一种单晶炉导流筒的制作方法

本实用新型涉及导流筒技术领域，尤其涉及一种单晶炉导流筒。

背景技术：

导流筒作为单晶炉的一个重要部件，在单晶硅的生产中起到了重要的作用，单晶炉的导流筒对晶体生长有着很大的影响，导流筒可以减少炉体上部的氩气流动，进而减少SiO在单晶炉上部的沉积，确保单晶硅棒的质量。

现有导流筒结构固定，炉体内氩气流在不同阶段是不一样的，这时候只能通过外部结构调整来保持氩气流的稳定，然而，这种方式会导致单晶硅棒晃动、液面波动，严重时还会导致掉棒等生产事故。

因此，有必要进行研究开发，以提供一种解决上述目前现有技术存在缺陷的技术方案，解决现有导流筒不能通过调整使得氩气流稳定的缺陷。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种单晶炉导流筒，通过设置导热系数不一样的导流板和内层导流筒，并通过导流板的运动来确保氩气流的温度，解决了现有导流筒不能通过调整使得氩气流稳定的缺陷。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种单晶炉导流筒，包括外层导流筒、内层导流筒和气缸，所述气缸安装在外层导流筒的外侧，所述外层导流筒和内层导流筒之间形成腔体放置保温材料，所述腔体内设置有衬板，所述内层导流筒的内侧活动安装有导流板，所述导流板与衬板之间通过连杆连接，所述衬板与气缸之间通过传动杆连接。

进一步地，所述导流板的导热系数大于内层导流筒的导热系数。

进一步地，所述衬板材质与腔体内保温材料的材质一样。

相较于现有技术，本实用新型单晶炉导流筒通过设置导热系数不一样的导流板和内层导流筒，有效地增大单晶炉导流筒内部的纵向温度梯度，提高单晶的增长速度；同时，通过连杆驱动导流板运动来调整单晶炉内部氩气流，使其始终保持稳定，确保单晶硅棒的生产质量。

附图说明

图1为本实用新型单晶炉导流筒的结构示意图。

附图说明

1、外层导流筒；2、内层导流筒；3、气缸；4、传动杆；5、衬板；6、连杆；7、导流板；8、腔体。

具体实施方式

为了更充分理解本实用新型的技术内容，下面结合具体实施例对本实用新型的技术方案进一步介绍和说明，但不局限于此。

如图1所示，本实用新型提供一种单晶炉导流筒，包括外层导流筒1、内层导流筒2和气缸3，所述气缸3安装在外层导流筒1的外侧，所述外层导流筒1和内层导流筒2之间形成腔体8放置保温材料，所述腔体8内设置有衬板5，所述内层导流筒2的内侧活动安装有导流板7，所述导流板7与衬板5之间通过连杆6连接，所述衬板5与气缸3之间通过传动杆4连接。

具体地，单晶炉在拉晶过程中检测到内部氩气流波动时，启动气缸3使其通过传动杆4驱动衬板5动作，所述衬板5通过连杆6驱动导流板7运动来调整单晶炉内部氩气流，使其始终保持稳定，确保单晶硅棒的生产质量。

具体地，所述导流板7到达最大运动范围时与水平面平行，导流板7的初始状态为贴合在内层导流筒2的侧壁上；所述内层导流筒2内设置有两组导流板7，每组导流板7分别设置有多个导流板，且每组导流板7分别受一个气缸3传动。

具体地，为了提高单晶炉内单晶的增长速度，所述导流板7的导热系数比内层导流筒2的导热系数大，导流板7散热较内层导流筒2快，因此导流板7所在区域的炉温比内层导流筒2区域的炉温低，从而通过导流板7的运动能够有效地增大单晶炉导流筒内部的纵向温度梯度，提高单晶的增长速度。

具体地，为了保证腔体8的保温效果，所述衬板5材质与腔体8内的保温材料材质一样。

上述仅以实施例来进一步说明本实用新型的技术内容，以便于读者更容易理解，但不代表本实用新型的实施方式仅限于此，任何依本实用新型所做的技术延伸或再创造，均受本实用新型的保护。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。