浮起输送装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及浮起输送装置，其使形成有涂敷膜的基板浮起进行输送。
【背景技术】
[0002]在液晶显示器和等离子显示器等平板显示器中使用在基板上涂敷有抗蚀液的基板(称之为涂敷基板)。通过以下方式生产该涂敷基板:利用涂敷装置在基板上均匀地涂敷抗蚀液而形成涂敷膜，然后一边利用下述专利文献1和图5所示的浮起输送装置91对基板进行输送一边对该涂敷膜进行干燥、烧成。
[0003]该浮起输送装置91具有被加热的浮起台92，如果通过比浮起输送装置91靠上游的涂敷装置94将形成有涂敷膜的基板W搬入到最上游的浮起台92，则在该浮起台92上基板W例如通过超声波振动浮起而维持浮起的状态，并且被载置规定时间。通过像这样将基板W载置在浮起台2上，通过被加热的浮起台92对基板W进行热处理，而对涂敷膜进行干燥、烧成等。并且，经过规定的载置时间之后，一边利用输送部93所具有的手部95把持基板W的端部，一边通过输送部93将基板W输送至下一个浮起台92等。
[0004]在此，如图6 (a)和图6 (b)所示，手部95具有抵接部97，通过该抵接部97与基板W的端部抵接而把持基板W。此外，手部95具有空气轴承98，使抵接部97以距浮起台92具有微小的空隙的方式浮动，从而使抵接部97与浮起台92互不干涉。
[0005]专利文献1:日本特开2012-248755号公报
【发明内容】
[0006]但是，在上述专利文献1所记载的浮起输送装置91中，当输送基板W时有可能使基板W破损。具体地说，在输送基板W的过程中，当由于浮起台92的表面的微小的凹凸或浮起台92与下一个浮起台92之间的阶部等而造成抵接部97与浮起台92之间的间隔即使短时间地变大时，基板端部Wa潜入抵接部下端97a之下，其结果，存在抵接部97压到基板W而造成破损的问题。
[0007]此外，所输送的基板W越薄，在浮起台92上浮起时的基板W的表面的高度越低，从而与为了避免与浮起台92之间的干涉而需要的最低限度的抵接部下端97a高度接近，所以在基板输送过程中基板端部Wa潜入抵接部下端97a之下的危险性变高。
[0008]本发明就是鉴于上述问题点而完成的，其目的在于提供一种浮起输送装置，该浮起输送装置能够不使基板破损地使其浮起进行输送。
[0009]为了解决上述课题，本发明的浮起输送装置具有:浮起台，其使基板浮起；手部，其具有与基板的端面抵接的抵接部，通过使所述抵接部与借助所述浮起台而浮起的基板的端部抵接来把持基板；以及行走机构，其使所述手部沿基板的输送方向移动，所述浮起输送装置的特征在于，所述浮起台的基板浮起面在与所述输送方向垂直的宽度方向上比基板的宽度窄，所述基板浮起面是使基板浮起的面，当所述手部把持基板时，所述抵接部在所述宽度方向上在比所述基板浮起面靠外侧的位置与基板抵接，所述抵接部的下端位于比所述基板浮起面低的位置。
[0010]根据上述结构的浮起输送装置，能够不使基板破损地对其进行浮起输送。具体来说，当手部把持基板时，抵接部在宽度方向上在比基板浮起面靠外侧的位置与基板抵接，抵接部的下端位于比基板浮起面低的位置，由此，在输送过程中使基板不会潜入抵接部之下，能够防止抵接部使基板破损。
[0011]此外，该浮起输送装置可以进一步具有对所述浮起台进行加热的加热器部，在基板上形成有由涂敷液形成的涂敷膜，所述宽度方向上的涂敷膜的两端位于比所述基板浮起面的两端靠外侧的位置。
[0012]这样，涂敷膜的端部与其它部分相比温度低，其结果，能够使涂敷膜的膜厚不均匀的部分集中于涂敷膜端部，能够扩大膜厚均匀的区域。
[0013]此外，所述浮起台可以具有:基板浮起部，其具有所述基板浮起面；以及支承部，其在所述宽度方向上与所述基板浮起部邻接，该支承部的顶面比所述基板浮起面低，当所述基板把持部把持基板时，所述抵接部在所述支承部的上方与基板抵接。
[0014]这样，能够稳定地保持抵接部，并且能够调节基板浮起部与支承部之间的阶部从而调节涂敷膜端部与其以外的部分之间的温度差，从而能够形成比扩大膜厚均匀的区域更好的条件。
[0015]根据本发明的浮起输送装置，能够不使基板破损地对其进行浮起输送。
【附图说明】
[0016]图1是本发明的一个实施方式的浮起输送装置的概略图。
[0017]图2是示出本实施方式中的基板的把持方式的概略图。
[0018]图3是示出涂敷膜端部的膜厚分布的图表。
[0019]图4是示出其它实施方式的浮起输送装置中的基板的把持方式的概略图。
[0020]图5是以往的浮起输送装置的概略图。
[0021]图6是示出以往的实施方式中的基板的把持方式的概略图。
[0022]标号说明
[0023]1:浮起输送装置；2:浮起台；3:加热器部；4:超声波产生部；5:输送单元；6:涂敷装置；21:基板浮起部；22:支承部；23:基板浮起面；31:加热器单兀；32:间隔件；41:超声波振子；42:变幅杆；51:手部；52:行走机构；53:抵接部；53a:抵接部下端；54:顶板；55:空气轴承；56:进退机构；57:升降机构；91:浮起输送装置；92:浮起台；93:输送部；94:涂敷装置；95:手部；96:彳丁走机构；97:抵接部；97a:抵接部下端；98:空气轴承；M:涂敷膜；W:基板；Wa:基板端部。
【具体实施方式】
[0024]使用附图对本发明涉及的实施方式进行说明。
[0025]图1是本发明的一个实施方式中的浮起输送装置的概略图，图1(a)是俯视图，图1(b)是主视图。此外，图2是示出本实施方式中的基板的把持方式的概略图，图2(a)是俯视图，图2(b)是侧视图。
[0026]浮起输送装置1设置于涂敷装置6的下游侧，其具有多个浮起台2、加热器部3以及超声波产生部4。浮起台2通过超声波产生部4而进行超声波振动，并通过由该振动所产生的放射压使浮起台2上的基板W浮起。此外，浮起台2被加热器部3加热，并通过来自加热后的浮起台2的辐射热对基板W进行加热。
[0027]此外，各浮起台2分别具有与浮起台2成对的输送单元5，通过输送单元5而使基板W从浮起台2向正下游的浮起台2输送，从而进行基板W的传递。此外，输送单元5的动作由未图示的控制部控制。
[0028]此外，在下面的说明中，将基板W的输送方向作为Y轴方向、将在水平面上与Y轴方向垂直的方向作为X轴方向、将与X轴和Y轴的双方都垂直的方向作为Z轴方向来进行说明。
[0029]浮起台2是使基板W进行超声波振动浮起的振动板，该浮起台2具有:基板浮起部21，其具有当使基板W浮起时与基板W最接近的基板浮起面23从而使基板W积极地浮起；以及支承部22，其在与基板W的输送方向(Y轴方向)垂直的宽度方向(X轴方向)上与基板浮起部21的两侧邻接。此外，在本实施方式中，具有多个浮起台2在Y轴方向上邻接的方式。
[0030]支承部22的顶面的高度如在图2(b)中由尺寸h所示的那样，位于比基板浮起面23低的位置。在此，在本实施方式中，基板浮起部21与2个支承部22是一体的，是从Y轴方向观察具有凸形状的铝制(铝合金制)板。当利用后述的超声波发生部4使该浮起台2进行超声波振动时，支承部22也与基板浮起部21 —起振动。由此，不仅仅是基板浮起部21连支承部22也具有使物体超声波振动浮起的功能，但是因为基板浮起部21的基板浮起面23比支承部22的顶面更接近基板W，所以主要是基板浮起面23有助于基板W的浮起。此夕卜，基板浮起部21与支承部22的Y轴方向的尺寸相同，两者的Y轴方向的端部的位置相同。
[0031]在此，如图2(a)和图2(b)所示，基板浮起部21的X轴方向的尺寸(基板浮起面23的X轴方向的尺寸)比浮起输送的基板W的X轴方向的尺寸小，当载置基板W时，如尺寸dl所示的那样，基板W的X轴方向的两端部突出至基板浮起部21的外侧。另一