专利名称：300mm立式氧化炉炉体冷却系统的制作方法
技术领域：
本实用新型属于一种硅片热处理设备，具体的是一种用于硅片氧化、退 火处理的立式氧化炉炉体的冷却系统。
背景技术：
现在用于硅片热处理的氧化炉大都是卧式的，其自动化程度及控温精度 不高，操作不够灵活，特别是炉体冷却系统，基本不具备单独的炉体冷却设 置。控制不够灵活精确，冷却效率不够理想，因此，需要对其进行改进。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决上述技术问题，提出一种300mm立式氧 化炉炉体冷却系统，该系统结构新颖、简单适用，控制灵活，冷却效果好。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的300mm立式氧化炉 炉体冷却系统，设有冷却管，其特征在于冷却系统由炉体冷却结构和基座 冷却结构两部分组成；所述炉体冷却结构由冷却管夹、螺栓组、冷却管、连 接管组成，冷却管为上下迂回弯曲并围成圆筒状，设置在氧化炉炉体的内外 壁之间，由冷却管夹和螺栓组固定在炉体内壁上，并设有连接管与外面水管 连通；所述基座冷却结构由基板、冷却槽、冷却环、隔离块、进出水管组成， 基板上设有冷却槽，该冷却槽中设有隔离块将冷却槽断开，隔离块两侧设有 进水孔、出水孔与进出水管连通，所述冷却环设置在冷却槽上面，通过焊接 将冷却槽密封。
本实用新型的立式氧化炉炉体冷却系统能有效地给氧化炉炉体降温，参 与炉体降温，同时使炉体外表面温度不致过高，从而提高周围器件的使用寿 命。具有结构新颖、简单适用、操作方便、冷却效果好的优点。
图1是本实用新型的炉体冷却管的结构示意图； 图2是炉体冷却管的俯视图； 图3是本实用新型的基座冷却结构示意图； 图4是图3的B—B截面视图； 图5是图4的局部C放大图； 图6是图4的局部D放大图； 图7是图3的局部A的放大图。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明实施例参见附
图，300mm立式氧化炉炉体冷却系统，设有冷却管，冷却系统由炉体冷却 结构和基座冷却结构两部分组成；所述炉体冷却结构由冷却管夹1、螺栓组 2、冷却管3、连接管4组成，冷却管为上下迂回弯曲并围成圆筒状，设置在 氧化炉炉体的内外壁之间，由冷却管夹和螺栓组固定在炉体内壁上，并设有 连接管与外面水管连通；所述基座冷却结构由基板5、冷却槽6、冷却环7、 隔离块8、进出水管9组成，基板上设有冷却槽，该冷却槽中设有隔离块将 冷却槽断开，隔离块两侧设有进水孔、出水孔与进出水管连通，所述冷却环 设置在冷却槽上面，通过焊接将冷却槽密封。
权利要求1、一种300mm立式氧化炉炉体冷却系统，设有冷却管，其特征在于冷却系统由炉体冷却结构和基座冷却结构两部分组成；所述炉体冷却结构由冷却管夹(1)、螺栓组(2)、冷却管(3)、连接管(4)组成，冷却管为上下迂回弯曲并围成圆筒状，设置在氧化炉炉体的内外壁之间，由冷却管夹和螺栓组固定在炉体内壁上，并设有连接管与外面水管连通；所述基座冷却结构由基板(5)、冷却槽(6)、冷却环(7)、隔离块(8)、进出水管(9)组成，基板上设有冷却槽，该冷却槽中设有隔离块将冷却槽断开，隔离块两侧设有进水孔、出水孔与进出水管连通，所述冷却环设置在冷却槽上面，将冷却槽密封。
专利摘要本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉炉体冷却系统，冷却系统由炉体冷却结构和基座冷却结构两部分组成；所述炉体冷却结构由冷却管夹、螺栓组、冷却管、连接管组成，冷却管为上下迂回弯曲并围成圆筒状，设置在氧化炉炉体的内外壁之间，由冷却管夹和螺栓组固定在炉体内壁上，并设有连接管与外面水管连通；所述基座冷却结构由基板、冷却槽、冷却环、隔离块、进出水管组成，基板上设有冷却槽，该冷却槽中设有隔离块将冷却槽断开，隔离块两侧设有进水孔、出水孔与进出水管连通，所述冷却环设置在冷却槽上面，通过焊接将冷却槽密封。本实用新型适用于300mm立式氧化炉炉体的冷却，结构简捷、完善，冷却效果好，控制灵活。
文档编号F27B1/24GK201352064SQ200820124689
公开日2009年11月25日 申请日期2008年12月17日 优先权日2008年12月17日
发明者胡星强, 艾伦·埃马米, 董金卫, 赵星梅 申请人:北京七星华创电子股份有限公司