本发明涉及具备使搬运对象物升降的升降部的搬运车。
背景技术：
例如，在日本特开2015-48194号公报(专利文献1)中公开的搬运车具备使搬运对象物在吊挂状态下升降的升降部，并在与设置于该搬运车的下方的载置场所之间进行搬运对象物的交接。在这样的技术中，与从搬运车至载置场所的上下方向的距离对应的升降距离的设定值被确定。搬运车基于该设定值，借助升降部使搬运对象物下降，在搬运对象物和载置场所由于下降的完成变为相同高度时，将该搬运对象物交付至载置场所。
然而，在上述那样的技术中，在搬运对象物被交付至载置场所时，在下降的搬运对象物从上方与载置场所接触的时机，搬运对象物的负载的一部分开始转移到载置场所，搬运对象物进一步地继续下降，从而在经过规定时间后，该负载全部转移到载置场所。由此，搬运对象物被从搬运车交付至载置场所。如上文所述，在专利文献1那样的技术中，由于基于设定值使搬运对象物下降，因此通过预先确定的定型的速度控制进行从下降开始至下降完成的一连串的下降动作。搬运对象物与载置场所接触的时机根据各个时刻的搬运对象物的重量等被搬运状态而并非必须相同。因此，在按照设定值进行搬运对象物的下降控制的情况下，即使搬运对象物与载置场所接触的时机存在稍许偏差，也均被同样地控制。在这种情况下，为了与搬运对象物和载置场所接触的时机的偏差对应，在搬运对象物与载置场所接触前后的某种程度的期间，将搬运对象物的下降速度控制成十分低的状态。然而，如果降低搬运对象物的下降速度，则与其对应地，到下降完成为止的时间变长，导致搬运效率的下降。在这一方面，专利文献1的技术存在改善的余地。
技术实现要素：
因此，期望实现能够通过进行与搬运对象物和载置场所接触的时机的偏差对应的速度控制而使搬运效率提高的搬运车。
将搬运对象物搬运至设置于下方的载置场所的搬运车具备：支承部，其支承前述搬运对象物；升降部，其使前述搬运对象物在吊挂状态下升降；以及重量检测部，其检测前述搬运对象物的重量，在借助前述支承部支承前述搬运对象物的状态下的借助前述升降部进行的前述搬运对象物的下降中，在借助前述重量检测部检测的检测值变为第一设定值以下后，该搬运车使前述搬运对象物的下降速度增加，此后在解除借助前述升降部形成的前述搬运对象物的吊挂状态后，解除借助前述支承部进行的前述搬运对象物的支承。
根据本结构，能够借助重量检测部检测下降中的搬运对象物的重量。在此，由于搬运车具备重量检测部，因此实际上重量检测部检测搬运车所支承的搬运对象物的重量。即，重量检测部能够检测因下降速度的加减速时、搬运对象物与载置场所接触等导致的搬运对象物的重量变化。根据本结构，利用该结构，能够通过由重量检测部检测出的检测值变为第一设定值以下而判定搬运对象物与载置场所接触。在搬运对象物与载置场所接触后，即使提高搬运对象物的下降速度，也不会发生搬运对象物与载置场所冲撞的情况。因此，在本实施方式中，在借助重量检测部检测出的检测值变为第一设定值以下后，使搬运对象物的下降速度增加。由此，能够缩短从搬运对象物与载置场所接触至搬运对象物被载置场所完全支承而搬运对象物的吊挂状态被解除为止的时间。即，根据本结构，能够通过进行与搬运对象物和载置场所接触的时机的偏差对应的速度控制，而提高搬运效率。
借助参照附图叙述的以下例示性的并且非限定性的实施方式的说明，本公开所涉及的技术的进一步的特征和优点将变得更加清楚。
附图说明
图1是具备搬运车的搬运设备的俯视图。
图2是表示将搬运对象物交接至载置场所的状况的搬运车的侧视图。
图3是表示搬运车的详细结构的侧视图。
图4是表示负载转移开始状态的图。
图5是表示负载转移完成状态的图。
图6是图5中的vi-vi剖视图。
图7是表示控制结构的框图。
图8是从升降体的下降开始至下降完成的时间图。
图9是表示将搬运对象物向载置场所交接时的顺序的流程图。
图10是表示执行第一下降处理时的顺序的流程图。
图11是表示执行第二下降处理时的顺序的流程图。
图12是表示搬运车的行进速度的时间图。
具体实施方式
1.第一实施方式
1-1.搬运车的机械性的结构
参照附图对搬运车的第一实施方式进行说明。
如图1以及图2所示，搬运车1将搬运对象物8搬运至搬运对象场所9。
在本实施方式中，搬运车1在具备多个搬运对象场所9的搬运设备中将搬运对象物8搬运至该多个搬运对象场所9的每一个。搬运对象物8是搬运的对象，例如既可以是单一的物品，也可以是收纳物和收纳该收纳物的容器等多个物品组合而成的物品。在本实施方式中，搬运对象物8包括半导体基板80t和收纳半导体基板80t的容器80(参照图3)。
在本实施方式中，搬运对象场所9包括用于进行半导体基板80t的处理的处理装置91和用于载置容器80的载置场所92。例如，处理装置91从载置于载置场所92的容器80中取出半导体基板80t，处理该半导体基板80t。此外，处理装置91将结束处理的半导体基板80t收纳到载置于载置场所92的容器80中。如图1所示，在搬运设备内具备多个搬运对象场所9。例如，搬运路径99以经由多个搬运对象场所9的方式设置于搬运设备。如图2所示，在本实施方式中，搬运路径99由与顶棚连结的轨道99r确定。而且，载置场所92设置于轨道99r的下方，并且以在俯视观察时与该轨道99r重叠的方式设置(参照图1)。
在本实施方式中，搬运车1是在轨道99r中行进而将搬运对象物8搬运至多个搬运对象场所9的每一个的顶棚搬运车。在本实施方式中，在搬运设备内具备多个这样的搬运车1。而且，如图2所示，搬运车1将搬运对象物8搬运至设置于下方的载置场所92。换言之，搬运车1使搬运对象物8从配置该搬运车1的高度(轨道99r的高度)朝向设置于比该高度靠下方的位置的载置场所92下降，将该搬运对象物8载置于载置场所92。
如图3所示，搬运车1将搬运对象物8以吊挂状态搬运。在本实施方式中，构成搬运对象物8的容器80能够收纳多个半导体基板80t。例如，容器80能够分多层收纳多个半导体基板80t。此外，容器80具有用于被搬运车1吊挂支承的被支承部81。例如，被支承部81设置于容器80的外表面。在本实施方式中，被支承部81设置于容器80的上表面。而且，被支承部81具有从容器80的上表面立起的立起部81b和在立起部81b的上端处沿水平方向扩大直径的直径扩大部81a。直径扩大部81a形成为在俯视观察时比立起部81b大。在此，直径扩大部81a的外缘附近从立起部81b伸出，从而在被支承部81中形成有具有朝下的面的台阶部。例如，直径扩大部81a形成为在俯视观察时呈多边形或者圆形等。在本例中，直径扩大部81a形成为在俯视观察时呈四边形。在本实施方式中，直径扩大部81a具有用于被搬运车1支承的被支承面81f。而且，被支承面81f形成于直径扩大部81a中的从立起部81b伸出的部分。此外，被支承面81f形成于直径扩大部81a中的朝向下方的面。此外，在直径扩大部81a的上表面形成有供后述的异常检测部7s嵌入的凹部82。
如图3所示，搬运车1具备：在沿着顶棚面(未图示)设置的搬运路径99中行进的行进部2；收纳搬运对象物8的收纳部3；支承搬运对象物8的支承部4；使搬运对象物8在吊挂状态下升降的升降部5；以及检测搬运对象物8的重量的重量检测部6s。
行进部2沿着搬运路径99在轨道99r中行进。在本实施方式中，行进部2具有行进轮21，该行进轮21被行进马达2m驱动而绕水平轴旋转并且在轨道99r的上表面上沿着搬运路径99的路径长度方向x滚动。例如，搬运车1具备能够检测该搬运车1的行进速度vr的行进速度检测部2s(参照图7)。行进速度检测部2s也可以设置于行进部2。例如，行进速度检测部2s构成为能够基于规定时间内的行进轮21的转速、与轨道99r的相对速度等检测搬运车1的行进速度vr。另外，以下将路径长度方向x的一侧作为路径长度方向第一侧x1，将另一侧作为路径长度方向第二侧x2而进行说明。此外，将沿着水平方向且与路径长度方向x正交的方向作为路径宽度方向y，将路径宽度方向y的一侧作为路径宽度方向第一侧y1，将另一侧作为路径宽度方向第二侧y2而进行说明。
收纳部3能够收纳搬运对象物8，并且还能够收纳支承部4以及升降部5。在本实施方式中，收纳部3的路径宽度方向y的两侧以及下方敞开。更加具体而言，收纳部3形成为从路径宽度方向y观察时呈有棱角的倒u字状(参照图3)。在本实施方式中，收纳部3在从上方以及路径长度方向x的两侧覆盖搬运对象物8的状态下收纳该搬运对象物8。以下将收纳于收纳部3的状态下的搬运对象物8的位置作为起始位置进行说明。
支承部4在搬运对象物8的搬运中对该搬运对象物8进行支承。在本实施方式中，支承部4对构成搬运对象物8的容器80进行支承。更加具体而言，支承部4通过支承容器80的被支承部81而支承搬运对象物8整体。在本实施方式中，支承部4具有一对支承爪41，该一对支承爪41被支承马达4m驱动而在支承姿势和解除姿势之间切换自如。如图4～图6所示，在本实施方式中，一对支承爪41在路径长度方向x上相互分离地配置。而且，一对支承爪41通过朝向相互靠近的方向移动而成为支承姿势，通过朝向相互分离的方向移动而成为解除姿势。
在本实施方式中，一对支承爪41分别以从后述的升降体51朝向下方突出的方式设置于该升降体51。而且，一对支承爪41分别具有与升降体51连结的连结部41b和形成于连结部41b的下端的支承板部41a。如图6所示，在本实施方式中，支承板部41a形成为沿路径宽度方向y延伸的板状，形成为在俯视观察时呈长方形。而且，支承板部41a以该支承板部41a所具有的两个主面分别朝向上方或者朝向下方的方式配置。在本实施方式中，在支承板部41a中的朝向上方的主面上形成有从下方支承搬运对象物8的被支承面81f的支承面41f。另外，支承面41f支承被支承面81f是指，除了包括支承面41f直接支承被支承面81f的情况之外，还包括经由其它部件间接地支承的情况。在本实施方式中，支承面41f经由后述的重量检测部6s支承被支承面81f。此外，如图6所示，连结部41b以从支承板部41a中的路径长度方向x的端部立起的方式形成。更加具体而言，一对支承爪41中的配置于路径长度方向第一侧x1的支承爪41的连结部41b以从其支承板部41a中的路径长度方向第一侧x1的端部立起的方式形成。一对支承爪41中的配置于路径长度方向第二侧x2的支承爪41的连结部41b以从其支承板部41a中的路径长度方向第二侧x2的端部立起的方式形成。
在本实施方式中，支承部4具备支承检测部4s(参照图7)，该支承检测部4s检测一对支承爪41的支承姿势的状态和解除姿势的状态。例如，支承检测部4s构成为能够基于有无由一对支承爪41导致的光轴的遮断等而检测一对支承爪41是否处于支承姿势的状态或者是否处于解除姿势的状态。另外，前述的支承爪41的支承姿势指的是支承面41f的至少一部分配置于被支承面81f的下方的状态的姿势。换言之，支承姿势是在俯视观察时支承面41f与被支承面81f在重叠的状态下的姿势。此外，支承爪41的解除姿势是在俯视观察时支承面41f与被支承面81f在不重叠的状态下的姿势。
重量检测部6s检测搬运对象物8的重量。在本实施方式中，重量检测部6s检测搬运车1所支承的搬运对象物8的重量。更加具体而言，重量检测部6s检测借助行进部2进行的行进中以及借助升降部5进行的升降中的搬运对象物8的重量变化。在本实施方式中，重量检测部6s检测被支承部4支承的状态下的搬运对象物8的重量。如图4～图6所示，在本例中，重量检测部6s设置于支承部4。更加具体而言，重量检测部6s设置于一对支承板部41a的各自的支承面41f。如图6所示，在本实施方式中，对于一对支承爪41中的配置于路径长度方向第一侧x1的支承爪41的支承面41f设置的重量检测部6s被配置于该支承面41f中的路径宽度方向第二侧y2的端部附近。而且对于配置于路径长度方向第二侧x2的支承爪41的支承面41f设置的重量检测部6s被配置于该支承面41f中的路径宽度方向第一侧y1的端部附近。换言之，该一对重量检测部6s在支承部4支承搬运对象物8的状态下，与被支承部81的直径扩大部81a的对角位置对应地配置(参照图6)，该支承部81的直径扩大部81a在俯视观察时呈四边形。由此，搬运对象物8的负载几乎均等地作用于一对重量检测部6s的每一个，因此能够精度良好地检测搬运对象物8的重量。
在搬运对象物8被支承部4支承的状态下，重量检测部6s处于被支承面41f和被支承面81f从上下方向夹持的状态。而且，重量检测部6s构成为能够通过检测在由支承面41f和被支承面81f沿上下方向压迫时产生的负载，检测搬运对象物8的重量。作为重量检测部6s，能够使用各种检测装置。例如，作为重量检测部6s，优选使用将负载变换为电信号的负荷传感器。作为负荷传感器，能够使用包括静电电容式、应变计式或者其它方式等各种方式的负荷传感器。
如图2以及图3所示，升降部5使搬运对象物8在吊挂状态下升降。在本实施方式中，升降部5具有升降体51、卷绕有升降带52的升降带轮53以及驱动升降带轮53的升降马达5m(参照图7)。而且，升降部5借助升降马达5m驱动升降带轮53，从而进行升降带52的放出、缠绕。由此，升降部5能够使与升降带52连结的升降体51升降。在本例中，升降体51与支承部4连结。由此，升降部5能够使被支承部4支承的搬运对象物8升降。升降体51能够从搬运对象物8位于起始位置的状态到搬运对象物8被载置于载置场所92的状态进行升降，该起始位置是搬运对象物8被收纳于收纳部3的位置。即，升降部5至少能够使搬运对象物8在配置搬运车1的高度和配置载置场所92的高度之间升降。在本实施方式中，升降部5具备检测升降体51的升降速度vh的升降速度检测部5vs(参照图7)。例如，升降速度检测部5vs构成为能够基于升降带轮53的转速和旋转时间检测升降体51的升降速度vh。此外，升降部5具备检测升降体51的升降量da的升降量检测部5ds(参照图7)。例如，升降量检测部5ds构成为能够基于升降体51升降时的升降带轮53的转速、升降带轮53旋转的时间等检测升降体51的升降量da。另外，在本实施方式中，将升降带52缠绕至最后，从而升降体51以及与升降体51连结的支承部4被收纳于收纳部3。在该状态下，被支承部4支承的搬运对象物8被配置于起始位置。
在本实施方式中，搬运对象物8在被支承部4支承的状态下，伴随升降体51的升降而沿上下方向移动，伴随行进部2的行进而沿搬运路径99移动。在以下的说明中，有时将搬运对象物8借助升降体51的升降而升降简称为搬运对象物8升降。此外，有时将搬运对象物8借助行进部2的行进而沿搬运路径99移动简称为搬运对象物8沿搬运路径99移动。即，搬运对象物8能够以升降速度vh升降，能够以行进速度vr沿搬运路径99移动。
1-2.搬运车的控制结构
接下来，参照图7对搬运车1的控制结构进行说明。
搬运车1具备控制该搬运车1的工作的单独控制装置hm。例如，在具备搬运车1的搬运设备中，设置有进行包括单独控制装置hm的设备整体的控制的统括控制装置ht。统括控制装置ht进行包括多个单独控制装置hm的搬运设备整体的控制。例如，统括控制装置ht以及单独控制装置hm具备微型计算机等的处理器、存储器等的周边电路等。而且，通过这些硬件与在计算机等的处理器上执行的程序协作而实现统括控制装置ht以及单独控制装置hm的各功能。
在本实施方式中，统括控制装置ht和单独控制装置hm能够相互通信。例如，统括控制装置ht为了使搬运车1向搬运对象场所9等移动，向与该搬运车1对应的单独控制装置hm输出移动指令。然后，接收了移动指令的单独控制装置hm能够通过控制搬运车1的工作使该搬运车1向搬运对象场所9等移动。
在本实施方式中，单独控制装置hm具备存储部me和运算部op。单独控制装置hm获取借助行进速度检测部2s、升降速度检测部5vs、升降量检测部5ds、支承检测部4s、重量检测部6s以及异常检测部7s检测出的各种信息，将这些信息存储于存储部me。然后，单独控制装置hm基于这些信息或者基于由运算部op进行的这些信息的运算结果，而控制行进马达2m、支承马达4m以及升降马达5m的工作。
1-3.搬运车的动作
接下来，对搬运车1的动作进行说明。
例如，搬运车1接收来自统括控制装置ht的指令，朝向目标的搬运对象场所9行进，在与目标的搬运对象场所9对应的载置场所92的上方停止。然后，搬运车1借助升降部5使搬运对象物8从起始位置(收纳部3的内部)下降，将该搬运对象物8载置于载置场所92。在本实施方式中，在搬运对象物8被载置于载置场所92的过程中，执行第一下降处理和第二下降处理。第一下降处理是基于升降体51的下降量da进行升降体51的速度控制的处理。如图8所示，第一下降处理在第一阶段f1中执行。在本例中，第一下降处理在时刻t3结束。然后，在第一下降处理结束的同时执行第二下降处理。第二下降处理是基于搬运对象物8的重量变化进行升降体51的速度控制的处理。第二下降处理在第二阶段f2中执行。在本例中，第二下降处理在时刻t3开始，在时刻t5结束。
在此，在本实施方式中，升降部5能够进行使搬运对象物8等速地下降的等速下降。此外，升降部5能够进行使搬运对象物8一边加速一边下降的加速下降和使搬运对象物8一边减速一边下降的减速下降。在本实施方式中，通过根据各种状况分别执行加速下降、等速下降以及减速下降，而进行升降体51(搬运对象物8)的速度控制。
基于图9对将搬运对象物8从起始位置搬运(载置)到载置场所92时的控制顺序进行说明。在搬运车1停止在与目标的搬运对象场所9对应的载置场所92的上方后，为了将搬运对象物8搬运(载置)到载置场所92，单独控制装置hm首先执行第一下降处理(#100)。为了与搬运对象物8和载置场所92接触的时机的偏差对应，单独控制装置hm通过执行第一下降处理，而在搬运对象物8与载置场所92接触之前的期间将升降体51的下降速度vh控制为低的状态。在此，搬运对象物8与载置场所92接触的时机的偏差由于升降带52的伸长、在设备内流动的气流等而产生的。例如，如果因搬运对象物8的重量导致升降带52被向下方拉扯的力不同，则升降带52的伸长也不同。此外，一般而言，半导体基板80t的处理在所谓的洁净室中进行。洁净室的内部保持为清洁的状态。在洁净室中，通过产生下降流而抑制尘埃等飞舞。例如，有时在洁净室内产生因该下降流而导致的气流。如果搬运对象物8等因气流而摆动，则搬运对象物8与载置场所92接触的时机产生偏差。在本实施方式中，进行与这样的时机的偏差对应的速度控制。
如上文所述，单独控制装置hm在第一阶段f1中执行第一下降处理(参照图8)。更加具体而言，单独控制装置hm在下降开始的同时执行加速下降，在升降体51下降了第一下降量da1后，执行等速下降(第一等速下降：例如以限制速度内的最高速度下降)。然后，单独控制装置hm在执行等速下降且升降体51下降了第二下降量da2后，执行减速下降。而且，单独控制装置hm在执行减速下降且升降体51进一步下降了第三下降量da3后，再次执行等速下降(第二等速下降)。在图8中的时刻t3，第一阶段f1结束并且第一下降处理结束。然后，在第一下降处理结束的同时执行第二下降处理。
如图9所示，单独控制装置hm在执行第一下降处理后(#100)，执行第二下降处理(#200)。单独控制装置hm对由于执行第二下降处理而引起的升降体51的下降中的搬运对象物8的重量变化进行检测，从而进行与搬运对象物8和载置场所92接触的时机的偏差对应的速度控制。例如，在升降体51下降开始时，处于搬运车1支承搬运对象物8的全部负载的状态。然后，如图4所示，在下降的搬运对象物8从上方与载置场所92接触的时机，搬运对象物8的负载的一部分开始转移到载置场所92(以下，称作负载转移开始状态)。然后，如果搬运对象物8从负载转移开始状态进一步下降，则搬运对象物8的全部负载转移到载置场所92(以下，称作负载转移完成状态)，搬运对象物8的吊挂状态被解除。从负载转移完成状态使升降体51进一步下降，从而如图5所示，支承面41f(重量检测部6s)和被支承面81f分离。由此，借助支承部4进行的搬运对象物8的支承被解除。另外，与吊挂搬运对象物8的状态下的升降带52的伸长对应，从负载转移开始状态至负载转移完成状态为止的下降量(升降带轮53的旋转量)以及下降时间也不同。即，在由于搬运对象物8的重量大而升降带52的伸长变大的情况下，从负载转移开始状态至升降带52的伸长变为自然长度为止需要一定的下降量以及下降时间。然后，从升降带52变为自然长度的状态开始进行负载向载置场所92的转移，最后成为负载转移完成状态。另一方面，与这种情况相比，在搬运对象物8的重量小的情况下，由于升降带52的伸长也变小，因此从负载转移开始状态至升降带52变为自然长度为止的下降量以及下降时间变短。因此，在这种情况下，与升降带52的伸长较大的情况相比，从负载转移开始状态至成为负载转移完成状态为止的下降量以及下降时间变短。
在此，在第一下降处理中，为了与搬运对象物8和载置场所92接触的时机的偏差对应，在搬运对象物8与载置场所92接触的前后的某种程度期间，将升降体51的下降速度vh控制为低的状态。但是，在变为负载转移开始状态后，成为搬运对象物8已经与载置场所92接触的状态。因此，在本实施方式中，单独控制装置hm通过在变为负载转移开始状态后执行升降体51的加速下降而实现搬运效率的提高。而且，在本实施方式中，搬运车1具备异常检测部7s。如图4以及图5等所示，在本实施方式中，异常检测部7s以从升降体51朝向下方突出的方式设置。而且，异常检测部7s的下端部以能够嵌入凹部82的方式配置，该凹部82形成于被支承部81。如果在变为负载转移完成状态后，升降体51进一步下降，则升降体51和搬运对象物8在上下方向上相对移动。能够通过检测该相对移动的大小检测升降体51与搬运对象物8的上下方向的距离。在本例中，如果异常检测部7s检测出升降体51超过下降限度地下降，则使升降体51的下降停止。此外，例如，检测出异常的异常检测部7s产生异常音或者对单独控制装置hm(或者统括控制装置ht)报知错误。
接下来，参照图8的时间图以及图10的流程图对第一下降处理进行说明。另外，图8是将横轴作为时间、将纵轴作为升降体51(搬运对象物8)的速度的时间图。在图8中，用实线表示本实施方式中的升降体51的速度变化，用虚线表示比较例中的升降体51的速度变化。此外，在图8中，由表示速度变化的实线和横轴包围的范围表示升降体51的下降量da。单独控制装置hm在第一阶段f1中执行第一下降处理。从搬运对象物8位于起始位置的状态开始执行第一下降处理。
如图10所示，单独控制装置hm在开始升降体51的下降的同时，开始升降体51的加速下降(#101)。接下来，单独控制装置hm判定升降体51的下降量da是否变为第一下降量da1以上(#102)。在单独控制装置hm判定升降体51的下降量da没有变为第一下降量da1以上的情况下(#102：否)，再次执行步骤102(#102)。在单独控制装置hm判定升降体51的下降量da变为第一下降量da1以上的情况下(#102:是)，开始升降体51的等速下降(第一等速下降)(#103)。在本例中，如图8所示，在时刻t1开始升降体51的等速下降。接下来，单独控制装置hm判定下降开始后的升降体51的下降量da是否变为第一下降量da1和第二下降量da2的和以上(#104)。在单独控制装置hm判定升降体51的下降量da没有变为第一下降量da1和第二下降量da2的和以上的情况下(#104：否)，再次执行步骤104(#104)。在单独控制装置hm判定升降体51的下降量da变为第一下降量da1和第二下降量da2的和以上的情况下(#104：是)，开始升降体51的减速下降(#105)。如图8所示，在时刻t2开始升降体51的减速下降。接下来，单独控制装置hm判定减速下降开始后的升降体51的下降量da是否变为第一下降量da1、第二下降量da2以及第三下降量da3的和以上(#106)。在单独控制装置hm判定升降体51的下降量da没有变为第一下降量da1、第二下降量da2以及第三下降量da3的和以上的情况下(#106：否)，再次执行步骤106(#106)。在单独控制装置hm判定升降体51的下降量da变为第一下降量da1、第二下降量da2以及第三下降量da3的和以上的情况下(#106：是)，开始升降体51的等速下降并转移到第二下降处理(#107)。在本例中，如图8所示，在时刻t3，升降体51的减速下降结束并开始等速下降。如上所述地执行第一下降处理。
接下来，参照图8的时间图以及图11的流程图对第二下降处理进行说明。第二下降处理在执行第一下降处理之后执行。即，第二下降处理从升降体51借助第一下降处理而等速下降的状态开始执行。如图8所示，单独控制装置hm在第二阶段f2中执行第二下降处理。
在本实施方式中，在借助支承部4支承搬运对象物8的状态下的借助升降部5进行的搬运对象物8的下降中，在借助重量检测部6s检测的检测值变为第一设定值w0α以下后，搬运车1使搬运对象物8的下降速度vh增加。此外，搬运车1在搬运对象物8的等速下降(第二等速下降)中进行由重量检测部6s检测的检测值是否变为第一设定值w0α以下的判定。在本实施方式中，如图11所示，单独控制装置hm在升降体51的等速下降中判定由重量检测部6s检测的检测值即搬运对象物8的当前的检测重量w是否变为第一设定值w0α以下(#201)，该第一设定值w0α由搬运对象物8的基准重量w0乘以常数α而得，在判定检测重量w为第一设定值w0α以下的情况下(#201：是)，开始升降体51的加速下降(#202)。在本例中，如图8所示，在时刻t4开始升降体51的加速下降。如上文所述，搬运对象物8与载置场所92接触的时机有时因状况而产生偏差，因此难以从搬运对象物8与载置场所92接触以前预测两者接触的时机。但是，像这样通过使搬运对象物8以低速度等速下降(第二等速下降)，即使搬运对象物8与载置场所92接触的时机产生偏差，也能够缓和接触时的冲击。此外，在升降体51在下降中加速或者减速的情况下，由于加速时或者减速时产生的惯性导致搬运对象物8的重量变化。但是，在升降体51等速下降中的情况下，不会发生这样的重量变化，因此能够精度良好地检测搬运对象物8的检测重量w，从而能够精度良好地判定该检测重量w是否变为第一设定值w0α以下。
在本实施方式中，第一设定值w0α是相对于搬运对象物8的基准重量w0设定比例小的值。此外，基准重量w0是在搬运对象物8的静止状态下借助重量检测部6s检测出的检测值。通过在搬运对象物8的静止状态下借助重量检测部6s检测基准重量w0，从而能够检测排除了作用于搬运对象物8的惯性的影响的搬运对象物8本身的重量。常数α设定为大于0且小于1的数。例如，常数设定为0.7～0.95。该第一设定值w0α优选设定为能够检测出刚刚变为负载转移开始状态的值。例如，第一设定值w0α设定为与考虑了由于搬运对象物8的升降时的惯性导致的检测误差、伴随重量检测部6s的精度的检测误差等而得出的值非常接近的值即可。在此，在升降体51等速下降中的情况下，搬运对象物8几乎不存在重量变化，因此检测重量w和基准重量w0几乎相同。因此，在检测重量w变为第一设定值w0α以下的情况下，能够判定搬运对象物8比通常的状态轻，换言之，能够判定当前的状态为负载转移开始状态。如图11所示，在单独控制装置hm判定搬运对象物8的检测重量w不是第一设定值w0α以下的情况下(#201：否)，再次执行步骤201(#201)。
单独控制装置hm在开始升降体51的加速下降后(#202)，判定是否经过了设定时间(#203)。单独控制装置hm在判定为经过了设定时间的情况下(#203：是)，开始升降体51的等速下降(第三等速下降)(#204)，在判定为没有经过设定时间的情况下(#203：否)，再次执行步骤203(#203)。如此，通过在经过了设定时间后使升降体51的下降从加速下降切换为等速下降(第三等速下降)，从而在变为负载转移完成状态后停止时，能够比从加速下降的状态停止更迅速地停止。
搬运车1以借助重量检测部6s检测的检测值为第二设定值以下为条件，判定借助升降部5形成的搬运对象物8的吊挂状态被解除，该第二设定值比第一设定值w0α小。在本实施方式中，第二设定值被设定为0。如图11所示，单独控制装置hm在升降体51的等速下降开始后(#204)，判定搬运对象物8的检测重量w是否变为0(第二设定值)(#205)。如上文所述，借助升降部5形成的搬运对象物8的吊挂状态被解除的状态，即负载转移完成状态是搬运对象物8的全部负载转移到载置场所92的状态。因此，此时重量检测部6s检测出的搬运对象物8的重量为0。在本实施方式中，第二设定值被设定为0，在搬运对象物8的检测重量w变为0时，单独控制装置hm判定为负载转移完成状态。在本实施方式中，搬运车1在使下降速度vh增加后，且在借助升降部5形成的搬运对象物8的吊挂状态被解除后，解除借助支承部4进行的搬运对象物8的支承。如图11所示，单独控制装置hm在判定搬运对象物8的检测重量w变为0的情况下(#205：是)，通过使升降体51进一步下降，而使支承面41f和被支承面81f分离(也参照图5)。由此，解除借助支承部4进行的搬运对象物8的支承(#206)。单独控制装置hm在判定搬运对象物8的检测重量w没有变为0的情况下(#205：否)，再次执行步骤205(#205)。然后，单独控制装置hm在解除搬运对象物8的支承后(#206)，使升降体51停止(#207)。
在本实施方式中，执行第二下降处理，从而与比较例相比能够提高搬运效率。如图8所示，到时刻t4为止本实施方式和比较例执行相同的速度控制，此外，升降体51的下降量da也相同。但是在时刻t4，在本实施方式中开始升降体51的加速下降，在比较例中维持等速下降的状态。而且，在比较例中，到变为负载转移完成状态为止需要到时刻t6为止的时间，但是在本实施方式中，以比到时刻t6为止的时间短的到时刻t5为止的时间成为负载转移完成状态。因此，本实施方式与比较例相比，将搬运对象物8载置于载置场所92为止所需要的时间短，能够提高搬运效率。
此外，在本实施方式中，搬运车1借助重量检测部6s至少检测收纳于容器80的半导体基板80t的有无。例如，搬运车1借助重量检测部6s检测收纳于容器80的半导体基板80t的数量。作为搬运车1搬运搬运对象物8的情况，存在搬运车1搬运收纳有半导体基板80t的容器80的情况和搬运没有收纳半导体基板80t的容器80的情况。而且，即使在容器80收纳半导体基板80t的情况下，也存在收纳的半导体基板80t的数量不同的情况。
例如，在借助搬运车1将容器80载置于载置场所92后借助处理装置91处理容器80的情况下，没有收纳半导体基板80t的空的容器80在载置场所92待机直到半导体基板80t的处理结束。此时，例如在半导体基板80t的处理时间长的情况下，有时使在载置场所92待机中的空的容器80移动到其它场所或者使其它半导体基板80ｔ搬运到空的容器80中。在这样的情况下，搬运车1搬运没有收纳半导体基板80t的容器80。
例如，在本实施方式中，在单独控制装置hm的存储部me存储有容器80的重量信息。单独控制装置hm对照借助重量检测部6s检测出的搬运对象物8的检测重量w和存储于存储部me的容器80的重量信息，从而检测有无收纳于容器80的半导体基板80t。更加具体而言，在检测重量w比存储于存储部me的容器80的重量重的情况下，可知在容器80中收纳有至少一个以上半导体基板80t。此外，在单独控制装置hm的存储部me存储有与半导体基板80t的数量对应的多个重量信息。能够通过对照这些重量信息和借助重量检测部6s检测出的检测重量w，而检测收纳于容器80的半导体基板80t的数量。
在本实施方式中，在借助重量检测部6s检测出半导体基板80t的情况下，与没有检测出半导体基板80t的情况相比，减缓借助行进部2形成的搬运对象物8的行进速度vr。例如，如果在搬运对象物8沿搬运路径99移动中容器80振动，则收纳于容器80的半导体基板80t有可能被容器80的内壁等碰撞而损伤。而且，行进部2的行进速度vr越快，在搬运对象物8沿搬运路径99移动中产生的振动越容易变大，行进速度vr越慢，在搬运对象物8沿搬运路径99移动中产生的振动越容易变小。在本实施方式中，在搬运收纳有半导体基板80t的容器80的情况下，与搬运没有收纳半导体基板80t的容器80的情况相比，减缓行进部2的行进速度vr。由此，能够减小收纳有半导体基板80t的容器80沿搬运路径99移动中产生的振动。而且，通过减小该振动，抑制半导体基板80t被容器80的内壁等碰撞的情况，其结果是，能够抑制收纳于容器80的半导体基板80t的损伤。另一方面，在容器80中没有收纳半导体基板80t的情况下，成为有可能损伤的半导体基板80t本身就不存在的状态。因此，在本实施方式中，在搬运没有收纳半导体基板80t的容器80的情况下，与搬运收纳有半导体基板80t的容器80的情况相比，加快行进部2的行进速度vr。由此，能够提高搬运效率。
在图12所示的时间图中，将横轴作为时间，将纵轴作为行进速度。而且，用实线表示在容器80中没有收纳半导体基板80t的情况下的行进部2的行进速度vr1的变化，用虚线表示在容器80中收纳有半导体基板80t的情况下的行进部2的行进速度vr2的变化。如图12中实线所示，将在容器80中没有收纳半导体基板80t的状态下的行进部2的行进速度vr1设定为比在容器80中收纳有半导体基板80t的状态下的行进部2的行进速度vr2快。由此，在行进相同距离的情况下，与使行进部2以行进速度vr2行进相比，使行进部2以行进速度vr1行进能够缩短行进时间。例如，虽然行进相同距离，在行进部2以行进速度vr1行进的情况下，需要到时刻t7为止的时间。另一方面，在行进部2以行进速度vr2行进的情况下，需要比到时刻t7为止的时间长的到时刻t8为止的时间。如此，在容器80中没有收纳半导体基板80t的情况下，通过提高行进部2的行进速度vr，能够实现设备整体的搬运效率的提高。
此外，在本实施方式中，在借助重量检测部6s检测出半导体基板80t的情况下，与没有检测出半导体基板80t的情况相比，减缓借助升降部5形成的搬运对象物8的升降速度vh。如上文所述，在本实施方式中，通过使升降部5的升降体51升降，而使与升降体51连结的支承部4所支承的搬运对象物8升降。此外，与使前述的行进部2行进的情况相同，即使在使升降体51升降的情况下，也存在因振动导致半导体基板80t破损这样的问题。在本实施方式中，在使收纳有半导体基板80t的容器80升降的情况下，与使没有收纳半导体基板80t的容器80升降的情况相比，减缓升降体51的升降速度vh。由此，能够减小在收纳有半导体基板80t的容器80升降中产生的振动。而且，通过减小该振动，抑制半导体基板80t被容器80的内壁等碰撞的情况，其结果是，能够抑制收纳于容器80的半导体基板80t的损伤。另一方面，在容器80中没有收纳半导体基板80t的情况下，成为有可能损伤的半导体基板80t本身就不存在的状态。因此，在本实施方式中，在使没有收纳半导体基板80t的容器80升降的情况下，与使收纳有半导体基板80t的容器80升降的情况相比，提高升降体51的升降速度vh。由此，能够提高搬运效率。
另外，基于有无半导体基板80t而进行的升降体51的速度控制与前述的行进部2的速度控制大致相同，因此省略使用时间图的说明。
2.其它实施方式
接下来，对搬运车的其它实施方式进行说明。
(1)在上述的实施方式中，对于下述例子进行了说明：搬运车1以借助重量检测部6s检测的检测值为比第一设定值w0α小的第二设定值以下为条件，判定借助升降部5形成的搬运对象物8的吊挂状态被解除。但是，不限定于这样的例子，也可以以下述至少一方为条件，判定借助升降部5形成的搬运对象物8的吊挂状态被解除：借助重量检测部6s检测的检测值为比第一设定值w0α小的第二设定值以下；以及使搬运对象物8下降与从搬运车1至载置场所92的高度对应的设定量。例如，设定量是在从位于起始位置的状态下的搬运对象物8的底面至载置场所92的载置面的距离加上升降带52的伸长等误差所得的值。例如，也可仅以使搬运对象物8下降与从搬运车1至载置场所92的高度对应的设定量作为判定搬运对象物8的吊挂状态被解除的条件。在这种情况下，即使在重量检测部6s产生不良的情况下，也能够适当地判定搬运对象物8的吊挂状态被解除。或者，也可以将满足上述的两者作为判定搬运对象物8的吊挂状态被解除的条件。在这种情况下，与将上述任意一个作为条件的情况相比，能够更加可靠地判定搬运对象物8的吊挂状态被解除。
(2)在上述的实施方式中，对于构成为一对支承爪41通过朝向相互靠近的方向移动而成为支承姿势、通过朝向相互分离的方向移动而成为解除姿势的所谓的滑动式的例子进行了说明。但是，不限定于这样的例子，也可以构成为一对支承爪41通过朝向相互分离的方向移动而成为支承姿势，通过朝向相互靠近的方向移动而成为解除姿势。
在这种情况下，构成为被支承部81沿一对支承爪41的移动方向分离并设置有一对，一对支承爪41双方配置于该一对被支承部81之间。此外，一对支承爪41不限定于滑动式，也可以是绕轴摆动的摆动式。在这种情况下，一对支承爪41既可以是绕水平轴摆动的方式，也可以是绕铅垂轴摆动的方式，除此之外还可以是绕相对于水平方向、铅垂方向倾斜的轴摆动的方式。
(3)在上述的实施方式中，对于基准重量w0是在搬运对象物8的静止状态下借助重量检测部6s检测出的检测值的例子进行了说明。但是，不限定于这样的例子，也可以在升降体51的等速下降中进行基准重量w0的检测。在升降体51等速下降期间，不会产生因上下方向的惯性导致的搬运对象物8的重量变化，因此能够检测排除了作用于搬运对象物8的惯性的影响的搬运对象物8本身的重量。此外，只要是升降体51没有升降的状态，则也可以在行进部2的行进中检测基准重量w0。
(4)在上述的实施方式中，对于下述例子进行了说明：在借助重量检测部6s检测出半导体基板80t的情况下，与没有检测出半导体基板80t的情况相比，减缓借助行进部2形成的搬运对象物8的行进速度vr。但是，不限定于这样的例子，也可以基于借助重量检测部6s检测出的半导体基板80t的数量，调整借助行进部2形成的搬运对象物8的行进速度vr。例如，也可以是，收纳于容器80的半导体基板80t的数量越多，使借助行进部2形成的搬运对象物8的行进速度vr越慢。
(5)在上述的实施方式中，对于下述例子进行了说明：在借助重量检测部6s检测出半导体基板80t的情况下，与没有检测出半导体基板80t的情况相比，减缓借助升降部5形成的搬运对象物8的升降速度vh。但是，不限定于这样的例子，也可以基于借助重量检测部6s检测出的半导体基板80t的数量，调整借助升降部5形成的搬运对象物8的升降速度vh。例如，也可以是，收纳于容器80的半导体基板80t的数量越多，使借助升降部5形成的搬运对象物8的升降速度vh越慢。
(6)在上述的实施方式中，对于被支承部81设置于容器80的上表面的例子进行了说明。但是，不限定于这样的例子，被支承部81也可以设置于容器80的侧面。此外，被支承部81也可以不设置于容器80。在这种情况下，支承部4以从侧方握持容器80的方式构成即可。
(7)在上述的实施方式中，对于重量检测部6s设置于支承部4的例子进行了说明。但是，不限定于这样的例子，重量检测部6s也可以设置于搬运车1中的比支承部4靠上方的位置。例如，重量检测部6s也可以设置于升降体51和升降带52之间。此时，重量检测部6s除了检测搬运对象物8的重量之外，还检测升降体51、支承部4等配置于比重量检测部6s靠下方的位置的部件的重量。在这种情况下，从检测重量w减去升降体51、支承部4等配置于比重量检测部6s靠下方的位置的部件的重量是搬运对象物8的重量。例如，这些部件的重量信息存储于单独控制装置hm的存储部me即可。
(8)另外，在上述的各实施方式中公开的结构只要不发生矛盾，也可以与在其它实施方式中公开的结构组合应用。关于其它结构，在本说明书中公开的实施方式在所有方面不过是单纯的例示。因此，在不脱离本公开的主旨的范围内能够适当进行各种改变。
3.上述实施方式的概要
以下，对上述说明的搬运车的概要进行说明。
一种搬运车，其将搬运对象物搬运至设置于下方的载置场所，具备：支承部，其支承前述搬运对象物；升降部，其使前述搬运对象物在吊挂状态下升降；以及重量检测部，其检测前述搬运对象物的重量，在借助前述支承部支承前述搬运对象物的状态下的借助前述升降部进行的前述搬运对象物的下降中，在借助前述重量检测部检测的检测值变为第一设定值以下后，该搬运车使前述搬运对象物的下降速度增加，此后在解除借助前述升降部形成的前述搬运对象物的吊挂状态后，解除借助前述支承部进行的前述搬运对象物的支承。
根据本结构，能够借助重量检测部检测下降中的搬运对象物的重量。在此，由于搬运车具备重量检测部，因此实际上重量检测部检测搬运车所支承的搬运对象物的重量。即，重量检测部能够检测因下降速度的加减速时、搬运对象物与载置场所接触等导致的搬运对象物的重量变化。根据本结构，利用该结构，能够通过由重量检测部检测出的检测值变为第一设定值以下而判定搬运对象物与载置场所接触。在搬运对象物与载置场所接触后，即使提高搬运对象物的下降速度，也不会发生搬运对象物与载置场所冲撞的情况。因此，在本实施方式中，在借助重量检测部检测出的检测值变为第一设定值以下后，使搬运对象物的下降速度增加。由此，能够缩短从搬运对象物与载置场所接触至搬运对象物被载置场所完全支承而搬运对象物的吊挂状态被解除为止的时间。即，根据本结构，能够通过进行与搬运对象物和载置场所接触的时机的偏差对应的速度，而控制提高搬运效率。
此外，优选的是，以下述至少一方为条件，判定借助前述升降部形成的前述搬运对象物的吊挂状态被解除：借助前述重量检测部检测的检测值变为比前述第一设定值小的第二设定值以下；以及使前述搬运对象物下降与从前述搬运车至前述载置场所的高度对应的设定量。
根据本结构，能够通过满足预先设定的条件来判定借助升降部形成的搬运对象物的吊挂状态被解除，即成为搬运对象物的全部负载转移到载置场所的状态。在此，在将借助重量检测部检测的检测值变为比第一设定值小的第二设定值以下作为条件的情况下，能够基于借助重量检测部检测的实际的重量进行可靠性高的判定。
此外，在将使搬运对象物下降设定量作为条件的情况下，能够在不必单单依赖重量检测部的情况下进行判定。
此外，在将上述的两者作为条件的情况下，与将上述条件中的任意一个作为条件的情况相比，能够进行可靠性更高的判定。
此外，优选的是，前述升降部能够进行使前述搬运对象物等速地下降的等速下降，在前述搬运对象物的等速下降中进行借助前述重量检测部检测的检测值是否变为前述第一设定值以下的判定。
在搬运对象物下降中进行加速或者减速的情况下，由于加速时或者减速时产生的惯性导致搬运对象物的重量的检测值变化。关于这一点，根据本结构，由于在不发生搬运对象物的重量的检测值的变化的等速下降中，进行借助重量检测部检测的检测值是否变为第一设定值以下的判定，因此能够确保该判定的精度。
优选的是，前述第一设定值是相对于前述搬运对象物的基准重量设定比例小的值，前述基准重量是在前述搬运对象物的静止状态下借助前述重量检测部检测出的检测值。
根据本结构，由于在搬运对象物的静止状态下借助重量检测部检测基准重量，因此能够检测排除了作用于搬运对象物的惯性的影响的搬运对象物本身的重量。而且，由于第一设定值是相对于该基准重量设定比例小的值，因此能够在借助重量检测部检测出的检测值变为第一设定值以下时，判定搬运对象物变为比基准重量轻。由此，能够判定变为负载转移开始状态。
优选的是，前述搬运对象物包括半导体基板和收纳前述半导体基板的容器，借助前述重量检测部至少检测收纳于前述容器的前述半导体基板的有无，在借助前述重量检测部检测出前述半导体基板的情况下，与没有检测出前述半导体基板的情况相比，减缓借助前述升降部形成的前述搬运对象物的升降速度。
搬运对象物的升降速度越快，升降中的振动越容易变大，搬运对象物的升降速度越慢，升降中的振动容越易变小。在本实施方式中，在搬运对象物是半导体基板和收纳该半导体基板的容器的情况下，能够利用重量检测部至少检测容器内有无半导体基板。而且，在检测出在容器内存在半导体基板的情况下，与没有检测出半导体基板的情况相比，减缓搬运对象物的升降速度，因此能够较小地抑制在搬运对象物的升降时产生的振动。因此，根据本结构，能够抑制由于在搬运对象物的升降时产生的振动导致的半导体基板的损伤。
此外，优选的是，搬运车还具备行进部，该行进部在沿顶棚面设置的搬运路径中行进，前述搬运对象物包括半导体基板和收纳前述半导体基板的容器，借助前述重量检测部至少检测收纳于前述容器的前述半导体基板的有无，在借助前述重量检测部检测出前述半导体基板的情况下，与没有检测出前述半导体基板的情况相比，减缓借助前述行进部形成的行进速度。
借助行进部形成的行进速度越快，行进中的振动越容易变大，借助行进部形成的行进速度越慢，行进中的振动越容易变小。在本实施方式中，在搬运对象物是半导体基板和收纳该半导体基板的容器的情况下，能够利用重量检测部至少检测容器内有无半导体基板。而且，在检测出在容器内存在半导体基板的情况下，与没有检测出半导体基板的情况相比，减缓借助行进部形成的行进速度，因此能够较小地抑制在借助行进部进行的行进时产生的振动。因此，根据本结构，能够抑制由于在借助行进部进行的行进时产生的振动导致的半导体基板的损伤。
涉及本公开的技术能够应用于具备使搬运对象物升降的升降部的搬运车。
附图标记说明
1搬运车；2行进部；3收纳部；4支承部；5升降部；6s重量检测部；7s异常检测部；8搬运对象物；51升降体；80容器；80t半导体基板；92载置场所；99搬运路径；vh升降速度(下降速度)；vr行进速度；w0基准重量；w0α第一设定值。