一种单晶炉用埚帮和单晶炉的制作方法

文档序号:22905301发布日期:2020-11-13 12:39阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种单晶炉用埚帮,其特征在于,所述埚帮为一端开口的结构,所述埚帮包括:侧壁部、弯曲部和底部;

所述侧壁部靠近所述埚帮的开口处,所述弯曲部连接于所述侧壁部远离所述开口的一端,所述底部连接于所述弯曲部的另一端;

所述埚帮的外表面设置有多个凹槽;

所述凹槽的横截面为v型结构或u型结构;

所述多个凹槽的深度和宽度相同;

所述凹槽的宽度大于或等于3mm,小于或等于8mm;所述凹槽的深度大于或等于2mm,小于或等于6mm。

2.根据权利要求1所述的单晶炉用埚帮,其特征在于,在所述凹槽的横截面为v型结构的情况下,所述凹槽的侧壁与所述埚帮的中心轴线之间的夹角范围包括15°~40°。

3.根据权利要求1所述的单晶炉用埚帮,其特征在于,所述多个凹槽相互平行,且所述多个凹槽沿所述埚帮的周向设置。

4.根据权利要求1所述的单晶炉用埚帮,其特征在于,所述多个凹槽相互平行,且所述多个凹槽沿所述埚帮的轴向设置。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的单晶炉用埚帮,其特征在于,所述侧壁部与所述弯曲部可拆卸连接,所述凹槽开设于所述侧壁部;

所述埚帮为碳碳复合材料。

6.一种单晶炉,其特征在于,所述单晶炉包括石英坩埚、加热器和如权利要求1-5任一所述的单晶炉用埚帮;

所述石英坩埚安装在所述埚帮内部;

所述加热器与所述埚帮的外表面相对设置。

7.根据权利要求6所述的单晶炉,其特征在于,所述加热器靠近所述埚帮侧壁部的外表面设置。


技术总结
本实用新型实施例公开了一种单晶炉用埚帮和单晶炉,所述埚帮具有一端开口的结构,所述埚帮包括:侧壁部、弯曲部和底部;所述侧壁部靠近所述埚帮的开口处,所述弯曲部连接于所述侧壁部远离所述开口的一端,所述底部连接于所述弯曲部的另一端;所述埚帮的外表面设置有多个凹槽。本实用新型实施例通过在所述埚帮设置凹槽,增加了所述埚帮辐射面积,同时还能够通过设置凹槽增加热能在该埚帮的反射次数,提高了热能的反射效率,从而提高了所述埚帮的吸热效率,改善了拉晶过程中的热量损失,解决了当前工艺下能耗高的技术问题。

技术研发人员:任杰;冉瑞应;贾祯;金雪
受保护的技术使用者:银川隆基硅材料有限公司
技术研发日:2019.12.25
技术公布日:2020.11.13
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