专利名称：Cvd或stc反应尾气热回收装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种热回收装置，尤其是一种CVD或STC生产过程中产 生的反应尾气的热回收装置，具体地说是一种CVD或STC反应尾气热回收 装置。
背景技术：
目前，多晶硅生产中，用氢气还原三氯氢硅生产多晶硅反应器(CVD)和 用氢气还原四氯氢硅的反应器的出口气体温度比较高(820°C 1000°C)，在 传统的工艺中一般采用水夹套将气体温度冷却到400'C以下，然后再和其他物 料进行热交换。这种办法的缺点是需用循环水冷却高温物料，不仅增加了循 环水消耗和能量浪费，并且循环水与物料的温差较大，造成设备设计困难， 还会因为夹套冷却传热系数较小造成夹套换热器较长，影响到管道设计和日 常操作。 发明内容
本实用新型的目的是针对现有的高温气体热量回收时使用水夹套时存在 的耗水量大、设备制造难度大、寿命短的问题，设计一种利用K型换热器代 替水夹套进行热量回收的CVD或STC反应尾气热回收装置。
本实用新型的技术方案是.-
一种CVD或STC反应尾气热回收装置，其特征是它是一种整体造型呈K 型的换热器，该换热器主要由壳体、高温气体进口集气端、高温气体出口集 气端、列管组成，高温气体进口集气端和高温气体出口集气端分别安装在壳 体的两端，列管平行排列在壳体中，在壳体的中部设有一个凸起的蒸汽集气 空间并设有与该蒸汽集气空间相通的蒸汽出气口，在壳体上、列管的上部安 装有与壳体内部相通的软水注水口，在壳体上、列管的下部设有一个与壳体
内部相通的排污口，高温气体进口集气端的进气端与CVD或STC反应尾气的输出端相连，高温气体进口集气端的出气端与各列管的进气端相连，各列 管的出气端均与高温气体出口集气端相连。
所述的高温气体进口集气端和高温气体出口集气端呈半球壳结构，它通 过连接法兰与壳体相连，在所述列管的两端均支承在对应的连接法兰上。
本实用新型的有益效果
本实用新型可使CVD反应器、STC转化反应器高温尾气(一般为STC、 TSC 0. 2MPa 1.0MPa， 820。C 1200。C)根据需要降低到200。C 400。C，同 时通过壳体中的软水淹没列管，蒸发出1. 0MPa 3. 5MPa的蒸汽。
采用本实用新型后，年产1500/a多晶硅装置CVD反应器尾气热量回收约 2000kW热量(相当于3570kg/h 1. OMPa饱和蒸汽)。STC转化反应器尾气热 量回收约500kW热量(相当于890kg/h l.OMPa饱和蒸汽)。同时节省循环冷 却水(按10度温差计)215t/h.有很好的经济效益。
本实用新型减少了换热器管程和壳程的温差进而减少了热应力，简化了 设备制造的难度。
本实用新型还具有结构简单，安装、使用、维护方便的优点。
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明。
如图l所示。
一种CVD或STC反应尾气热回收装置，它是一种整体造型呈K型的换 热器，该换热器主要由壳体l、高温气体进口集气端2、高温气体出口集气端 3、列管4组成，高温气体进口集气端2和高温气体出口集气端3分别安装在 壳体1的两端，列管4平行排列在壳体1中，在壳体1的中部设有一个凸起 的蒸汽集气空间5并设有与该蒸汽集气空间5相通的蒸汽出气口 6，在壳体1 上、列管4的上部安装有与壳体内部相通的软水注水口 7，在壳体1上、列管 4的下部设有一个与壳体内部相通的排污口 8，高温气体进口集气端2的进气 端与CVD或STC反应尾气的输出端相连，高温气体进口集气端2的出气端通过管板与列管4的进气端相连，列管4的出气端与高温气体出口集气端3 通过管板相连。所述的高温气体进口集气端2和高温气体出口集气端3呈半 球壳结构，它通过连接法兰与壳体1相连，在所述列管4的两端均支承在对 应的连接法兰上。
本实用新型的工作过程为-
多晶硅生产过程产生的高温尾气从高温气体进口集气端2进入壳体1中， 经过列管4降温后通过高温气体出口集气端3 口出去。软水从软水注水口 7 进入壳体1中并浸没列管4，软水经过列管4表面时与列管4进行热交换，气 化产生蒸汽从蒸汽出气口 6排出壳体1，热交换过程中产生的杂质则可定期从 排污口8排出壳体1外。
本实用新型未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现。
权利要求1、一种CVD或STC反应尾气热回收装置，其特征是它是一种整体造型呈K型的换热器，该换热器主要由壳体(1)、高温气体进口集气端(2)、高温气体出口集气端(3)、列管(4)组成，高温气体进口集气端(2)和高温气体出口集气端(3)分别安装在壳体(1)的两端，列管(4)平行排列在壳体(1)中，在壳体(1)的中部设有一个凸起的蒸汽集气空间(5)并设有与该蒸汽集气空间(5)相通的蒸汽出气口(6)，在壳体(1)上、列管(4)的上部安装有与壳体内部相通的软水注水口(7)，在壳体(1)上、列管(4)的下部设有一个与壳体内部相通的排污口(8)，高温气体进口(2)的进气端与CVD或STC反应尾气的输出端相连。
专利摘要一种CVD或STC反应尾气热回收装置，其特征是它是一种整体造型呈K型的换热器，该换热器主要由壳体(1)、高温气体进口集气端(2)、高温气体出口集气端(3)、列管(4)组成，高温气体进口集气端(2)和高温气体出口集气端(3)分别安装在壳体(1)的两端，列管(4)平行排列在壳体(1)中，在壳体(1)的中部设有一个凸起的蒸汽集气空间(5)并设有与该蒸汽集气空间(5)相通的蒸汽出气口(6)，在壳体(1)上、列管(4)的上部安装有与壳体内部相通的软水注水口(7)，在壳体(1)上、列管(4)的下部设有一个与壳体内部相通的排污口(8)。本实用新型具有结构简单，制造方便，热回收效率高的优点。
文档编号F28D7/10GK201242376SQ200820038378
公开日2009年5月20日 申请日期2008年7月15日 优先权日2008年7月15日
发明者洁 唐, 夏俊辉, 鹏 张, 芮元庆 申请人:中国石化集团南京设计院