本发明涉及基板搬运装置，尤其是涉及沿着导轨来搬运电子电路基板的基板搬运装置。
背景技术：
以往，已知有在电子电路基板的制造线中沿着导轨进行基板搬运的基板搬运装置。这样的基板搬运装置例如在日本专利第5084661号公报中公开。
上述日本专利第5084661号公报中公开了一种基板搬运装置，具备在与搬运方向正交的基板宽度方向上相向的一对导轨及分别设于一对导轨且沿着搬运方向搬运基板的一对输送器。一对导轨由固定轨道和可动轨道构成，可动轨道通过气缸向固定轨道侧移动。由此，上述日本专利第5084661号公报的基板搬运装置通过在可动轨道与固定轨道之间夹入基板，矫正基板的水平面内的倾斜、基板宽度方向的错位而进行定位。
而且，该基板搬运装置为了可动轨道能够均等地按压基板的侧端面(平行地夹入基板)，而设置多个气缸和多个位移传感器，基于各位移传感器的检测结果来精密地调整多个气缸的各自的空气压。
专利文献1：日本专利第5084661号公报
技术实现要素：
然而，在以往的基板搬运装置中，有时采用对应于搬运的基板的宽度而使一对导轨(及一对输送器)的间隔可变的结构，在这种情况下，在上述日本专利第5084661号公报中，除了轨道间隔的可变机构之外，还需要设置用于使可动轨道移动的机构(气缸或位移传感器等)，因此存在元件个数增加而装置结构复杂化这样的问题点。而且，根据在上述日本专利第5084661号公报的基板搬运装置中需要设置多个气缸及多个位移传感器的情况可知，在通过空气压控制而使可动轨道移动的结构中，也存在难以平行地按压基板而难以高精度地矫正基板的水平面内的倾斜这样的问题点。
本发明为了解决上述那样的课题而作出，本发明的1个目的在于提供一种不使装置结构复杂化而能够容易地进行基板的倾斜矫正的基板搬运装置。
为了实现上述目的，本发明的一方案的基板搬运装置具备：输送部，沿搬运方向搬运基板；第一导轨及第二导轨，在与搬运方向正交的基板宽度方向上隔开间隔而相互平行地设置；电动机，在基板宽度方向上使第一导轨相对于第二导轨相对地平行移动；及控制部，构成为进行使第一导轨相对于第二导轨相对移动的控制，以使第一导轨与第二导轨之间的轨道间隔成为比基板的宽度大的第一间隔而通过输送部进行基板搬运，并且基于电动机的检测值，使轨道间隔成为比第一间隔小的第二间隔而矫正基板的倾斜。
在该发明的一方案的基板搬运装置中，如上所述，设置控制部，该控制部构成为进行使第一导轨相对于第二导轨相对移动的控制，以使第一导轨与第二导轨之间的轨道间隔成为比基板的宽度大的第一间隔而通过输送部进行基板搬运，并基于电动机的检测值，使轨道间隔成为比第一间隔小的第二间隔来矫正基板的倾斜，由此，在基板搬运时，能够通过成为与在轨道间隔内被搬运的基板的宽度对应的搬运用的第一间隔并基于电动机的检测值将轨道间隔调整为第二间隔的控制来实施基板的倾斜矫正。由此，用于对应于搬运的基板宽度而调整轨道间隔的电动机(轨道间隔调整用电动机)及机构与用于进行基板的倾斜矫正的电动机及机构能够共用，因此装置结构不会复杂化。而且，根据基于电动机的检测值而控制轨道间隔的本发明，与利用了使用空气压的精密的位置控制困难的轨道移动手段的结构不同，能够容易地进行基板的倾斜矫正。如以上所述，根据本发明，不会使装置结构复杂化，而能够容易地进行基板的倾斜矫正。
在上述一方案的基板搬运装置中，优选的是，电动机是包含编码器的伺服电动机，控制部构成为，基于伺服电动机的编码器的输出值，使第一导轨以向第二导轨接近基板的宽度尺寸与第一间隔的差量的方式相对移动，由此使轨道间隔成为第二间隔。若如此构成，则基于伺服电动机的位置检测值(编码器的输出值)，能够容易地使轨道间隔对应于基板的宽度尺寸(第二间隔)而进行基板的倾斜矫正。
在上述一方案的基板搬运装置中，优选的是，控制部构成为，使第一导轨以接近第二导轨的方式相对移动，基于电动机的电流值是否为第一阈值以上而使第一导轨的相对移动停止，由此使轨道间隔成为第二间隔。在此，通过相对移动而在第一导轨与第二导轨之间夹持基板时，第一导轨无法进一步接近第二导轨侧，因此为了产生更大的转矩而电动机的电流值上升。因此，基于该电动机电流值达到第一阈值的情况，能够可靠地检测在第一导轨与第二导轨之间夹有基板的情况(基板的倾斜被矫正的情况)。由此，例如即使在各个基板的尺寸以制造上的误差为起因而变动的情况下，也能够可靠地将基板夹入到轨道间而进行倾斜矫正。
在上述一方案的基板搬运装置中，优选的是，控制部构成为进行如下控制：使第一导轨以接近第二导轨的方式相对移动，将电动机的电流值维持在用于通过第一导轨和第二导轨以预定压力按压基板的第二阈值附近，由此将基板固定。若如此构成，则不仅将基板夹入到轨道间进行倾斜矫正，而且通过将在轨道间按压基板而将基板固定时产生的电动机的电流值用作第二阈值，能够容易地固定基板。由此，在基板搬运装置上进行电路基板的制造工序上的各种作业(元件安装、外观检查等)的情况下，无需设置用于将基板固定的固定机构而能够防止作业中的基板的错位。
在上述一方案的基板搬运装置中，优选的是，还具备压力检测部，该压力检测部设置在第一导轨及第二导轨中的至少一方，检测与基板的接触压力，控制部构成为进行如下控制：使第一导轨以接近第二导轨的方式相对移动，基于电动机的检测值及压力检测部的检测值，通过第一导轨和第二导轨以预定压力按压基板来进行固定。若如此构成，则除了电动机的检测值之外，还能够检测并监视基板与轨道的接触压力，因此即使在进行例如薄型的电路基板等的搬运的情况下，不会使夹入于轨道间的基板挠曲而能够进行基板的倾斜矫正及固定。
在上述一方案的基板搬运装置中，优选的是，第一导轨及第二导轨中的至少一方具有突出部，该突出部为了使搬运方向的预定的作业区域的轨道间隔比作业区域以外的轨道间隔小而在作业区域向基板宽度方向内侧突出。若如此构成，则在使作业区域的轨道间隔成为第二间隔而进行了基板的倾斜矫正的状态下，也能够使作业区域以外的轨道间隔大于第二间隔。由此，在作业区域以外，在基板与第一导轨及第二导轨之间能够设置充分的间隙，因此在作业区域能够进行基板的倾斜矫正，并且在作业区域以外能够进行后续的基板的搬入、先行的基板的搬出。其结果是，即使在变更轨道间隔而进行基板的倾斜矫正的结构中，也能够缩短基板的搬入搬出所需的时间，能够实现所谓节拍时间的缩短。
在这种情况下，优选的是，从基板的搬入位置到作业区域的搬入区域和从作业区域到基板的搬出位置的搬出区域中的轨道间隔比具有突出部的作业区域中的轨道间隔大。若如此构成，则能够在作业区域进行基板的倾斜矫正，并将后续的基板搬入至作业区域之前而等待，并且，能够在作业区域进行基板的倾斜矫正并进行先行的基板的搬出。
在上述设有突出部的结构中，优选的是，突出部以与突出部以外的部分的边界平滑地连续的方式形成。若如此构成，则即使在为了减小作业区域的轨道间隔而设置突出部的情况下，在轨道间搬运的基板也不会卡挂于突出部而能够防止突出部成为基板搬运的妨碍。
在上述一方案的基板搬运装置中，优选的是，第一导轨具有作业轨道部，该作业轨道部包含搬运方向的预定的作业区域，并且与作业区域以外的部分另行设置，电动机构成为，分别设置在作业轨道部和作业轨道部以外的部分，并且使作业轨道部和作业轨道部以外的部分沿基板宽度方向分别移动。若如此构成，则在使作业区域的轨道间隔成为第二间隔而进行了基板的倾斜矫正的状态下，能够使作业区域以外的轨道间隔比第二间隔增大，因此能够在作业区域进行基板的倾斜矫正，并在作业区域以外进行后续的基板的搬入、先行的基板的搬出。由此，即使在变更轨道间隔而进行基板的倾斜矫正的结构中，也能够缩短基板的搬入搬出所需的时间，能够实现所谓节拍时间的缩短。
在这种情况下，优选的是，第一导轨还具有：搬入轨道部，包括从基板的搬入位置到作业区域的搬入区域；及搬出轨道部，包括从作业区域到基板的搬出位置的搬出区域，电动机构成为，分别设于作业轨道部、搬入轨道部、搬出轨道部，并且使作业轨道部、搬入轨道部、搬出轨道部沿基板宽度方向分别移动。若如此构成，则能够在作业区域进行基板的倾斜矫正，并将后续的基板搬入至作业区域之前而等待，并且，能够在作业区域进行基板的倾斜矫正并进行先行的基板的搬出。
发明效果
根据本发明，如上所述，不使装置结构复杂化而能够容易地进行基板的倾斜矫正。
附图说明
图1是概略性地表示本发明的第一及第二实施方式的基板搬运装置的整体结构的俯视图。
图2是从搬运方向上游侧观察本发明的第一及第二实施方式的基板搬运装置的示意性的侧视图。
图3是用于说明本发明的第一及第二实施方式的基板搬运装置的倾斜矫正动作的图。
图4是用于说明本发明的第一实施方式的基板搬运装置的基板的搬入搬出处理的流程图。
图5是用于说明本发明的第二实施方式的基板搬运装置的基于电动机电流值的控制的图。
图6是用于说明本发明的第二实施方式的基板搬运装置的基板的搬入搬出处理的流程图。
图7是概略性地表示本发明的第三实施方式的基板搬运装置的整体结构的俯视图。
图8是用于说明本发明的第三实施方式的基板搬运装置的基于电动机电流值的控制的图。
图9是用于说明本发明的第三实施方式的基板搬运装置的基板的搬入搬出处理的流程图。
图10是概略性地表示本发明的第四实施方式的基板搬运装置的整体结构的俯视图。
图11是概略性地表示本发明的第五实施方式的基板搬运装置的整体结构的俯视图。
图12是用于说明本发明的第五实施方式的基板搬运装置的倾斜矫正动作的图。
图13是用于说明本发明的第五实施方式的基板搬运装置的基板的搬入搬出处理的流程图。
图14是概略性地表示本发明的第六实施方式的基板搬运装置的整体结构的俯视图。
图15是概略性地表示具备本发明的第七实施方式的基板搬运装置的外观检查装置的整体结构的俯视图。
具体实施方式
以下，基于附图，说明本发明的实施方式。
(第一实施方式)
首先，参照图1～图3，说明本发明的第一实施方式的基板搬运装置100的构造。
如图1所示，本实施方式的基板搬运装置100设置为基板制造线的一部分，是对基板制造工艺的制造中的印制电路基板(以下，称为“基板”)CB进行搬运的装置。
作为基板制造工艺的概要，首先，在形成有配线图案的基板CB上，通过焊料印刷装置(未图示)以预定的图案进行焊料糊剂的印刷(涂敷)(焊料印刷工序)。接下来，通过表面安装机(未图示)向焊料印刷后的基板CB搭载(安装)电子元件(安装工序)。然后，将安装完的基板CB向回流炉(未图示)搬运而进行焊料的熔融及固化(冷却)(回流工序)，由此将电子元件的端子部相对于基板CB的配线进行焊料接合。由此，将电子元件以相对于配线进行了电连接的状态固定在基板CB上，基板制造完成。而且，在上述的各工序的前后，有时通过基板检查装置(未图示)进行基板CB的检查。例如是焊料印刷工序后的基板上的焊料的印刷状态的检查、安装工序后的电子元件的安装状态的检查、回流工序后的电子元件的安装状态的检查等。
基板搬运装置100被装入为担任上述的各工序的焊料印刷装置、表面安装机及基板检查装置等的基板搬运部，除了进行各装置的基板CB的搬入搬出之外，还具有在各工序的作业(焊料印刷、元件安装、检查)实施时将基板CB定位并保持(固定)于预定的作业区域的功能。即，在这些装置中，基板搬运装置100以由基板搬入、基板保持(各装置的作业实施)及基板搬出构成的一连串的动作为单位，发挥将向基板制造线供给的基板CB依次搬运的功能。
如图1所示，基板搬运装置100主要具备：沿搬运方向X搬运基板CB的输送部1；对基板搬运进行引导的一对导轨(可动轨道2及固定轨道3)；使可动轨道2沿着与搬运方向X正交的基板宽度方向Y移动的电动机4及驱动机构5；进行包括电动机4的各部的控制的控制部6。而且，基板搬运装置100具备使基板CB停止于作业区域A的止动机构7；及将配置于作业区域A的基板CB固定的夹紧机构8。以下，说明基板搬运装置100的具体的构造。另外，可动轨道2及固定轨道3分别是本发明的“第一导轨”及“第二导轨”的一例。
输送部1由例如电动机(未图示)驱动的传送带等构成，以载放(支撑)基板CB的Y方向的两端而沿搬运方向X搬运的方式设置一对。这一对输送部1分别设于可动轨道2和固定轨道3。输送部1在上游端(X1方向端部)的搬入位置处，从基板制造线的上游侧的装置接受搬入基板CB。并且，输送部1从下游端(X2方向端部)的搬出位置搬出基板CB，并向基板制造线的下游侧的装置交接基板CB。
构成一对导轨的可动轨道2及固定轨道3沿着与搬运方向X正交的基板宽度方向Y隔开间隔而相互平行地设置。上述的可动轨道2及固定轨道3都沿着搬运方向X呈直线状地延伸形成。如图2所示，可动轨道2及固定轨道3不仅包括对基板CB进行引导的引导部分，也包括与设置面正交地设置的腿部。并且，在上述的可动轨道2及固定轨道3上设有上述的一对输送部1。
如图1及图2所示，可动轨道2配置在基板搬运装置100的一侧(Y1方向侧)，能够沿基板宽度方向Y(Y方向)移动。具体而言，可动轨道2设置在由设于设置面上的沿Y方向延伸的滑动轨道21和滑动件22构成的直动机构上(滑动件22上)。而且，固定轨道3配置在基板搬运装置100的另一侧(Y2方向侧)，固定地设置在设置面上。在上述的可动轨道2及固定轨道3分别设有夹紧机构8。
夹紧机构8包括：以沿着搬运方向延伸的方式设置的升降部81；在导轨(可动轨道2及固定轨道3)的上表面上以朝向Y方向内侧突出的方式设置的卡定部82。升降部81通过气缸(未图示)等能够升降，进行将输送部1上的基板CB的Y方向两缘部从下方向上方压起的夹紧动作。由升降部81压起的基板CB的上表面侧与卡定部82抵接，由升降部81和卡定部82沿上下方向(Z方向)夹入，从而被夹紧(固定)。
而且，在固定轨道3设有止动机构7。止动机构7通过气缸(未图示)等能够升降，在下降位置处不与在输送部1上被搬运的基板CB接触，在上升位置处与在输送部1上搬运的基板CB接触。由此，当使止动机构7上升时，基板CB在X2方向侧端面的固定轨道3侧(Y2方向侧)的位置处与止动机构7接触，基板CB的搬运方向的位置被定位在作业区域A内。另外，在第一实施方式中，止动机构7未设于可动轨道2，仅设于固定轨道3。
电动机4具有使可动轨道2在基板宽度方向Y上相对于固定轨道3相对地平行移动的功能。该电动机4是具有编码器41的伺服电动机，通过控制部6进行基于编码器41的输出值的位置控制。而且，驱动机构5由具有带51及滑轮52的带-滑轮机构构成。
具体而言，电动机4的输出轴经由架设于滑轮52之间的带51而与一对滚珠丝杠轴53连结。一对滚珠丝杠轴53以沿着Y方向相互平行地延伸的方式设置，与固定于可动轨道2的滚珠螺母(未图示)螺合。另外，虽然未图示，但是固定轨道3以避让滚珠丝杠轴53的方式形成。通过这样的结构，电动机4经由驱动机构5来驱动一对滚珠丝杠轴53旋转，由此使与滚珠丝杠轴53螺合的可动轨道2沿Y方向平行移动(直线移动)。
控制部6是进行电动机的驱动控制的电动机控制单元，具有进行输送部1的驱动用电动机(输送轴)的驱动控制并进行可动轨道2的驱动用的电动机4(轨道间隔调整轴)的驱动控制的功能。在本实施方式中，控制部6除了进行以成为与搬入的各种基板CB的宽度尺寸W(Y方向尺寸)对应的轨道间隔(Y方向的间隔)的方式使可动轨道2进行Y方向移动的控制之外，还进行通过可动轨道2的Y方向移动来矫正搬运到作业区域A的基板CB的水平面内(X-Y面内)的倾斜的控制。因此，基板搬运装置100通过共用的电动机4进行与基板CB的宽度尺寸W对应的轨道间隔调整和基板CB的倾斜矫正这两方。
具体而言，如图1所示，控制部6以使可动轨道2与固定轨道3之间的轨道间隔成为比基板CB的宽度大的第一间隔D1并通过输送部1进行基板搬运的方式使可动轨道2移动。第一间隔D1是搬运的基板CB的宽度尺寸W加上预先设定的预定量C而得到的间隔(D1＝W+C)。该预定量是为了顺畅地进行基板搬运而设置在基板CB与导轨(可动轨道2及固定轨道3)之间的间隙，例如设定为C＝0.5mm左右(单侧0.25mm左右)。控制部6在基板搬运时，以使轨道间隔成为与搬运的宽度尺寸W对应的第一间隔D1的方式使可动轨道2移动。另外，在附图上，为了简便起见，夸张地示出预定量C的大小。
在此，如上所述，止动机构7仅设置在固定轨道3侧，因此若基板CB与止动机构7接触，则基板CB以将止动机构7作为中心而在水平面内转动的方式倾斜(参照图1的双点划线)。在基板搬运时，轨道间隔成为第一间隔D1而沿Y方向存在富余度，因此基板CB能以与第一间隔D1的状态的可动轨道2及固定轨道3分别接触的状态为限度而倾斜。
因此，在第一实施方式中，如图3所示，控制部6基于电动机4的检测值，进行以使轨道间隔成为比第一间隔D1小的第二间隔D2而矫正基板CB的倾斜的方式使可动轨道2相对于固定轨道3移动的控制。更详细而言，在第一实施方式中，控制部6基于电动机4的编码器41的输出值，使可动轨道2以向固定轨道3接近基板CB的宽度尺寸W与第一间隔D1的差量(即，预定量C)的方式移动，由此使轨道间隔成为第二间隔D2。将轨道间隔缩窄至成为与基板CB的宽度尺寸W大体一致的第二间隔D2的结果是，以在可动轨道2及固定轨道3之间使基板CB成为与轨道大致平行的状态的方式矫正基板CB的倾斜。
接下来，参照图4，说明本发明的第一实施方式的基板搬运装置100的包括倾斜矫正动作的一连串的搬入搬出的处理。
如图4的步骤S1所示，首先，从搬运方向上游端的搬入位置将基板CB向输送部1搬入。此时，控制部6对应于搬入的基板CB的宽度尺寸W而预先使轨道间隔成为第一间隔D1。
接下来，在步骤S2中，控制部6将基板CB搬运至作业区域A并使其停止。即，将基板CB搬运至与上升位置的止动机构7抵接为止。由此，基板CB的搬运方向的位置被定位在作业区域A内的预定位置。而且，通过与止动机构7的抵接，基板CB以止动机构7为中心转动而成为倾斜的姿势(参照图1的双点划线)。
在步骤S3中，控制部6通过基于编码器41的输出值的位置控制，使可动轨道2向Y2方向移动基板CB的宽度尺寸W与第一间隔D1的差量(即，预定量C)，并且在移动了预定量C之后，在步骤S4中，使可动轨道2停止。其结果是，如图3所示，轨道间隔成为与基板CB的宽度尺寸W大致相等的第二间隔D2，从而矫正基板CB的倾斜。
之后，在图4的步骤S5中，夹紧机构8动作，基板CB被固定在作业区域A内的预定位置。在步骤S6中，通过控制部6，判断是否开始搬出。例如，在基板搬运装置100被装入到表面安装机或基板检查装置的情况下，在预定的作业(元件安装或检查)结束之后，指示搬出开始的控制信号向控制部6输出。控制部6在步骤S6中等待控制信号的输入，当接收到控制信号时，判断为搬出开始，进入步骤S7以后的处理。
在步骤S7中，将基于夹紧机构8的固定(夹紧)解除。并且，在步骤S8中，通过输送部1将基板CB从搬运方向下游端的搬出位置搬出。通过以上所述，实施基板搬运装置100的一连串的搬入搬出处理。
在第一实施方式中，能够得到以下的效果。
在第一实施方式中，如上所述，设置控制部6，该控制部6进行如下的控制：以使可动轨道2与固定轨道3之间的轨道间隔成为比基板CB的宽度大的第一间隔D1而通过输送部进行基板CB搬运、并且基于电动机4的检测值使轨道间隔成为比第一间隔D1小的第二间隔D2而矫正基板CB的倾斜的方式，使可动轨道2相对于固定轨道3相对移动，由此，在基板搬运时，能够通过以使轨道间隔成为与搬运的基板CB的宽度尺寸W对应的搬运用的第一间隔D1的方式控制电动机4并且基于电动机4的检测值而将轨道间隔调整为第二间隔D2的控制来实施基板的倾斜矫正。由此，用于对应于搬运的基板CB的宽度尺寸W而调整轨道间隔的电动机(轨道间隔调整用电动机)及机构(驱动机构5)与用于进行基板的倾斜矫正的电动机及机构能够共用，因此不会使装置结构复杂化。而且，根据基于电动机4的检测值来控制轨道间隔的第一实施方式的基板搬运装置100，与利用使用空气压那样的难以进行精密的位置控制的轨道移动手段的结构不同，能够容易地进行基板CB的倾斜矫正。通过以上所述，在第一实施方式的基板搬运装置100中，不会使装置结构复杂化，而能够容易地进行基板CB的倾斜矫正。
而且，在第一实施方式中，如上所述，控制部6构成为，由包含编码器41的伺服电动机构成电动机4，基于电动机4的编码器41的输出值，使可动轨道2以向固定轨道3接近基板CB的宽度尺寸W与第一间隔D1的差量(预定量C)的方式移动，从而使轨道间隔成为第二间隔D2。由此，基于(伺服)电动机4的位置检测值(编码器41的输出值)，能够容易地使轨道间隔对应于基板CB的宽度尺寸W(第二间隔D2)而进行基板CB的倾斜矫正。
(第二实施方式)
接下来，参照图1～3、图5及图6，说明本发明的第二实施方式的基板搬运装置200。在第二实施方式中，与基于编码器41的输出值而使可动轨道2移动预定量C由此将轨道间隔变更为第二间隔D2的上述第一实施方式不同，说明进行基于电动机的电流值而将轨道间隔变更为第二间隔D2的控制的基板搬运装置的例子。另外，在第二实施方式中，装置结构与上述第一实施方式相同，因此使用同一附图标记并省略说明。
在第二实施方式中，基板搬运装置200的控制部106(参照图1)监视电动机4的驱动时的电流值，基于作为电动机4的检测值的电流值，进行基板CB的倾斜矫正的控制。具体而言，控制部106在进行倾斜矫正时，使可动轨道2以接近固定轨道3的方式移动，基于电动机4的电流值是否为第一阈值Th1以上而使可动轨道2的相对移动停止，由此使轨道间隔成为第二间隔D2。
电流值的第一阈值Th1设定为在可动轨道2与固定轨道3之间夹持有(接触有)基板CB的状态下使可动轨道2进一步向固定轨道3侧移动时产生的电流值的上升刚开始之后的值。关于该第一阈值Th1，使用图5的坐标图进行说明。
首先，在进行倾斜矫正时，控制部106以使可动轨道2以例如预定的固定速度沿Y2方向移动的方式对电动机4进行驱动。向基板宽度方向Y移动时的电动机4的负载大致固定，因此在达到了预定速度之后，电流值成为大致固定值。然后，若通过可动轨道2的移动而轨道间隔与基板宽度W一致，则通过在可动轨道2与固定轨道3之间夹持基板CB，基板CB的倾斜在轨道间被完全矫正，并且可动轨道2向Y2方向的移动受到基板CB的妨碍(电动机4的负载增大)。这以后，若使可动轨道2进一步向Y2方向侧移动，则产生更大的驱动转矩，因此电动机4的电流值上升。另外，在图5的坐标图中，第一阈值Th1以后的点线的部分以即使电流值达到第一阈值Th1之后也继续电动机4的驱动的情况的电动机电流值的变化为参考而表示。
因此，基于在可动轨道2与固定轨道3之间夹持基板CB之后的电动机4的电流值的上升，能够检测在可动轨道2与固定轨道3之间夹持基板CB的情况(基板的倾斜被矫正的情况)。第一阈值Th1能够基于实际进行了该控制的试验结果等来决定，并可靠地设定为能够对基板的倾斜进行矫正的电流值。并且，控制部106在电动机4的电流值成为第一阈值Th1以上的情况下，判断为轨道间隔成为第二间隔D2，使可动轨道2的移动(电动机4的驱动)停止。
第二实施方式的其他结构与上述第一实施方式相同。
接下来，参照图6，说明本发明的第二实施方式的基板搬运装置200的包括倾斜矫正动作的一连串的搬入搬出的处理。另外，在图6中，关于与图4所示的上述第一实施方式相同的处理，省略说明。
在图6的步骤S1中进行了基板搬入、在步骤S2中进行了基板停止之后，控制部106在步骤S11中使可动轨道2向固定轨道3侧(Y2方向)移动。并且，在步骤S12中，控制部106监视电动机4的电流值，判断电流值是否成为第一阈值Th1以上。控制部106使可动轨道2的移动持续至电流值达到第一阈值Th1为止。如上所述，若通过可动轨道2的Y2方向移动而在可动轨道2与固定轨道3之间夹持基板CB(轨道间隔成为第二间隔D2)，则电动机4的电流值上升，达到第一阈值Th1。
在电流值成为第一阈值Th1以上的情况下，控制部106判断为轨道间隔成为第二间隔D2，在步骤S13中，使可动轨道2停止。由此，基板CB的倾斜矫正完成。之后的步骤S5～S8的处理与上述第一实施方式相同。
在第二实施方式中，能得到以下的效果。
在第二实施方式中，如上所述，控制部106构成为，使可动轨道2以接近固定轨道3的方式移动，基于电动机4的电流值是否成为第一阈值Th1以上而使可动轨道2的移动停止，由此使轨道间隔成为第二间隔D2。由此，基于电动机电流值达到第一阈值Th1的情况，能够可靠地检测可动轨道2与固定轨道3之间夹持基板CB的情况(基板CB的倾斜被矫正的情况)。其结果是，例如即使各个基板CB的尺寸以制造上的误差为起因而变动的情况下，也能够可靠地将基板CB夹入到轨道间而进行倾斜矫正。
第二实施方式的其他效果与上述第一实施方式相同。
(第三实施方式)
接下来，参照图7～图9，说明本发明的第三实施方式的基板搬运装置300。在第三实施方式中，与基于电动机4的电流值是否为第一阈值Th1以上而使可动轨道2的移动停止由此使轨道间隔成为第二间隔D2的上述第二实施方式不同，说明在使轨道间隔成为第二间隔D2之后进而进行通过可动轨道2和固定轨道3进行基板CB的固定(夹紧)的控制的基板搬运装置的例子。另外，在第三实施方式中，关于与上述第一实施方式相同的结构，使用同一附图标记并省略说明。
如图7所示，与上述第一(第二)实施方式的基板搬运装置100(200)不同，在第三实施方式的基板搬运装置300未设置夹紧机构8(参照图1及图2)。第三实施方式的基板搬运装置300取代该夹紧机构8而通过可动轨道2和固定轨道3进行基板CB的固定(夹紧)。
具体而言，控制部206进行如下的控制：在使轨道间隔成为第二间隔D2的状态下，将电动机4的电流值维持为预定的第二阈值Th2附近，由此将基板CB固定。即，控制部206进行如下的控制：在使轨道间隔为第二间隔D2而将基板CB夹入到轨道间之后也继续基于电动机4的可动轨道2的驱动，通过可动轨道2将基板CB向固定轨道3侧(Y2方向)按压。由此，基板CB由可动轨道2和固定轨道3夹持而沿水平方向(Y方向)按压，由此在作业区域A被固定(夹紧)。因此，在第三实施方式中，成为将基板CB的端面沿Y方向夹入并夹紧的方式(边缘夹紧)的夹紧。
第二阈值Th2设定为通过可动轨道2和固定轨道3能够以预定压力按压基板CB的预定值。如图8所示，在电流值达到第一阈值Th1的情况下(轨道间隔成为第二间隔D2的情况下)，若使可动轨道2进一步向Y2方向侧移动，则伴随着电动机4的电流值的上升(驱动转矩的增大)，经由可动轨道2向基板CB施加的按压力增大。因此，将电动机4的电流值维持在第二阈值Th2的附近(将可动轨道2向Y2方向持续驱动)，由此能够向基板CB持续地施加按压力，因此通过该按压力能够将基板CB固定(夹紧)。
第二阈值Th2可以基于实际进行了该控制的试验结果等而决定，设定为能够可靠地将基板固定(夹紧)的电流值。并且，控制部206在电动机4的电流值达到第二阈值Th2时，在开始基板搬出之前(作业区域A的作业结束之前)的期间，将电流值维持在该第二阈值Th2的附近而将基板CB维持成固定状态。另外，在图8中，为了说明而图示第一阈值Th1，但是在该第三实施方式中，可知在电动机电流值达到第二阈值Th2的情况下，将基板CB可靠地夹入到轨道间，成为基板CB的倾斜矫正完成的状态，因此无需判断电流值是否成为第一阈值Th1以上。
第三实施方式的其他结构与上述第一实施方式相同。
接下来，参照图9，说明本发明的第三实施方式的基板搬运装置300的包括夹紧动作的一连串的搬入搬出的处理。另外，在图9中，关于与图4所示的上述第一实施方式相同的处理，省略说明。
在图9的步骤S1中进行了基板搬入、在步骤S2中进行了基板停止之后，控制部206在步骤S21中使可动轨道2向固定轨道3侧(Y2方向)移动。并且，在步骤S22中，控制部206监视电动机4的电流值，判断电流值是否达到了第二阈值Th2。控制部206使可动轨道2的移动持续至电流值达到第二阈值Th2为止。因此，通过在可动轨道2与固定轨道3之间夹持基板CB(轨道间隔成为第二间隔D2)而矫正了基板CB的倾斜之后，若电动机4的电流值上升至向基板CB施加能够固定基板CB的按压力的第二阈值Th2为止，则处理进入步骤S23。
在步骤S23中，控制部206将电动机4的电流值维持在第二阈值Th2附近，持续驱动可动轨道2(电动机4)，由此将基板CB固定(夹紧)。之后，夹紧持续至在步骤S5中判断为基板CB的搬出开始为止。在开始基板CB的搬出的情况下，在步骤S24中，控制部206停止第二阈值Th2附近的可动轨道2(电动机4)的驱动，使轨道间隔返回到第一间隔D1，由此将夹紧解除。然后，在步骤S8中将基板CB搬出。
在第三实施方式中，能够得到以下的效果。
在第三实施方式中，如上所述，控制部206构成为进行如下的控制：使可动轨道2以接近固定轨道3的方式移动，将电动机4的电流值维持在第二阈值Th2附近，由此将基板CB固定。由此，使用不仅将基板CB夹入到轨道间而进行倾斜矫正而且在轨道间按压基板CB而将基板CB固定(夹紧)时产生的电动机4的电流值作为第二阈值Th2，从而能够容易地固定基板CB。其结果是，除了基板CB的倾斜矫正之外，不用设置用于固定基板CB的夹紧机构8(参照图1)，能够防止作业中的基板CB的错位。
第三实施方式的其他效果与上述第一实施方式相同。
(第四实施方式)
接下来，参照图10，说明本发明的第四实施方式的基板搬运装置400。在第四实施方式中，除了进行基于电动机的电流值而对可动轨道2进行驱动由此进行基于可动轨道2和固定轨道3的基板CB的固定(夹紧)的控制的上述第三实施方式之外，说明还进行基于压力检测部的检测值来进行基板CB的固定(夹紧)的控制的基板搬运装置的例子。另外，在第四实施方式中，关于与上述第三实施方式相同的结构，使用同一附图标记并省略说明。
如图10所示，第四实施方式的基板搬运装置400在可动轨道2设有压力检测部310。压力检测部310由负载传感器或应变传感器等构成，以沿着搬运方向X隔开间隔排列的方式在可动轨道2上设置多个(在第四实施方式中为2个)。压力检测部310设置在可动轨道2的内侧(Y2方向侧)，在使轨道间隔为第二间隔D2的情况下，压力检测部310与基板CB的端面接触而检测与基板CB的接触压力。压力检测部310的检测值向控制部306输出。
并且，在第四实施方式中，控制部306除了基于电动机4的检测值(编码器输出值或电动机电流值)之外，也基于压力检测部310的检测值，进行基板CB的倾斜矫正及固定(夹紧)。即，控制部306进行如下的控制：使可动轨道2以接近固定轨道3的方式移动，基于电动机4的检测值及压力检测部310的检测值，通过可动轨道2和固定轨道3以预定压力按压并固定基板CB。
另外，基于压力检测部310的检测值的可动轨道2(电动机4)的驱动控制可以与例如上述第二实施方式或第三实施方式同样地进行。即，在进行基板CB的倾斜矫正的情况下，设定与电动机电流值的第一阈值Th1对应的压力检测值的第一阈值，考虑压力检测值是否成为第一阈值以上，来进行倾斜矫正。而且，在进行基板CB的夹紧的情况下，设定与电动机电流值的第二阈值Th2对应的压力检测值的第二阈值，进行以使压力检测值成为第二阈值附近的方式维持的控制。
在此，基板搬运装置400搬运的基板CB除了存在厚度1mm～2mm左右的比较硬的结构之外，还存在厚度0.5mm左右的薄型且柔软的结构。因此，例如关于薄型的基板CB，在缩窄轨道间隔而夹入基板CB时，由于可动轨道2的按压力而可能会挠曲。因此，不仅基于电动机电流值，也基于压力检测值进行倾斜矫正或固定(夹紧)，由此不使基板CB挠曲而能够进行倾斜矫正或固定(夹紧)。
第四实施方式的其他结构与上述第一实施方式相同。
在第四实施方式中，能够得到以下的效果。
在第四实施方式中，如上所述，控制部306构成为进行如下的控制：基于电动机4的检测值(编码器输出值或电动机电流值)及压力检测部310的检测值，通过可动轨道2和固定轨道3将基板CB固定。由此，除了电动机4的检测值之外，也能够检测并监视基板CB与轨道的接触压力，因此例如即使在进行薄型的电路基板等的搬运的情况下，也能够夹入到轨道间而不使基板CB挠曲地进行基板CB的倾斜矫正及固定。
第四实施方式的其他效果与上述第一实施方式相同。
(第五实施方式)
接下来，参照图11～图13，说明本发明的第五实施方式的基板搬运装置500。在第五实施方式中，与设有直线状的导轨(可动轨道2及固定轨道3)的上述第一实施方式不同，说明在导轨设有向基板宽度方向Y的内侧突出的突出部的例子。另外，在第五实施方式中，关于与上述第一实施方式同样的结构，使用同一附图标记并省略说明。
如图11所示，第五实施方式的基板搬运装置500的可动轨道402及固定轨道403具有突出部410，该突出部410为了使搬运方向X的作业区域A的轨道间隔比作业区域A以外的轨道间隔减小而在作业区域A向基板宽度方向Y的内侧突出。在第五实施方式中，基板搬运装置500分为作业区域A、从基板CB的搬入位置(X1方向端部)到作业区域A的搬入区域En、从作业区域A到基板CB的搬出位置(X2方向端部)的搬出区域Ex。并且，可动轨道402及固定轨道403以搬入区域En和搬出区域Ex的轨道间隔分别大于具有突出部410的作业区域A的轨道间隔的方式形成。另外，可动轨道402及固定轨道403分别是本发明的“第一导轨”及“第二导轨”的一例。
可动轨道402及固定轨道403的突出部410以突出部410的内侧表面相对于突出部410以外的内侧表面421(431)而突出预定量的方式形成。在轨道宽度为第一间隔D1时，突出部410的突出量与向搬运的基板CB的宽度尺寸W加入的预定量C相等。即，在第五实施方式的情况下，以使一对突出部410的突出量的合计与预定量C相等的方式设定突出部410的突出量。因此，如图12所示，使设有突出部410的作业区域A的轨道间隔成为第二间隔D2而与基板CB的基板宽度W一致的情况下，在搬入区域En及搬出区域Ex中，轨道间隔成为向基板宽度W(第二间隔D2)加入预定量C的大小(W+C)，与第一间隔D1相等。
而且，突出部410分别一体地形成于可动轨道402及固定轨道403，在构造上，通过使突出部410以外的部分的轨道宽度(Y方向的宽度)比突出部410的轨道宽度小而形成。而且，突出部410以与突出部410以外的部分的边界(作业区域A与搬入区域En及搬出区域Ex的各自的边界)平滑地连续的方式形成。具体而言，突出部410包括平缓地倾斜的倾斜面411，通过该倾斜面411，作业区域A与搬入区域En及搬出区域Ex的边界部分平滑地连接。
通过以上的结构，即使在作业区域A中对成为安装作业等的对象的基板CB进行倾斜矫正或基板固定的情况下，也能够与其并行地进行向搬入区域En的基板搬入、从搬出区域Ex的基板搬出。因此，在第五实施方式中，搬入区域En的搬运方向X的长度比基板CB大。由此，能够将下一基板CB搬运到搬入区域En内的等待位置而等待至对先行的基板CB的作业结束为止，与在作业区域A的作业结束后进行下一基板搬入的情况相比，能够提高搬运效率(搬运所需的时间的缩短)。另外，伴随着在搬入区域En内设定等待位置，在第五实施方式中，止动机构7在作业位置和等待位置分别各配置1个。
第五实施方式的其他结构与上述第一实施方式相同。
接下来，参照图13，说明本发明的第五实施方式的基板搬运装置500的一连串的搬入搬出的处理。另外，在图13中，关于与图4所示的上述第一实施方式同样的处理，省略说明。
在图13的步骤S1中进行了基板搬入、在步骤S2中进行了向作业区域A的基板停止之后，控制部406在步骤S31中进行基板CB的倾斜矫正。另外，倾斜矫正的处理可以通过上述各实施方式中所示的控制中的任一个控制来进行。然后，在步骤S5中，将基板CB固定(夹紧)。该基板固定的处理可以通过上述各第三或第四实施方式中说明的控制来进行，也可以通过上述第一及第二实施方式中所示的夹紧机构8来进行。由此，将基板CB夹紧，对基板CB实施预定的作业(元件安装等)。
接下来，在步骤S32中，如图12所示，控制部406对输送部1进行驱动，进行后续的下一基板CB的搬入。后续的基板CB通过搬入区域En的止动机构7被搬运至搬入区域En内的预定的等待位置而停止。另外，作业区域A的基板CB由止动机构7卡定，因此可以在步骤S5的夹紧之前开始后续的基板搬入。
然后，在图13的步骤S6判断为开始搬出时，控制部406在步骤S7中解除对作业区域A的基板CB的基板固定，在步骤S33中，同时进行基板搬出及下一基板CB向作业区域A的搬运。另外，如图11所示，在作业区域A的轨道间隔为第一间隔D1的情况下，在搬入区域En及搬出区域Ex中，使轨道间隔比第一间隔D1进一步增大预定量C的量，但是该预定量C是为了顺畅地进行基板搬运所需的充分小的值(C＝0.5mm左右)，因此在进行基板搬运上没有问题。
在第五实施方式中，能够得到以下的效果。
在第五实施方式中，如上所述，在可动轨道402及固定轨道403分别设有在作业区域A向基板宽度方向Y的内侧突出的突出部410。由此，在使作业区域A的轨道间隔为第二间隔D2而进行了基板CB的倾斜矫正的状态下，能够使作业区域A以外的轨道间隔比第二间隔D2大。其结果是，在作业区域A以外，在基板CB与可动轨道402及固定轨道403之间能够设置充分的间隙，因此在作业区域A能够进行基板CB的倾斜矫正，并且在作业区域A以外能够进行后续的基板CB的搬入、先行的基板CB的搬出。
而且，在第五实施方式中，如上所述，以使搬入区域En和搬出区域Ex的轨道间隔大于具有突出部410的作业区域A的轨道间隔的方式构成基板搬运装置500。由此，在作业区域A中能够进行基板CB的倾斜矫正，并且搬入后续的基板CB而在等待位置等待至作业区域A之前，并且能够在作业区域A进行基板CB的倾斜矫正并进行先行的基板CB的搬出。其结果是，能够实现节拍时间的缩短。
而且，在第五实施方式中，如上所述，以与突出部410以外的部分的边界平滑地连续的方式形成突出部410。由此，即使在为了减小作业区域A的轨道间隔而设置突出部410的情况下，在轨道间搬运的基板CB也不会卡挂于突出部410，能够防止突出部410成为基板搬运的妨碍。
第五实施方式的其他效果与上述第一实施方式相同。
(第六实施方式)
接下来，参照图14，说明本发明的第六实施方式的基板搬运装置600。在第六实施方式中，与通过在导轨(可动轨道402及固定轨道403)设置突出部410而在倾斜矫正及基板固定中也进行基板的搬入搬出的上述第五实施方式不同，说明通过对可动轨道及固定轨道进行分割而能够进行倾斜矫正及基板固定中的基板搬入搬出的例子。另外，在第六实施方式中，对于与上述第一实施方式同样的结构，使用同一附图标记，并省略说明。
如图14所示，第六实施方式的基板搬运装置600的可动轨道502及固定轨道503分别沿搬运方向X被分割。即，可动轨道502分别具有包括搬运方向X的预定的作业区域A并且与作业区域A以外的部分另行设置的作业轨道部521。更具体而言，在第六实施方式中，可动轨道502分割成包含搬入区域En的搬入轨道部522、包含搬出区域Ex的搬出轨道部523、包含作业区域A的作业轨道部521这三部分，各个轨道部分别设置。而且，固定轨道503对应于可动轨道502而分别具有作业轨道部531、搬入轨道部532、搬出轨道部533。在固定轨道503的作业轨道部531和搬入轨道部532分别设有用于使基板CB停止于作业位置和等待位置的止动机构7。而且，输送部501分别设于各轨道部，能够单独地进行驱动。另外，可动轨道502及固定轨道503分别是本发明的“第一导轨”及“第二导轨”的一例。
而且，电动机在作业轨道部521和作业轨道部以外的部分分别设置，并且使作业轨道部521和作业轨道部以外的部分沿基板宽度方向Y分别移动。即，在第六实施方式中，电动机541、电动机542、电动机543对应于可动轨道502的作业轨道部521、搬入轨道部522、搬出轨道部523而分别设置，并且使作业轨道部521、搬入轨道部522、搬出轨道部523沿基板宽度方向Y分别移动。这些电动机541～543由控制部506分别控制。
通过以上的结构，基板搬运装置600分别在作业区域A、搬入区域En及搬出区域Ex，能够独立地变更轨道间隔。由此，在作业区域A中，使轨道间隔为第二间隔D2而对成为安装作业等的对象的基板CB进行了倾斜矫正或基板固定的情况下，与它们并行地在搬入区域En及搬出区域Ex中也能够使轨道间隔为第一间隔D1而进行基板搬入及基板搬出。而且，在第六实施方式中，也与上述第五实施方式同样，能够将配置在作业位置的基板CB的后续的下一基板CB搬运至搬入区域En内的等待位置并使其等待。
第六实施方式的其他结构与上述第一实施方式相同。
在第六实施方式中，能够得到以下的效果。
在第六实施方式中，如上所述，将包括搬运方向X的预定的作业区域A并且与作业区域A以外的部分另行设置的作业轨道部521设于可动轨道502。并且，使作业轨道部521和作业轨道部521以外的部分沿基板宽度方向Y分别移动。由此，在使作业区域A的轨道间隔为第二间隔D2而进行了基板CB的倾斜矫正的状态下，能够使作业区域A以外的轨道间隔比第二间隔D2大，因此在作业区域A中能够进行基板CB的倾斜矫正，并且在作业区域A以外进行后续的基板CB的搬入、先行的基板CB的搬出。
而且，在第六实施方式中，如上所述，在可动轨道502还设置搬入轨道部522和搬出轨道部523。并且，使作业轨道部521、搬入轨道部522、搬出轨道部523沿基板宽度方向Y分别移动。由此，在作业区域A中能够进行基板CB的倾斜矫正，并将后续的基板CB搬入至作业区域A之前而等待，并且，在作业区域A中进行基板CB的倾斜矫正并进行先行的基板CB的搬出。其结果是，即使在变更轨道间隔而进行基板CB的倾斜矫正的结构中，也能够缩短基板CB的搬入搬出所需的时间，实现所谓节拍时间的缩短。
第六实施方式的其他效果与上述第一实施方式相同。
(第七实施方式)
接下来，参照图15，说明本发明的第七实施方式的外观检查装置700。在第七实施方式中，作为基板搬运装置的应用例，作为进行基板CB的检查的基板检查装置的一种的外观检查装置700的基板搬运部，说明设有上述第一实施方式的基板搬运装置100的例子。另外，在第七实施方式中，关于与上述第一实施方式相同的结构，使用同一附图标记并省略说明。
如图15所示，第七实施方式的外观检查装置700是拍摄基板CB的上表面图像而进行图像识别由此进行对基板CB的焊料的印刷状态、电子元件的安装状态的检查及附着于基板CB的异物的检测等外观检查的装置。
外观检查装置700具备：用于搬运及保持基板CB的基板搬运部601；能够使基板搬运部601的上方(箭头Z1方向，参照图2)沿XY方向(水平方向)及Z方向(上下方向)移动的头移动机构602；由头移动机构602保持的摄像头部603；及进行外观检查装置700的控制的控制装置604。
基板搬运部601由上述第一实施方式的基板搬运装置100构成，设置在外观检查装置700的基台605上。
头移动机构602设置在基板搬运部601的上方，例如由使用了滚珠丝杠轴和伺服电动机的正交3轴(XYZ轴)机器人构成。正交3轴机器人的结构自身公知，因此省略详细的说明。头移动机构602能够使摄像头部603在基板搬运部601(基板CB)的上方沿XY方向(水平方向)及Z方向(上下方向)移动。
摄像头部603具备摄像部631和照明部(未图示)。该摄像头部603进行基板CB及基板CB上的电子元件等的外观检查用的摄像。因此，当基板搬运部601在作业区域A内的预定的作业位置固定(夹紧)基板CB时，作为对基板CB的作业，实施该摄像头部603对基板CB的摄像动作。
控制装置604进行外观检查装置700的整体的控制。控制装置604通过向基板搬运部601(基板搬运装置100)的控制部6输出控制信号，而使基板搬运部601执行基板搬运及基板CB的倾斜矫正、基板CB的固定(夹紧)及基板搬出等。
第七实施方式的其他结构与上述第一实施方式相同。
如该第七实施方式那样，上述第一～第六实施方式的基板搬运装置100～600能够良好地用作向构成基板制造线的各种基板作业装置(除了外观检查装置700之外，还有表面安装机等)装入的基板搬运部601。即，在第七实施方式的外观检查装置700中，在由摄像头部603拍摄到的基板CB的摄像图像中基板CB倾斜的情况下，需要通过控制装置604来执行该角度校正用的数据处理。因此，在基板CB倾斜的情况下，额外地需要基板CB的倾斜角度校正用的处理时间，作业效率下降。相对于此，根据上述第一～第六实施方式的基板搬运装置100～600，装置结构不会复杂化，而能够容易地进行基板CB的倾斜矫正，因此在外观检查装置700中能抑制多余的处理时间的发生，能够实现作业效率的提高。
另外，可认为本次公开的实施方式在全部的点上为例示而不受限制。本发明的范围不是由上述的实施方式的说明而是由权利要求书公开，还包括与权利要求书等同的意思及范围内的全部变更。
例如，在上述第一～第六实施方式中，示出了具备可动轨道和固定轨道的基板搬运装置的例子，但是本发明并不局限于此。在本发明中，也可以取代固定轨道而设置可动轨道。在这种情况下，在基板的倾斜矫正时，可以使两方的可动轨道同时移动，也可以仅使单侧的可动轨道移动。在本发明中，只要是至少1个导轨成为可动轨道即可。
而且，在上述第五实施方式中，示出了在可动轨道及固定轨道这两方设有突出部的例子，但是本发明并不局限于此。在本发明中，可以仅在可动轨道及固定轨道的一方设置突出部。
而且，在上述第五实施方式中，示出了在直线状的可动轨道及固定轨道设有向内侧突出的凸状的突出部410的例子，但是本发明并不局限于此。在本发明中，可以通过使可动轨道及固定轨道向内侧弯曲而形成突出部。
而且，在上述第六实施方式中，示出了对应于将可动轨道分割成三部分而固定轨道也分割成三部分的例子，但是本发明并不局限于此。在本发明中，在将可动轨道分割成三部分的情况下，固定轨道侧可以是直线状的单一的导轨。
而且，在上述第六实施方式中，示出了在可动轨道的作业轨道部、搬入轨道部、搬出轨道部分别设置对应的电动机而使各轨道部能够分别移动的例子，但是本发明并不局限于此。例如，可动轨道中的搬入轨道部和搬出轨道部可以由共用的电动机来驱动。在这种情况下，搬入区域与搬出区域的轨道间隔始终成为相同的间隔。
而且，在上述第六实施方式中，示出了将可动轨道分割成三部分而分别移动的例子，但是本发明并不局限于此。在本发明中，可以将可动轨道分割成作业区域和作业区域以外的区域这两部分。
附图标记说明
1、501输送部
2、402、502可动轨道(第一导轨)
3、403、503固定轨道(第二导轨)
4、541、542、543电动机
6、106、206、306、406、506控制部
41编码器
100、200、300、400、500、600基板搬运装置
310压力检测部
410突出部
521作业轨道部
522搬入轨道部
523搬出轨道部
A作业区域
CB基板
D1第一间隔
D2第二间隔
En搬入区域
Ex搬出区域