真空干燥腔室排气系统及方法
【专利摘要】本发明公开了一种真空干燥腔室排气系统及方法，其中，真空干燥腔室排气系统包括：多个排气口，设置在真空干燥腔室外；排气泵，通过排气管连接该多个排气口。本发明真空干燥腔室排气的方法包括：在将待干燥基板放入该真空干燥腔室时，通过该排气泵进行排气；在真空干燥腔室关闭后，停止通过该排气泵进行排气；在将干燥后的基板自该真空干燥腔室取出时，通过该排气泵进行排气。综上所述，本发明是通过在真空干燥腔室的外部设置多个排气口，使得在腔室取放基板的过程中，能够通过真空干燥腔室的外部的多个排气口将腔室内高浓度的溶解物的挥发气体排出，减少了在此过程中可能产生的环境危害。
【专利说明】真空干燥腔室排气系统及方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示器制造【技术领域】，尤其涉及一种真空干燥腔室的排气系统及方法。
【背景技术】
[0002]图1所示为一种现有的真空干燥腔室的示意图，参考图1，腔室12由上腔体13以及下腔体14组成。一般现有的真空干燥腔室内部设置有排气口，可以将腔室内高浓度的溶解物的挥发气体排出。但是，在腔室12取放基板9的过程中，依然会有部分高浓度的溶解物的挥发气体溢出到真空腔室12的空气中。如此，就会对腔室周围的环境产生危害。
【发明内容】
[0003]本发明的目的在于提供一种真空干燥腔室排气系统，用以解决现有的真空干燥腔室在腔室取放基板的过程中，部分高浓度的溶解物的挥发气体溢出到真空腔室外的空气中，进而会对腔室周围的环境产生危害的问题。
[0004]本发明一种真空干燥腔室排气系统，其中，包括:多个排气口，设置在真空干燥腔室外；排气泵，通过排气管连接该多个排气口。
[0005]根据本发明一实施例的真空干燥腔室排气系统，其中，真空干燥腔室排气系统还包括:PLC，用于控制该排气泵开关。
[0006]根据本发明一实施例的真空干燥腔室排气系统，其中，该多个排气口环绕该真空干燥腔室的外侧设置。
[0007]根据本发明一实施例的真空干燥腔室排气系统，其中，该多个该排气口设置在排气腔上，该排气腔环绕该下腔体的外侧设置，排气腔连接该排气管，该排气管连接该排气栗。
[0008]根据本发明一实施例的真空干燥腔室排气系统，其中，该排气管与该排气泵之间设置有阀门。
[0009]根据本发明一实施例的真空干燥腔室排气系统，其中，该阀门为电控阀门；一PLC，用于控制该电控阀门的开关。
[0010]本发明还提供了一种真空干燥腔室排气的方法，其中，本方法通过上述的真空干燥腔室排气系统实现，该方法包括:在将待干燥基板放入该真空干燥腔室时，通过该排气泵进行排气。
[0011]本发明还提供了一种真空干燥腔室排气的方法，其中，在真空干燥腔室关闭后，停止通过该排气泵进行排气；在将干燥后的基板自该真空干燥腔室取出时，通过该排气泵进行排气。
[0012]根据本发明一实施例的真空干燥腔室排气的方法，其中，通过PLC控制该排气泵开关，以控制该排气泵开始或停止排气。
[0013]根据本发明一实施例的真空干燥腔室排气的方法，其中，将该多个排气口环绕该真空干燥腔室的下腔体外侧设置。
[0014]根据本发明一实施例的真空干燥腔室排气的方法，其中，，将该多个该排气口设置在该排气腔上，将该排气腔环绕该下腔体的外侧设置，排气腔连接该排气管，该排气管连接该排气泵。
[0015]根据本发明一实施例的真空干燥腔室排气的方法，其中，将阀门设置在该排气管与该排气泵之间，开启该阀门，则开始通过该排气泵进行排气；关闭该阀门，则停止通过该排气泵进行排气。
[0016]根据本发明一实施例的真空干燥腔室排气的方法，其中，该阀门选择为电控阀门，并通过PLC控制该电控阀门的开关。
[0017]综上所述，本发明是通过在真空干燥腔室的外部设置多个排气口，使得在腔室取放基板的过程中，能够通过真空干燥腔室的外部的多个排气口将腔室内高浓度的溶解物的挥发气体排出，减少了在此过程中可能产生的环境危害。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]图1所示为一种现有的真空干燥腔室的示意图；
[0019]图2所示为本发明真空干燥腔室排气系统的示意图；
[0020]图3为基板放入真空腔室时的真空干燥腔室排气系统状态图；
[0021]图4为真空干燥腔室关闭后的状态图；
[0022]图5为基板自真空腔室取出后的真空干燥腔室排气系统状态图。
【具体实施方式】
[0023]图2所示为本发明真空干燥腔室排气系统的示意图，如图2所示，本发明真空干燥腔室排气系统包括:多个排气口 5，排气泵1，排气泵阀门8，真空腔室2，排气腔6以及排气管7。真空腔室2包括上腔部3以及下腔部4。
[0024]参考图2，本实施例的真空干燥腔室排气系统的连接结构为，排气腔6围绕真空腔室2的下腔部3的外侧设置。排气腔6上设置有多个排气口 5。排气腔6连接排气管7，排气管7与排气泵I连接。排气管7上可以设置阀门8以控制排气管7的通断。
[0025]对于一种较佳的实施方式，可以通过一 PLC (未图示)连接排气泵I以控制排气泵I的开关。另外，在设置阀门8的情况下，可以将阀门8设置为电动阀门，并将PLC与电动阀门8连接，如此，亦可通过PLC来控制电动阀门8的开关。
[0026]由于现有的真空腔室2 —般自身配备有PLC，故上述的PLC可以采用真空腔室2自身的PLC编程后对排气泵I和/或电动阀门进行控制。
[0027]本发明还提供了一种真空干燥腔室排气的方法，本实施例的方法采用上述实施例的真空干燥腔室排气系统。
[0028]图3为基板放入真空腔室时的真空干燥腔室排气系统状态图；图4为真空干燥腔室关闭后的状态图；图5为基板自真空腔室取出后的真空干燥腔室排气系统状态图。
[0029]真空干燥腔室排气的方法包括:
[0030]参考图3，在将待干燥基板9放入真空干燥腔室2时，开始通过排气泵I进行排气；
[0031]如排气管上设置有阀门8，则同时控制打开阀门8开始排气。
[0032]参考图4，控制真空干燥腔室2的上腔部3闭合，在真空干燥工艺开始后，关闭排气泵I以节省电能；
[0033]同时，如阀门8为电动阀门，可同时关闭阀门8。
[0034]参考图5，再干燥工艺完成后，将干燥后的基板9自真空干燥腔室2取出时，开始通过排气泵I进行排气；
[0035]如排气管上设置有阀门8，则同时控制打开阀门8开始排气。
[0036]在基板8取出后，等待真空干燥腔室2排气完成后，关闭排气泵I。
[0037]其中，均可以通过对PLC编程后，对上述的电动阀门8以及排气泵I进行控制。
[0038]综上所述，本发明是通过在真空干燥腔室的外部设置多个排气口，使得在腔室取放基板的过程中，能够通过真空干燥腔室的外部的多个排气口将腔室内高浓度的溶解物的挥发气体排出，减少了在此过程中可能产生的环境危害。
[0039]虽然已参照几个典型实施例描述了本发明，但应当理解，所用的术语是说明和示例性、而非限制性的术语。由于本发明能够以多种形式具体实施而不脱离本发明的精神或实质，所以应当理解，上述实施例不限于任何前述的细节，而应在所附权利要求所限定的精神和范围内广泛地解释，因此落入权利要求或其等效范围内的全部变化和改型都应为所附权利要求所涵盖。
【权利要求】
1.一种真空干燥腔室排气系统，其特征在于，包括: 多个排气口，设置在真空干燥腔室外； 排气泵，通过排气管连接该多个排气口。
2.如权利要求1所述的真空干燥腔室排气系统，其中，真空干燥腔室排气系统还包括:PLC,用于控制该排气泵的开启和关闭。
3.如权利要求1所述的真空干燥腔室排气系统，其中，该多个排气口环绕该真空干燥腔室的外侧设置。
4.如权利要求3所述的真空干燥腔室排气系统，其中，该多个该排气口设置在排气腔上，该排气腔环绕该下腔体的外侧设置，排气腔连接该排气管，该排气管连接该排气泵。
5.如权利要求1所述的真空干燥腔室排气系统，其中，该排气管与该排气泵之间设置有阀门。
6.如权利要求5所述的真空干燥腔室排气系统，其中，该阀门为电控阀门；还包括:一PLC，用于控制该电控阀门的开关。
7.一种真空干燥腔室排气的方法，其特征在于，真空干燥腔室排气系统包括，多个排气口，设置在真空干燥腔室外，排气泵通过排气管连接该多个排气口 ；真空干燥腔室排气的方法包括: 在将待干燥基板放入该真空干燥腔室时，通过该排气泵进行排气。
8.如权利要求7所述的真空干燥腔室排气的方法，其中， 在真空干燥腔室关闭后，停止通过该排气泵进行排气； 在将干燥后的基板自该真空干燥腔室取出时，通过该排气泵进行排气。
9.如权利要求7所述的真空干燥腔室排气的方法，其中，通过PLC控制该排气泵的开启和关闭。
10.如权利要求7所述的真空干燥腔室排气的方法，其中，将该多个排气口环绕该真空干燥腔室的下腔体外侧设置。
11.如权利要求10所述的真空干燥腔室排气的方法，其中，将该多个该排气口设置在该排气腔上，将该排气腔环绕该下腔体的外侧设置，排气腔连接该排气管，该排气管连接该排气泵。
12.如权利要求7所述的真空干燥腔室排气的方法，其中，将阀门设置在该排气管与该排气泵之间，开启该阀门，则开始通过该排气泵进行排气；关闭该阀门，则停止通过该排气泵进行排气。
13.如权利要求12所述的真空干燥腔室排气系统，其中，该阀门选择为电控阀门，并通过PLC控制该电控阀门的开关。
【文档编号】F26B25/00GK104296520SQ201310300807
【公开日】2015年1月21日 申请日期:2013年7月17日 优先权日:2013年7月17日
【发明者】黄昱嘉, 杨靖哲, 黄正义 申请人:上海和辉光电有限公司