单晶炉观察窗的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体材料制造领域，尤其涉及用于制造半导体材料单晶硅的单晶炉观察窗。
【背景技术】
[0002]单晶炉是晶棒制作的载体，观察视窗虽然只是单晶炉的小小配件，但其作用却是重中之重。通过观察视窗可以直观的查看单晶生长变化，及时作出调整，确保单晶稳定生长。现有技术中的单晶炉观察窗，采用双层玻璃结构，其表面温度高达1400摄氏度，在单晶硅的制造过程中，操作人员在进行观察操作时，常常被观察窗烫伤，给单晶硅的制造过程造成了安全隐患，给操作人员带来了很大的不便。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是提供一种具有较低表面温度的单晶炉观察窗。
[0004]本实用新型提供的单晶炉观察窗，包括第一盖体、第二盖体和第三盖体，所述第一盖体和第三盖体设置在所述第二盖体的两侧并与所述第二盖体围成一用于容纳冷却液的空腔。
[0005]所述第一盖体包括框架部(I)和视窗部(2);所述框架部(I)为口字形设置在所述视窗部(2)的外周。所述框架部(I)的截面为L形。所述框架部(I)上设有圆形定位孔
(3)ο所述第二盖体为口字形，所述第三盖体具有与第一盖体相同的结构。所述第二盖体的截面为T形。所述第二盖体的两侧设有定位柱(4)。所述第二盖体沿其长度方向还设有第一通孔(5)和第二通孔(6)。所述第一通孔(5)和第二通孔(6)的截面为梯形，且位于外部孔径大于内部孔径。
[0006]本实用新型提供的单晶炉观察窗，在所述空腔内可注入水或者其他冷却液，用于有效降低单晶炉观察窗的表面温度，避免操作人员烫伤。
【附图说明】
[0007]图1为本实用新型实施例所述的单晶炉观察窗第一盖体结构示意图；
[0008]图2为本实用新型实施例所述的单晶炉观察窗第一盖体的截面图；
[0009]图3为本实用新型实施例所述的单晶炉观察窗第二盖体结构示意图；
[0010]图4为图3的右视图；
[0011]图5为图3的截面图。
【具体实施方式】
[0012]为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0013]本实施例提供一种单晶炉观察窗，其特征在于:包括第一盖体、第二盖体和第三盖体，所述第一盖体和第三盖体设置在所述第二盖体的两侧并与所述第二盖体围成一用于容纳冷却液的空腔。本领域技术人员可以理解，在所述空腔内可注入水或者其他冷却液，用于有效降低单晶炉观察窗的表面温度，避免操作人员烫伤。
[0014]如图1及图2所示，所述第一盖体包括框架部I和视窗部2 ;所述框架部I为口字形设置在所述视窗部2的外周。
[0015]所述框架部I的截面为L形，便于形成用于容纳冷却液的空腔。
[0016]所述框架部I上设有圆形定位孔3，通过该圆形定位孔3与第二盖体相固定。
[0017]如图3至图5所示，所述第二盖体为口字形，所述第三盖体具有与第一盖体相同的结构；这样，当第一盖体、第二盖体和第三盖体完成组装后，所述第一盖体、第二盖体和第三盖体分别构成所述空腔的六个壁。
[0018]所述第二盖体的截面为T形，以便与所述第一盖体及第二盖体进行组装。
[0019]所述第二盖体的两侧设有定位柱4，用于与所述第一盖体和第三盖体上设置的定位孔3相配合。
[0020]所述第二盖体沿其长度方向还设有第一通孔5和第二通孔6。所述第一通孔5和第二通孔6可平行设置，也可垂直设置，可设置在第二盖体的一个侧部，也可分别设置在第二盖体的不同侧部。所述第一通孔5和第二通孔6分别用于注入和排出冷却液，便于循环注入冷却液，保证更佳的冷却效果。
[0021]所述第一通孔5和第二通孔6的截面为梯形，且位于外部孔径大于内部孔径。这样便于第一通孔5或第二通孔6与外部的冷却液注入或排出装置相连接。
[0022]最后应说明的是:以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。
【主权项】
1.一种单晶炉观察窗，其特征在于:包括第一盖体、第二盖体和第三盖体，所述第一盖体和第三盖体设置在所述第二盖体的两侧并与所述第二盖体围成一用于容纳冷却液的空腔。
2.如权利要求1所述的单晶炉观察窗，其特征在于:所述第一盖体包括框架部(I)和视窗部(2);所述框架部(I)为口字形设置在所述视窗部(2)的外周。
3.如权利要求2所述的单晶炉观察窗，其特征在于:所述框架部(I)的截面为L形。
4.如权利要求2所述的单晶炉观察窗，其特征在于:所述框架部(I)上设有圆形定位孔⑶。
5.如权利要求2所述的单晶炉观察窗，其特征在于:所述第二盖体为口字形，所述第三盖体具有与第一盖体相同的结构。
6.如权利要求5所述的单晶炉观察窗，其特征在于:所述第二盖体的截面为T形。
7.如权利要求5所述的单晶炉观察窗，其特征在于:所述第二盖体的两侧设有定位柱
8.如权利要求4所述的单晶炉观察窗，其特征在于:所述第二盖体沿其长度方向还设有第一通孔(5)和第二通孔(6)。
9.如权利要求8所述的单晶炉观察窗，其特征在于:所述第一通孔(5)和第二通孔(6)的截面为梯形，且位于外部孔径大于内部孔径。
【专利摘要】本实用新型公开了一种单晶炉观察窗，包括第一盖体、第二盖体和第三盖体，所述第一盖体和第三盖体设置在所述第二盖体的两侧并与所述第二盖体围成一用于容纳冷却液的空腔。本实用新型提供的单晶炉观察窗，在所述空腔内可注入水或者其他冷却液，用于有效降低单晶炉观察窗的表面温度，避免操作人员烫伤。
【IPC分类】C30B35-00
【公开号】CN204589379
【申请号】CN201520230686
【发明人】刘光有
【申请人】上海磐盟电子材料有限公司
【公开日】2015年8月26日
【申请日】2015年4月16日