专利名称：电子元件的测试方法
技术领域：
本发明的目的是提供一种测试电子元件的方法。更具体地说，本发明可以用于半导体电子元件，特别是集成电路等元件的测试。在现有技术中，已知一种测试电子元件的方法，减少了每个元件的单位测试时间。本发明的价值在于这样的事实，它提出了一种测试方法，首先减少了单位测试时间，其次使得测试工具的生产效率最优化。
本发明是对1997年12月4日出版的国际专利No．WO97／45748的改进。该国际申请的主题以引用方式结合在本申请中。一个电子元件通常具有几种功能。因此元件要进行一系列的测试。来测试每种功能。根据文件WO97／45748的测试方法可以用于这种系列测试中的每一种中。测试通常包括几个连续的基本步骤。这种用于测试电子元件的方法包括以下基本步骤--在开始日Di，元件端，认为是测试的输入端，具有电位Vi；--在一个时间段中等待一个响应的出现，并且该响应在被认为是测试的输出端的元件端变得稳定；--在该时间段结束时，在测量日DM，测量该反应。在一个例子中，测量在这些输出端的电位值Vs。
在测试过程中，元件已经接收了一个信号，在特定的时间段结束时已经测量了元件对应于该信号的反应。然后，查明该元件是否具有对应于该测试的可以接受的结果。
--将测得的响应与可以接受的固定标准相比较。也就是说，在该例子中，将电位Vs的值与可以接受的更高和／或更低的极限值相比较。
由于电子元件具有已知的结构，能够在理论上确定一个时间段，在该元件的输入端作用电位Vi之后，在该时间段结束时在元件的输出端观察所希望的反应。由于这个理论上的时间是已知的，例如由电子元件的设计者计算出来的，确定了用于该测试的标称测量时间Do。标称测量时间Do是开始日Di之后的一个时间。此外，标称测量时间使得开始日Di与标称测量日Do之间的间隔大于理论时间的该间隔。事实上，为确定该标称时间Do选择一个安全的极限值。
然后，该标称时间Do用来作为待测元件的测量时间Dm。该选择对于保证得到符合测量的结果是优选的，导致了进行测量的总时间的增大。由于对于作用在元件上的系列测试的所有测试都是这样的，因此对于这种元件的总的测试时间非常可观地增大了。
国际申请WO97／45748设想了一种测试方法，用于减小开始日Di与测量日Dm之间的时间段。事实上，由于将测试方法设计成连续上千次或者甚至更多次地作用到本身就是批量生产的电子元件上，根据该文件，作用给一组这样的元件的测试方法包括--第一“学习阶段”和--第二“应用阶段”。
在学习阶段中，考虑测试一批可以接受的元件。可以接受的元件是这些在等于标称测量时间Do的测量时间Dm进行的测试中具有很好的结果的元件。该量是“用于学习数量”，下文中称之为“学习数量”。在一个例子中，该学习数量可以包括一个单个的电子元件。
然后，利用在该学习数量的基础上得到的结果，寻求限定一个测量时间，它是可能的最早测量时间。对于该目的，通过向输入端重复作用信号，并且在一个中间测量时间Dmi，最好是早于标称测量时间Do时读出输出端处的电位Vs的值，重复准备在该学习数量上进行的测试。如果学习数量包括一个单个元件，则通过利用同样的测量时间Dmi或者Do来重复该同样的测试，来得到对应于每个测试时间的几个结果。
因此，进行对分的或者步进的程序来测试早于标称时间的测量时间。为了从这些测试的中间测量时间Dmi中选择一个测量时间，在它们之间进行比较--该学习数量的结果的统计图，是在中间测量时间Dmi得到的；--同样的学习数量的结果的统计图，是在标称测量时间Do得到的。
事实上，对于每个测试的中间测量时间Dmi，确定一个所得到的结果的统计图。该统计图具体包括平均值M的计算和标准偏差S的计算。另外，为了相互对比两个统计图，使用统计评价准则。该准则需要知道要进行对比的图的平均值和标准偏差值。为在测量时间Dmi得到的每个统计图确定一个关于Cpi的评价准则D。在一个例子中，评价准则Cpi等于极限值之间的差值与标准偏差之间的比值。通过制造者的公差可以给出极限值之间的差值，例如To。然后Cpi等于To除以S。
为了相互比较统计图，比较它们相应的评价准则Cpi。选择可能的最早中间测量时间Dmi作为测量时间。另外该测量时间使得评价准则Cpi在评价准则Cpo的一定比例中，其中Cpo是代表在标称时间Do测量的值的统计图的评价准则。
在信号Vi已经施加到该元件的输入端之后，对于每个中间测量时间所确定的一组统计图给出一个在输出端测量的值的变化。
在第一个例子中，如果对于所有进行测试的中间测量时间Dmi，观察在输出端测量的电位值的宽范围的变化，没有任何值的任何优势，则其表示用这些测量时间测试的电子元件的行为是不可靠的。事实上，直到标称测量时间Do，电位一直在变动并且从来没有正确地稳定过。在这种情况下，不能选择低于标称测量时间的测量时间。
在第二个例子中，也是不合适的，即使在标称测量时间Do，得到一条曲线，表示在输出端测量的非稳定电位值。因此需要选择一个高于标称时间的测量时间。
在第三个例子中，表示在电子元件的输出端测量的值的变化的曲线是用细线表示的。然后能够考虑与标称测量时间相关的中间测量时间。然而，即使在该例子中，能够确定一个最小的测量时间，在其下面由低于该最小时间的测量时间得到的结果的统计图是不一致的。例如，利用在标称测量时间得到的结果，中间测量时间得到的结果必须保持在可以接受的极限值之内。
提供该测试方法来选择中间测量时间，该时间是可能的最早时间，但保证该中间测量时间高于最小时间。
然后将在学习阶段中选择的该中间测量时间用来作为要测试的所有其它电子元件的测量时间Dm。因此，在应用阶段中，该中间测量时间连续地作用。
在国际专利WO97／45748中提出的这种方法具有几个问题。该方法的第一个问题在于这样一个事实，在测试一批元件之前，需要进行一个学习阶段。然而该学习阶段很长，并且蒙受了时间损失。另外，在该学习阶段中确定的中间测量时间可能是在应用阶段中引起待测电子元件的高淘汰率的原因。
如果给定学习阶段的持续时间，不能太频繁地进行。因此该方法导致测量时间的使用不适合于进行部分批量的测试。利用学习阶段，不能给出可以减少测试时间的最优化的中间测量时间，和不能给出对于测试的生产收益性的最优选的时间。事实上，如果学习阶段已经导致选择了非常早的中间测量时间，然后在应用阶段中在该测量时间进行的测试下，许多电子元件将不合格。然后这些元件将错误地从合格产品取走，并且待测工具的最终收益性将低于用更晚的测量时间进行的测试中得到的收益性。
本发明的目的在于，通过提出一种测试方法克服所提到的问题，该测试方法包括一个单独的学习阶段，它的教导可以在测试方法的应用阶段中重新使用。另外，根据本发明的测试方法提出了在应用阶段中测量时间的调整阶段。因此，例如在给定数量的测试元件的末端，有规律地调整测量时间，使得它对应于处理的产品的测试持续期间总是最优化的，和对应于测试产品的收益性是最优化的。事实上，由于待测试的产品的特性可以时时变化，同样的测量时间不能连续地使用。根据待测试的产品的特定特性需要调整测量时间。事实上，待测试的输出特性可能由于时间而不同。然而，不需要将产品的这些部分从可以接受的元件的数量中分开。
另外，本发明提出一种测试方法，其中通过考虑待测元件的内在特性，确定作用给一批元件的测量时间。对于该目的，为了确定可能的最早测量时间，考虑依靠标准的总量。该总和数量包括一个或者多个元件。
在第一个例子中，该总和数量的统计图包括用不同的测量时间得到的一个元件或多个元件的结果。根据第一个例子的考虑总和数量的操作可以用来如一个调整阶段一样多的学习阶段一样多。具体地，--测试处于标称测量时间的“总和数量”的元件；--决定一个标称的统计图；--在中间测量时间测试同样的元件，--考虑总和数量的统计图，包括在标称测量时间得到的所有结果和在中间测量时间得到的所有结果；--将总和数量的统计图与依靠标准的标称统计图进行比较，来确定是否可以选择合并到总和数量中的中间测量时间来作为应用阶段的测量时间。
在另一个实施例中，该总和数量的统计图包括来自不同来源的元件的，但用同样的测量时间测得的结果。然后，该总和数量包括，首先，在学习阶段分析过的可以接受的元件，和其次调整阶段的可以接受的元件。这些调整阶段的元件是来自在应用阶段中测试的生产可以接受的元件。
在该调整阶段中，考虑可以接受的元件的量。对于每个调整阶段，考虑总和数量。
对于学习阶段的每个元件，已知在不同的测量时间得到的测量值。另一方面，对于在调整阶段中考虑的可以接受的元件，最初，只有在标称测量时间测量的值是已知的。只有对于标称测量时间可以接受的元件可以包括在调整阶段的总量中。对于这些调整阶段的元件，寻求确定在早于标称测量时间的中间测量时间测量的值。对于包含在调整阶段的总量中的每个元件，单独进行以下步骤--确定用不同中间测量时间测量得到的电位值；--对于每个测试的中间测量时间，所考虑的元件的结果包括在学习总量的结果的分布中，为该中间测量时间而得到；--考虑在同样的测量时间得到的值的总量的统计图；--依据标准，将该总和数量的统计图与在同样的中间测量时间得到的值的学习数量的统计图相比较；--选择一个调整后的中间测量时间，使得该调整后的测量时间高于或者等于为学习数量给出的最早的测量时间，和使得在与同样的调整测量时间得到的学习数量的统计图的评价准则相比较中，为总和数量得到的统计图的评价准则是可以接受的。
本发明的目的在于提出一种测试电子元件的方法，其中--在开始日，在元件端施加一个电位；--在一个测量时间，测量施加在该元件端的电位值；--作为比较的作用，为了接受或者淘汰该元件，将测量的电位值与可以接受的极限值进行比较；--在应用阶段之前的学习阶段中，通过作用给一定量的可以接受的元件的标准，考虑该一定量的可以接受的元件的统计图，确定测量时间；--选择可能的最早日期作为测量时间；其中--在应用阶段中为了至少一个调整阶段而调整已经确定的测量时间。
本发明的目的还在于提出一种测试电子元件的方法，其中--在开始日，在元件端施加一个电位；--在一个测量时间，测量施加在该元件端的电位值；
--作为比较的作用，为了接受或者淘汰该元件，将测量的电位值与可以接受的极限值进行比较；--通过作用给一定量的可以接受的元件的标准，考虑该一定量的可以接受的元件的统计图，确定测量时间；--选择可能的最早日期作为测量时间；其中--考虑的一定量的可以接受的元件是一个总和数量，包括所有参考的数量和从应用阶段中取出的可以接受的元件的数量。
可以通过参照附图和下面的说明来更清楚地理解本发明。这些附图仅仅是以示例的形式给出，而不能限定本发明的范围，其中
图1表示根据本发明的学习数量、调整数量和应用数量的元件；图2是时间持续图，表示根据本发明的按时间安排的学习阶段、调整阶段和应用阶段；图3是根据本发明的学习数量的测试结果的分布情况图，给出测试的测量时间；图4是根据本发明的在学习数量上进行的测试结果的处理，作为测量时间的函数；图5是根据本发明的调整数量的测试结果的分布情况图，对于测试的测量时间；图6表示根据本发明的不同的统计图的评价准则的比较的处理。
图1表示承载电子元件2的晶片1。该晶片可以具有圆形，否则为形成片的六面体形。晶片1的电子元件2是例如集成电路芯片。一个电子元件2包括至少一个待测的功能3。为了测试电子元件2的功能3，电子元件2的导电端4作用有电位Vi。将端4看成是输入端来执行功能3的测试。电子元件2具有导电端5。这些导电端5是用来执行测试的输出端。
事实上，在端5等待对测试的响应。在端5等待的响应通常是输出电位Vs的值。为了测试电子元件2的功能3，本发明利用一个测试装置，该测试装置包括第一组电极，用来向输入端4作用电位Vi，和第二组电极，采集输出端5处的输出电位Vs。该测试装置的内表面进行电信号的传递和采集到的信号的测量。由测试装置的测试工具构成内表面。内表面的结构用来处理由它发出和接收的信号。具体地，利用内表面根据进行的测试决定元件是可以接受的还是不可以接受的。
在图2所示的第一学习阶段，用等于标称测量时间Do的测量时间测试电子元件。用标称测量时间Do进行的测试与现有技术的这些测试相同。在本发明中，紧随该第一测试。识别晶片1上的可以接受的元件6和不可以接受的元件7。只有可以接受的元件6可以用来形成学习数量。通常，学习数量只有一个元件。
图3以在标称测量时间Do读出的值Vs的函数的形式，给出学习数量的元件的分布。该分布通常是高斯分布。这是一个学习数量的统计图，为给定的测量时间建立的。该分布的特征在于平均值Mo和标准偏差So。给出的标称测量时间Do是用大的安全极值选择的，标准偏差So通常很小。
然后，以对于不同的中间测量时间在元件的输出端读出的值Vs的函数形式，给出该学习数量的元件的分布。这些测量时间最好早于标称测量时间Do。因此，确定了对于前面的中间测量时间的学习数量的统计图。例如，如图3所示，表示在早于标称测量时间Do的测量时间Dj得到的学习数量的分布。通过平均值Mj和标准偏差Sj确定在测量时间Dj处的分布或者统计图。在测量时间Dj的分布的表示可以不同于在标称测量时间观察到的分布。事实上，标准偏差Sj可以不同于标准偏差So。通常，在早于标称时间Do的测量时间Dj得到的标准偏差Sj大于标准偏差So。另外，如果对应于进行的测试，电子元件的行为不能完好地重复，则随着并且当标称测量时间到达时，将观察到标准偏差的逐渐减小。
在一个变化中，对于每个中间测量时间能够考虑一个中间总和统计图，其包括通过在标称测量时间和中间测量时间上的这些元件得到的所有结果(值Vs)。在与图3所示的同样的方式中，能够得到一个通过标准偏差Dj和平均值Mj区别的类型的中间总和的统计图。
图4给出学习数量观察到的平均值Vs的处理的简单示意图，用来作为测量时间的函数。该例子表示平均值Ms的增长的变化，并且它观察到超出标称测量时间Do，观察到的电位值Vs保持与平均值Mo相等。
另外，能够定义一个测量时间Ds，最小的阈值时间，在其下面学习数量作为在输出端5读出的值Vs的函数的分布不再连贯。事实上，在该时间Ds的学习数量的标准偏差Ss太大，以至于不能得到对数据的解释。在一个变化中，该时间Ds可以定义为对应于固定标准的平均值Ms的函数。
因此，在学习阶段中，选择可能的最早测量时间Dj。在最小阈值Ds和标称值Do之间选择Dj。
为了选择测量时间Dj，能够利用在国际专利申请WO97／45748中提出的测试方法，具体是通过利用评价准则CPK。对于每个测量时间，能够确定一个截然不同的CPK。因此能够计算对应于适合于标称测量时间Do的学习数量的数据因素的CPKo。还能够计算每个测量时间Dj的评价准则CPKj。在一个变化中，能够计算分别表示每个中间测量时间的中间总和的统计图的评价准则CPKjc。通常，CPK定义为如下CPK=最小值|平均值-较低的极限值|／S|平均值-较高的极限值|／S例如CPKo=最小值{|Mo-较低的极限值|／S；|Mo-较高的极限值|／S}两个竖线之间的公式是取绝对值的式子。用来计算CPK的较高的和较低的极限值是由制造商确定的。它们通常以电位Vs的较高的和较低的极限值表示，该电位是在标称测量时间Do测量的。
不同的学习数量的统计图由这些评价准则CPK表示。
在一个变化中，能够确定在低于标称时间的测量时间测量的值的较高和较低极限值。在这种情况中，使用一个转换函数来转换这些已知的较高和较低的极限值。例如，该转换函数可以是如图4中所示的函数。
然后，为了选择可能的最早测量时间Dj，需要对于相应的评价准则CPKj或者CPKjc，填充对应于在学习数量的标称测量时间记录的值的评价准则CPKo的特定条件。
在本发明中，计划在将要确认的学习阶段的时间选择可能的最早的测量时间Dj，因为这种情况可以在根据本发明的测试方法的应用阶段中的调整阶段的过程中。
事实上，每个生产、每个制造批量、每个晶片在它的特性中具有一定的相同特征。因此，可以选择它或者以另一个频率来确定对于每个新的制造批量、每个晶片的新的测量时间。因此，根据本发明的测试方法，在测试一个新批量的元件之前，提供一个调整阶段。该调整阶段远快于学习阶段，并且能够根据待测批量的特性调整测量时间的选择Dma。
因此，如图1中所示，考虑承载电子元件20的第一晶片10。在开始称之为应用阶段的晶片的分析阶段之前，首先在调整阶段中定义一个测量时间Dma。在该调整阶段的过程中，用一个标称测量时间Do测试晶片10的元件A、B。希望是找到一个精确的和确定的电子元件的数量，其符合测试的要求，能够划分调整阶段的数量。
与调整数量相似，表征学习数量的元件的一组响应值Vs，在用不同测试时间的几个同样测试的反复之后，或者通过一同使用采样保持装置接连地得到。
一个优选实施例侧重于在调整过程中的总和数量。该总和数量对应于可以接受的元件的总量，来自学习数量，其次来自处理中的产品，用同样可能来自处理中的产品的学习数量。事实上，学习数量的特征可以以数据库的形式存储。然后该学习数量可以作为将要顺序发生的所有最终定下来的操作或者测量时间的调整的参考。在该情况中，总和数量对应于在空间中日益增多的几个测试的元件。
在另一个变化中，调整阶段的总和数量对应于一个或者几个(由于情况可能发生)用根据本发明的测试方法测试的元件，顺序地几次和同样的时间。
根据本发明的该优选的例子，调整阶段的数量包括在该批量的开始阶段考虑的学习数量和可以接受的电子元件。例如，该学习数量包括50个电子元件，在该批量的开始处采样的数量只包括一个电子元件，也就是例如晶片10的电子元件A。因此在调整阶段中考虑的数量是一个包括51个电子元件的总和数量。这51个电子元件对于在标称测量时间Do处执行的测试都是可以接受的。然后，对于这个从生产过程中得到的总和数量的可以接受的电子元件，观察到的电位值Vs将确定为Dj和Do之间的测量时间。一旦得到每个新的测量，该时间因素合并到对应于同样测量时间的学习数量的一组数据中。
图5表示在给定的测量时间Dc读出的作为值Vs的函数的总和数量的分布。该分布由标准偏差Sc和平均值Mc决定。因此，对于因此总和数量，Mc和Sc是已知的。通过利用同样的可以接受的极限值作为这些为学习数量限定的，计算出总和数量的系数评价CPKc。该系数评价CPKc定义如下CPKc=最小值|Mc-较低的极限值|／Sc|Mc-较高的极限值|／Sc然后，为了确定一个调整测量时间Dma，制订一个方法，最好是从在学习阶段中定义的值Dj开始一步一步地。因此，确定一个调整测量时间Dma。Dma大于或者等于该值Dj。寻找和使得值DMa的方法也可以是对分法类型的方法。
在任何情况中，将最早的测量时间Dma的值选择成使得评价准则CPKc在较低的极限值Linf之上。对于计算的系数CPKc，对应于给定的测量时间Dc，图6中所示的图用来确定较低的极限值Linf的值。确定Linf作为学习数量的评价准则CPK的值的函数。在第一个变化中，确定Linf作为对应于考虑的测量时间Dc的学习数量的CPK的值的函数。在第二个变化中，确定Linf作为在标称测量时间得到的CPK的函数。
根据图6中所示的图，对于任何一个学习数量的系数评价CPK的值大于或者等于6，该方法允许测量时间Dc的选择使得总和数量的系数评价CPKc大于数值3。通常，对于重复性非常好的测试，学习数量的系数评价是1000量级的，并且因此使用的较低的极限值Linf是3。
在第二个例子中，如果测试的重复性是适当地好，则如果学习数量的系数评价CPK在2和6之间，适合于总和数量的系数评价CPKc是线性递增的函数，例如Linf=1／2学习数量的CPK在第三个例子中，如果学习数量的系数评价CPK小于2，则意味着对于能够进行最优化的测试的测试的重复性太差。因此，没有较低的极限值Linf，作用给总和数量的标准CPKc，因为没有得到最优化。
在本发明的另外一个实施例中，调整阶段的数量只包括在待测试的一批元件的开始处认为是可以接受的电子元件。例如，该数量只包括一个元件A。
为了从一个元件中得到统计图，进行对一个和同样的测试的反复进行，可能是用不同的测量时间。在一个优选的例子中，用标称测量时间Do进行5次测试的重复。因此确定该元件A的统计标准图CPKnom。
CPKnom=最小值{|Mnom-较低的极限值|／Snom|Mnom-较高的极限值|／Snom}计算CPK所需要的较高和较低的极限值由制造者确定。它们通常表示成电位Vs的较高和较低的极限值。当在标称测量时间Do测量该电位时。
Mnom对应于用时间Do重复5次的过程中得到的平均值Vs。同样地，Scj对应于这些值的标准偏差。
然后用不同的测量时间在该同样的元件上进行2次测试的重复。该不同的测量时间可能已经例如在学习阶段中确定了，并且对应于中间测量时间Dj的情况。该时间还可以在Dj和Do之间选择，逐步地或者对分的方式，为了测试一个调整测量时间。
然后，确定一个总和的统计图。该统计图包括其中用不同于标称测量时间的测量时间重复进行得到的结果，和包括跟随用标称测量时间Do进行的重复而得到的结果。例如，对评价准则CPKci的计算定义如下CPKcj=最小值{|Mcj-较低的极限值|／Scj|Mcj-较高的极限值|／Scj}计算CPK所需要的较高和较低的极限值由制造者确定。它们通常表示成电位Vs的较高和较低的极限值，当在标称测量时间Do测量该电位时。
Mcj对应于用时间Do重复5次的过程中得到的平均值(Vs)和在用时间Dj进行2次重复得到的值。同样地，Scj对应于这些值的标准偏差。
如果统计图例如CPKcj满足一定的标准，该测试的测量时间Dj用来作为调整测量时间。例如CPKcj必须大于一个公差，使得时间Dj有效，例如该公差等于3。在一个变化中，如果CPKnom在3至6之间，该公差可以确定为CPKnom的值的函数。然后该公差可以确定为如下公差=f1*CPKnom其中f1是在例如0和1之间变化的实值。
在本发明的一个优选的例子中，重复该调整方法，使得确定一个第二调整测量时间Dma’。在这种情况中，选择两个调整测量时间Dma和Dma’中的最高的调整测量时间。在该例子中，从第二总和数量中确定第二调整测量时间。
该第二总和数量定义为来自一个电子元件的第一个而不是元件A。在本发明的一个优选例子中，处理的产品的第二数量只包括一个电子元件B，与第一调整数量截然不同。
由此识别的调整阶段用来快速地确定处理的产品的调整测量时间，并且与此同时，保证测量时间不导致额外的不需要的淘汰比率，对于使用的信息是可靠的，和表示在学习阶段中得到的信息。然后在应用阶段中将该调整测量时间作用给工具。例如，该调整测量时间作用给固定的给定数量的待测电子元件。在图2中，主张用同样的调整测量时间Dma1测试2500个连续的电子元件。然后，经过该第一调整测量时间Dma1，进行新的调整阶段来确定第二调整测量时间Dma2，从而以尽可能真实的方式描绘处理的测试产品的特性。
在图4所示的例子中，如果值Vs的处理简单，可以计划使用一个转换函数。当使用测量时间是，无论它是标称测量时间、中间测量时间或者调整测量时间，使用该转换函数，来为每个在当前生产中测试的电子元件的测量值转换成电位的计算值，如果已经在标称测量时间测量该值将已经得到。然后该计算的值与为了进行该标称测量时间上的测量而固定的较高和较低的极限值进行比较。
在本发明的一个变化中，能够使用相反的转换函数，将为了在标称测量时间Do进行测量而限定的极限值转换成在调整测量时间进行测量所作用的较高和较低的极限值。在该例子中，不需要为每个元件转换测量的值。
权利要求
1．一种测试电子元件的方法，其中在开始日(Di)，在元件(2)的端(4)施加一个电位(Vi)；在一个测量时间(Dm)，测量施加在该元件端(5)的电位值(Vs)；作为比较的作用，为了接受或者淘汰该元件，将测量的电位值与可以接受的极限值进行比较；在应用阶段之前的学习阶段中，通过作用给一定量的可以接受的元件的标准，考虑该一定量的可以接受的元件的统计图，确定测量时间；选择可能的最早日期作为测量时间；其中在应用阶段在至少一个调整阶段的过程中，调整已经确定的测量时间。
2．一种测试电子元件的方法，其中在开始日(Di)，在元件(2)的端(4)施加一个电位(Vi)；在一个测量时间(Dm)，测量设定在该元件端(5)的电位值(Vs)；作为比较的作用，为了接受或者淘汰该元件，将测量的电位值与可以接受的极限值进行比较；通过作用给一定量的可以接受的元件的标准，考虑该一定量的可以接受的元件的统计图，确定测量时间；选择可能的最早日期作为测量时间；其中考虑的一定量的可以接受的元件是一个总和数量，包括参考量的总和和从应用阶段中取出的一定量的可以接受的元件。
3．根据权利要求1所述的方法，其中在调整阶段考虑的可接受的元件的数量包括参考量的总和和从应用阶段取出的一定量的可以接受的元件。
4．根据权利要求1至3中任何一个所述的方法，其中参考数量是从学习阶段得到的可以接受的元件的数量。
5．根据权利要求1至4中任何一个所述的方法，其中在中间日得到的可接受元件的这一总和数量的统计图与同一中间日得到的参考数量的统计图比较。
6．根据权利要求1至5中任何一个所述的方法，其中总和数量的统计图包括该总和数量中呈现的平均值(Mc)的估计值。
7．根据权利要求1至6中任何一个所述的方法，其中总和数量的统计图包括在该总和数量中呈现的标偏值(Sc)的估计值。
8．根据权利要求1至7中任何一个所述的方法，其中统计图的比较标准包括第一数量与第二数量之比的估计值，第一数量等于总和数量的均值与该均值的容限值之间的绝对值，第二数量等于总和数量的标偏值。
9．根据权利要求1至8中任何一个所述的方法，其中选择测量时间使得比较标准高于一个阈值(Linf)，直到再一次调整该选择的调整后的测量时间。
10．根据权利要求9所述的方法，其中利用第二比值与该参考数量的标偏值的线性函数选择该阈值，第二比值为参考数量的均值与该均值的容限之间差值的绝对值。
11．根据权利要求10所述的方法，其中该线性函数包括相对于第二比值的第一间隔的第一线性递增的形式和相对于该第二比值的第二间隔的第二恒定线性形式。
12．根据权利要求1至11中任何一个所述的方法，其中选择被测元件的电位值的可接受的极限值，并且选择在该测量时间其测量值与可接受的这些极限值一致的元件为可接受元件。对于选择的测量时间，
13．根据权利要求1至11中任何一个所述的方法，其中在利用选择出来的测量时间之后，在给定数量的元件上进行新的测量时间的调整阶段。
14．根据权利要求1至13中任何一个所述的方法，其中进行该方法的连续的重复，来确定可能的最早的测量时间；在每次重复中，考虑从目前阶段的生产中提出的新的数量的可以接受的元件；选择通过每次重复提出的最新的测量时间。
15．根据权利要求1所述的方法，其中进行两次完全相同的重复；和在每次重复中，仅考虑由一个接受的元件细成的接受的元件的数量。
全文摘要
一种测试电子元件的方法包括驱动测试装置的界面。该界面可以根据测试确定参数。该测试方法提出一个第一和唯一的学习阶段,在该阶段中确定一个可能最早的时间作为测量时间。然后该方法包括执行调整阶段,来确定在应用阶段中使用的调整测量时间。该调整阶段短、快和精确,并且用来最优化测试的总的进行时间,和同时也最优化产品的收益性,事实上,根据总和数据确定测量时间。
文档编号H01L21/66GK1281991SQ00118979
公开日2001年1月31日 申请日期2000年7月5日 优先权日1999年7月5日
发明者菲利普·勒尤内 申请人:索福特林克公司