1.一种平面内多晶织构的测量方法,其特征在于,包括:
采用X射线管发出X射线,所述X射线为线焦斑;
使用Sollar狭缝限制X射线在线焦斑长度方向的发散,并使用发散狭缝控制所述X射线在垂直于线焦斑方向的发散;
使呈线焦斑的X射线照射到待测产品上,并使用X射线探测器接收待测产品衍射的X射线;
控制所述X射线管与所述X射线探测器对待测样品进行Phi扫描,并由X射线探测器记录接收到的待测产品衍射的X射线的强度,根据待测产品衍射的X射线的强度的变化得出待测产品的平面内多晶织构。
2.如权利要求1所述的平面内多晶织构的测量方法,其特征在于,所述X射线衍射面的法向与待测产品平面的法向的夹角Kai为15-75度。
3.如权利要求1所述的平面内多晶织构的测量方法,其特征在于,所述待测产品为带材或板材;所述待测产品以连续或步进的方式经过检测点。
4.如权利要求3所述的平面内多晶织构的测量方法,其特征在于,所述带材为高温超导带材或其中一部分为高温超导带材,或为轧制的金属带;所述板材为镀膜的平板玻璃,或为轧制的金属板,或为光伏板。
5.如权利要求1所述的平面内多晶织构的测量方法,其特征在于,所述由X射线探测器记录接收到的待测产品衍射的X射线的强度后,还对所述Phi扫描的测量结果进行校正。
6.如权利要求5所述的平面内多晶织构的测量方法,其特征在于,对所述测量结果进行校正的方法为:
选择多个已知测量结果的标样,利用权利要求1所述的方法对标样进行测量;
将测量的结果与标样已知的测量结果进行比较,得到校正曲线;
根据所述校正曲线对待测产品的测量结果进行校正。
7.如权利要求1所述的平面内多晶织构的测量方法,其特征在于,采用Bragg Brentano 聚焦衍射几何光路且带接收侧Sollar狭缝,再由所述X射线探测器接收。
8.如权利要求1所述的平面内多晶织构的测量方法,其特征在于,所述X射线管功率大于1000瓦。
9.如权利要求1所述的平面内多晶织构的测量方法,其特征在于,所述进行Phi扫描时,所述X射线管的θ角范围设定为-5°~60°;所述X光探测器θ角范围设定为-10°~90°,角度误差小于0.005°,角度置位重现性小于0.01°。
10.如权利要求7所述的平面内多晶织构的测量方法,其特征在于,通过更换所述发散狭缝上的发散狭缝插片调整所述X射线在垂直于线焦斑方向的发散角度,所述发散狭缝插片的发散角度为1/6°、1/2°、1°、2°可选;通过更换所述接收狭缝上的接收狭缝插片调整聚焦后的线焦斑状的X射线的宽度,所述接收狭缝插片的尺寸为0.08mm、0.15mm、0.3mm、0.6mm可选。