专利名称：输送单元及具有输送单元的阵列测试装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于将物体输送至预定位置的输送单元以及具有所述输送单元的阵列测试装置。
背景技术：
一般而言，在制造包括LCD(液晶显示器)的各种FPD(平板显示器)的过程中， 普遍使用诸如机器人、起重装置、工作台等的输送单元来输送例如玻璃面板、排出液晶的喷嘴、喷嘴转换装置等的物体。这样的输送单元包括框架、设置于框架上的支撑件、以及与支撑件联接从而可沿预定方向移动的移动构件。输送单元配置为使得移动构件移至预定位置从而实现预期的目的。在输送单元的操作过程中，输送单元可能由于所述移动构件移动时所产生的力而震动。由这种反作用力所产生的震动会降低工作精确度。因此，需要优化设计输送单元以便减少震动。
发明内容
因此，本发明针对以上在现有技术中产生的问题，并且本发明的目的是提供一种包括反作用力传递构件的输送单元以及具有所述输送单元的阵列测试装置，所述反作用力传递构件将由移动所述移动构件所产生的反作用力传递至底座从而减少输送单元的震动。为了实现以上目的，一方面，本发明提供一种输送单元，包括底座；框架，所述框架由底座支撑；支撑件，所述支撑件以可移动的方式支撑在框架上；移动构件，所述移动构件以可移动的方式与所述支撑件联接；以及反作用力传递构件，所述反作用力传递构件包括与支撑件联接的第一部分以及与底座联接的第二部分。输送单元还可以包括设置在底座与框架之间的减震器。输送单元还可以包括设置在反作用力传递构件的第一部分与支撑件之间的位置调节装置。所述位置调节装置可以调节反作用力传递构件的第一部分与支撑件所连接的位置。另外，输送单元还可以包括设置在反作用力传递构件的第二部分与底座之间的位置调节装置。所述位置调节装置可以调节反作用力传递构件的第二部分与底座所连接的位置。另一方面，本发明提供一种阵列测试装置，包括底座；由底座支撑的框架，所述框架延伸预定长度；支撑件，所述支撑件以能沿框架的长度方向移动的方式与框架联接； 移动构件，所述移动构件以能沿框架的长度方向移动的方式与支撑件联接；与移动构件连接的测试模块，所述测试模块测试玻璃面板的缺陷；以及反作用力传递构件，所述反作用力传递构件将支撑件与底座连接。
由以下结合附图的详细描述，可以更加清晰地理解本发明前述的和其他的目的、特征和优点，其中图1是示出根据本发明的第一个实施例的输送单元的示意图；图2是沿图1的线A-A截取的剖面图；图3是示出根据本发明的第二个实施例的输送单元的示意图；图4是示出图3的输送单元的位置调节装置的示意图；图5和图6是示出图4的位置调节装置的操作的图；图7是示出根据本发明的第三个实施例的输送单元的示意图；图8是示出图7的输送单元的位置调节装置的示意图；以及图9是具有根据本发明的输送单元的阵列测试装置的立体图。
具体实施例方式下文将结合附图详细描述根据本发明的输送单元的优选实施例。如图1和图2所示，根据本发明的输送单元包括底座10、框架20、支撑件30、移动构件40和反作用力传递构件50。底座10支撑整个输送单元。框架20由底座10支撑。支撑件30与框架20联接，以便能沿第一方向(图1的X轴方向)移动。移动构件40与支撑件30联接，以便能沿第一方向移动。反作用力传递构件50将支撑件30与底座10连接，并将由移动构件40的移动所产生的反作用力传递至底座10。理想的是在底座10与框架20之间设置减震器60。每个减震器60可以包括由诸如橡胶或合成树脂的弹性材料制成的构件、弹簧、液压或气压减振器、或者内部具有预定压力的管子。减震器60的作用是防止传递至底座10的反作用力重新传递到框架20。第一导引件21设置在框架20上，并沿框架20的长度方向延伸预定长度。支撑件 30与框架20联接，以便能沿着第一导引件21滑动。可将待输送的物体安装于移动构件40。第二导引件31设置在支撑件30上，并沿着支撑件30的长度方向延伸预定长度。移动构件40与支撑件30联接，以便能沿着第二导引件31滑动。为使移动构件40相对于支撑件30自动地移动，可在支撑件30上设置定子32， 并在移动构件40中设置动子42。定子32沿支撑件30的长度方向延伸预定长度。动子42 设置于对应于支撑件30的定子32的位置。这样，移动构件40可通过定子32与动子42之间的电磁相互作用而移动。换句话说，可以在支撑件30与移动构件40之间设置线性马达， 所述线性马达包括由永磁铁制成的定子32以及由电磁线圈制成的动子42。但是在本发明中，用于使移动构件40自动移动的装置并不局限于线性马达。可以将例如滚珠丝杠装置、 利用液压或气压的传动装置等的各种线性传动装置用作使移动构件40自动移动的装置。每个反作用力传递构件50包括与支撑件30联接的第一部分51以及与底座10联接的第二部分52。可以借助于诸如螺帽和螺栓的独立紧固构件或来实现第一部分51与支撑件30的联接以及第二部分52与底座10的联接，或者可以将第一部分51与支撑件30以及第二部分52与底座10焊接在一起。如图1所示，在此实施例中，反作用力传递构件50 分别紧固至支撑件30的相对端部。本发明并不局限于此。例如，本发明可以配置为单个反作用力传递构件50紧固至支撑件30。在具有上述构造的本发明中，当移动构件40沿X轴移动时，在支撑件30上沿着与移动构件40移动的方向相反的方向即X轴负方向产生反作用力。因此，所述力沿X轴负方向施加于支撑件30。此力借助于与支撑件30联接的反作用力传递构件50而传递至底座 10。这样，由移动构件40的移动而产生的反作用力经由支撑件30和反作用力传递构件50 而传递至底座10，并最终由底座10吸收。支撑件30可能由于移动构件40的移动所产生的反作用力而移动预定的距离。在此情况下，经由反作用力传递构件50传递至底座10的力的强度是由移动构件40的移动所产生的整个力的强度减去支撑件30移动预定距离所用的力的强度的结果。另外，在支撑件 30移动一定的距离的情况下，与支撑件30联接的反作用力传递构件50的第一部分51可能沿着支撑件30移动的方向移动。由此，反作用力传递构件50可能沿其长度方向伸长。同时，从反作用力传递构件50传递至底座10的力的强度，以及支撑件30对于移动构件40的移动的移动比例，可以根据反作用力传递构件50的刚性或弹性而变化。因此， 可以通过调整反作用力传递构件50的刚性或弹性来控制从反作用力传递构件50传递至底座10的力的强度以及支撑件30的移动比例。可以通过将每个反作用力传递构件50替换成具有不同材料刚性的另一反作用力传递构件50来调整每个反作用力传递构件50的刚性或弹性。在根据本发明的输送单元中，可以通过测试或仿真来获得能够根据移动构件40的重量而使输送单元的震动最小化的反作用力传递构件50的刚性或弹性。由此，可以通过根据移动构件40的重量来调整反作用力传递构件50的刚性或弹性而使输送单元的震动最小化。此外，从反作用力传递构件50传递至底座10的力的强度，以及支撑件30对于移动构件40的移动的移动比例，可以根据反作用力传递构件50的数量而变化。因此，可以通过调整反作用力传递构件50的数量来控制从反作用力传递构件50传递至底座10的力的强度以及支撑件30的移动比例。在根据本发明的输送单元中，可以通过测试或仿真来获得能够根据移动构件40的重量而使输送单元的震动最小化的反作用力传递构件50的数量。 由此，可以通过根据移动构件40的重量来调整反作用力传递构件50的数量而使输送单元的震动最小化。照此，根据本发明的第一个实施例的输送单元凭借具有以下的结构而能够减小由于移动构件40的移动导致的反作用力所产生的震动在所述结构中，其上以可移动的方式支撑有移动构件40的支撑件30与框架20联接，以便能沿与移动构件40移动的方向相反的方向移动；并且支撑件30借助反作用力传递构件50而与底座10连接，从而将由移动构件40的移动所产生的反作用力传送至底座10并由底座10吸收。此外，可以通过调整反作用力传递构件50的刚性或弹性和/或反作用力传递构件 50的数量，来控制从反作用力传递构件50传递至底座10的力的强度以及支撑件30的移动比例。因此，可以通过对反作用力传递构件50的刚性或弹性和/或反作用力传递构件50 的数量进行优化来减少输送单元的震动或使输送单元的震动最小化。下文将结合图3至图6详细描述根据本发明的第二个实施例的输送单元。在对第二个实施例的描述中，将使用相同的附图标记来指代与第一个实施例中相同的元件，并且不再作进一步说明。如图3所示，根据本发明第二个实施例的输送单元还包括设置在每个反作用力传递构件50与支撑件30之间的位置调节装置70。位置调节装置70调节反作用力传递构件 50的第一部分51与支撑件30所联接的位置。
如图4所示，位置调节装置70包括移动构件71、导引构件72和调节构件73。移动构件71紧固至反作用力传递构件50。导引构件72紧固至支撑件30并与移动构件71连接，用以在移动构件71移动时导引移动构件71。调节构件73沿着导引构件72移动所述移动构件71。可以按照与滚珠丝杠装置相同的方式来配置导引构件72和调节构件73。可将马达用作调节构件73。另外，本发明的位置调节装置70并不局限于滚珠丝杠装置。换句话说，可将例如线性马达、利用液压或气压的传动装置等的各种线性传动装置用作移动所述移动构件71的装置。在具有上述构造的第二个实施例中，如图5和图6所示，可以通过操作调节构件73 而使移动构件71移动的方式来调节反作用力传递构件50的第一部分51与支撑件30联接的位置。这里，由于在反作用力传递构件50的第一部分51的位置变化时反作用力传递构件50的第二部分52是紧固于底座10的，所以反作用力传递构件50可能沿第一部分51移动的方向弯曲预定角度。因此，将用于使反作用力传递构件50回到其原始形状的回复力施加于反作用力传递构件50。可以利用施加于反作用力传递构件50的回复力来控制从反作用力传递构件50传递至底座10的力的强度以及支撑件30因反作用力的移动比例。由此， 可以控制输送单元上所产生的震动的强度。在待输送的物体安装于输送单元的移动构件40之后移动构件40沿着框架20的长度方向移动时，由移动构件40的移动所产生的反作用力的强度与物体和移动构件40的总重量成正比。要安装至输送单元的移动构件40的物体并不具有相同的重量。换句话说， 在将安装于移动构件40的物体更换成另一物体时，两个物体的重量可能根据情况而有所不同。因此，在将安装于移动构件40的物体更换成具有不同重量的另一物体时，优选的是执行将输送单元所受震动最小化的过程。所述将震动最小化的过程包括在对移动所述移动构件40进行测试的同时检测施加于框架20或输送单元的部件的震动强度，并根据所检测到的震动强度来控制反作用力传递构件50的刚性或弹性以及反作用力传递构件50的数 Mo如果每当在将安装于移动构件40的物体更换成另一具有不同重量的物体时都需要改变反作用力传递构件50的数量或用另一具有不同刚性的反作用力传递构件来替换反作用力传递构件50，则执行整个阵列测试过程可能会花费较多的时间，并且所述过程可能也是复杂的。然而，在根据以下将描述的第二个实施例和第三个实施例的输送单元中，可以通过位置调节装置70和/或80来调节反作用力传递构件50与支撑件30所联接的位置和 /或反作用力传递构件50与底座10所联接的位置。这样，通过用简单的方法来控制施加于反作用力传递构件50的回复力，可以轻松地控制输送单元上所产生的震动。由此，能够解决要花费很长时间来执行整个阵列测试过程并使过程复杂化的问题。下文将结合图7和图8来描述根据本发明的第三个实施例的输送单元。在对第三个实施例的输送单元的描述中，将使用相同的附图标记来指代与第二个实施例中相同的元件，并且不再作进一步说明。如图7所示，根据本发明的第三个实施例的输送单元还包括设置于每个反作用力传递构件50的第二部分50与底座10之间的位置调节装置80。位置调节装置80调节反作用力传递构件50的第二部分52与底座10所联接的位置。如图8所示，位置调节装置80包括移动构件81、导引构件82和调节构件83。移动构件81紧固至反作用力传递构件50。导引构件82紧固至底座10并与移动构件81连接， 用以在移动构件81移动时导引移动构件81。调节构件83沿着导引构件82移动所述移动构件81。可以按照与滚珠丝杠装置相同的方式来配置导引构件82和调节构件83。可以将马达用作调节构件83。另外，本发明的位置调节装置80并不局限于滚珠丝杠装置，换句话说，可以将例如线性马达、利用液压或气压的传动装置等的各种线性传动装置用作移动所述移动构件81的装置。在具有上述构造的第三个实施例中，可以利用操作调节构件83而移动所述移动构件81的方式来调节反作用力传递构件50的第二部分52与底座10所联接的位置。由于在反作用力传递构件50的第二部分52的位置变化时反作用力传递构件50的第一部分51 是紧固于支撑件30的，因此反作用力传递构件50可能沿第二部分52移动的方向弯曲预定角度。因此，将用于使反作用力传递构件50回到其原始形状的回复力施加于反作用力传递构件50。可以利用施加于反作用力传递构件50的回复力来控制从反作用力传递构件50传递至底座10的反作用力的强度以及支撑件30因反作用力而移动的移动比例。由此，可以控制输送单元上所产生的震动的强度。照此，在根据本发明的第三个实施例的输送单元中，可以通过调节反作用力传递构件50的第二部分52与底座10所联接的位置来控制施加至反作用力传递构件50的回复力。由此，可以将输送单元上所产生的震动最小化。根据本发明第三个实施例的输送单元的其它效果与根据本发明第二个实施例的输送单元相同。下文将结合图9具体描述根据本发明的阵列测试装置。如图9所示，根据本发明的阵列测试装置包括底座10、测试玻璃面板的测试单元 120、将玻璃面板加载到测试单元120上的加载单元130、以及从测试单元120卸载玻璃面板的卸载单元140。测试单元120测试玻璃面板的电缺陷或光学缺陷。测试单元120包括透光支撑板121，由加载单元130加载的玻璃面板置于所述透光支撑板121上；测试模块122，所述测试模块122测试置于透光支撑板121上的玻璃面板；以及探针组件123，所述探针组件123 向置于透光支撑板121上的玻璃面板的电极施加电信号。测试模块122设置于透光支撑板121上方，并由沿与玻璃面板的输送方向相垂直的方向而延伸预定长度的框架20支撑。测试模块122可沿着框架20在X轴方向移动。在示例性的实施例中，测试模块122可以包括沿着框架20延伸的方向(X轴方向)而布置的多个测试模块122。另外，测试模块122位于置于透光支撑板121上的玻璃面板的上方，并且其作用是测试玻璃面板的缺陷。每个测试模块122包括靠近置于透光支撑板121上的玻璃面板的调制器125，以及对调制器125摄像的摄像单元126。这样的测试单元分为利用光反射法的测试单元和利用光透射法的测试单元两种类型。在反射法中，光源与测试模块122放置在一起，并且测试模块122的调制器125上设置有反射层。这样，可以通过测量在光源发出的光进入调制器125之后从调制器125的反射层反射的光量，来确定玻璃面板是否有缺陷。至于透射法，光源设置在透光支撑板121下方，从而通过测量由调制器125透过的发射自光源的光量来确定玻璃面板是否有缺陷。根据本发明的阵列测试装置的测试单元120可以采用光反射法或者光透射法。
测试模块122的调制器125具有根据玻璃面板与调制器125之间产生的电场大小而改变光的反射率(在光反射法的情况中)或光的透射率(在光透射法的情况中)的电光材料层。电光材料层由具有根据玻璃面板和调制器125通电时所产生的电场而变化的特定物理特性的材料制成，从而使进入调制器125的光的反射率或透射率可变化。优选地，电光材料层由PDLC(聚合物分散液晶)制成，所述PDLC的特征是其分子取向根据电场的强度而变化，以将入射光偏振到相应的角度。加载单元130的作用是支撑待测玻璃面板，并将玻璃面板输送至测试单元120。卸载单元140的作用是支撑已测试的玻璃面板，并从测试单元120输送经测试的玻璃面板。加载单元130和卸载单元140中的每一个包括设置在彼此间隔预定间距的位置处并支撑其上的玻璃面板的支撑板150，以及输送玻璃面板的玻璃面板输送单元160。另外，根据本发明的阵列测试装置还包括支撑件30，所述支撑件30以能沿着框架20的长度方向(X轴方向)移动的方式与框架20联接；移动构件40，所述移动构件40以能沿着框架20的长度方向(X轴方向)移动的方式与支撑件30联接；以及反作用力传递构件50，所述反作用力传递构件50将支撑件30与底座10连接，并将由移动构件40的移动所产生的反作用力传递至底座10。理想的是在底座10与框架20之间设置减震器60。每个减震器60可以包括由诸如橡胶或合成树脂的弹性材料制成的构件、弹簧、液压或气压减振器、或内部具有预定压力的管子。减震器60的作用是防止将传递至底座10的反作用力重新传递给框架20。支撑件30以能沿着设置在框架20上的第一导引件21滑动而与框架20联接，并沿着框架20的长度方向延伸预定长度。移动构件40与测试模块122连接，并且其作用是沿着框架20的长度方向(X轴方向)移动测试模块122。可将例如线性马达、滚珠丝杠装置、利用液压或气压的传动装置等的各种线性传动装置设置于移动构件40与支撑件30之间作为自动移动所述移动构件40 的装置。在对根据本发明的第一个实施例的输送单元的说明中，可以将每个反作用力传递构件50配置为使得其第一端部紧固至支撑件30并且其第二端部紧固至底座10。替代地， 可以将反作用力传递构件50配置为使得其一个端部借助于位置调节装置70或80而联接至支撑件30或底座10，所述位置调节装置70或80在根据本发明的第二个或第三个实施例的输送单元的说明中详细描述过。通过调整反作用力传递构件50的刚性和/或反作用力传递构件50的数量，可以控制从反作用力传递构件50传递至底座10的力的强度以及支撑件30的移动比例。因此， 可以减少输送单元和阵列测试装置的震动。如上所述，在根据本发明的输送单元中，支撑件支撑在框架上，移动构件以可移动的方式与所述支撑件联接。支撑件可沿着与移动构件所移动的方向相反的方向移动。支撑件经反作用力传递构件与底座连接，从而经由反作用力传递构件而将移动构件移动时所产生的反作用力传递至底座并由底座吸收。由此，可以降低由于移动构件的移动导致的反作用力所产生的震动。另外，在本发明的输送单元中，通过调节反作用力传递构件的第一部分与支撑件所联接的位置，可以将减少输送单元的震动的反作用力传递构件的刚性设置到最佳值。
此外，通过调节反作用力传递构件的第二部分与底座所联接的位置，可以将减少输送单元的震动的反作用力传递构件的刚性设置到最佳值。虽然仅示出并描述了本发明的示意性实施例，但是本领域技术人员将会清楚，在不脱离由所附权利要求所确定的本发明范围和实质的情况下，可以在形式和细节上进行各种变化。本发明的技术主旨可以独立地实施，也可以彼此结合。
权利要求
1.一种输送单元，包括 底座；框架，所述框架由所述底座支撑； 支撑件，所述支撑件以可移动的方式支撑在所述框架上； 移动构件，所述移动构件以可移动的方式与所述支撑件联接；以及反作用力传递构件，所述反作用力传递构件包括与所述支撑件联接的第一部分以及与所述底座联接的第二部分。
2.根据权利要求1所述的输送单元，还包括设置在所述底座与所述框架之间的减震ο
3.根据权利要求1或2所述的输送单元，还包括设置在所述反作用力传递构件的第一部分与所述支撑件之间的位置调节装置，所述位置调节装置调节所述反作用力传递构件的第一部分与所述支撑件所连接的位置。
4.根据权利要求1或2所述的输送单元，还包括设置在所述反作用力传递构件的第二部分与所述底座之间的位置调节装置，所述位置调节装置调节所述反作用力传递构件的第二部分与所述底座所连接的位置。
5.一种阵列测试装置，包括 底座；框架，所述框架由所述底座支撑，所述框架延伸预定长度； 支撑件，所述支撑件以能沿所述框架的长度方向移动的方式与所述框架联接； 移动构件，所述移动构件以能沿所述框架的长度方向移动的方式与所述支撑件联接； 测试模块，所述测试模块与所述移动构件连接，所述测试模块测试玻璃面板的缺陷；以及反作用力传递构件，所述反作用力传递构件将所述支撑件与所述底座连接。
6.根据权利要求5所述的阵列测试装置，还包括设置在所述底座与所述框架之间的减震器。
7.根据权利要求5或6所述的阵列测试装置，还包括设置在所述支撑件与所述反作用力传递构件之间的位置调节装置，所述位置调节装置调节所述反作用力传递构件与所述支撑件所连接的位置。
8.根据权利要求5或6所述的阵列测试装置，还包括设置在所述底座与所述反作用力传递构件之间的位置调节装置，所述位置调节装置调节所述反作用力传递构件与所述底座所连接的位置。
全文摘要
本发明提供一种用于将物体输送至预定位置的输送单元以及具有所述输送单元的阵列测试装置。物体安装于移动构件。反作用力传递构件将由移动所述移动构件所产生的反作用力传递至底座，从而减少输送单元的震动。
文档编号B65G49/05GK102408012SQ201010556740
公开日2012年4月11日 申请日期2010年11月24日 优先权日2010年9月17日
发明者朴种贤 申请人:塔工程有限公司