一种沉降器排放液中氯硅烷的回收装置的制作方法

文档序号:12099752阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种沉降器排放液中氯硅烷的回收装置,其特征在于,包括:

渣浆缓冲罐,用于储存排放液并分离出氯硅烷;

输入管道,通过阀门连接至所述渣浆缓冲罐的顶部,用于将从沉降器排出的排放液输送到所述渣浆缓冲罐;

第一输出管道,通过阀门连接至所述渣浆缓冲罐的中部,用于将在所述渣浆缓冲罐中分离出的氯硅烷输送至蒸馏装置;其中,所述第一输出管道上设置有第一过滤器和第一屏蔽泵;

第二输出管道,通过阀门连接至所述渣浆缓冲罐的底部,用于将在所述渣浆缓冲罐中分离出的残留液输送至水洗装置。

2.根据权利要求1所述的回收装置,其特征在于,所述渣浆缓冲罐的顶部通过阀门连接有放空系统,用于排放所述渣浆缓冲罐中的气体。

3.根据权利要求1所述的回收装置,其特征在于,所述回收装置还包括:

第一氮气输送管道,通过阀门连接至所述渣浆缓冲罐的顶部,用于向所述渣浆缓冲罐输入氮气;

第二氮气输送管道,通过阀门连接至所述第二输出管道,用于向所述第二输出管道输入氮气。

4.根据权利要求1所述的回收装置,其特征在于,所述第一屏蔽泵连接有连通至所述渣浆缓冲罐的回流管线。

5.根据权利要求1所述的回收装置,其特征在于,所述第一输出管道上还设置有第二过滤器和第二屏蔽泵;所述第二过滤器可替代所述第一过滤器,作为所述第一过滤器的备用设备,所述第二屏蔽泵可替代所述第一屏蔽泵,作为所述第一屏蔽泵的备用设备。

6.根据权利要求5所述的回收装置,其特征在于,所述第一过滤器和第二过滤器分别为过滤孔径为25~35微米的布袋过滤器。

7.根据权利要求1所述的回收装置,其特征在于,所述渣浆缓冲罐中储存的排放液不超过所述渣浆缓冲罐容积的80%。

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