58与活塞本体40的通孔43嵌合，因此，小径轴部58的直径比通孔43(即内周面40A)稍小。中间轴部57的直径大于活塞本体40的内周面40A，且比凹孔44的底面44A的最大直径稍小。型锻部59的直径大于活塞本体40的内周面40A。
[0033]在杆本体53的安装中，形成型锻部59之前的小径轴部58与活塞本体40的通孔43嵌合。而且，在中间轴部57的端面57B与凹孔44的底面44A抵接的状态下，对从通孔43突出的小径轴部58的位于中间轴部57的相反侧的端部进行型锻，形成型锻部59。由此，中间轴部57和型锻部59从轴线方向两侧夹持活塞本体40。其结果是，活塞本体40以不能沿轴线方向移动且不能沿径向移动的方式与活塞杆14连结。
[0034]盘形阀41以不能沿径向移动且能够沿轴线方向移动的方式保持于活塞杆14的中间轴部57。盘形阀41具备活塞本体40侧的平板圆环形盘62、活塞本体40的相反侧的平板圆环形盘63。盘62具有圆筒面状的内周面62A，盘63具有圆筒面状的内周面63A。盘62、63的内周面62A，63A的直径相同。这些内周面62A、63A的直径大于中间轴部57的外径即外周面57A的直径，小于主轴部56的外径即外周面56A的直径。这些内周面62A、63A的内侧插入有中间轴部57。
[0035]盘62形成有从圆筒面状的内周面62A向径向外侧凹陷的切口 62a，盘63形成有从圆筒面状的内周面63A向径向外侧凹陷的切口 63a。在盘62、63与活塞本体40的轴线方向的位置重合的状态下，这些切口 62a、63a与凹槽48内连通，形成固定孔口 52。在盘62、63与活塞本体40的轴线方向的位置重合的状态下，固定孔口 52使图1所示的气室50与气室51连通。
[0036]如图3所示，活塞本体40的端面40B和主轴部56的端面56B之间的间隔大于盘形阀41的轴线方向的长度。因此，盘形阀41在与活塞本体40的端面40B抵接且与主轴部56的端面56B分离的状态和与活塞本体40的端面40B分离且与主轴部56的端面56B抵接的状态之间，能够相对于活塞13及活塞杆14沿轴线方向移动。S卩，盘形阀41能够与活塞本体40抵接及分离。
[0037]如图1所示，安装架54由金属制成，具备:平板状的接合板部66，其以与杆本体53垂直的姿态接合于杆本体53的主轴部56的与中间轴部57的相反的一侧的端部；平板状的安装板部67，其从接合板部66的一边缘部相对于接合板部66垂直地向远离杆本体53的方向延伸。接合板部66和安装板部67由一片板部件弯折而成，安装板部67形成有沿板厚方向贯穿的安装孔68及安装槽69。该安装架54通过接合板部66以焊接等方式接合于杆本体53的主轴部56而安装于主轴部56。另外，安装架54也可以由树脂制成，而不一定是金属O
[0038]杆导向件15由金属制成，具有圆环形状，中央形成有沿轴线方向贯穿的固定直径的通孔71。杆导向件15的外周侧具有从轴线方向的一端侧依次具备大外径部72、中间外径部73、小外径部74的阶梯形状。轴线方向中间的中间外径部73的直径小于轴线方向一端侧的大外径部72，轴线方向另一端侧的小外径部74的直径小于中间外径部73。
[0039]杆导向件15在大外径部72处与气缸12的圆筒部25嵌合，在大外径部72的中间外径部73侧的端面处与气缸12的开口侧卡止部26卡止。大外径部72通过压入而嵌合在气缸12的圆筒部25，直径比圆筒部25大相当于压入余量的量，且大外径部72的直径大于开口侧卡止部26。杆导向件15相对于气缸12在轴线方向上被定位固定。通过活塞杆14的主轴部56与通孔71嵌合，杆导向件15在将活塞杆14不能相对于气缸12向径向移动地支承的状态下，引导活塞杆14在轴线方向上的移动。
[0040]在活塞13和杆导向件15之间设有圆环形的密封部件81，密封部件81压接于气缸12的内周面的整个圆周上。密封部件81在其内侧插入活塞杆14的主轴部56，由此，与该主轴部56的外周面56A的整个圆周可滑动地接触。另外，在活塞13和杆导向件15之间，在与密封部件81相比更靠近活塞13侧的位置设有滑动部件82，滑动部件82在密封部件81和活塞13之间能够在气缸12内沿轴线方向滑动地被支承。因而，气缸12内的密封部件81和滑动部件82之间被划分成封装润滑油等液态润滑剂L的润滑剂保持室83。
[0041]密封部件81由橡胶等软质密封性材料形成。密封部件81具备:圆形平板状的基部85、从基部85的外周边缘部向轴线方向的一侧突出的外侧筒状部86、从基部85的内周边缘部向与轴线方向的外侧筒状部86相同的一侧突出的内侧筒状部87，具有C字形截面。该密封部件81具有如下尺寸:处于自然状态时，内侧筒状部87的内径小于活塞杆14的主轴部56的外径，外侧筒状部86的外径大于气缸12的开口侧圆筒部28的内径。
[0042]而且，在使基部85与杆导向件15抵接的状态下，外侧筒状部86以具有过盈量的状态与气缸12的圆筒部25嵌合，活塞杆14的主轴部56以具有过盈量的状态可滑动地插入内侧筒状部87的内周侧，从而在气缸12内配置密封部件81。由此，密封部件81封闭密封部件81和气缸12之间的间隙，并且封闭密封部件81和活塞杆14之间的间隙。另外，设定密封部件81分别相对于气缸12及活塞杆14的过盈量等的嵌合条件，即使活塞杆14滑动，在允许该滑动的同时，密封部件81也不会相对于气缸12沿轴线方向移动。密封部件81通过在基部85处与杆导向件15抵接，相对于气缸12沿轴线方向上被定位。
[0043]滑动部件82具备:圆环形滑动部件本体91，由金属等硬质材料形成；内周密封部件92，保持于滑动部件本体91的内周侧，由橡胶等软质密封性材料形成；外周密封部件93，保持于滑动部件本体91的外周侧，由橡胶等软质密封性材料形成。另外，滑动部件本体91也可以由树脂制成，而不一定是金属。
[0044]如图3所示，滑动部件本体91具有以其中心轴线为中心的圆形形状。滑动部件本体91形成以中心轴线为中心的通孔95，从而形成以中心轴线为中心的圆形的内周面9IA。另外，滑动部件本体91的轴线方向的一侧形成有与中心轴线垂直的端面91B，轴线方向的另一侧形成有与中心轴线垂直的端面91C。另外，滑动部件本体91形成有以中心轴线为中心的圆形外周面91D。
[0045]滑动部件本体91形成有从内周面91A向径向外侧凹陷一定深度的圆环形的内周密封槽97、从外周面91D向径向内侧凹陷一定深度的圆环形的外周密封槽99。内周密封槽97及外周密封槽99均具有以滑动部件本体91的中心轴线为中心的圆形形状。内周密封槽97的宽度在整个圆周上固定不变，外周密封槽99的轴线方向的宽度也在整个圆周上固定不变。内周密封槽97及外周密封槽99的轴线方向的宽度的相同。内周密封槽97整体配置于偏离滑动部件本体91的轴线方向中央的一侧，外周密封槽99整体配置于偏离滑动部件本体91的轴线方向中央的另一侧。由此，内周密封槽97与外周密封槽99的轴线方向的位置完全不同。
[0046]滑动部件本体91的内周面91A具备圆锥形的圆锥面部91Aa，圆锥面部91Aa位于轴线方向上的与内周密封槽97的相反的一侧的端部，越往轴线方向外侧直径变得越大。内周面9IA具备:圆筒内表面部91Ab，其位于该圆锥面部9IAa和内周密封槽97之间，直径固定；圆筒内表面部91Ac，其相对于内周密封槽97位于与圆筒内面部91Ab相反的一侧，直径固定，且与圆筒内表面部91Ab的直径相同。圆筒内表面部91Ab的轴线方向的长度大于圆筒内面部91Ac。
[0047]滑动部件本体91的外周面91D具备弯曲面部91Da，弯曲面部91Da在轴线方向上位于与外周密封槽99相反的一侧端部，越往轴线方向外侧直径变得越小。外周面91D具备:圆筒外表面部91Db，其位于该弯曲面部91Da和外周密封槽99之间，直径固定；圆筒外表面部9IDc，其相对于外周密封槽99位于与圆筒外面部9IDb相反的一侧，直径固定，且与圆筒外表面部9IDb的直径相同。圆筒外表面部9IDb的轴线方向的长度大于圆筒外表面部91Dc0
[0048]内周密封部件92是具有圆形截面的O型圈，通过嵌合于内周密封槽97内而被保持在滑动部件本体91。外周密封部件93也是具有圆形截面的O型圈，直径大于内周密封部件92。外周密封部件93通过嵌合于外周密封槽99内而被保持在滑动部件本体91。滑动部件本体91的外周面9ID的固定直径的圆筒外表面部9 IDb、9 IDc的直径比圆筒部25的内径稍小，能够在圆筒部25内滑动。另外，滑动部件本体91的内周面91A的固定直径的圆筒内表面部91Ab、91Ac的直径比主轴部56的外周面56A的直径稍大，使其内侧能够可滑动地插入活塞杆14的主轴部56。
[0049]如图1所示，滑动部件82可滑动地嵌合于开口侧圆筒部28的内侧。此时，滑动部件82中设置于其活塞杆14侧的内周密封部件92与滑动部件本体91紧贴，并且与活塞杆14的主轴部56可滑动地接触，由此，密封滑动部件本体91和活塞杆14之间的间隙。另外，滑动部件82中设置于其气缸12侧的外周密封部件93与滑动部件本体91紧贴，并且与气缸12的开口侧圆筒部28的内周面可滑动地接触，由此，密封滑动部件本体91和气缸12之间的间隙。
[0050]内周密封部件92中能够与活塞杆14滑动接触的部分起到密封滑动部件82和活塞杆14之间的间隙，限制流体的轴线方向的流动的内周环形密封部(环形密封部)101的作用，外周密封部件93中能够与气缸12滑动接触的部分起到密封滑动部件82和气缸12之间的间隙，限制流体的轴线方向的流动的外周环形密封部102的作用。换言之，内周环形密封部101由作为O型圈的内周密封部件92的一部分形成，外周环形密封部102由作为O型圈的外周密封部件93的一部分形成。滑动部