可变形衬底上的蜿蜒互连的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明的实施例涉及一种装置和方法。特别地，它们涉及一种用于有效地为导电路径布置路线的装置(特别地但并非排他地，在布线的扭曲是一项要求的情况下)。
【背景技术】
[0002]导电路径通常被用于传送电信号。常见的是，沿着物理上平行的导电路径平行地布置多个电信号的路线。
[0003]取决于应用，导电路径可能会需要同时满足大量约束条件。
[0004]例如，可能合乎需要的是，具有低电阻以防止电阻性功率损耗。
[0005]例如，可能合乎需要的是，具有低电容以防止来自电容耦合的干扰。
[0006]例如，可能合乎需要的是，使导电路径能够扭曲。扭曲是通过扭转和/或弯曲和/或伸缩而使本体变形。
[0007]增加导电路径的厚度可增加导电性，但是这也可能会增加刚性并降低柔性。
[0008]增加导电路径的宽度可增加导电性，但是这也可能会增加电容。
【发明内容】
[0009]根据本发明的各种但不一定是所有实施例，提供了一种装置，包括:第一多个第一导电线(conductive line);以及与可变形衬底分隔开地被支撑的第一蜿蜓互连(meandering interconnect)，其中第一蜿蜓互连包括第一多个蜿蜓导电线，每个蜿蜓导电线被电连接至第一多个第一导电线中的一个。
[0010]根据本发明的各种但不一定是所有实施例，提供了一种方法，包括:与可变形衬底分隔开地支撑第一蜿蜒互连，其中第一蜿蜒互连包括第一多个不同的蜿蜒导电线；以及将不同的蜿蜒导电线中的每一个电连接至第一多个第一导电线中的一个。
【附图说明】
[0011]为了更好地理解有助于理解
【发明内容】
部分的各种示例，现在将仅通过举例的方式参考附图，在附图中:
[0012]图1示出一装置的示例；
[0013]图2以透视图示出该装置；
[0014]图3示出作为触摸面板的一部分的装置的示例；
[0015]图4A示出触摸面板的电容单元(capacitive cell)的示例；
[0016]图4B示出触摸面板的电容单元的示例；
[0017]图5示出包括一个蜿蜒互连的驱动布线；
[0018]图6示出包括两个蜿蜒互连的驱动布线；
[0019]图7A、7B和7C示出包括一个或多个蜿蜓互连的传感布线的示例；
[0020]图8A和8B是不同方向的穿过装置的腔体的横截面图；
[0021]图9A、9B和9C示出第一导电线的不同实现；
[0022]图10示出包括提供驱动线的上壳体和提供传感线的下壳体的堆叠式结构的示例；以及
[0023]图11A至11D示出一方法。
【具体实施方式】
[0024]附图示出装置1包括:第一多个22第一导电线20 ;以及与可变形衬底3间隔开地被支撑的第一蜿蜒互连10，其中第一蜿蜒互连10包括第一多个12不同的蜿蜒导电线，每个不同的蜿蜒导电线被电连接至第一多个22第一导电线20中的一个。
[0025]在本文件中，术语“线”被用于表示可具有任何形状的细长导电路径。在一些但不一定是所有实施例中，导电路径可位于一平面内和/或可以是直线的。
[0026]在本文件中，扭曲是通过扭转和/或弯曲和/或伸缩而引起的变形。弹性扭曲是指，被扭曲的某物在保持于该状态时处于其扭曲状态，且在被施放时返回到其平衡形态。第一蜿蜒互连10可以被弹性扭曲。装置1可以被弹性扭曲。
[0027]图1示出用于布置电信号的路线的装置1的示例。
[0028]装置1包括第一多个22第一导电线20，和电连接至导电线20的第一蜿蜒互连10。
[0029]在该示例中，第一蜿蜒互连10充当总线、且包括第一多个12并行的蜿蜒导电线16。第一多个12并行的蜿蜒导电线16中的每一个被电连接至第一多个22第一导电线20中的一个。放大视图A、B、C、D详细不出第一蜿蜓互连10的各部分，其中在导电线16和第一导电线20之间进行了电连接。
[0030]在视图A中，导电线16中的第一个通过通路(via) 14连接至第一导电线20中的第一个。通路14是两个平行平面之间的导电互连。通路14可通过任何适合的方式(诸如导电粘合剂、液态金属、金属互连等)来形成。在视图B中，导电线16中的第二个通过通路14连接至第一导电线20中的第二个。在视图C中，导电线16中的第三个通过通路14连接至第一导电线20中的第三个。在视图D中，导电线16中的第四个通过通路14连接至第一导电线20中的第四个。
[0031]第一蜿蜒互连10与可变形衬底3间隔开地被支撑。这可从图2中的装置1的透视图中得到理解。在图2中，第一导电线20为了清晰起见并未示出，但是它们是存在的。
[0032]在装置1中，第一蜿蜒互连10在第一方向dl上横向蜿蜒，并在正交于第一方向dl的第二方向d2上纵向延伸。
[0033]第一蜿蜒互连10在间歇的支撑点2处被相对于衬底3凸起的凸起支撑件5支撑。该凸起支撑件可包括例如单个梁或多个单独的梁或杆。
[0034]第一蜿蜒互连10在相邻支撑点2之间包括一个或多个悬置环状体4。除了在支撑点2处被支撑以及与衬底3相分离地被悬置外，环状体是无支撑的。
[0035]如果环状体的曲线被近似为圆的弧，则该弧所对的角给出了环状体弯曲程度的度量。在图1中，环状体所对的角小于180度，而在图2中，环状体所对的角大于180度。
[0036]在这些但不一定是所有示例中，支撑点2沿着纵向轴6直线地排列，其中纵向轴6在第二方向d2上延伸。
[0037]在这些但不一定是所有示例中，支撑点2沿着纵向轴6直线地排列且在支撑点2之间留有规则的间隔8，其中纵向轴6在第二方向d2上延伸。
[0038]在这些但不一定是所有示例中，悬置环状体4在悬置平面中在纵向轴6的两侧中的任一侧延伸。从悬置平面的法向量的角度，朝悬置环状体4观察并且在纵向轴6的方向上行进的情况下，在纵向轴6 —侧的环状体4沿逆时针方向环行，而在纵向轴6另一侧的环状体沿顺时针方向环行。
[0039]在这些但不一定是所有示例中，在纵向轴6的两侧中的任一侧的悬置环状体4具有相同的环大小。
[0040]在这些但不一定是所有示例中，在纵向轴6同一侧的悬置环状体4具有相同的环大小。
[0041]在这些但不一定是所有示例中，悬置环状体4具有在纵向上重复的图案7。在本示例中，重复图案7关于中心点呈180度旋转对称。
[0042]图3示出作为触摸面板30的一部分的装置1的示例。
[0043]触摸面板30是检测用户“触摸”输入的用户输入设备。通过使用接地元件(诸如，人的手指)触摸触摸面板30或者通过使这样的接地元件靠近(但不触碰)触摸面板30，可发生触摸输入。
[0044]触摸面板30配置成在触摸面板30的有效区域32内检测触摸输入发生的位置。
[0045]该示出的示例是电容式触摸面板30。导体与电容式触摸面板30的接近度会改变电容单元35的电容。通过使用第一导电线20作为驱动线并使用第二导电线40作为传感线，来检测该电容变化。
[0046]驱动线20平行地排列。它们各自在第一方向dl上延伸。传感线40也平行地排列。它们在正交于第一方向的第二方向d2上延伸。
[0047]驱动线20和传感线40形成网状物，其被用于检测该网状物内布置的电容单元35的电容变化。
[0048]在另一实施例中，如图4A所示，每个电容单元35包括电容器45，其通过驱动线20和传感线40的唯一组合来寻址。电容单元35的电容值可通过对单元35进行寻址来测量，并且由用户使能的输入而引起的电容变化可以得到检测。不论驱动线20和传感线40是否交叉，电容器45可以是设计的元件、或者被简单地形成。
[0049]在另一实施例中，如图4B所示，每个电容单元35包括多个电极47。这些电极可以以棋盘格图案排列为瓦片(tile)且在这些电极之间具有狭窄的间隙。连接至驱动线20的电极47与连接至邻近的第一传感线40的邻近电极47构成第一电容器，并且与连接至邻近的第二传感线40的电极47构成第二电容器。可以测量第一电容器和第二电容器的电容的相对差异以检测由用户触摸输入引起的电容的差分变化。
[0050]触摸面板30包括位于触摸面板30的有效区域32外侧的布线34。布线34将驱动线20和传感线40连接至处理电路。驱动布线36将驱动线20连接至处理电路，并且传感布线38将传感线40连接至处理电路。
[0051]驱动布线36可包括一个或多个蜿蜒互连。