模头以及液体涂覆装置的制作方法

专利名称：模头以及液体涂覆装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及将墨等液体涂覆在对象物上的规定位置的模头(Die Head)以及具有 模头的液体涂覆装置。
背景技术：
具有被称为模头(die head)的挤压(extrution)方式的头的液体涂覆装置能够 形成均勻的膜厚的涂覆膜，所以目前为止被广泛用于各个领域。
模头基本上包括歧管，将从涂覆液罐提供的涂覆液，沿所要形成的涂覆膜的宽度 方向进行分配；以及槽口(slot)，排出沿涂覆膜的宽度方向分配了的涂覆液。槽口也可以 划分为多个孔(参照图9和图10)。在将槽口划分为多个孔时，能够将涂覆液涂覆为条状。
这样的使用模头将涂覆液涂覆到被涂覆材料上时，向模头的前端部和被涂覆材料 之间的间隔(以下也简称为“涂覆间隔”)排出涂覆液，并形成积存液；维持所形成的积存液 (以下也称为“液滴” (bead))，而且使被涂覆材料相对于模头相对移动即可。这样地维持在 模头的前端部和被涂覆材料之间形成的液滴，而且使被涂覆材料相对移动，由此在被涂覆 材料上形成由涂覆液构成的涂覆膜。
在这样的使用了模头的涂覆工序中，维持液滴很重要。这是因为，若液滴不稳定， 则形成在被涂覆材料上的涂覆膜的宽度以及膜厚出现偏差，或者涂覆膜中断，从而不能够 进行高精度的涂覆。特别是，由于加快被涂覆材料的相对移动速度，对液滴施加的剪切力变 大，或者为了防止模头的前端部和被涂覆材料接触而增大涂覆间隔时，液滴容易变得不稳 定。这里，“液滴变得不稳定”是指液滴的形状不稳定，或者液滴容易与被涂覆材料分离的状 态。液滴与被涂覆材料分离的状态在下面也称为“液滴被破坏”。
作为防止因剪切力而使液滴不稳定的方法一般已知有下述方法，S卩，在排出涂覆 液的槽口(以下也简称为“液滴排出用槽口”)的被涂覆材料相对移动的方向(以下也简称 为“移动方向”)的上游侧设置气体吸入用孔(Chamber)或气体吸入用槽口，对液滴的移动 方向上游侧的端部(以下简称为“上游端”)附近进行减压(例如参照专利文献1)。
图IA表示专利文献1公开了的模头的剖面图。图IA所示的模头1的前端部包括 涂覆液排出用槽口 2，其用于排出涂覆液；以及气体吸入用槽口 3，其用于吸入气体。
气体吸入用槽口 3吸入气体，由此能够对液滴4的上游侧附近6进行减压，从而能 够将液滴4的上游端向被涂覆材料的相对移动方向X上游侧吸入。由此，能够防止由于被 涂覆材料5的相对移动产生的剪切力而使液滴4不稳定的情况。
另外，如图IB所示，也已知有在模头的上游侧设置气体吸入用孔3’来代替气体吸 入用槽口 3的技术。
另外，已知有下述技术，S卩，为了防止在被移动的被涂覆材料的表面发生气流床 (ENTRAINED-FLOff)，对被涂覆材料的表面喷出具有与被涂覆材料的移动方向相反方向的流 向的气体(例如参照专利文献2 5)。
专利文献1 (日本)特开2003-053233号公报
专利文献2 (日本)特开平9-141170号公报
专利文献3 (日本)特开昭62-186966号公报
专利文献4 (日本)特开昭48_3四23号公报
专利文献5 美国专利第4842900号说明书
但是，如专利文献1公开地那样在对液滴4的上游端附近6进行减压时，有时液滴 4的上游端被吸入到气体吸入用槽口 3，构成液滴4的涂覆液流入气体吸入用槽口 3。
另外，由于涂覆中被涂覆材料的厚度变动、或模头振动、涂覆间隔变动而使液滴4 被破坏后，涂覆液流入气体吸入用槽口 3(气体吸入用孔3’)(参照图2A和图2B)。特别是， 在将涂覆液涂覆为条状时，由于各个液滴变小所以液滴的稳定力降低，液滴容易被破坏。因 此，在将涂覆液涂覆为条状时，涂覆液特别容易流入气体吸入用槽口。
若涂覆液流入气体吸入用槽口内，则在气体吸入用槽口内涂覆液妨碍气体的流 动，所以气体吸入用槽口无法稳定地吸入气体，液滴的上游侧附近的气压变得不稳定。其结 果，液滴不稳定，在被涂覆材料上形成的涂覆膜的厚度或宽度不均勻，或者中断。
因此，在专利文献1公开了的以往的液体涂覆装置中，必须将从气体吸入用槽口 吸入的气体的流量设定为较少的流量，以使涂覆液不流入气体吸入用槽口。因此，在以往的 液体涂覆装置中，在因被涂覆材料的相对移动产生的剪切力变大时，无法防止液滴不稳定， 并且加速涂覆速度有极限。
另外，在专利文献1公开了的以往的液体涂覆装置中，无法解决在增大了涂覆间 隔时，液滴不稳定的问题。
发明的内容
本发明的目的在于，提供能够维持液滴，并高精度且高速地涂覆涂覆液的模头。
本发明人发现，通过在涂覆液排出用槽口和气体吸入用槽口之间设置气体喷出用 槽口，能够防止涂覆液流入气体吸入用槽口，并经过进一步研究而完成本发明。也就是说， 本发明的第一形态是有关以下所示的模头。
[1]、模头，具有连续地排出涂覆液的前端部，并且在沿一定方向相对移动的被涂 覆材料和所述前端部之间的间隔处维持由所述涂覆液构成的积存液，由此在所述被涂覆材 料上形成涂覆膜，所述前端部包括涂覆液排出用槽口，其位于所述被涂覆材料的移动方向 的下游侧，而且连续地排出所述涂覆液；气体吸入用槽口，其位于所述被涂覆材料的移动方 向的上游侧，并且吸入气体，以对所述积存液的所述被涂覆材料的移动方向的上游侧的端 部附近进行减压；以及气体喷出用槽口，其位于所述涂覆液排出用槽口和所述气体吸入用 槽口之间，向所述涂覆膜的所述被涂覆材料的移动方向的上游侧的端部喷出气体，以不使 所述涂覆液流入所述气体吸入用槽口，所述气体喷出用槽口喷出所述气体的方向相对于所 述被涂覆材料的表面，不朝所述被涂覆材料的移动方向的上游侧倾斜。
[2]、如[1]所述的模头，所述涂覆液排出用槽口和所述气体喷出用槽口之间的间 隔为0. 3mm以上，所述气体喷出用槽口和所述气体吸入用槽口之间的间隔为0. 05 15mm。
[3]、如[1]或[2]所述的模头，所述气体喷出用槽口喷出的气体的流量少于所述 气体吸入用槽口吸入的气体的流量。
W]、如[1] [3]中的任一个所述的模头，所述气体喷出用槽口喷出所述气体的 方向垂直于所述被涂覆材料的表面。
[5]、如[1] [3]中的任一个所述的模头，所述气体喷出用槽口喷出所述气体的 方向相对于所述被涂覆材料的表面，朝所述被涂覆材料的移动方向下游侧倾斜。
W]、如[5]所述的模头，所述气体喷出用槽口喷出所述气体的方向相对所述被涂 覆材料的表面的法线的倾斜角度为1° 75°。
[7]、如[1] [6]中的任一个所述的模头，在所述前端部中，所述气体吸入用槽口 与所述气体喷出用槽口之间的区域低于所述前端部的其他区域。
[8]、如[1] [7]中的任一个所述的模头，所述气体吸入用槽口的数目与所述气 体喷出用槽口的数目不同。
本发明的第二形态是有关以下所示的液体涂覆装置。
[9]、液体涂覆装置，具有[1] [8]中的任一个所述的模头。
根据本发明，即使强烈地吸入了液滴的上游端，也通过从气体喷出用槽口喷出的 气体，防止涂覆液流入气体吸入用槽口。另外，根据本发明，通过从气体喷出用槽口喷出的 气体，能够将液滴推压到被涂覆材料。因此，在本发明中，能够维持液滴并将涂覆液高精度 且高速地涂覆。


图1A、图IB是表示在以往的模头中，对液滴的上游端的附近进行减压的情形的 图。
图2A、图2B是表示气体吸入用槽口或气体吸入用孔吸入了涂覆液的状态的图。
图3A、图;3B是表示包含实施方式1的模头的液体涂覆装置的图。
图4A 图4C是表示由实施方式1的模头对被涂覆材料进行涂覆的情形的图。
图5是实施方式2的模头的剖面图。
图6是具有朝移动方向上游侧倾斜的气体喷出用槽口的模头的剖面图。
图7是实施方式3的模头的剖面图。
图8是实施方式4的模头的剖面图。
图9A 图9D是实施方式4的模头的前端部的俯视图。
图IOA 图IOC是实施方式4的模头的前端部的俯视图。
附图标记说明
1、模头
2、涂覆液排出用槽口
3、气体吸入用槽口
4、液滴
5、被涂覆材料
6、液滴上游端附近
8、涂覆膜
9、气体喷出用槽口
10、压缩机
11、减压泵
12、流量调整阀
13、流量计
14、送液泵
15、涂覆液罐
16、气体喷出用槽口的喷射角度
17、模头前端部的台阶
18、歧管
19、涂覆间隔具体实施方式
1、本发明的模头
本发明的模头具有连续地排出涂覆液的前端部，在沿一定方向(以下也称为“移 动方向”)相对移动的被涂覆材料和前端部之间的间隔处维持由涂覆液构成的积存液(以 下也称为“液滴”)，由此，在被涂覆材料上形成涂覆膜。
本发明的模头具有涂覆液分配歧管，该涂覆液分配歧管与涂覆液排出用槽口连接 而且将从外部提供的涂覆液以涂覆膜的宽度方向进行分配。本发明的模头在前端部的结构 上具有特征。下面，说明本发明的模头的前端部的结构。
本发明的模头的前端部包括涂覆液排出用槽口，其位于移动方向下游侧；气体 吸入用槽口，其位于移动方向上游侧；以及气体喷出用槽口，其位于涂覆液排出用槽口和气 体吸入用槽口之间。这里，所谓“槽口”是指槽状的孔(参照图9和图10)。本发明的特征 在于，在涂覆液排出用槽口和气体吸入用槽口之间具有气体喷出用槽口。
各个槽口也可以划分为多个孔，也可以不进行划分(参照图9和图10)。下面，说 明各个槽口的功能。
涂覆液排出用槽口是与涂覆液分配歧管连接而且用于连续地排出涂覆液的槽口。 在涂覆工序中，从涂覆液排出用槽口排出的涂覆液在模头的前端部和被涂覆材料之间的间 隔处(以下也称为“涂覆间隔”)形成液滴。
气体吸入用槽口是与减压泵等连接且用于吸入气体的槽口。气体吸入用槽口吸入 气体，以在形成涂覆膜时，对液滴的移动方向上游的端部附近进行减压。气体吸入用槽口和 涂覆液排出用槽口之间的间隔并不特别限定，但优选在0. 43mm 20mm。
若涂覆液排出用槽口和气体吸入用槽口之间的间隔超过20mm，则即使气体吸入用 槽口吸入气体，也有可能无法在液滴的移动方向上游的端部附近进行减压。另一方面，若涂 覆液排出用槽口和气体吸入用槽口之间的间隔小于0. 43mm，则有可能构成液滴的涂覆液流 入气体吸入用槽口。
气体吸入用槽口吸入气体的方向(以下也简称为“吸入方向”)可以垂直于被涂覆 材料的表面，但例如也可以朝移动方向上游侧或移动方向下游侧倾斜。
若吸入方向朝移动方向上游侧倾斜，则能够提高吸入液滴的上游端的效率，并以 更少的气体流量来吸入液滴。由此，即使在涂覆间隔变大且液滴变大时，也能够以较强的力 吸入液滴的上游端，并且防止液滴不稳定。另一方面，若吸入方向朝移动方向下游倾斜，则 对形成涂覆膜之前的被涂覆材料的表面进行吸入的效率提高。由此，能够高效率地吸入粘 附在涂覆膜形成前的被涂覆材料的表面的异物等，从而能够对被涂覆材料进行洗扫。
气体喷出用槽口是与压缩机等连接的、用于喷出气体的槽口。气体喷出用槽口喷 出气体，以使构成液滴的涂覆液不流入气体吸入用槽口。气体吸入用槽口喷出的气体的流 量和流速根据涂覆液的排出量、被涂覆材料的移动速度、模头的尺寸、模头和被涂覆材料之 间的距离等而变动，但例如从涂覆液排出用槽口排出的涂覆液的流量为0. 0054 2ml/min 时，优选的是气体喷出用槽口喷出的气体的流量为3ml/min以上，流速为0. 6m/min以上，更 优选的是气体喷出用槽口喷出的气体的流量为5ml/min以上，流速为lm/min以上。这是因 为，若气体喷出用槽口喷出的气体的流量低于3ml/min，流速低于0. 6m/min，则不能防止涂 覆液流入气体吸入用槽口。
另外，气体喷出用槽口和涂覆液排出用槽口之间的间隔并不特别限定，但优选在 0. 3mm以上。若气体喷出用槽口和涂覆液排出用槽口之间的间隔低于0. 3mm，则从气体喷出 用槽口喷出的气体有可能流入液滴和被涂覆材料之间，使液滴不安定。
另外，气体喷出用槽口喷出气体的方向(以下也简称为“喷出方向”)可以垂直于 被涂覆材料的表面，但优选的是相对于被涂覆材料的表面朝移动方向下游侧倾斜(参照实 施方式2和图幻。喷出方向相对于被涂覆材料的表面，朝移动方向下游侧倾斜，由此防止 从气体喷出用槽口喷出的气体流入液滴和被涂覆材料之间，并防止液滴不稳定。另一方面， 在本发明中，喷出方向朝移动方向上游侧倾斜不是优选。这是因为，若喷出方向朝移动方向 上游侧倾斜，则从气体喷出用槽口喷出的气体流入液滴和被涂覆材料之间，使液滴不稳定 (参照图6)。
模头的前端部具有的气体吸入用槽口的数目可以与气体喷出用槽口的数目相同， 但也可以不同。例如，如果使气体吸入用槽口的数目多于气体喷出用槽口的数目，则能够防 止从气体喷出用槽口喷出的气体流入液滴和被涂覆材料之间(参照实施方式4)。
另外，优选的是，从气体喷出用槽口喷出的气体的流量少于由气体吸入用槽口吸 入的气体的流量。具体而言，优选的是，从气体喷出用槽口喷出的气体的流量为由气体吸入 用槽口吸入的气体的流量的0. 005 0. 95倍。更具体而言，优选的是，从气体喷出用槽口 喷出的气体的流量比由气体吸入用槽口吸入的气体的流量少5 995ml/min。若相对于所 吸入的气体的量，喷出的气体的量过多，则不能对液滴的上游端附近进行减压。另外，若相 对于所吸入的气体的量，喷出的气体的量过多，则有可能喷出的气体的一部分容易流入液 滴和被涂覆材料之间，使液滴不安定。
从气体喷出用槽口喷出的气体在模头的前端部和被涂覆材料之间流向移动方向 上游侧，最终流入气体吸入用槽口。
这样，在本发明中，即使朝移动方向上游侧吸入液滴的上游端，也通过从气体喷出 用槽口喷出的气体，能够防止构成液滴的涂覆液流入气体吸入用槽口。因此，在本发明中， 能够强力地朝移动方向上游侧吸入液滴的上游端，从而即使对液滴施加强剪切力，也能够 防止液滴不稳定。因此，在本发明中，即使加快被涂覆材料的相对移动速度，并且剪切力增 加，也能够维持液滴。由此，即使加快涂覆速度，也能够形成均勻的涂覆膜。另外，由于在本 发明中能够加快被涂覆材料的移动速度，所以能够获得更薄的涂覆膜。
另外，通过如本发明那样从气体喷出用槽口喷出气体，能够将液滴推抵到被涂覆 材料。因此，被涂覆材料和模头前端部之间的涂覆间隔变宽，从而能够防止液滴不稳定。因 此，根据本发明，能够将涂覆间隔扩大为例如所形成的涂覆膜的厚度的10 20倍，抑制模头的前端部与被涂覆材料接触，并形成均勻的涂覆膜。这是因为，若模头的前端部与被涂覆 材料接触，则所形成的涂覆膜的膜厚不均勻，或涂覆膜中断。
另外，上述那样从气体喷出用槽口喷出的气体在模头的前端部和被涂覆材料之间 流向移动方向上游侧。通过流向移动方向上游侧的气体，能够将涂覆前的存在于被涂覆材 料上的异物扫除，并对被涂覆材料的表面进行清扫。
另外，在本发明中，涂覆液不流入气体吸入用槽口，所以无需进行气体吸入用槽口 内部的清洗。由此，在洗净模头的前端部之后，能够立即重新开始涂覆，从而能够获得高生产率。
在后述的实施方式1中参照附图，详细地说明从气体喷出用槽口喷出的气体所产 生的效果。
2、本发明的液体涂覆装置
本发明的液体涂覆装置的特征在于具备所述的模头，但除此之外也适当地具有众 所周知的液体涂覆装置的部件。
例如，液体涂覆装置除了模头以外，还包括存贮向模头提供墨的涂覆液罐，将涂覆 液提供给模头的送液泵、吸入气体的减压泵、提供气体的压缩机、固定模头的头部的部件、 或者用于使被涂覆材料移动的移动台等。
下面，参照附图，说明本发明的实施方式，但本发明并不限于这些实施方式。
(实施方式1)
图3A是包含实施方式1的模头的液体涂覆装置的示意图。如图3A所示，实施方 式1的液体排出装置包括模头1、压缩机10、减压泵11、流量调整阀12、流量计13、送液泵 14以及涂覆液罐15。
模头1的前端部包括涂覆液排出用槽口 2、气体吸入用槽口 3以及气体喷出用 槽口 9。另外，模头1包括液体分配用歧管18a，其与涂覆液排出用槽口 2连接；吸入歧管 18b，其与气体吸入用槽口 3连接；以及喷出歧管18c，其与气体喷出用槽口 9连接。
压缩机10将气体提供给气体喷出用槽口 9。减压泵11从气体吸入用槽口 3吸入 气体。所吸入或提供的气体的流量通过流量计13可视化，并通过流量调整阀12进行调节。
涂覆液罐15存贮涂覆液。存贮在涂覆液罐15中的涂覆液通过如定量泵那样可以 稳定地进行送液的送液泵14被送入模头1。
图;3B是图3A所示的模头1的前端部的放大图。如图所示，模头1的前端部包 括涂覆液排出用槽口 2，其位于后述的被涂覆材料的相对移动方向X(以下也简称为“移动 方向X”)上游侧；气体吸入用槽口 3，其位于移动方向X下游侧；以及气体喷出用槽口 9，其 位于涂覆液排出用槽口 2和气体吸入用槽口 3之间。
涂覆液排出用槽口 2和气体吸入用槽口 3之间的间隔dl为0. 43mm 20mm，涂覆 液排出用槽口 2和气体喷出用槽口 9之间的间隔d2为0. 3mm。
另外，涂覆液排出用槽口 2的宽度2d为30 1000 μ m，气体吸入用槽口 3的宽度 3d为30 1000 μ m，气体喷出用槽口 9的宽度9d为30 1000 μ m。
接着，参照图4A 图4B，说明使用本实施方式的模头1，将涂覆液涂覆到被涂覆材 料的方法。
首先，如图4A所示，将模头1配置在被涂覆材料5之上。模头1与被涂覆材料5分离。模头1的前端部与被涂覆材料5之间的涂覆间隔19为0. 03 0. 5mm。
另外，如图4B所示，使被涂覆材料5对于模头1，向X方向(移动方向)相对移动。 使被涂覆材料5相对于模头1移动时，可以使被涂覆材料5移动，可以使模头1移动，也可 以使双方都移动。
另外，从涂覆液排出用槽口 2排出涂覆液，并在向移动方向X相对移动的被涂覆材 料5和模头1的前端部之间的涂覆间隔19维持液滴，由此在被涂覆材料5上形成涂覆膜8。
此时，通过从设置在涂覆液排出用槽口 2的涂覆上游侧的气体吸入用槽口 3吸入 气体，对液滴4的上游端附近进行减压，液滴的上游端被朝移动方向上游侧吸入。通过朝移 动方向上游侧吸入液滴4的上游端，防止由被涂覆材料的移动产生的剪切力破坏液滴4。
另一方面，若液滴4的上游端被朝移动方向X上游侧吸入，则构成液滴4的涂覆液 流入气体吸入用槽口 3的危险性变高。
相对于此，本实施方式的特征在于，从位于涂覆液排出用槽口 2和气体吸入用槽 口 3之间的气体喷出用槽口 9喷出气体。气体吸入用槽口 3喷出的气体例如为空气或N2气 体以及涂覆液的溶媒气体。
如图4B所示，通过从气体喷出用槽口 9喷出的气体，能够防止液滴4的上游端越 过气体喷出用槽口 9而接近气体吸入用槽口 3。由此，能够防止构成液滴4的涂覆液流入气 体吸入用槽口 3。
另外，即使如图4C所示那样由于被涂覆材料5的破损等而使涂覆间隔19极度地 大变动等，假定液滴4被破坏时，也通过从气体喷出用槽口 9喷出的气体，能够防止涂覆液 流入气体吸入用槽口。
这样，根据本实施方式的涂覆装置，能够防止涂覆液流入气体吸入用槽口，所以能 够朝移动方向上游侧强力地吸入液滴的上游端，从而防止由于被涂覆材料的移动产生的剪 切力而破坏液滴4。
另外，通过从气体喷出用槽口喷出的气体将液滴4推压到被涂覆材料5。由此，即 使增大涂覆间隔，也能够更稳定地维持液滴4。由此，能够增大涂覆间隔(例如，所形成的涂 覆膜的厚度的10倍 20倍)，并能够防止因增大涂覆间隔造成的模头的前端部与被涂覆材 料接触。
(实施方式2)
在实施方式1中，说明了喷出方向垂直于被涂覆材料的表面的形态。在实施方式 2中，说明喷出方向相对于被涂覆材料的表面，朝移动方向下游侧倾斜的形态。
图5是实施方式2的模头的前端部的剖面的放大图。对于与实施方式1的模头1 相同的结构要素附以相同的标号并省略其说明。如图5所示，在实施方式2中，气体喷出用 槽口 9喷出气体的方向(喷出方向)，相对于被涂覆材料5的表面，朝移动方向X下游侧倾 斜。
具体而言，喷出方向的对被涂覆材料的表面的法线的倾斜角度16通常为1° 75°。
这样，通过使喷出方向相对于被涂覆材料的表面，朝移动方向X下游侧倾斜，则除 了具有实施方式1的效果以外，还能够防止喷出的气体流入液滴和被涂覆材料之间。由此， 能够可靠地防止液滴不稳定。
另一方面，如上所述，喷出方向相对于被涂覆材料5的表面，朝移动方向X上游侧 倾斜不是优选。如图6所示，若喷出方向朝移动方向X上游侧倾斜，则从气体喷出用槽口 9 喷出的气体流入液滴4和被涂覆材料5之间，液滴4变得不稳定(参照比较例2)。
(实施方式3)
在实施方式3中，说明模头的前端部具有台阶的形态。
图7是实施方式3的模头2的前端部的剖面的放大图。对于与实施方式1的模头 相同的结构要素附以相同的标号并省略其说明。如图7所示在实施方式3中，模头1的前 端部具有台阶。更具体而言，将前端部中的、气体吸入用槽口 3和气体喷出用槽口 9之间的 区域A的高度设定得低于前端部的其他区域。区域A与前端部的其他区域之间的高低差17 例如为50 300 μ m。其结果，区域A与被涂覆材料5之间的间隔大于前端部的其他区域与 被涂覆材料5之间的间隔。
这样，通过使前端部中的、气体吸入用槽口 3与气体喷出用槽口 9之间的区域A的 高度低于前端部的其他区域，则除了实施方式1的效果以外，从气体喷出槽口 9喷出的气体 能够容易地流入气体吸入用槽口 3。由此，促进从气体喷出用槽口 9喷出的气体流向移动方 向X上游侧，防止其流入液滴4和被涂覆材料5之间而使液滴4不稳定。
(实施方式4)
在实施方式1 3中，说明了模头的前端部具有的气体吸入用槽口的数目和气体 喷出用槽口的数目相同的形态。在实施方式4中，说明模头的前端部具有的气体吸入用槽 口的数目多于气体喷出用槽口的数目的形态。
图8是实施方式4的模头1的前端部的剖面的放大图。对于与实施方式1的模头 相同的结构要素附以相同的标号并省略其说明。如图8所示，在实施方式4中，模头1的前 端部具有两个气体吸入用槽口(第一气体吸入用槽口 3a和第二气体吸入用槽口 3b)。第二 气体吸入用槽口北和气体喷出用槽口 9之间的间隔d3为0. 03 19. 64mm，第一气体吸入 用槽口 3a和第二气体吸入用槽口北之间的间隔d4为0. 03 19. 64mm(参照图8)。
另外，如图8所示，在实施方式4中，将前端部中第二气体吸入用槽口北与气体喷 出用槽口 9之间的区域A设定得低于前端部的其他区域。
第一气体吸入用槽口 3a和第二气体吸入用槽口北全都是用于吸入气体的槽口， 但其担负的功能不同。例如，配置在移动方向X上游侧的第一气体吸入用槽口 3a是为了吸 入液滴4的上游端而吸入气体；配置在移动方向X下游侧的第二气体吸入用槽口北吸入从 气体喷出用槽口喷出的气体。
这样，通过另外设置用于回收从气体喷出用槽口喷出的气体的第二气体吸入用槽 口 3b，则除了实施方式1的效果以外，能够防止从气体喷出用槽口 9喷出的气体流入液滴4 和被涂覆材料5之间而使液滴4不稳定。
图9A 图IOC是从实施方式4的模头1的前端部的被涂覆材料5侧所见的俯视 图。如图9A 图IOC所示，只要各个槽口(涂覆液排出用槽口、气体吸入用槽口以及气体 喷出用槽口)能够进行稳定的涂覆液的排出、稳定的气体的吸入以及稳定的气体的喷出， 则既可以将其划分为多个孔，也可以不划分。
[实施例]
下面，说明本发明的实施例。
(实施例1)
在实施例1中说明，使用在实施方式1中说明了的模头，对玻璃基板(被涂覆材 料)涂覆了甲基纤维素水溶液(涂覆液)的例子。
模头的设计条件
首先，准备了图3所示的实施方式1的模头。将涂覆液排出用槽口 2、气体排出用 槽口 9以及气体吸入用槽口 3的宽度Qd、3d以及9d)设定为100 μ m。将涂覆液排出用槽 口 2与气体吸入用槽口 3之间的间隔dl设定为2. 05mm，并将涂覆液排出用槽口 2与气体喷 出用槽口 9之间的间隔d2设定为1mm。
另外，气体喷出用槽口喷出气体的方向垂直于被涂覆材料的表面。在实施例1中， 不将各个槽口划分为多个孔(参照图9A)。
涂覆条件
将涂覆间隔设为100 μ m，将作为被涂覆材料的玻璃基板的相对速度设为150mm/ s，在玻璃基板上形成了宽30cmX长IOOcmX厚10 μ m的由甲基纤维素水溶液构成的涂覆 膜。作为涂覆液的甲基纤维素水溶液的剪切速度(shear velocity) 1000 (1/s)中的粘度设 为 IOOmPa · S。
另外，将从气体吸入用槽口吸入的气体的流量设为SOOml/min，将从气体喷出用槽 口喷出的气体(空气)的流量设为720ml/min。也就是说，在实施例1中，实质的气体的吸 入量(所吸入的气体的流量-所喷出的气体的流量)为80ml/min(800ml/min-720ml/min)。
以上述条件，涂覆了 500枚玻璃基板。
(实施例2)
在实施例2中，使用图5所示的实施方式2的模头对玻璃基板(被涂覆材料)涂 覆了甲基纤维素水溶液(涂覆液)。也就是说，在实施例2中，除了喷出方向朝移动方向下 游倾斜以外，以与实施例1相同的条件涂覆了玻璃基板。
在实施例2中，将喷出方向的对被涂覆材料的法线的倾斜角度16设为45° (参照 图5)。
(实施例3)
在实施例3中，除了喷出方向的对被涂覆材料的法线的倾斜角度16设为70°以 外，以与实施例2相同的条件，涂覆了玻璃基板(参照图5)。
(比较例1)
在比较例1中，除了在模头没有设置气体喷出用槽口，将从气体吸入用槽口吸入 的气体的流量设为SOml/min以外，以与实施例1相同的条件，涂覆了 500枚玻璃基板。在 比较例1中准备了的模头，即具有与图IA所示的以往的模头相同的结构。
(比较例2)
在实施例2中，除了气体喷出用槽口朝移动方向上游倾斜以外，以与实施例1相同 的条件涂覆了玻璃基板。在比较例2中准备了的模头，与即图6所示的模头具有相同的结 构。在比较例2中，将气体喷出用槽口的对被涂覆材料的法线的倾斜角度设为45°。
(结果1)
表1表示在实施例1 比较例2中，所形成的涂覆膜中断了的次数。
表1
中断发生次数
权利要求
1.模头，具有连续地排出涂覆液的前端部，并且在沿一定方向相对移动的被涂覆材料 和所述前端部之间的间隔维持由所述涂覆液构成的积存液，由此在所述被涂覆材料上形成 涂覆膜，所述前端部包括涂覆液排出用槽口，其位于所述被涂覆材料的移动方向的下游侧，而且连续地排出所 述涂覆液；气体吸入用槽口，其位于所述被涂覆材料的移动方向的上游侧，并且吸入气体，以对所 述积存液的所述被涂覆材料的移动方向的上游侧的端部附近进行减压；以及气体喷出用槽口，其位于所述涂覆液排出用槽口和所述气体吸入用槽口之间，向所述 涂覆膜的所述被涂覆材料的移动方向的上游侧的端部喷出气体，以不使所述涂覆液流入所 述气体吸入用槽口，所述气体喷出用槽口喷出所述气体的方向相对于所述被涂覆材料的表面，不朝所述被 涂覆材料的移动方向的上游侧倾斜。
2.如权利要求1所述的模头，所述涂覆液排出用槽口和所述气体喷出用槽口之间的间隔为0. 3mm以上，所述气体喷 出用槽口和所述气体吸入用槽口之间的间隔为0. 05 15mm。
3.如权利要求1所述的模头，所述气体喷出用槽口喷出的气体的流量少于所述气体吸入用槽口吸入的气体的流量。
4.如权利要求1所述的模头，所述气体喷出用槽口喷出所述气体的方向垂直于所述被涂覆材料的表面。
5.如权利要求1所述的模头，所述气体喷出用槽口喷出所述气体的方向相对于所述被涂覆材料的表面，朝所述被涂 覆材料的移动方向下游侧倾斜。
6.如权利要求5所述的模头，所述气体喷出用槽口喷出所述气体的方向相对所述被涂覆材料的表面的法线的倾斜 角度为1° 75°。
7.如权利要求1所述的模头，所述前端部中的、所述气体吸入用槽口与所述气体喷出用槽口之间的区域低于所述前 端部的其他区域。
8.如权利要求1所述的模头，所述气体吸入用槽口的数目与所述气体喷出用槽口的数目不同。
9.液体涂覆装置，具有权利要求1所述的模头。
全文摘要
公开了模头，在沿一定方向相对移动的被涂覆材料和前端部之间的间隔维持由涂覆液构成的积存液，由此在所述被涂覆材料上形成涂覆膜，所述前端部包括涂覆液排出用槽口，其位于所述被涂覆材料的移动方向的下游侧，而且连续地排出所述涂覆液；气体吸入用槽口，其位于所述被涂覆材料的移动方向的上游侧，并且吸入气体，以对所述积存液的所述被涂覆材料的移动方向的上游侧的端部附近进行减压；以及气体喷出用槽口，其位于所述涂覆液排出用槽口和所述气体吸入用槽口之间，向所述涂覆膜的所述被涂覆材料的移动方向的上游侧的端部喷出气体，以不使所述涂覆液流入所述气体吸入用槽口。
文档编号B05C5/02GK102029242SQ20101029246
公开日2011年4月27日 申请日期2010年9月25日 优先权日2009年9月28日
发明者堀川晃宏 申请人:松下电器产业株式会社