可变形衬底上的蜿蜒互连的制作方法_2

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[0052]例如,驱动布线36可包括第一蜿蜒互连10,其如图1和2所示被配置成连接至所有第一导电线20,其中第一导电线20在本实施例中充当驱动线。该布置的示例在图5中示出。处理电路由集成电路37提供。
[0053]作为替代示例,驱动布线36可如图1和2所示在有效区域32的第一边缘包括第一蜿蜒互连10,并且可以在有效区域32的与第一边缘相对的第二边缘包括与图1和2中所示的第一蜿蜒互连10相似的第二蜿蜒互连110。
[0054]第一蜿蜒互连10配置成连接至驱动线20中的一些,并且第二蜿蜒互连110配置成连接至剩余的驱动线20。
[0055]该布置的示例在图6中示出。处理电路由集成电路37提供。
[0056]在本示例中,第二蜿蜒互连110与可变形衬底3间隔开地被支撑(类似于图1和2中所示的布置)。第二蜿蜒互连110包括第二多个蜿蜒导电线116 (类似于图1中所示的布置)。第二蜿蜒互连110在第一方向dl上横向蜿蜒、并且在正交于第一方向dl的第二方向d2上纵向延伸,且在间歇的支撑点2处被支撑(类似于图1和2中所示的布置)。
[0057]第一导电线20可按逻辑划分为第一组22第一导电线20 (其中每个第一导电线20电连接至第一蜿蜒互连10的不同的导电线16)和第二组24第一导电线20 (其中每个第一导电线20电连接至第二蜿蜒互连110的不同的导电线116)。
[0058]第一导电线20中的交替的线(例如,...、第n-2个、第η个、第n+2个、...)电连接至第一蜿蜒互连10。
[0059]第一导电线20中的不同的交替的线(例如,----第n-3个、第η-1个、第n+1
个、...)电连接至第二蜿蜒互连110。
[0060]参考图7A、7B和7C,传感布线38也可包括一个或多个蜿蜒互连42。这样的蜿蜒互连42可以与可变形衬底3分隔开地被支撑。
[0061]参考图7A,蜿蜒互连42在第二方向d2上蜿蜒、并在与第二方向d2正交的第一方向dl上延伸。蜿蜒互连42在间歇的支撑点2处由凸起支撑件支撑(类似于图1和2中所示的布置)。蜿蜒互连42包括多个蜿蜒导电线(类似于图1中所示的布置),每个蜿蜒导电线被连接至传感线40。
[0062]图8A和8B示出装置1的示例。
[0063]图8A是沿着与第一和第二方向dl、d2正交的第三方向d3(dlXd2 = _d3)从与图1相同的方向观察到的横截面图。多个第一导电线20平行地排列。每个第一导电线20在第一方向dl上延伸并正交于第二方向d2。
[0064]图8B是图8A中所示的同一装置1的横截面图,只不过是沿着第二方向d2进行观察。
[0065]在图8A和8B中,装置1包括壳体50。壳体50可弹性变形、并且提供可变形衬底3。其可以由弹性材料构成。
[0066]壳体50包括多对54腔体52。
[0067]每对54腔体52的每个腔体52在第一方向dl上横向并排排列、且在第二方向d2上有一定偏移。第一腔体在右边,且第二腔体在左边。
[0068]各对54腔体52沿着第二方向d2成对地纵向排列、且在第二方向d2上有一定偏移,使得相邻的第一腔体52之间的边界不支撑第一蜿蜒互连10的环状体并且使得相邻的第二腔体52之间的边界不支撑第一蜿蜒互连10的环状体。
[0069]多个第一导电线20中的每一个与一对54腔体52相关联。第一腔体52中的每一个可以是用于第一导电线20的导管。
[0070]第一蜿蜒互连10至少部分地蜿蜒通过包括多对54腔体52的腔体52中的每一个。如关于图1和2所述,其电连接至第一导电线20中的每一个。
[0071]图9A、9B和9C示出替代实现。
[0072]在图9A中,腔体52是单独密封的腔体。第一腔体52包括导电液体60。导电液体可以例如是液态金属(例如,Ga、In、Sn、Sb、Sn的共晶,诸如共晶镓铟(eGaln))、离子液体或溶质。
[0073]多个单独密封的第一腔体52内的导电液体60的各分离的部分62提供各第一导电线20。因此,各单独腔体52分离导电液体60以形成多个单独的导电线20。
[0074]在图9B中,第一腔体52包括提供第一导电线20的导电互连材料。导电互连材料直接电连接至第一蜿蜒互连10。
[0075]在图9C中,第一腔体52包括提供第一导电线20的导电互连材料。导电互连材料延伸到第二腔体52中。第二腔体52包括导电液体60。导电液体可以例如是液态金属(例如,Ga、In、Sn、Sb、Sn的共晶,诸如共晶镓铟(eGaln))、离子液体或溶质。
[0076]第一导电线20因此通过导电液体60间接地电连接至第一蜿蜒互连10。
[0077]多个单独密封的腔体52内的导电液体60的各分离的部分62提供第一导电线20和第一蜿蜒互连10之间的接口 70。
[0078]图10示出堆叠式结构,其包括:上壳体50,其提供驱动线20并且例如如参考图8A、8B、9A、9B和9C所述的那样被配置;以及下壳体50’,其提供传感线40。驱动线20和传感线40因此占据不同的平面。上壳体50和下壳体50’的排序可以反转。
[0079]除了下壳体50旋转了 90度外,下壳体50可以与上壳体相似。
[0080]上壳体和下壳体这两者可限定出密封腔体52,并且这些腔体52中的一些或全部可以包括导电液体,或者这些腔体52中的任何一个都不包括导电液体。
[0081]驱动线20可以如前所述被连接。
[0082]传感线40可以如前所述被连接。
[0083]图11A至1ID示出方法90。
[0084]方法90包括:与可变形衬底3分隔开地支撑第一蜿蜒互连10,其中第一蜿蜒互连10包括第一多个12不同的蜿蜒导电线;以及将不同的蜿蜒导电线中的每一个电连接至第一多个22第一导电线20中的一个。
[0085]更详细地,方法90的所示的示例包括:
[0086]如图11A所示,方法90包括:对弹性体进行模制以形成第一下壳体部件91,以及对弹性体进行模制以形成第二上壳体部件92。壳体部件91、92可弹性地扭曲并且可由任何适合的材料构成。其示例包括:聚氨酯、硅树脂弹性体(例如聚二甲硅氧烷)。
[0087]根据第一选择方案,第一导电线20被限定在下壳体部件91的上表面上。
[0088]根据替代的选择方案,第一导电线20通过注射液态导体60而在之后被限定。
[0089]制造第一蜿蜓互连10。例如,可以通过对释放衬底(release substrate)上的金属层进行图案化、用保护刚性层覆盖图案化的金属层、并将具有附着的图案化金属的刚性保护层分离出来作为第一蜿蜒互连10,来形成第一蜿蜒互连10。
[0090]第一蜿蜒互连10可以使用熟知的“柔性印制电路”技术来制造。此后,导体(例如,铜)和导体下方和/或上方的支撑衬底(例如,聚酰亚胺)被裁切或以其他方式图案化成包括一个或几个导电线的蜿蜒线的形状。
[0091]在另一示例中,蜿蜒互连10可以在图案化成蜿蜒形状的衬底(例如聚对苯二甲酸乙二酯(PET))上包括:铟锡氧化物(ΙΤ0)、铝锌氧化物(ΑΖ0)、或其他类似的透明导电氧化物或碳纳米管(CNT)、金属纳米线、或其他透明导电材料。
[0092]第一蜿蜒互连10与可扭曲的下壳体部件91的可变形衬底3分隔开地被支撑。
[0093]参考图11B,将第一下壳体部件91和第二上壳体部件92结合在一起以形成用于第一蜿蜒互连10的壳体50。
[0094]第一蜿蜒互连10被壳体50的至少一部分支撑、并且至少部分地悬置在第一和第二壳体部件91、92之间形成的一个或多个腔体52中。
[0095]第一下壳体部件91包括向上延伸的一个或多个下支撑件5,并且第一蜿蜒互连10被支撑在一个或多个下支撑件5上。
[0096]可扭曲的第二上壳体部件92可包括向下延伸的一个或多个上支撑件(该图中未示出)。将可扭曲的下壳体部件91和可扭曲的上壳体部件92结合在一起使得一个或多个下支撑件5和一个或多个上支撑件对齐,从而将第一蜿蜒互连10固定在一个或多个下支撑件5和一个或多个上支撑件之间。对齐的下支撑件5和上支撑件的组合形成腔体52之间的壁(见图8B)。
[0097]图11C不出注射导电液体60以形成第一导电线20 (图9A)或者与第一导电线20的接口 70 (图9C)的可选阶段。如果第一导电线20已经被限定并且被连接至第一蜿蜒互连10(图9B),那么该阶段是可选的。
[0098]图11A至11C中所示的阶段可以随后被重复以提供正交于第一导电线20的第二导电线40
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