运动，来实现ΙΤ0的结晶。
[0015] 当机构运转时，放膜辊、加热辊和收膜辊同方向旋转；加热辊的镀膜速度由人工调 节；放膜辊的速度由第二速度检测传感器进行反馈，反馈给PC，由PC进行调速。如果放膜 辊部分膜下垂量不足，则放膜辊加速，相反则减速。收膜辊的收膜速度由第一速度检测传感 器进行调节，如果收卷部分膜下垂量不足，则收膜辊减速，反之则加速。
[0016] 本实用新型的优点：
[0017] 本实用新型所述的卷绕式ΙΤ0结晶设备，加热辊能与零张力的薄膜完整贴合，且 能保证每一点都能受热均匀，可以有效解决薄膜宽度的限制，可制备大尺寸ΙΤ0结晶膜。
【专利附图】
【附图说明】
[0018] 下面结合附图及实施方式对本实用新型作进一步详细的说明：
[0019] 图1为卷绕式ΙΤ0结晶设备结构示意图。
【具体实施方式】
[0020] 实施例1
[0021] 本实施例提供了一种卷绕式ΙΤ0结晶设备，其特征在于：所述的卷绕式ΙΤ0结晶设 备，包括放膜辊1，第一组夹紧辊2,高温辊4,第二组夹紧辊5,收膜辊6,第一速度检测传感 器7,薄膜8,第二速度检测传感器9 ;
[0022] 其中：放膜辊1与第一组夹紧辊2平行布置在框架上，第一组夹紧辊2和高温辊4 平行布置在框架上；
[0023] 高温辊4和第二组夹紧辊5平行布置在框架上，第二组夹紧辊5和收膜辊6平行 布置在框架上；
[0024] 第一速度检测传感器7布置在第二组夹紧辊5的下后方；第二速度检测传感器9 布置在第一组夹紧辊2的下前方；
[0025] 薄膜8绕在放膜辊1上，顺次通过第一组夹紧辊2、高温辊4、第二组夹紧辊5和收 膜辊6上。
[0026] 所述的卷绕式ΙΤ0结晶设备，还包括一个能抽真空环境的封闭箱体3 ;
[0027] 放膜辊1、第一组夹紧辊2、高温辊4、第二组夹紧辊5、收膜辊6、第一速度检测传感 器7、薄膜8和第二速度检测传感器9均布置在能抽真空环境的封闭箱体3内。
[0028] 所述的卷绕式ΙΤ0结晶设备，还包括控制单元，控制单元为PC。
[0029] 所述的卷绕式ΙΤ0结晶设备，还包括电机驱动装置，电机驱动装置分别连接放膜 辊1、高温辊4和收膜辊6。
[0030] 工作原理：
[0031] 通过放膜辊的薄膜，经过第一组夹紧辊，使其自然下垂，通过重力自然吸附在高温 辊上，薄膜贴合着高温辊来进行运动，来实现ΙΤ0的结晶。
[0032] 当机构运转时，放膜辊、加热辊和收膜辊同方向旋转；加热辊的镀膜速度由人工调 节；放膜辊的速度由第二速度检测传感器进行反馈，反馈给PC，由PC进行调速。如果放膜 辊部分膜下垂量不足，则放膜辊加速，相反则减速。收膜辊的收膜速度由第一速度检测传感 器进行调节，如果收卷部分膜下垂量不足，则收膜辊减速，反之则加速。
【权利要求】
1. 一种卷绕式ITO结晶设备，其特征在于：所述的卷绕式ITO结晶设备，包括放膜辊 (1)，第一组夹紧辊（2)，高温辊（4)，第二组夹紧辊（5)，收膜辊（6)，第一速度检测传感器 (7)，薄膜（8)，第二速度检测传感器（9); 其中：放膜辊（1)与第一组夹紧辊（2)平行布置在框架上，第一组夹紧辊（2)和高温辊 (4) 平行布置在框架上； 高温辊（4)和第二组夹紧辊（5)平行布置在框架上，第二组夹紧辊（5)和收膜辊（6) 平行布置在框架上； 第一速度检测传感器（7)布置在第二组夹紧辊（5)的下后方；第二速度检测传感器 (9)布置在第一组夹紧辊（2)的下前方； 薄膜（8)绕在放膜辊（1)上，顺次通过第一组夹紧辊（2)、高温辊（4)、第二组夹紧辊 (5) 和收膜棍（6)上。
2. 按照权利要求1所述的卷绕式ΙΤ0结晶设备，其特征在于：所述的卷绕式ΙΤ0结晶 设备，还包括一个能抽真空环境的封闭箱体（3); 放膜辊（1)、第一组夹紧辊（2)、高温辊（4)、第二组夹紧辊（5)、收膜辊（6)、第一速度检 测传感器（7)、薄膜（8)和第二速度检测传感器（9)均布置在能抽真空环境的封闭箱体（3) 内。
3. 按照权利要求1所述的卷绕式ΙΤ0结晶设备，其特征在于：所述的卷绕式ΙΤ0结晶 设备，还包括控制单元，控制单元为PC。
4. 按照权利要求1所述的卷绕式ITO结晶设备，其特征在于：所述的卷绕式ITO结晶 设备，还包括电机驱动装置，电机驱动装置分别连接放膜辊（1)、高温辊（4)和收膜辊（6)。
【文档编号】C01G15/00GK203998988SQ201420423424
【公开日】2014年12月10日 申请日期:2014年7月30日 优先权日:2014年7月30日
【发明者】王宇 申请人:沈阳镨和真空电子设备有限公司