双面快速转向反射镜结构的制作方法

文档序号:14288733阅读:来源:国知局
双面快速转向反射镜结构的制作方法

技术特征:

1.一种双面快速转向反射镜结构,包括:致动器(1)、基座(2)、柔性机构(3)、镜片安装台(4)、双面反射镜(5)、预紧螺钉(6)、垫片(7)和位移传感器(8);其特征在于:

所述的致动器(1)是压电陶瓷位移致动器;所述的基座(2)是有四个位移放大机构的一体式平台;所述的柔性机构(3)是有三层弹性薄板柔性铰链的支撑杆;所述的镜片安装台(4)是有粘接凸台面的环状椭圆平台;所述的双面反射镜(5)是两面均为镜面的椭圆镜片;所述的预紧螺钉(6)是末端为球头状的螺钉;所述的垫片(7)是方形殷钢片;所述的位移传感器(8)是电容式位移传感器;

所述致动器(1)通过环氧胶粘在基座(2)上;所述柔性机构(3)的铰链底部通过螺钉与基座(2)上部的位移放大机构末端连接;所述镜片安装台(4)背部通过螺钉与柔性机构(3)连接;所述双面反射镜(5)通过环氧胶粘接于安装台(4)的凸起平面上;所述预紧螺钉(6)固定于基座(2)上部,同时给致动器(1)调整预紧力;所述垫片(7)通过环氧粘接于致动器(1)上端面;所述电容式位移传感器(8)通过螺钉固定于基座(2)上。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1