专利名称：用于处理有机废气的催化剂净化装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于净化有机废气的催化剂净化装置，其在常温25 200°C下借助催化剂来移除含有恶臭、有毒及腐蚀性的化学气体。
背景技术：
目前去除恶臭、有毒及腐蚀性气体主要是以干式洗涤吸附器(dry scrubbing adsorber)、吸收塔及化学吸附滤材为主，且大部分都有添加化学药剂加强其去除效率，以降低尾气浓度及增加处理量；而物理吸附、化学吸附及化学吸收为净化废气单元中主要的作用机制，其中物理吸附为可逆反应，主要以介质表面原有的官能基或孔洞性质进行污染物去除；化学吸附及化学吸收作用则于介质中添加活性物质，使污染物与介质中的活性物质进行吸附反应或化学吸收作用，从而提高污染物的移除率及移除量。空气分子污染物(airborne molecular contamination，AMC)包括硫化氢、二氧化硫、二甲基硫、氨气、甲醛、乙烯及异丙醇等化合物，大多存在于周遭环境中，主要由于交通污染、工地污染、农业污染、动植物氧化分解、生活污染物如厨房，卫生设备、厂内外工厂排放、空气气体置换等因素所造成。而近来，国际间对于环保议题及工业安全卫生及高科技厂洁净室分子污染物净化的日益重视，考虑工业废气对环境及劳工以至于一般大众身体产生的危害，对于工业废气排放标准日趋严格，国内外法规都已制定出相关的浓度及臭味的排放标准；另一方面，近来高科技厂的高阶制程对于含硫化合物及低沸点有机化合物等难处理的分子污染物(如 DMS、DMDS, Acetone、MEK、PGME)，在外气引入洁净室前的净化程度要求愈为严苛。例如在半导体晶圆制造厂及TFT-IXD面板光电制造业面板工艺中，去光阻程序 (stripping process)所使用的去光阻剥离液(stripper)主要成分为高沸点且几乎完全溶于水的有机化合物，包括单乙醇胺(MEA)、二甲基亚砜(DMSO)以及乙二醇单丁醚(BDG) 等；而在去光阻工艺中，去光阻剂中的二甲基亚砜虽然是一种高沸点水溶性而且挥发性低的液体，但在处理过程中，极容易形成低沸点且恶臭的二甲基硫(dimethyl sulfide, DMS) 和二甲基二硫(dimethyl disulfide, DMDS)的气态污染物；然而，通过传统吸附法、冷凝法及吸收法并无法完全移除低沸点及低水溶性的二甲基硫及二甲基二硫，而且其在低浓度下即会产生恶臭，极易影响厂房周围生活环境而引发民众抗议，同时也影响到厂房周围其它高科技厂高阶制程的产品良率。而污染物DMS的性质与一般含硫气态分子污染物不太相同，空气中常见的含硫气态分子污染物为硫化氢和二氧化硫，移除的方式一般则以强氧化剂如高锰酸钾等为主，其反应机制如下二氧化硫去除反应机制3S02+2KMn04+4K0H — 3K2S04+2Mn02+2H20Mn02+S02+2K0H — K2S04+Mn0+H202Mn0+02 — 2Mn02
硫化氢去除反应机制3H2S+2KMn04 — 3S+2Mn02+2K0H+2H20然而，该DMS虽也属于有机硫化物，与甲硫醇等性质相似，但因其酸碱性质不明显且分子较小，性质与硫化氢较接近但更不容易被氧化，故相当不易处理。一般情形下想在常温25 200°C下将DMS分解，几乎是不可能的事，仅能将其吸附去除或转化成较易吸附的化合物。以吸附方法去除硫化物一般使用吸附剂，吸附剂的活性组成主要为过渡金属，方法有直接使用过渡金属氧化物，或是将过渡金属分散在多孔载体表面，或是两者相互混用； 有关去除硫化物的吸附剂专利大体上可分成两类，一类为以活性碳为载体，将金属盐类含浸于活性碳上可去除二氧化硫及硫化氢，常使用的金属盐类有铬盐、铜盐、银盐等；而改质的活性碳吸附剂对于高浓度的污染物气体具有相当的吸附量，但其吸附量会随污染物浓度下降而降低，且当线速度增加时移除效率及吸附量都会大幅降低。如美国专利4075282在活性碳碳床上喷出溶液方式(碘、碘化钾、硫化钠、硫化氢钠、水)可直接吸收二氧化硫，硫化氢。美国专利4196183则是在活性碳表面含浸氧化铜或三氧化二铁，对于中浓度(20 250ppmv)的硫化氢具有98%的移除率。美国专利5063196 则是在活性碳表面含浸碳酸铜、氢氧化铜、碳酸锌、硝酸银、三乙基二胺(TEDA)及有机酸 (maleic and酒石酸)，此一化学吸附剂可有效去除氰化氢、氯化氰(氯气、氯化氢、二氧化硫)、甲醛及硫化氢，且其组成最大特点是不含铬化合物，且加入碱性化合物以吸收酸性气体。美国专利5113856吸附氯气，二氧化硫的改质活性碳则含有浸氨水，碳酸铜及钨酸钠。 而美国专利M96785中的活性碳是以乙酸锌、碳酸钾为主要活性组成，可有效去除氰化氢、 四氯化碳、二氧化硫、氯气、氟化氢及硫化氢。此外，在日本专利1996-323194中公开了一种将锰离子交换在X型沸石上可用于去除硫化氢及甲硫醇等硫化合物，在较低的空间流速(hr—1)下其起始移除率可达99.9%。空间速度依据Smith(1981)所定义空间速度(hr—1)=通过催化剂床的气体流量(m3/hr)/催化剂床体积(m3)若计算单位以小时为基准，则又称为气体小时空间速度(gas hourly space velocity, GHSV ；volume hourly space velocity, VHSV)。空间速度即废气于催化剂床上平均停留时间(average residence time)的倒数，是催化剂用量的计算参考值。对于一般对于有如DMS等低阈值有机分子、含硫化合物或低沸点有机化合物等难处理的分子污染物的去除，目前尚无较佳的有效移除方式，故本发明的目的即针对该低阈值有机分子污染物提供有效且具有较高移除率的催化剂滤材及其装置。
发明内容
为了改善上述公知技术所面临的问题，本发明的目的在于提供一种可在常温 25 200°C下，有效移除有机废气中低阈值或低沸点有机化合物等难处理的有机分子污染物的催化剂净化装置，以减低工厂排放有机废气中有机分子污染物对环境所造成的影响。为达上述目的，本发明提供一种用于净化有机废气的催化剂净化装置，其包含催化剂吸附氧化单元，该催化剂吸附氧化单元的操作温度为25 200°C，空间流速为10000 lSOOOOh—1，且该催化剂吸附氧化单元包含
催化剂，其为金属或金属氧化物，且该金属选自钼、锰、铁、铜、锌、铅、钴、银或其组合；及多孔性载体，其为氧化铝或沸石，用于承载上述催化剂；其中，该有机废气入流浓度为0. 001 200ppmv的低浓度场合。如上所述的催化剂净化装置，其中该催化剂选自CuO、Mo03、CuO-MoO3> Ag、Cu、Mn、 Ag-Mn或其组合；且该多孔性载体选自、-A1203、ZSM-5或其组合。如上所述的催化剂净化装置，其中该催化剂吸附氧化单元中的催化剂与多孔性载体组成选自 CuO/ y -Al2O3、CuO-MoO3/ y -Al2O3>Ag/ZSM-5, Cu/ZSM-5 ,Mn/ZSM-5,Ag-Mn/ZSM-5 或其组合。如上所述的催化剂净化装置，进一步包含臭氧供给单元，其位于该催化剂吸附氧化单元之前。且上述的催化剂净化装置，进一步包含浓缩转轮，其位于该催化剂吸附氧化单元之前，通过该浓缩转轮的吸附及脱附作用而先行浓缩有机废气的浓度；同时，也可进一步包含臭氧供给单元，该臭氧供给单元位于该浓缩转轮及该催化剂吸附单元之间。如上所述的催化剂净化装置，其中该催化剂吸附单元的型式可为固定化床式、转轮式或转环式；且当该催化剂吸附单元为固定化床式时，该固定化床可为单塔式、双塔式或多塔式；此外，当该催化剂吸附单元为转轮式或转环式时，该转轮式或转环式催化剂床可包括吸附区及脱附氧化区；又，该转轮式或转环式催化剂床进一步包括冷却区，其位于该脱附氧化区与该吸附区之间。如上所述的催化剂净化装置，该催化剂吸附单元的形状可为颗粒状、蜂巢状、圆柱状、发泡状、粉末状或球状。如上所述的催化剂净化装置，其中该催化剂吸附氧化单元的操作温度较佳为 100 130 。如上所述的催化剂净化装置，其进一步包含焚化炉，该焚化炉位于该催化剂吸附氧化单元之前，通过该焚化炉的高温氧化作用先行净化高浓度有机废气。上述的催化剂净化装置，其中该焚化炉的尾气温度控制于25 200°C ；且该焚化炉为直燃式焚化炉、双塔型或多塔型蓄热式焚化炉；同时，该焚化炉的尾气温度控制在 100 130 。如上所述的催化剂净化装置，其中该有机废气入流浓度为0. 001 20ppmv的较低
浓度场合。如上所述的催化剂净化装置，其中该催化剂吸附氧化单元的操作臭氧与入流有机物浓度摩尔比例在0. 5 2. 0之间。上述的用于净化有机废气的催化剂净化装置，其通过提供催化剂吸附氧化单元， 针对入流浓度为0. 001 200ppmv的有机废气或0. 001 20ppmv的较低浓度有机废气场合，在常温25 200°C之间，可有效与有机废气中的低浓度有机物如DMS进行吸附氧化作用，可有效移除DMS、醋酸及DMF等低阈值或DMS、Acetone及IPA等低沸点低浓度有机分子污染物，为相当符合环保及能源需求的优良技术，值得应用于高风量低浓度排放的高科技晶圆制造、光电面板制造业、涂装印刷业及相关化工业；同时也可应用于高科技晶圆制造、 光电面板制造业洁净室洁净空气净化含硫化合物及碳氢化合物的空气分子微污染物AMC净化的作用。下列实施例只为说明，不应限制本发明的范畴，合理的变化，诸如对于熟习此项技艺者显而易见为合理者，可于不脱离本发明的范畴下进行。
图1为本发明中一种用于净化有机废气的催化剂净化装置的一示意图。图2为本发明中使用固定化床式单塔催化剂填充塔的催化剂净化装置的一示意图。图3为本发明中使用转轮式催化剂净化装置的一示意图。图4为本发明中一种用于净化有机废气的催化剂净化装置的一示意图。图5为本发明中一种用于净化有机废气的催化剂净化装置的一示意图。图6为本发明中一种用于净化有机废气的催化剂净化装置的一示意图。图7为本发明中一种用于净化有机废气的催化剂净化装置的一示意图。图8为本发明中使用转轮式催化剂净化装置的一示意图。图9为本发明中一种用于净化有机废气的催化剂净化装置的一示意图。主要组件符号说明5 风机10 催化剂吸附氧化单元15 臭氧供给单元20 催化剂填充塔21 催化剂滤材30 浓缩转轮35 加热器40 焚化炉A 气体入口B 气体出口C 气体出口D 气体入口I 吸附区II 脱附氧化区III 冷却区
具体实施例方式为充分了解本发明的目的、特征及功效，现借由下述具体的实施例，并配合所附的图式，对本发明做一详细说明，说明如后请参照图1，其为本发明中一种用于净化有机废气的催化剂净化装置的一示意图， 其包含风机5及催化剂吸附氧化单元10，该用于净化有机废气的催化剂净化装置的操作方式为有机废气自气体入口 A经由该风机5的抽送进入该催化剂吸附氧化单元10，通过该催化剂吸附氧化单元10中的催化剂在常温25 200°C，且空间流速为10000 ΙδΟΟΟΟΙΓ1的情况下与有机废气中的有机物质进行作用，从而净化该有机废气后自气体出口 B排
出ο同时该催化剂吸附氧化单元包含催化剂，其为金属或金属氧化物，且该金属选自钼、锰、铁、铜、锌、铅、钴、银或其组合；及多孔性载体，其为氧化铝或沸石，用于承载上述催化剂。且该催化剂可选自CuO、MoO3> CuO-MoO3> Ag、Cu、Mn、Ag-Mn或其组合；而该多孔性载体可选自Y -Al2O3、ZSM-5或其组合。该催化剂吸附氧化单元中的催化剂与多孔性载体的组成较佳的选自CuO/ Y -Al2O3、CuO-MoO3/ Y -Al2O3、Ag/ZSM-5, Cu/ZSM-5、Mn/ZSM-5、Ag-Mn/ZSM-5 或其组合。而上述催化剂与多孔性载体的配置方法如下Cu0/r-Al203取商用r-Al203活性氧化铝20克(直径2mm)，取三水合硝酸铜(II) 6. 04克加水 50克使其完全溶解，将硝酸铜(II)溶液缓慢加入活性氧化铝中，搅拌1小时后使用旋转挥发仪抽干溶液；110度干燥后以500度烧结8小时，可得CuO / y -Al2O3样品。CuO-MoO3/ Y -Al2O3取商用γ -Al2O3活性氧化铝20克(直径2mm)，取三水合硝酸铜(II) /钼酸铵6. 04 克及2. 46克分别加水50及250克(60°C )使其完全溶解，将2溶液充分混合后将硝酸铜 (II)/钼酸铵溶液缓慢加入含有活性氧化铝中，搅拌1小时后使用旋转挥发仪抽干溶液； 110度干燥后以500度烧结8小时，可得CuO-MoO3/ y -Al2O3样品。Ag/ZSM-5取商用NH4-ZSM5 (CBV-5524G, SiO2Al2O3 = 50)沸石 20 克加入 120ml 水后充分搅拌并升温至50°C，取硝酸银结晶1. 53克加水15克使其完全溶解，将硝酸银溶液缓慢滴入含有沸石的溶液中，搅拌1小时后过滤并水洗。80度干燥后以420度烧结3小时，可得Ag/ ZSM-5粉体，再将粉体样品经打锭、粉碎、过筛程序取16 30mesh的颗粒。Cu/ZSM-5取商用NH4-ZSM5 (CBV-5524G, SiO2Al2O3 = 50)沸石 20 克加入 120ml 水后充分搅拌并升温至50°C，取硝酸铜0. 92克加水15克使其完全溶解，将硝酸铜溶液缓慢滴入含有沸石的溶液中，搅拌2小时后过滤并水洗。80度干燥3小时后以530度烧结5小时，可得Cu/ ZSM-5粉体，再将粉体样品经打锭、粉碎、过筛程序取16 30mesh的颗粒。Mn/ZSM-5取商用NH4-ZSM5 (CBV-5524G, SiO2Al2O3 = 50)沸石 20 克加入 120ml 水后充分搅拌并升温至50°C，取2. 3克醋酸锰(含4个结晶水)加水20克使其完全溶解，将醋酸锰溶液缓慢滴入含有沸石的溶液中，溶液缓慢变成铁灰色，搅拌1小时后过滤并水洗。80度干燥后以420度烧结3小时，可得Mn/ZSM-5粉体。将粉体样品经打锭、粉碎、过筛程序取16 30mesh的颗粒。Ag-Mn/ZSM-5取商用NH4-ZSM-5 (CBV-5524G, SiO2Al2O3 = 50)沸石 20 克加入 120ml 水后充分搅拌并升温至50°C，取硝酸银结晶1. 53克加水15克使其完全溶解，将硝酸银溶液缓慢滴入含有沸石的溶液中，搅拌1小时后过滤并水洗。将滤饼分散在IOOml水中并将含有2. 3克醋酸锰(含4个结晶水)的溶液20ml滴入，溶液缓慢变成铁灰色，搅拌1小时后过滤并水洗， 80度干燥后以420度烧结3小时，可得Ag-Mn/ZSM-5粉体。将粉体样品经打锭、粉碎、过筛程序取16 30mesh的颗粒。再来，请参照图2，其为使用固定化床式单塔催化剂填充塔的催化剂净化装置的一示意图，其包含风机5及-催化剂吸附氧化单元10，且该催化剂吸附氧化单元10为固定化床式的催化剂填充塔20，该催化剂填充塔20含有催化剂滤材21，该催化剂滤材21即为催化剂与多孔性载体所组成，该催化剂净化装置的操作方式为有机废气经由风机5自气体入口 A而抽送进入该催化剂填充塔20，通过该催化剂填充塔20内的催化剂滤材21在常温 25 200°C以及空间流速为10000 lSOOOOh—1情况下与有机废气中的有机物质进行作用， 从而净化该有机废气后自气体出口 B排出。请参照图3，其为使用转轮式催化剂净化装置的示意图，其包含风机5及催化剂吸附氧化单元10，且该催化剂吸附氧化单元10为浓缩转轮30，该浓缩转轮30含有吸附区I 及脱附氧化区II，也可进一步包含冷却区III，且该浓轮转轮即由催化剂滤材所构成，该催化剂滤材即为催化剂与多孔性载体所组成，该催化剂净化装置的操作方式为有机废气自气体入口 A经由风机5而抽送进入该浓缩转轮30的吸附区I，在该吸附区I的有机废气中的有机物质被该浓缩转轮30吸附区I中的催化剂滤材所吸附，而被净化后的有机废气自气体出口 B排出；而当吸附有机废气中有机物质的催化剂滤材转动到该脱附氧化区II时，经由加热器35加热后常温70 200°C的空气进入该脱附氧化区II内，此时吸附有机物质的催化剂滤材于70 200°C以及空间流速为10000 lSOOOOtT1下与其上的有机物质进行脱附氧化作用，使有机物质被浓缩后自另一气体出口 C排出，且该浓缩转轮30进一步可包含冷却区III，其位于该脱附氧化区II与该吸附区I之间，以冷却其上的催化剂滤材，使该浓缩转轮30上的催化剂滤材于冷却后进入吸附区I后继续使用。再者，请参照图4，其为本发明一种用于净化有机废气的催化剂净化装置另一具体实施例的一示意图，其包含风机5、臭氧供给单元15及催化剂吸附氧化单元10，即于该风机 5及该催化剂吸附氧化单元10之间提供该臭氧供给单元15，该臭氧供给单元15提供臭氧 (供给的臭氧与入流有机物浓度摩尔比例在0. 5 2. 0之间)，以加强该催化剂吸附单元10 的催化剂对于有机废气中有机物质的吸附氧化能力，可更有效净化有机废气；而该有机气体的净化如同图1所示，仅在有机废气进入该催化剂吸附单元10之前，同时供给臭氧以强化净化效能，在此不再重复描述。再者，请参照图5，其为本发明一种用于净化有机废气的催化剂净化装置另一具体实施例的一示意图，其包含风机5、臭氧供给单元15及催化剂吸附氧化单元10，且该催化剂吸附氧化单元10为固定化床式的一催化剂填充塔20，并于该风机5及该催化剂填充塔20 之间提供该臭氧供给单元15，该臭氧供给单元15提供臭氧(供给的臭氧与入流有机物浓度摩尔比例在0. 5 2. 0之间)，以加强该催化剂填充塔20中催化剂滤材21对于有机废气中有机物质的吸附氧化能力，可更有效净化有机废气；而该有机气体的净化如同图2所示，仅于有机废气进入该催化剂吸附单元10之前，利用该臭氧供给单元15同时供给臭氧以强化净化效能，在此不再重复描述。再者，请参见图6，其为本发明一种用于净化有机废气的催化剂净化装置再一具体实施例的示意图，其包含风机5、浓缩转轮30及催化剂吸附氧化单元10，且该催化剂吸附氧化单元10为固定化床式的催化剂填充塔20，在本实施例中，有机废气先行进入该浓缩转轮 30进行有机废气的净化浓缩，然后，经净化后的有机废气先自气体出口 B排出，而经该浓缩转轮30浓缩后(其操作同图3的操作，不再重复描述)的有机物质经气体入口 D再进入该催化剂填充塔20进行后续的催化剂吸附氧化作用，以使有机废气中的有机物质更为有效的吸附氧化。请参照图7，其为本发明一种用于净化有机废气的催化剂净化装置又一具体实施例的示意图，其包含风机5、浓缩转轮30、臭氧供给单元15及催化剂吸附氧化单元10，且该催化剂吸附氧化单元10为固定化床式的催化剂填充塔20，在本实施例中，有机废气先行进入该浓缩转轮30进行有机废气的净化浓缩，然后，经净化后的有机废气先自一气体出口 B 排出，而经该浓缩转轮30浓缩后(其操作同图3的操作，不再重复描述)的有机物质经一气体入口 D再进入该催化剂填充塔20进行后续的催化剂吸附氧化作用，唯于本实施例中， 同时提供臭氧供给单元(供给的臭氧与入流有机物浓度摩尔比例在0. 5 2. 0之间)，提供臭氧进入该催化剂填充塔20中，以使该有机废气中的有机物质为更有效的吸附氧化。请参见图8，其为使用转轮式催化剂净化装置的一示意图，其包含风机5、臭氧供给单元15及催化剂吸附氧化单元10，且该催化剂吸附氧化单元10为浓缩转轮30，该浓缩转轮30含有吸附区I及脱附氧化区II，也可进一步包含冷却区III，且该浓轮转轮即由催化剂滤材所构成，该催化剂滤材即为催化剂与多孔性载体所组成，该催化剂净化装置的操作方式与图3的操作相近，其为有机废气自气体入口 A经由风机5而抽送进入该浓缩转轮 30的吸附区I，在该吸附区I中有机废气中的有机物质被该浓缩转轮30吸附区I中的催化剂滤材所吸附，而被净化后的有机废气自气体出口 B排出；而当吸附有机废气中有机物质的催化剂滤材转动到该脱附氧化区II时，经由加热器35加热后常温70 200°C的空气，结合来自该臭氧供给单元15所提供的臭氧，进入该脱附氧化区II内，此时吸附有机物质的催化剂滤材在70 200°C之间，结合臭氧与其上的有机物质进行脱附氧化作用，使有机物质被浓缩后自另一气体出口 C排出，且该浓缩转轮30进一步可包含冷却区III，其位于该脱附氧化区II与该吸附区I之间，以冷却其上的催化剂滤材，使该浓缩转轮30上的催化剂滤材在冷却后进入吸附区I后继续使用，而自该臭氧供给单元所提供的臭氧可使催化剂滤材与有机物质的脱附氧化作用更为完全，可更有效净化有机废气。请参照图9，其为本发明一种用于净化有机废气的催化剂净化装置另一具体实施例的示意图，其包含风机5、焚化炉40及催化剂吸附氧化单元10，在本实施例中，有机废气自气体入口 A经由该风机的抽送进入焚化炉40中，用高温燃烧该有机废气，以降低该有机废气内有机物质的浓度，经该焚化炉40燃烧后的有机废气，其内有机物质浓度降低，且控制焚化炉的尾气温度在75 200°C之间，更佳是控制在100 130°C之间，再送入该催化剂吸附氧化单元10，以更完成该低浓度有机废气的净化，而经净化后的有机废气再经由气体出口 B排出，以完成有机废气的净化；而该焚化炉可为直燃焚化炉、双塔型或多塔型蓄热式焚化炉，在图9中的焚化炉即为双塔型蓄热式焚化炉。实施例数据
权利要求
1.一种用于净化有机废气的催化剂净化装置，其包含催化剂吸附氧化单元，该催化剂吸附氧化单元的操作温度为25 200°C，空间流速为10000 lSOOOOh—1，且该催化剂吸附氧化单元，其特征在于，包含催化剂，其为金属或金属氧化物，且该金属选自钼、锰、铁、铜、锌、铅、钴、银或其组合；及多孔性载体，其为氧化铝或沸石，用于承载上述催化剂；其中，该催化剂净化装置用于净化有机废气入流浓度为0. 001 200ppmv的低浓度场合。
2.如权利要求1所述的催化剂净化装置，其特征在于，该催化剂选自CuO、MoO3, CuO-MoO3> Ag、Cu、Mn、Ag-Mn 或其组合。
3.如权利要求1所述的催化剂净化装置，其特征在于，该多孔性载体选自Y-A1203、 ZSM-5或其组合。
4.如权利要求1所述的催化剂净化装置，其特征在于，该催化剂吸附氧化单元中的催化剂与多孔性载体组成选自 CuO/ y -A1203、CuO-MoO3/ y _A1203、Ag/ZSM-5、Cu/ZSM-5、Mn/ ZSM-5、Ag-Mn/ZSM-5 或其组合。
5.如权利要求1所述的催化剂净化装置，其特征在于，进一步包含臭氧供给单元，所述臭氧供给单元位于该催化剂吸附氧化单元之前。
6.如权利要求1所述的催化剂净化装置，其特征在于，进一步包含浓缩转轮，所述浓缩转轮位于该催化剂吸附氧化单元之前，通过该浓缩转轮的吸附及脱附作用而先行浓缩有机废气的浓度。
7.如权利要求6所述的催化剂净化装置，其特征在于，进一步包含臭氧供给单元，该臭氧供给单元位于该浓缩转轮及该催化剂吸附单元之间。
8.如权利要求1、5、6、7中任一项所述的催化剂净化装置，其特征在于，该催化剂吸附单元的型式可为固定化床式、转轮式或转环式。
9.如权利要求8所述的催化剂净化装置，其特征在于，当该催化剂吸附单元为固定化床式时，该固定化床为单塔式、双塔式或多塔式。
10.如权利要求8所述的催化剂净化装置，其特征在于，当该催化剂吸附单元为转轮式或转环式时，该转轮式或转环式催化剂床包括吸附区及脱附氧化区。
11.如权利要求10所述的催化剂净化装置，其特征在于，该转轮式或转环式催化剂床进一步包括冷却区，其位于该脱附氧化区与该吸附区之间。
12.如权利要求1、5、6、7中任一项所述的催化剂净化装置，其特征在于，该催化剂吸附单元的形状为颗粒状、蜂巢状、圆柱状、发泡状、粉末状或球状。
13.如权利要求5、7中任一项所述的催化剂净化装置，其特征在于，该催化剂吸附氧化单元的操作温度为100 130°C。
14.如权利要求1、5、6、7中任一项所述的催化剂净化装置，其特征在于，进一步包含焚化炉，该焚化炉位于该催化剂吸附氧化单元之前，通过该焚化炉的高温氧化作用先行净化高浓度有机废气。
15.如权利要求14中所述的催化剂净化装置，其特征在于，该焚化炉的尾气温度控制于75 200°C之间。
16.如权利要求15中所述的催化剂净化装置，其特征在于，该焚化炉为直燃式焚化炉、 双塔型或多塔型蓄热式焚化炉。
17.如权利要求16中所述的催化剂净化装置，其特征在于，该焚化炉的尾气温度控制在100 130°C之间。
18.如权利要求1、5、6、7中任一项所述的催化剂净化装置，其特征在于，该催化剂净化装置用于净化有机废气入流浓度为0. 001 20ppmv的较低浓度场合。
19.如权利要求14中所述的催化剂净化装置，其特征在于，该催化剂净化装置用于净化有机废气入流浓度为0. 001 20ppmv的较低浓度场合。
20.如权利要求5、6、7、17中任一项所述的催化剂净化装置，其特征在于，该催化剂吸附氧化单元的操作臭氧与入流有机物浓度摩尔比例在0. 5 2. 0之间。
全文摘要
本发明涉及一种用于净化有机废气的催化剂净化装置，其包含催化剂吸附氧化单元，其操作温度为25～200℃，空间流速为10000～180000h-1，并且该催化剂吸附氧化单元包含催化剂，其为金属或金属氧化物；以及多孔性载体，其为氧化铝或沸石，用于承载上述催化剂；其中，该催化剂净化装置用于净化有机废气入流浓度为0.001～200ppmv的低浓度场合，并可进一步结合臭氧进行有机废气的净化，以提升有机废气的净化效能。
文档编号B01D53/75GK102476029SQ201010572610
公开日2012年5月30日 申请日期2010年11月29日 优先权日2010年11月29日
发明者张丰堂, 黄建良 申请人:杰智环境科技股份有限公司