高架行进和输送装置的制作方法

专利名称：高架行进和输送装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种高架行进和输送装置，用于如此抓持被输送物体， 即该设备能够沿着被输送物体上下移动，并且用于沿着安装在工厂等 中的天花板上或其附近的轨道行进。这里，"被输送物体"表示一种 产品、中间产品、部件、物品、工件、部分制成品、商品等，或者表 示用于容纳这种产品的盒子或者容器等，该盒子或者容器已经被或者 将被该装置进行输送。
背景技术：
例如在半导体器件的制造设备中，利用高架行进和输送装置。该 装置设有输送台车。输送台车通过沿着安装在天花板上或其附近的轨 道或者导轨行进而在不同的半导体制造装置之间行进，同时输送台车利用能够沿着FOUP (Front Opening Unified Pod:前端开启式晶圆传送 盒)上下移动的把持器抓持或者把持在其中容纳半导体晶片的FOUP。 半导体制造装置的主体置于轨道之下及其附近中，从而半导体制造装 置的装载端口位于轨道正下方。因此，输送台车在半导体制造装置的 装载端口上方停止，在其上装载或者放置从现在起将被输送的FOUP， 然后沿着把持器向下移动从而把持FOUP，并且然后沿着把持器向上移 动，从而输送台车能够回收或者占据FOUP。已经回收FOUP的输送台 车行进到另一个半导体制造装置以用于执行下一过程。在另一方面， 输送台车在半导体制造装置的装载端口的上方停止，并且然后沿着当 前正在把持FOUP的把持器向下移动，从而输送台车能够将FOUP装 载到装载端口上。
在上述高架行进和输送装置的输送台车中，沿着行进方向在前表 面处装备向前监视传感器，它沿着行进方向向前发射光束并且接收其 反射光，从而在沿着轨道行进时探测沿着行进方向在前面的障碍物，如日本专利申请公开文件No.2002-132347(特别是其图2)中所公开地。 在另一方面，在输送台车中，装备向下监视传感器，其发射用于在输 送台车之下扫描的光束并且接收其反射光，从而探测在输送台车之下 的障碍物，如日本专利申请公开文件No.2001-213588 (特别是其图l) 中所公开地。由此，当从半导体制造装置的装载端口取起FOUP时， 和/或当将FOUP装载到装载端口上时，可能防止把持器接触位于把持 器的上下移动路径中的障碍物。

发明内容
如上所述，在高架行进和输送装置的输送台车中，要求装备很多 传感器，例如用于探测沿着行进方向的前方障碍物的向前监视传感器， 用于探测输送台车之下的障碍物的向下监视传感器等。因此，这产生 一个问题，即输送台车的结构变得复杂，并且成本增加。
因此本发明的一个目的在于提供一种高架行进和输送装置，其能 够以较低的成本探测沿着输送台车的行进方向的前方障碍物和位于输 送台车之下的障碍物。
通过一种高架行进和输送系统能够实现本发明的上述目的，所述 系统包括安装在天花板上或其附近的轨道；用于沿着所述轨道行进 并且由其引导的输送台车，所述输送台车具有(i)适于把持被输送物 体的把持机构，(ii)适于将所述把持机构向下移动到用于被输送物体 的装载端口的升降机构，以及(iii)传感器，其用于在垂直的并且平行 于所述输送台车的行进方向的伪平面的表面中发射光束，并且用于接 收所发射光束的反射光；监视器件，用于基于由所述传感器所接收到 的反射光监视在所发射光束的发射方向中存在的障碍物；以及选择器 件，用于通过选择发射方向和/或选择所述监视器件的监视区域而(i) 建立一种状态，使得如果所述输送台车在行进中，则沿着行进方向存 在的前方障碍物被所述监视器件监视，并且(ii)建立另一种状态，使得如果所述把持机构向下移动，则从所述输送台车向下存在的障碍物 被所述监视器件监视。
根据本发明，选择器件以如下所述方式控制传感器。即，当输送 台车行进时，沿着输送台车的行进方向向前发射光束。在把持机构向 下移动时，从输送台车向下发射光束。在任一情形中，监视器件沿着 发射方向进行监视。可替代地，传感器的光束总是沿着包括输送台车 的向前行进方向和从输送台车向下的方向被发射(其中光束的发射方 向可被连续地转变)。此时，选择器件控制监视器件以(i)当输送台 车行进时，沿着光束的发射方向进行监视，该光束沿着输送台车的行 进方向向前发射，并且(ii)当把持机构向下移动时，沿着光束的发射 方向进行监视，该光束从输送台车向下发射。因此，通过仅仅一个传 感器，当输送台车行进时，能够执行对可能沿着行进方向存在的前方 障碍物的探测，并且当把持机构向下移动时，能够执行对从输送台车 向下可能存在的障碍物的探测。因此，能够以低成本实现对沿着行进 方向的前方障碍物的探测和从输送台车往下的障碍物的探测。
在本发明的一个方面中，通过选择监视区域而不改变发射方向， 所述选择器件建立所述的一种或者另一种状态。
根据这个方面，可能实现沿着行进方向的前方监视和下方监视， 而无需改变光束的发射方向。
在本发明的另一个方面中，在由所述升降机构向下移动的所述把 持机构的路径上，该伪平面不与所述路径交迭。
根据这个方面，通过釆用伪平面能够实现下方探测，该伪平面并 不交迭向下移动的把持机构的路径。该伪平面可以优选地设置在向下 移动的把持机构的路径的附近或者邻近该路径。
在这个方面中，相对于所述把持机构的路径，该伪平面可以位于 具有装载端口的制造或者加工装置的主体的相对侧上。
通过如此进行构造，当然能够监视在把持机构的相对侧(例如在 实施例中的近侧)上可能存在的障碍物。尤其是，可能避免把持机构 或者FOUP自身被探测成为下方监视区域中的障碍物，即使在把持机 构的向下运动期间继续进行下方监视。换言之，能够不仅在向下移动 的把持机构的运动之前，而且还可在其运动期间执行下方监视。而且， 因为无需监视把持机构所通过的整个区域，因此下方监视区域可被显 著减小并且能够简单地和容易地执行下方监视。
在本发明的另一个方面中，所述传感器发射用于在伪平面中扫描 的光束，并且所述选择器件通过所述传感器选择被发射光束的扫描区 域或者通过所述监视器件选择监视区域而不改变扫描区域。
根据这个方面，选择器件以如下方式控制传感器。即，当输送台 车行进时，扫描区域沿着输送台车的行进方向位于前方。当把持机构 向下移动时，扫描区域位于输送台车的下方。在任一情形中，监视器 件在扫描区域中进行监视。可替代地，扫描区域包括输送台车的向前 行进方向和从输送台车向下的方向。此时，选择器件控制监视器件以 (i)当输送台车行进时，在沿着输送台车的行进方向向前的扫描区域 中进行监视，并且(ii)当把持机构向下移动时，在从输送台车向下的 扫描区域中进行监视。因此，与监视器件沿着仅仅沿一个方向发射的 光束的发射方向进行监视的情形相比，可能监视更广或者更宽的范围。
在涉及扫描区域的这个方面中，当所述输送台车行进时，在扫描 区域内，所述监视器件可以监视位于所述输送台车通过的路径中的障 碍物。
通过以如此方式进行构造，可能避免当输送台车行进时位于输送台车的路径之外的探测物体被错误地探测为障碍物。
在涉及扫描区域的这个方面中，当所述把持机构向下移动时，在 扫描区域内，所述监视器件可以监视位于所述把持机构向下移动的路 径中的障碍物。
通过以如此方式进行构造，能够避免当把持机构向下移动时位于 把持机构的路径之外的探测物体被错误地探测为障碍物。
当结合在下面简要描述的附图进行阅读时，通过下面关于本发明 的优选实施例的详细描述可以更加清楚本发明的本质、作用和其它特 征。


图1是在本发明的一个实施例中，带有FOUP的OHT系统连同半 导体制造装置的透视图2是从输送台车的行进方向向前的图l所示OHT系统的输送台 车的前视图3是图1所示传感器和用于控制该传感器的传感器控制部分的框图4是图2的输送台车的左侧视图(即，近侧视图)；和
图5是示出由传感器控制部分执行的程序的流程图。
具体实施例方式
参考附图，现在将描述本发明的一个实施例。图1示出作为本发 明实施例的高架行进和输送装置的一个实例的OHT(高架行进和输送) 系统1的总体结构。
如图l所示，OHT系统l是在半导体器件制造设备中用于输送其 中容纳半导体晶片的FOUP80的输送系统或者装置。OHT系统1设有:安装在制造设备的天花板上或其之下的轨道10;以及当抓持FOUP80
时以如下方式行进的输送台车20，即在悬挂状态中输送台车20被轨道 IO悬挂和引导。基本在轨道10之下，是制造装置中的多个半导体制造
装置(例如，晶片加工装置、储料器或者堆积器装置等)中的半导体
制造装置90的主体91，在图1中仅仅表示其中一个半导体制造装置。 装载端口 92位于轨道10的正下方，所述装载端口是用于装载和回收 (即，卸载)FOUP80的地方，并且所述装载端口成为过渡或者中继的 场所，在此处执行将FOUP80中的半导体晶片放进每一个半导体制造 装置的主体91或从其取出的操作。
输送台车20设有把持机构22、升降机构(即，上下移动机构) 24，和位置调整机构26。把持机构22被构造成利用把持器22a把持或 者抓持FOUP80。升降机构24被构造成展开(即，送走)或者巻起(即， 提升)吊带24a，把持机构22连接到所述吊带的顶端。位置调整机构 26被构造成利用升降机构24的箱体25在水平平面中移动升降机构24。
在该实施例中，升降机构24的箱体25具有如在图1中表示的接 近长方体的外部形状。更具体地，箱体25的上部由垂直的四个侧表面 围绕，而箱体25的下部由两个侧表面围绕，该两个侧表面对应于输送 台车20的行进方向(该方向为在图1中用箭头DRF表示的方向)中的 向前和向后方向。与箱体25的下部相比，由该四个侧表面围绕的箱体 25的上部在主体91相对于轨道10的相对侧(下文称为"近侧")上 稍微突出。
在图1中，表示出其中吊带24a被展开一半的状态。在该实施例 中，在把持机构22把持FOUP80的情形中，当吊带24a被缠绕到最上 部分时，FOUP80被容纳在由箱体25所围绕的空间中。
利用上述结构，在OHT系统l中，由轨道10支撑的输送台车20 在多个半导体制造装置90之间行进。执行从装载端口 92回收FOUP80(即，卸载)的操作和将FOUP80装载到装载端口 92上的操作。更具 体地，当利用把持机构22把持FOUP80的输送台车20要将FOUP80 装载到目标半导体制造装置90的装载端口 92上时，(i)输送台车20 在相关的装载端口 92上方停止，(ii)当位置调整机构26在把持机构 22和装载端口 92之间执行位置调整时，精细地进行装载位置的调整，(iii)已经缠绕到最上部分的吊带24a被连续地展开，并且(iv)FOUP80 被向下送至装载端口92。然后，把持机构22打开把持器22a，从而将 FOUP80装载到装载端口 92上。在该FOUPS0的装载操作完成之后， 吊带24a巻起。当把持机构22到达最上部分时，输送台车20开始行进 到下一目标。顺便提及的是，输送台车20的行进操作以及FOUP80的 回收和装载操作由OHT控制器70控制(参考图3)。
输送台车20也设有五个传感器30和51到54，其其中的每一个 是反射型传感器。这些传感器30和51到54由传感器控制器40控制 (参考图3)。如图l所示，传感器30位于箱体25的上部的突出部分 的前侧(即沿着行进方向向前)上的下端处，该突出部分向近侧突出。 传感器51到54在输送台车20的前侧(即沿着行进方向向前)上位于 箱体25的表面25a上。更具体地，传感器51和54分别靠近表面25a 的上部和表面25a的下部设置。传感器52关于表面25a的宽度方向在 半导体制造装置卯一侧上靠近端部设置(即，相对于轨道10，在"近 侧"的相对侧上，该相对侧在下面称为"远侧")。传感器53在表面 25a的下部的近侧上靠近端部设置。
这里，参考图2，该图是从其行进方向的前方看到的输送台车20 的前视图，更加详细描述设置在表面25a上的该四个传感器51到54。 传感器51到54的每一个设有(i)光发射原件(未示出)，用于沿着 输送台车20的行进方向向前发射光束，和(ii)光接收原件(未示出)， 用于接收反射光，从而用于探测的物体可被探测为所发射光束的发射 区域或者空间中的障碍物。从传感器51到54的每一个发射的光束穿 过棱镜(未示出)等以圆锥形状传播。
从传感器51到54的每一个发射的光束的照射范围形成由图2中的虚线的相应一条围成的区域。即，分别靠近上端部和下端部设置的传感器51和54发射的光束中的每一个是细长圆锥，该圆锥沿着输送 台车20的宽度方向(即，图2中的左右方向)是细长的。沿着输送台车20的宽度方向，照射区域的长度分别与表面25a的上侧和下侧的长 度基本一致。从(i)在表面25a的远侧(即，在图2中右侧)靠近端 部设置的传感器52和(ii)在表面25a的下部的近侧(即，在图2中左侧)上靠近端部设置的传感器53发射的光束的每一个是细长圆锥， 该圆锥沿着输送台车20的上下方向是细长的。沿着上下方向，传感器 52的照射区域的长度与在远侧上表面25a的一侧的长度是基本一致的。 沿着上下方向，传感器53的照射区域的长度与在近侧上表面25a位于其下部的一侧的长度是基本一致的。
因此，如图2所示，传感器51到54的发射区域成为表面25a的周边区域的一些部分，该周边区域为沿着输送台车20的行进方向的前表面，除了表面25a的上部的近侧(即，在图2中，除了表面25a的周
边区域的左上部分)。
下面，参考图3，将详细解释传感器30。如图3所示，传感器30设有用于发射激光光束的光发射元件31a和用于接收反射光的光接收元件31b。从光发射元件31a发射的激光光束被单向透视玻璃37反射， 并且被引导到反射镜32。在从光发射元件31a发射之后被探测物体反射的反射光通过单向透视玻璃37传播并且被引导到光接收元件31b。
反射镜32适于被由马达驱动器34驱动的马达33旋转或者摆动，从而通过反射镜32的旋转或者摆动，扫描从光发射元件31a发射的激光光束。即，传感器30是扫描型传感器。而且，马达33装配有编码 器33a,其探测马达33的旋转量，从而反射镜32的角度，即被反射镜32反射的激光光束的发射方向或者角度能够通过编码器33a的lT出数值而得以探测。
这里，参考图4，其从近侧示出输送台车20，将详细解释传感器 30的扫描范围。传感器30发射位于伪平面中的光束。该伪平面是垂直 的并且平行于输送台车20的行进方向并且位于比把持机构22的路径 更近的近侧上，把持机构22利用升降机构24上下移动。在该实施例 中，如图4所示，从传感器30发射的光束在包括输送台车20的行进 方向(即，在图4中由箭头DRF表示的方向)的向前和向下方向的180 度的范围中被扫描。即，在图4中沿着右上方向从传感器30发射的光 束沿着顺时针方向以180度被扫描直至光束沿着图4中的左下方向被 发射的位置。在此之后，被发射的光束沿着逆时针方向以180度被扫 描直至光束沿着图4中的右上方向被发射的位置。当输送台车20行进 时，传感器30不加停止地反复地重复这种扫描操作。在下面的解释中， 从作为标准方向的最上方向的光束角度，在图4中为右上位置，被称 为"发射角度"9 。
然后，在将在以后详细描述的传感器控制器40的控制下，当输送 台车20行进时，建立这样一种状态，即在扫描区域内输送台车20所 通过的路径(该路径夹在图4的单点划线中的两条之间并且将被称为 "向前监视区域200f")中的障碍物被传感器30监视。在另一方面， 当把持机构22被升降机构24向下移动到装载端口 92时，建立这样一 种状态，即在扫描区域内沿着把持机构22上下移动的路径的区域中的 障碍物被传感器30监视，更加详细地说，该区域即位于朝向箱体25 的上部的近侧突出的突出部分下方的区域(该区域是夹在图4的竖直 双点划线中的两条之间并且将被称为"向下监视区域200d")。顺便 提及的是，发射到向前监视区域200f的光束的发射角度e为0度≤θ ≤a 。发射到向下监视区域200d的光束的发射角度θ为P≤θ≤180度。
如图2所示，向前监视区域200f (在图4中)对应于位于箱体25 的表面25a的上部的近侧(即，在图2中左侧)上的端部或者边缘部分 的邻近区域。沿着传感器30的向前监视区域200f的上下方向的长度与 在近侧上表面25a的上部的侧面长度基本一致。如上所述，设置在表面 25a上的传感器51到54的发射区域是表面25a的周边端部或者边缘部 分的邻近区域，除了近侧上的上部。因此，利用传感器51到54的照 射区域连同传感器30的向前监视区域200f，能够对表面25a的周边端 部或者边缘部分的附近中的基本上所有的区域，即输送台车20的通过 区域探测障碍物。
再次在图3中，光发射元件31a连接到振荡电路(OSC) 35并且 适于基于从振荡电路35提供的高频脉冲信号发射高频脉冲光。光接收 元件31b连接到放大器(AMP) 36从而与由光接收元件31b接收的反 射光有关的输出信号被放大器36放大。
下面，参考图3解释控制传感器30和传感器51到54的传感器控 制器40。如图3所示，传感器控制器40与OHT控制器70、编码器33a、 马达驱动器34、振荡电路(OSC) 35、放大器(AMP) 36和传感器51 到54相连接。传感器控制器40设有选择单元41、距离表存储单元43、 距离计算单元45和监视单元47。
选择单元41基于从OHT控制器70发送的与输送台车20的行进 有关的信息控制传感器30和传感器51到54。更加具体地，当表示输 送台车20正在行进中的信息从OHT控制器70发送时，向前监视区域 200f被选作由传感器30监视的区域。建立这样一种状态，即，输送台 车20通过的区域(包括向前监视区域200f)的周边端部或者边缘部分 的邻近区域被传感器30和传感器51到54监视。在另一方面，当表示 输送台车20被停止并且正在执行FOUP80的回收或者装载操作的信息 被发送时，向下监视区域200d被选作由传感器30监视的区域。建立 这样一种状态，即，上下移动的把持机构22的路径的近侧(即，向下 监视区域200d)被传感器30监视。
在距离表存储单元43中，存储将从传感器30发射的光束的发射
角度ei与监视距离Li相关联的距离表。即，如图4所示，当在向前监
视区域200f内发射光束并且当发射角度例如为9 n时，在向前监视区 域200f中利用这个发射角度9n发射的光束所通过的距离Ln被存储为 监视距离Ln。以相同的方式，存储对应于在向下监视区域200d中发射 的光束的发射角度的监视距离。在另一方面，当光束被发射到非向前 监视区域200f或者向下监视区域200d的区域时，即当a<9 i<p时， 监视距离Li被存储为0 (零)。
这里，当在向前监视区域200f中发射光束时监视距离Li的最大值 被设为大于使得在行进状态中的输送台车20停止所需的长度。在另一 方面，当在向下监视区域200d中发射光束时监视距离Li的最大值被设 为稍微短于从传感器30到装载端口 92的长度。当对于每一个半导体 制造装置卯从传感器30到装载端口 92的长度不同时，对于每一个半 导体制造装置90设置用于向下监视区域200d的监视距离Li的最大值。 从OHT控制器70获得表示将对于哪一个半导体制造装置90执行 FOUP80的回收和/或装载操作的信息，并且响应于所获得的信息，确 定监视距离Li的最大值。
当由传感器30探测被探测物体时，距离计算单元45计算到探测 物体的距离。更加具体地，从振荡电路35提供给光发射元件31a的脉 冲信号和由放大器36放大的来自光接收元件31b的输出信号被相互比 较。然后，基于相差计算到被探测物体的距离L，根据从光发射元件 31a发射并且由探测物体反射的光束的往复距离在光接收元件31b的输 出信号中产生该相差。
监视单元47基于由传感器30和传感器51到54接收的反射光监 视位于传感器30的监视区域(即，向前监视区域200f和向下监视区域 200d)和/或传感器51到54的照射区域中的障碍物。这里，例如，假定当传感器30的监视区域为向前监视区域200f并且当发射光束的发射角度为θn (参考图4)时传感器30探测该探测物体。基于这一假设， 监视单元47将(i)由距离计算单元45计算的到探测物体的距离L和 (ii)存储在距离表存储单元43中的对于发射角度e n的监视距离Ln 相互比较。然后，如果距离L长于监视距离Ln，则判定探测物体位于 向前监视区域200f之外，即，在向前监视区域200f中不存在任何障碍 物。在另一方面，如果距离L不长于监视距离Ln，则判定探测物体位 于向前监视区域200f之内，BP，在向前监视区域200f中存在障碍物,该障碍物将成为输送台车20行进的障碍物。当由传感器51到54接收到的反射光的一个或多个的光量超过预定值时，判定在传感器51到54的照射区域中存在障碍物。
顺便提及的是，如果监视单元47判定在传感器30的监视区域和/ 或传感器51到54的照射区域中存在障碍物时，则表示该障碍物存在 的探测信号被发送到OHT控制器70。
下面，将参考图5解释由传感器控制器40执行的程序。当输送台 车20行进时，总是执行传感器控制器40的处理操作。
在图5中，首先，基于从OHT控制器70发送的信息，判断输送 台车20是否执行或者不执行从装载端口 92回收(即，卸载操作) FOUP80的操作或者将FOUP80装载到装载端口 92上的操作(步骤Sl )。 如果判定输送台车20不执行回收或者装载操作(Sl:否)，则选择单 元41将向前监视区域选择作为由传感器30监视的区域，并且建立这 样一种状态，即传感器30和传感器51到54监视障碍物(步骤S2)。 然后，基于传感器30和传感器51到54的输出信号，判断在行进中的 输送台车20通过的区域的周边部分的邻近区域中是否存在障碍物(步 骤S3)。
如果判定不存在障碍物(步骤S3:否)，则流程返回到步骤S1，从而再次执行对于进行回收或者装载操作的判断。在另一方面，如果判定存在障碍物(步骤S3:是)，则向OHT控制器70输出告知存在 障碍物的探测信号(步骤S4)。此时，OHT控制器70控制输送台车 20，使之减速或者停止。因此，能够防止输送台车20碰撞另一个输送 台车20,即使另一个输送台车20沿着一个输送台车20的行进方向在 前面停止等。顺便提及的是，在步骤S4输出探测信号之后，流程返回 到步骤S1，从而再次执行对于进行回收或者装载操作的判断。
进而，在步骤Sl，如果判定执行回收或者装载操作(步骤Sl:是)， 则选择单元41选择向下监视区域作为由传感器30监视的区域(步骤 S5)。然后，基于传感器30的输出信号，判断在上下移动的把持机构 22的路径的近侧上是否存在障碍物(步骤S6)。
这里，如果判定不存在障碍物(步骤S6:否)，则省略以后描述 的步骤S7的程序，并且流程直接执行步骤S8。在另一方面，如果判定 存在障碍物(步骤S6:是)，则向OHT控制器70输出告知存在障碍 物的探测信号(步骤S7)。此时，OHT控制器70控制把持机构22使 之停止向下移动。因此，能够防止FOUP80接触或者碰撞人员等，即 使该人员等进入当把持FOUP80时将要向下移动的把持机构22之下的 区域中。顺便提及的是，如在本实施例中，通过监视在此处障碍物可 能最为接近上下移动的把持机构的路径的可能性较高的场所的近侧， 能够有效率地进行监视。
此后，基于从OHT控制器70发送的信息，判断输送台车20的回 收或者装载操作是否结束(步骤S8)。这里，如果判定回收或者装载 操作尚未结束(步骤S8:否)，则流程返回到步骤S6，从而再次判断 在向下监视区域中是否存在障碍物。在另一方面，如果判定回收或者 装载操作结束(步骤S8:是)，则流程返回到步骤S1，从而再次执行 对于进行回收或者装载操作的判断。
如上所述，在本实施例的OHT系统1中，装备在输送台车20上
的传感器发射位于伪平面中的光束，该伪平面是垂直的并且平行于输
送台车20的行进方向并且位于比把持机构22的路径更加靠近的近侧 上，该把持机构22利用升降机构24上下移动。而且，在选择单元41 的控制下，当输送台车20在行进中时，沿着输送台车20的行进方向 向前监视的向前监视区域被选为传感器30的监视区域。而且，当执行 从装载端口 92回收FOUP80的操作或者将FOUP80装载到装载端口 92 上的操作时，从输送台车20向下监视的向下监视区域被选为传感器30 的监视区域。因此，无需分别地配备一个传感器以监视向前监视区域 和另一个传感器以监视向下监视区域。即，能够通过使用仅一个传感 器即传感器30来监视这两个区域。这样，能够以低成本实现(i)对沿 着输送台车20行进方向的前方障碍物的探测和(ii)对位于输送台车 20下方的障碍物的探测。
在本实施例的OHT系统1中，传感器30为扫描型传感器。选择 单元41在包括在传感器30的扫描区域中的向前监视区域和向下监视 区域中选择监视单元47的监视区域。因此，与监视例如仅在一个方向 上发射的光线的发射方向的情形相比，监视单元47能够监视更宽的范围。
而且，在本实施例的OHT系统1中，当输送台车20行进时，监 视单元47监视输送台车20通过的区域的周边部分的邻近区域。因此， 可能防止位于输送台车20的路径之外的物体被错误地探测为障碍物。
此外，在本实施例的OHT系统1中，当输送台车20执行FOUP80 的回收或者装载操作时，在传感器30的扫描区域中，监视单元47监 视沿着上下移动的把持机构的路径的区域。因此，可能防止位于上下 移动的把持机构的路径之外的物体被错误地探测为障碍物。
在不背离其精神或者本质特征的前提下，能够以其它特定形式实施本发明。因此本实施例在所有方面中被认为是示意性的而非限制性 的，本发明的范围由所附权利要求而非由前面的描述所表示，并且因 此旨在包括进入权利要求的意义和等价范围中的所有的改变。
例如，在上述实施例中，当输送台车20行进时，传感器30总是 在包括向前监视区域和向下监视区域的范围中进行扫描，并且选择单元41在向前监视区域和向下监视区域中选择由选择单元41监视的区 域。然而，本发明并不限于此。即，选择单元41可以通过控制马达驱 动器34选择传感器30的扫描区域。更加具体地，当输送台车20行进 时，选择单元41控制马达驱动器34从而传感器30可以在0度≤θ≤a的范围内进行扫描。在传感器30的扫描区域中，监视单元47监视 输送台车20所通过的区域中的障碍物。在另一方面，当输送台车20 执行回收或者装载操作时，选择单元41控制马达驱动器34从而传感 器30可以在P《9《180度的范围内执行扫描。在传感器30的扫描区域中，监视单元47监视沿着上下移动的把持机构的路径的区域中的障碍物。
在上述实施例中，传感器30是在180度的范围内执行扫描的扫描 型传感器。然而，本发明并不限于此。传感器30的扫描范围不限于180 度的范围，而是可以为任何其它范围，只要该范围能够覆盖向前监视 区域和向下监视区域。而且，传感器30不必为扫描型传感器，而是可 以为任何其它类型，只要它能够沿着行进方向向前和从输送台车20向 下发射光束。
在上述实施例中，当输送台车20行进时，监视单元47监视输送 台车20通过的区域的周边部分的邻近区域。由此，向前监视区域200f 可被显著减小并且能够简单地和容易地执行向前监视，因为无需监视 输送台车20通过的整个区域。然而，本发明并不限于此。例如，监视 单元47可以监视输送台车20通过的整个区域。而且，监视单元47可 以监视比输送台车20通过的区域稍微更广或者更宽的区域。
此外，在上述实施例中，当输送台车20执行回收或者装载操作时，
在传感器30的扫描区域中，监视单元47监视沿着上下移动的把持机 构22的路径的区域。然而，本发明并不限于此。在回收或者装载操作 时的监视区域可以是扇形区域，其中心为传感器30。
在上述实施例中，OHT系统1安装在半导体制造设备中，该设备 通过向半导体晶片实行多个处理而制造半导体器件。然而，本发明并 不限于此。例如，该输送装置可以被安装在这样的设备中，所述设备 通过实行多个处理而生产成品，同时在该多个处理中或者该多个处理 之间输送己被处理的物体或者将被处理的物体。而且，该输送装置可 以适于用作用于所有工业领域的输送装置，被输送的物体例如电子部 件、机械部件、化学品、食品、文件产品等在其中被输送。
权利要求
1.一种高架行进和输送系统，包括安装在天花板上或其附近的轨道；用于沿着所述轨道行进并且由其引导的输送台车，具有(i)适于把持被输送物体的把持机构，(ii)适于将所述把持机构向下移动到用于所述被输送物体的装载端口的升降机构，以及(iii)传感器，用于在垂直的并且平行于所述输送台车的行进方向的伪平面中发射光束，并且接收所述发射光束的反射光；监视器件，用于基于由所述传感器所接收到的反射光监视在所述发射光束的发射方向中存在的障碍物；以及选择器件，用于通过选择所述发射方向和/或选择所述监视器件的监视区域而(i)建立一种状态，即如果所述输送台车在行进，则在沿着所述行进方向的前方存在的所述障碍物被所述监视器件监视，并且(ii)建立另一种状态，即如果所述把持机构向下移动，则从所述输送台车向下存在的所述障碍物被所述监视器件监视。
2. 根据权利要求1的高架行进和输送系统，其中通过选择所述监 视区域而不改变所述发射方向，所述选择器件建立所述的一种或者另 一种状态。
3. 根据权利要求1或2的高架行进和输送系统，其中所述伪平面 不交迭由所述升降机构向下移动的所述把持机构的路径。
4. 根据权利要求3的高架行进和输送系统，其中相对于所述把持 机构的路径，所述伪平面位于具有所述装载端口的制造或者加工装置 的主体的相对侧上。
5. 根据权利要求1或2的高架行进和输送系统，其中 所述传感器发射用于在所述伪平面内扫描的所述光束，并且 所述选择器件选择所述传感器的所述发射光束的扫描区域或者选 择所述监视器件的监视区域而不改变所述扫描区域。
6. 根据权利要求5的高架行进和输送系统，其中当所述输送台车 行进时，在所述扫描区域内，所述监视器件监视位于所述输送台车通 过的路径中的所述障碍物。
7. 根据权利要求5或6的高架行进和输送系统，其中当所述把持 机构向下移动时，在所述扫描区域内，所述监视器件监视位于所述把 持机构向下移动的路径中的所述障碍物。
全文摘要
一种高架行进和输送系统(1)，设有用于沿着轨道(10)行进的输送台车(20)。该台车具有适于把持被输送物体(80)的把持机构(22)、适于将所述把持机构向下移动到用于被输送物体的装载端口(92)的升降机构(24)，以及传感器(30)，用于在伪平面内发射光束，并且接收所发射光束的反射光。该系统还设有监视器件(47)，用于基于由该传感器所接收到的反射光监视在所发射光束的发射方向中存在的障碍物；以及选择器件(41)，用于通过选择发射方向和/或选择所述监视器件的监视区域而建立一种状态，使得如果所述输送台车在行进中，则在沿着行进方向的前方存在的障碍物被监视，并且建立另一种状态，使得如果所述把持机构向下移动，则从所述输送台车向下存在的障碍物被所述监视器件监视。
文档编号B65G37/00GK101200242SQ200710194078
公开日2008年6月18日 申请日期2007年11月30日 优先权日2006年11月30日
发明者久德千三 申请人:日本阿西斯特技术株式会社