采用薄膜晶体管的三维集成电路的制作方法

文档序号:11451875阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种集成电路,其通过使用在BEOL中制造的薄膜晶体管(TFT)而与标准硅集成电路相比能够实现更低成本,并且还提供更好的性能。改进的存储器电路通过利用TFT来提高三维电路设计中的密度和访问来实现,其使得晶粒面积最小化。通过消除专用于I/O的在半导体表面上的面积可以实现改进的I/O,并允许提供多倍数量的可用I/O。缩短的金属路由线路也可以提高速度、降低功耗并减少泄漏。

技术研发人员:T·A·阿甘;J·J·卢皮诺
受保护的技术使用者:3B技术公司
技术研发日:2015.12.23
技术公布日:2017.08.29
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