本实用新型涉及硅片装卸技术领域，具体涉及一种硅片吸盘。
背景技术：
花篮在硅片是硅片运输过程中的重要工具，每个花篮中放置的硅片数量也不相同，随着硅片加工工艺要求要来越高，其加工工艺也越来越复杂，硅片装卸装置的要求也越来越高，现有的硅片吸盘结构较为简单，由于硅片质地脆弱，当吸盘的负压较大时，或者当吸盘发生抖动时，吸盘易损坏硅片，从而影响硅片质量。
技术实现要素：
本实用新型要解决的技术问题是提供一种吸附过程中能减少硅片破损的吸盘。
为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种硅片吸盘，包括吸盘本体，所述吸盘本体上设置有若个中空部，中空部从吸盘本体的正面贯穿至反面，每个中空部中设置有一个吸嘴，吸嘴的拐角处通过挂钩弹簧连接吸盘本体，吸嘴的吸附面与挂钩弹簧摆动轨迹形成的平面垂直设置，吸盘本体的顶部设置有一个主气道，主气道连接若干个气嘴，气嘴通过气管连通吸嘴，在吸盘本体上还设置有多个条形槽，挂钩弹簧设置在条形槽中。
进一步的，每个初始装填的挂钩弹簧以及吸嘴的吸附面均与吸盘平行设置。
进一步的，所述吸盘本体上设置有若干个凹槽，气嘴位于凹槽中且与凹槽一一对应，凹槽连通中空部。
进一步的，所述吸盘本体的上顶面还设置有两个螺孔，用于将吸盘本体固定在外部设备上。
进一步的，每个吸嘴配置四个挂钩弹簧，挂钩弹簧两两对称设置。
从上述技术方案可以看出本实用新型具有以下优点：采用该吸盘吸附硅片时，当吸盘发生抖动时，挂钩弹簧可以起到缓冲作用，减少吸嘴与吸盘的碰撞动量，从而保护硅片。
附图说明
图1为本实用新型的正视图；
图2为本实用新型的侧视图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细说明。
如图1和图2所示，本实用新型的一种硅片吸盘，包括吸盘本体6，吸盘本体6上设置有3个中空部2，中空部2从吸盘本体6的正面贯穿至反面，每个中空部中设置有一个吸嘴3，吸嘴3的拐角处通过挂钩弹簧1连接吸盘本体6，挂钩弹簧1的两端均设置有挂钩，在吸盘本体的四个拐角处设置有挂环，吸盘本体6上相应位置也设置挂环结构，挂钩弹簧1的两端分别设置吸嘴3以及吸盘本体6的挂环上，每个吸嘴3配置四个挂钩弹簧1，挂钩弹簧1两两对称设置，利用挂钩弹簧1将吸嘴3进行悬挂，在初始装置下，挂钩弹簧1以及吸嘴的吸附面均与吸盘平行设置。在吸附过程中，吸嘴3的吸附面与挂钩弹簧1摆动轨迹形成的平面垂直设置。在吸盘本体上还设置有多个条形槽，挂钩弹簧设置在条形槽中。
采用该吸盘吸附硅片时，当吸盘发生抖动时，挂钩弹簧可以起到缓冲作用，减少吸嘴与吸盘的碰撞动量，从而保护硅片。
吸盘本体6的顶部设置有一个主气道8(主气道位于吸盘本体内部部分未画出)，主气道 8连接若干个气嘴7，气嘴7固定在吸盘本体6上，气嘴7可通过气管连通吸嘴3上的气管接头4。
吸盘本体6上还设置有若3个凹槽5，气嘴7位于凹槽中且与凹槽5一一对应，凹槽5 连通中空部，凹槽5用于布置连通气嘴与吸嘴的气管。
吸盘本体的上顶面还设置有两个螺孔，用于将吸盘本体固定在外部设备上，为了方便吸盘插入两个硅片之间，将吸盘的端部9设置成楔形。