专利名称：基板支承构造及其装载装置和机械手的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种具有以一定的间距配置着多层可以在纵向的多个位置支承平板状的基板的横向的两侧的多个支承构件、可以支承所述基板的装载装置，和在所述间距之间升降、支承所述基板、在所述纵向上移动且可在所述装载装置中取出和放入的机械手的基板支承构造及其装载装置和机械手，特别是适合利用于作为平板显示器(FPD)或薄膜晶体管(TFT)等液晶玻璃基板(LCD)的制造工序中的热处理装置的基板支承技术。
在这种情况下，以前一般在机械手的进退方向的多个位置处、在与其呈垂直的横向的两端位置支承基板W。而且，与基板的大型化相适应，也有支承从两端位置略微偏向横向的中心的位置的情况。并且，作为基板支承装置而研究开发的结果，有能够适应基板的各种尺寸而使支承间隔可调的装置(参照实开平7-23710号、特开平09-250885号公报)，但是在该装置中，在支承基板的横向两端这一点上也与上述的装置相同。
另一方面，对应于这样的基板支承构造，从装载容器中取出和放入的机械手，是为了能够与基板的横向宽度相对应而稳定地支承，而在从横向的中心向两侧离开的位置处在纵向上分叉延伸的构造(例如参照特开平9-234686号公报)。
但是，在这样的基板支承装置中，由于例如宽度1m、长度1.2m或者甚至更大的基板的大型化，基板的弯曲很大，有可能对热处理后的基板的质量产生重大的影响。
即，在例如TFT等中，形成有电子电路的基板和形成有滤色器的基板夹着分散的微小的垫片并具有通常为4μm的微小间隔δ，以预粘合在一起的状态被放入热处理装置中，通过热处理中的升温，以使预先附着在两基板之间的侧端部分的溶剂熔融之后固态化的形态发生相变化来固定，但是如果基板的弯曲大，那么就有可能会产生不能整体地精度很好地形成上述的δ这样的问题。
例如，上述的δ的允许值一般为4μm±0.1μm，但是如果两基板的弯曲增大，那么在有垫片的位置和从其离开的位置，其间隔就会局部变化，很容易超过0.1μm左右的值，在基板固定、热处理后残存永久变形。而且，弯曲为相当的程度的基板，若以该状态粘合固定，则即使在使其平坦时，间隔也会局部大小不均匀。这样就不能满足上述标准。
这时，在制成产品后，在基板上形成的图象就会变形。并且如果在基板上有很大的弯曲，一般会有产生残留应力这样的不好的现象发生。
本发明为了解决上述课题，本发明之1的发明，具有以一定的间距配置着多层、可以在纵向的多个位置支承平板状的基板的横向的两侧的多个支承构件、可支承所述基板的装载装置，和在所述间距之间升降、支承所述基板、在所述纵向上移动且可在所述装载装置中取出和放入的机械手，其特征在于，所述支承构件，具有可在从所述两侧到中央的一部分的范围之间支承所述基板的两处以上的位置的支承部，所述机械手，具有配置着在取出和放入所述基板时、在放入所述间距之间时、在所述一部分的范围内延伸设置在所述纵向上、可支承所述横向的中心位置附近的范围的多个中心支承部的纵向构件，和从该纵向构件向所述横向的两侧延伸设置、在前端部分配置着前端支承部、并设置在包括所述多个支承构件之间的位置的、从所述支承构件向所述纵向以及所述升降方向离开的位置的多个横向构件。
本发明之2的发明，在具有以一定的间距配置着多层、可以在纵向的多个位置支承平板状的基板的横向的两侧的多个支承构件、可以支承所述基板的装载装置，和在所述间距之间升降、支承所述基板、在所述纵向上移动且可在所述装载装置中取出和放入的机械手的基板支承构造的所述装载装置中，其特征在于，所述支承构件，具有可在从所述两侧到中央的一部分的范围之间支承所述基板的两处以上的位置的支承部，所述机械手，具有配置着在取出和放入所述基板时、在放入所述间距之间时、在所述一部分的范围内延伸设置在所述纵向上、可支承所述横向的中心位置附近的范围的多个中心支承部的纵向构件，和从该纵向构件向所述横向的两侧延伸设置、在前端部分配置着前端支承部、并设置在包括所述多个支承构件之间的位置的、从所述支承构件向所述纵向以及所述升降方向离开的位置的多个横向构件。
本发明之3的发明，在具有以一定的间距配置着多层、可以在纵向的多个位置支承平板状的基板的横向的两侧的多个支承构件、可支承所述基板的装载装置，和在所述间距之间升降、支承所述基板、在所述纵向上移动且可在所述装载装置中取出和放入的机械手的基板支承构造的所述机械手中，其特征在于，所述支承构件，具有可在从所述两侧到中央的一部分的范围之间支承所述基板的两处以上的位置的支承部，所述机械手，具有配置着在取出和放入所述基板时、在放入所述间距之间时、在所述一部分的范围内延伸设置在所述纵向上、可支承所述横向的中心位置附近的范围的多个中心支承部的纵向构件，和从该纵向构件向所述横向的两侧延伸设置、在前端部分配置着前端支承部、并设置在包括所述多个支承构件之间的位置的、从所述支承构件向所述纵向以及所述升降方向离开的位置的多个横向构件。
图2为上述装置的附视图。
图3表示上述装置的基板支承的构成例，(a)为附视图，(b)为侧视图，(c)为将多个组合在一起时的侧视图。
图4表示构成上述基板支承构造的机械手的构造例，(a)至(d)分别为附视图、侧视图、吸附垫的侧视图、以及支承座的侧视图。
图5表示机械手的其它例，(a)为立体图，(b)为表示进入基板间隔中的状态的一部分的侧视图。
图6表示将基板支承和机械手组合的状态，(a)为侧视图，(b)为附视图。
图7为表示设置上述装置的热处理装置的概略构成例的说明图。
图8为表示以前的基板支承构造中的基板的弯曲状态的说明图。
图中1—基板支承(支承构件)，2—吊架(装载装置)，3—机械手，11、12—支承座(支承部)，31—本体板(纵向构件)，32—外伸板(横向构件)，33—中心支承座(中心支承部)，34—吸附垫(前端支持部)，35—支承座(前端支持部)，D—纵向间隔部分(支承构件之间的位置)，p—间距(固定间距)，P1、P2—两处位置(两处以上的位置)，W—基板，Wc—中央部分(中央的一部分的范围)，Wm—侧部(到中央的一部分的范围之间)，Ws—两侧，X—横向，Y—纵向。
基板支承构造，具有作为在纵向Y的多个位置、在本例中为4个位置可支承作为平板状基板的平板显示器(FPD)或薄膜晶体管(TFT)等液晶玻璃基板(LCD)(以下仅称为“基板W”)的横向X的两侧Ws的多个支承构件、而从两侧Ws的外侧分别以一定的间距p配置多层、在本例中为28层4根基板支承1、并作为可以支承基板W的装载装置的吊架2，和在间距p之间、在上下方向Z向升降、支承基板W沿纵向Y移动且可在吊架2中取出和放入的机械手3。在
图1中，省略了中间的基板支承1的图示。
各个基板支承1，具有可以支承从基板W的两侧Ws(在图3中仅表示了单侧)到中央的一部分的范围即中央部分Wc之间、即侧部Wm的基板W的两处以上的位置，在本例中为两处位置P1以及P2的支承部、即支承座11、12。
位置P1、P2，位于从侧部Wm中的两侧Ws分别离开x1、x2处，被决定在能够使基板W的弯曲非常小的适当的位置。在该情况下，在处理多个尺寸的基板W的装置中，以其中最大尺寸的基板决定。例如对于宽度为1000mm的基板，尺寸为x1＝100mm、x2＝350mm。在该情况下，Wc为300mm。并且，也可以不仅为作为两处以上位置的P1、P2，而为三处以上或者连续支承。
这样的基板支承1，通过利用销13a等固定在竖立设置在吊架2上的支柱21上、且向基板W的中心方向伸长的支承板13，和安装在其上的托板14和15，和突出设置在各个托板的前端位置、即上述的P1、P2位置的上述支承座11、12等形成。支承板13一般用不锈钢制作，强度高，在支承基板W的重量时尺寸不会发生实质变形。作为不使基板W产生损伤的材料，支承座11、12用耐热树脂等制作。并且，如图3(c)所示，也可以将基板支承1形成为多个组的一体构造。这样则能够提高基板支承的生产效率，并且能够使向支柱21的安装状态更加稳定。
吊架2为一般的框架构造，由设置有8根的上述支柱21，和固定这些支柱的顶板22和底板23，和四角的框架材料24等构成，利用未图示的托架或筋交叉状的构件等适当加固。
机械手3，如图4和图5的构造例所示，具有作为纵向构件的本体板31和作为横向构件的外伸板32。本体板31，具有为了取出和放入基板W而在如图6所示进入吊架2的基板支承1的间距p之间时、在中央的一部分范围内、即上述中央部分Wc向纵向Y延伸设置、可以支承横向X的中心位置附近的范围、在本例中为中心位置的多个中心支承部，在本例中为3个中心支承座33。
外伸板32从本体板31向横向X的两侧延伸设置，并作为前端支承部，在前端部分配置有Y向的前后端的吸附垫34以及中间的支承座35，在包括4根基板支承1之间的位置、即纵向间隔部分D的从基板支承1向纵向Y和升降方向、即上述的上下方向Z离开的位置设置着多个，在本例中为在各纵向间隔部分D内分别设置着3个。
在本体板31和外伸板32上，形成有各个吸附垫34的空气吸引用的孔36。机械手3结合在将其三维移动的未图示的机器人上，孔36通过机器人结合在未图示的真空装置上。
基板支承1和机械手3，在机械手插入间距之间时构成上述的关系，在图6和图5中部分地表示了其状态。
在上下方向Z上，作为各个尺寸，使间距为p，包括基板支承1的厚度、并到基板支承位置的必要的上下之间的尺寸为t1，机械手3的本体板31的厚度加上中心支承座的高度后的本体板的必要的厚度以及与之相同的、到外伸板32的吸附垫34的的上下之间的尺寸为t2，吸附垫34和基板支承1的下端位置之间的上尺寸余量为h1，机械手3的下端位置和其下面的基板W之间的下尺寸余量为h2，则这些尺寸的关系式为，t1+t2+h1+h2＝p ---------------------------------(1)将在后面说明这些数值例。
在宽度X方向上，如果相对于基板W的宽度B，使从其两侧Ws到基板支承1的支承点的距离为上述的x1、x2，从两侧Ws到吸附垫34或者支承座35的距离为x3，那么这些距离以如前面所述的那样，以使基板W的弯曲很小的形态决定。而且，如果使大致与两侧的x2之间相当的中央部分Wc的间隔为Wc，机械手3的本体板31的宽度为Br，那么可以使Br的尺寸增大到Wc的范围。
在纵向Y方向上，相对于基板W的长度L，基板支承1和机械手3的支承位置分别为图示的L1、y1、L2、y2的尺寸。并且，由于基板支承1和机械手3的长度L方向的个数以及支承位置、在一定程度上自由地决定，所以可进行使该方向的弯曲很小的调整。例如也可以在Y方向上把基板支承1设为5根，把机械手的外伸部32设为4根。
图7表示使用上述的基板支承构造的装置之一的热处理装置的概略构成的一例。
热处理装置200，为具有绝热板201、图1等所示的吊架2等可升降地进入其中的热处理室202、在其下方形成的机械空间203、安装在吊架2上并延伸设置在机械空间203中的升降轴204、其升降机构205、省略图示的加热器、循环送风机、高性能过滤器等的一般构造的装置。热风在图中在与纸面成直角的X方向流动。
吊架1，以上述的上下板和支柱为基本构造，热风在包括X方向上流动。在绝热板201上，在一处或者如图所示的左右两处、或者有时将其在上下方向上改变位置、另外增加两处而形成出入口206，机械手3从该出入口取出和放入基板W。
上述的基板支承构造一般如下使用并发挥其作用效果。
在热处理装置200的吊架2中，基板W通过机械手3装载在图1中为28层的基板支承1的所有层上，通常250℃左右的热风在其中循环，基板W被热风加热，每1节拍完成1张的热处理，利用机械手3从热处理室202搬出，相应地随后要热处理的基板W从同一出入口206或者如图7那样相向的一侧的出入口206搬入。在该热处理中，在基板W不是整体式而是预粘合在一起的双层式基板的情况下，通过使附着在该两层之间的粘接剂熔融后固态化，基板W成为完全粘合的完成状态。
在该热处理中，通过基于应用了本发明的基板支承1的基板W的支承，通过图6(b)所示的16个位置的支承点配置，即使宽度超过1m的大型的基板，也能够使最大弯曲为比以前的装置的情况明显小的值、即1mm以下。而且，即使应用了本发明的在X方向上3点支承的机械手3，也能够使最大弯曲为与以前的分叉式的机械手相比非常小的值、即1.3mm以下。
这些已经通过计算机的FEM计算程序的计算结果如下确认基板尺寸1250mm×1100mm×0.5mm(长度L×宽度B×厚度)
1张基板的质量18.6N基板的拉伸弹性模量0.715Mpa基板支承的支承点x1＝40mm x2＝360mm y1＝145mm L1＝310mm用基板支承进行支承时的基板的弯曲弯曲量最大0.22mm最大弯曲以及与之接近的弯曲的发生位置图6(b)所示的A点或机械手的33～35的支承位置等，从支承座11和12远离的位置机械手的支承点图6(b)中x3＝120mm、x4＝中心＝550mm、y2＝225mm、L2＝400mm的尺寸位置的中心支承座33、吸附垫34和中间的支承座35合计共6个点用机械手支承时的基板的弯曲弯曲量最大1.33mm最大弯曲的发生位置四角位置虽然在上述基板W的厚度实际上为1mm，但是在利用热处理装置粘合双层式基板时，基板升温，粘接材料熔融，处于基板强度达不到双层合体时的1mm厚度的强度的状态，所以在上述的计算中考虑到安全性而使基板厚度为1张板的0.5mm的厚度。
根据上述的计算结果，确认了用基板支承进行支承时的基板W的弯曲为非常小的值。如果在基板的热处理中，在基板上有弯曲，则由于在该状态下双层的玻璃粘合并一体化，所以通过如上述那样使基板的弯曲最小化为极小的值，能够确保热处理时的安全性，并且能够提高作为产品的基板的质量。
并且，当然如果改变支承点的位置，那么弯曲量也会变化，但是如果在一定程度上平衡良好地配置支承点，则弯曲就完全不会成为问题。而且，也可以根据需要在Y方向上调整基板支承1的数量。
虽然在上述的说明中，与用基板支承进行支承时相比较，用机械手支承时的弯曲大，但是如图5(b)中所示的机械手的上下间隔尺寸的一例，即使为上述的1.3mm左右的弯曲，也可确保机械手向基板之间插拔时的安全性。
并且，在利用机械手进行基板搬运时，为双层式基板的上下之间用粘接剂粘合的状态，基板具有接近一体化后的强度，所以实际上弯曲为上述的几分之一。因此，机械手向基板之间的插拔时的安全性完全没有问题。并且，在利用机械手进行基板的操作时，该弯曲不直接影响基板的质量，所以从这一点出发，上述程度的弯曲没有问题。
与此相对应，在以前的基板支承构造中，如图8所示，发生了极大的弯曲。即，在长度L＝1200mm、宽度1100mm(图中从中心线O表示了其一半550mm)的基板W上，仅支承了与图6的x1的支承点P1相对应的基板支承1′的x1′＝170mm的位置的支承点P1′，此时的X方向的中心位置O上的弯曲为14.68mm。这样，通过在支承点P1′产生的较大的弯曲角，在基板的端部Ws处就产生了向上的负弯曲9.46mm。
在以前的基板支承中，机械手3′为分叉形状(图中仅图示了左侧的部分)，分别在从基板W的端部Ws离开210mm的位置插入。而且，该机械手的尺寸如该例这样一般为宽度50mm、厚度16mm，相对于基板支承间距p＝40mm，插入时的基板W的上下间隔受到基板W的弯曲的影响而为9.14mm。而且，用机械手支承基板W时的中心O的位置和端部的弯曲分别为4.15mm和3.16mm。
相对于这样的以前的基板支承构造，在应用了本发明的基板支承构造中，在如前面所述的基于基板支承1的基板支承中，基板的弯曲为几乎不会构成问题的很小的值，所以在取出和放入基板时的将机械手3插入基板间距内时，尽管如图6(a)所示机械手的外伸板32和基板支承1在间距内处于在上下Z方向上重叠的状态，也能够如图5(b)所示的那样保持与以前的基板支承构造时相同的间距40mm。
即，在前面的算式(1)中，基于基板支承的厚度的尺寸t1，虽然基板支承的长度为x2-x1′＝190mm左右，长度变长，但是基板支承的支承板13一般用强度非常充足的不锈钢等制成，所以具有与以前相同的10mm以下的尺寸、有9mm就足够，t2相对于以前的本体板31的厚度16mm为12mm，中心支承座的高度为1mm，共计为13mm，同样使间距＝40mm，能够使上下的尺寸余量h1和h2都为9mm。
在上述的说明中，如果使本体板31为12mm，则比以前的本体板厚度变薄，应力和弯曲分别以厚度的2次方和3次方成比例增大，所以弯曲为约2.37倍，而本例的本体板宽度Br为150mm，与以前的分叉的机械手的2根的宽度100mm相比为1.5倍，弯曲与之成比例地减小的同时，在本体板31上部分固定着外伸板32，其在该部分上大幅度地增加X方向的断面惯性矩，并且具有加固效果，所以结果是具有与以前的分叉的机械手同等程度的强度条件。并且，即使把本体板31再加厚1mm，使h1和h2分别为8.5mm，如后面所述也没有任何问题。
而且，本体板31进入的基板W的下面的中央部分Wc，如果为宽度1000mm左右的基板，则一般为300mm左右的尺寸，所以能够根据需要至少将本例的本体板的宽度150mm安全地增大到250mm左右，能够与之成比例地提高本体板的强度并减小弯曲。
在本例中，如前面所述，在间距为40mm下插入机械手时，在上下各能得到h1＝h2＝9mm的余量，但是该余量为比以前的9.14mm的余量可靠性和信赖性高的值。即，由于在以前的装置中基板弯曲非常大，所以需要增大对于吊架和机械手的振动或变动的余量，但是在本例的构造中，由于基板不弯曲，所以尺寸余量为通过机械尺寸关系确定的可靠性高的值，为能够信赖的值。而且，在用机械手3支承基板时，弯曲也为1.2mm以下，为以前的4.15mm的1/3以下，在这一点上尺寸余量也增加了。
其结果，通过如前面所述的使基板支承1和机械手3在上下方向上重叠、使基板的弯曲实质上最小化的效果，结果能够将间距尺寸保持为与以前不变的尺寸。
所有的基板W装载在吊架2上，经过1张基板W的热处理时间后，将完成了热处理的该基板W取出，放入新的要热处理的基板W。这时，如图5和图6所示，在基板W1和W2的间隔部分、即间距p内与该基板平行地在纵向Y的Y1方向上插入机械手3、为图示的状态。这时，如上所述，在例如间距为40mm的装置中，机械手3的上下尺寸余量h1、h2分别为9mm，所以机械手插入时的安全性得以确保。
机械手3从该状态如图中箭头所示向上方Z1上升1个间距，在中途其本体板31的中心支承座33以及外伸板32的吸附垫34和支承座35与完成了热处理的基板W1接触并装载基板W1，支承和吸附支承并提升到1个间距之上的基板间隔位置。
这时，由于本体板31在X方向上处于构成基板支承1的间隔部分的中央部分Wc的位置，所以能够不与基板支承1干涉地上升。而且，由于外伸板32位于纵向间隔部分D的位置，所以能够同样地不与基板支承1干涉而在其间上升。
支承基板W1的机械手3从该状态向Y2方向退让，将基板W1从热处理装置200搬出，送到后面的制造工序。这时，被机械手3支承的基板W1的弯曲，为用以前的机械手支承时的1/3以下的值，所以进一步提高了搬出时的安全性。
在搬出基板W1后，放入后面要热处理的基板W，装载到装载过基板W1的基板支承1上。这时为与搬出时对称的动作。于是与搬出时同样确保了动作的安全性。
在上面的热处理中，根据应用了本发明的本例的基板支承构造，基板W在搬入、搬出时的用机械手支承时，以及在热处理过程中由基板支承1支承时的所有情况下，为几乎没有弯曲的良好的形状，所以即使为具有例如微小的间隔δ＝4μm±0.1μm的允许范围的双层式构造的基板，也能够以δ进入允许范围的精度进行热处理。
与此相对，由于在以前的基板支承构造中，基板W的弯曲大，所以基板W从预粘合时的平坦的状态，在热处理后间隔部分局部粘接，最后以弯曲的状态完成，由于在热处理后进行其它处理或作为产品使用时再次形成为平板，因而即使在间隔部分装入垫片，也会在垫片的间隔部分产生微小的不均匀变形，微小间隔δ不能进入上述的允许范围。在应用了本发明的本例的基板支承构造中，在热处理的全过程中基板W几乎不产生弯曲，因此该问题确实可靠地得到解决。
如上所述，本发明对于双层构造的基板特别适用，但是即使为一般的基板W，对于尺寸很大、在以前的基板支承构造中弯曲很大的基板也能很有效地使用。即，因为能够在没有弯曲的状态下完成热处理，所以能够得到将其作为平板产品使用时，能够不施加任何外力而得到平面度，因此不需要将弯曲的基板变形成平面状，不会在材料上残余残留应力或变形，而且表面的平面精度良好，在热处理时或其它操作中操作性良好，安全性高等作用效果。
并且虽然在上面说明了装载装置为吊架的情况，但是装载装置不局限于这样升降的装置，当然也可以为放置在热处理装置内的一定的位置的可移动式基板支承架、或安装在热处理装置上的支架装置等。
(发明效果)根据上述的本发明，在本发明之1的发明中，在具有配置着规定的构成的装载装置和机械手的基板支承构造中，装载装置的支承构件，在从基板的两侧到中央的一部分的范围之间具有可以支承两处以上的位置的支承部，所以通过至少4点支承基板的横向，能够使支承间隔非常短，并缩短从支承点外伸的量，使基板的横向的弯曲为非常小的值。而且，由于在纵向上能够根据需要自由调整支承构件的数量，所以当然能够使纵向的弯曲为没有问题的值。因此，能够使整个基板的弯曲为非常小的值。
其结果，即使为双层粘合构造的基板，也能够将热处理后作为平板使用时的双层间的微小间隙保持在允许范围内，能够得到没有缺陷的良好的平板产品。而且，即使为一般的整体式的大尺寸的基板，通过使其弯曲非常小，也能够提高作为平板产品的平面度或表面状态，而且提高热处理时或其它操作时的操作性并提高安全性。
而且，机械手具有纵向构件，可将该构件设为、在取出和放入基板、进入其间距之间时，在基板的中央的一部分的范围内在纵向上延伸且具有可支承横向的中心位置的附近的范围的多个中心支承部的构造，所以在机械手在基板的搬入、搬出时的进入基板间隔内时，能够以本来的状态向上下方向升降，能够在上升时通过中心支承部支承基板的中心位置。
并且，机械手具有横向构件，可将该构件、从纵向构件向横向的两侧延伸设置，在前端部分具有前端支承部，并在包括多个支承构件之间的位置的、从支承构件向纵向和升降方向离开的位置上设置有多个，所以通过前端支承部，即使为在横向上与支承构件重叠的位置，也能够用从中心仅离开必要距离的两侧的两点承受基板。因此，能够与纵向构件一起在横向上3点支承基板。其结果，与以前的分叉式的2点支承的机械手相比较，能够改善横向的支承状态，大幅度地减小弯曲。其结果，即使在用机械手支承的基板的搬入、搬出的时间内，也能够充分减小弯曲，确保上述的作用效果。
而且，由于横向构件在从支承构件向纵向离开的位置上设置有多个，所以即使在横向上与支承构件重叠，也能够在机械手升降时不与支承构件干涉地升降。因此机械手能够通过向升降和纵向的进退搬入以及搬出基板。
在该情况下，由于横向构件和支承构件在横向上重叠，所以在纵向上将机械手插入基板间隔部分时，需要使两者在上下方向上错开，但是由于在基板上没有弯曲且纵向构件位于中央的一部分，该一部分一般为适当的较宽的尺寸，所以通过加宽纵向构件的宽度并减小其厚度，能够减小在上下方向上所占的高度距离。而且，由于横向构件相对于纵向构件构成加固材料，所以通过这一点也能够减小纵向构件的厚度。并且由于没有弯曲，所以在机械手进入基板间隔内时能够可靠地得到支承构件和基板的间隔尺寸，并且不需要过于考虑动态余量，因此能够不扩大以前所采用的基板间隔而构成装载装置。
其结果，根据本发明之1的发明的基板支承构造，能够将热处理能力保持为与以前相同，能够显著提高热处理后的基板的产品性能。
在本发明之2或者本发明之3的发明中，能够提供构成具有上述的作用效果的基板支承构造的装载装置或机械手。
权利要求
1.一种基板支承构造，具有以一定的间距配置着多层、可以在纵向的多个位置支承平板状的基板的横向的两侧的多个支承构件、可支承所述基板的装载装置，和在所述间距之间升降、支承所述基板、在所述纵向上移动且可在所述装载装置中取出和放入的机械手，其特征在于，所述支承构件，具有可在从所述两侧到中央的一部分的范围之间、支承所述基板的两处以上的位置的支承部，所述机械手，具有配置着在取出和放入所述基板时、在放入所述间距之间时、在所述一部分的范围内沿所述纵向上延伸设置、可支承所述横向的中心位置附近的范围的多个中心支承部的纵向构件，和从该纵向构件向所述横向的两侧延伸设置、前端部分配置着前端支承部、并设置在包括所述多个支承构件之间的位置的、从所述支承构件向所述纵向以及所述升降方向离开的位置的多个横向构件。
2.一种基板支承构造的装载装置，基板支承构造，具有以一定的间距配置着多层、可以在纵向的多个位置支承平板状的基板的横向的两侧的多个支承构件、可支承所述基板的装载装置，和在所述间距之间升降、支承所述基板、在所述纵向上移动且可在所述装载装置中取出和放入的机械手，在具有上述基板支承构造的所述装载装置中，其特征在于，所述支承构件，具有可在从所述两侧到中央的一部分的范围之间支承所述基板的两处以上的位置的支承部，所述机械手，具有配置着在取出和放入所述基板时、在放入所述间距之间时、在所述一部分的范围内沿所述纵向上延伸设置、可支承所述横向的中心位置附近的范围的多个中心支承部的纵向构件，和从该纵向构件向所述横向的两侧延伸设置、前端部分配置着前端支承部、并设置在包括所述多个支承构件之间的位置的、从所述支承构件向所述纵向以及所述升降方向离开的位置的多个横向构件。
3.一种基板支承构造的机械手，基板支承构造，具有以一定的间距配置着多层、可以在纵向的多个位置支承平板状的基板的横向的两侧的多个支承构件、可支承所述基板的装载装置，和在所述间距之间升降、支承所述基板、在所述纵向上移动且可在所述装载装置中取出和放入的机械手，在具有上述基板支承构造的所述机械手中，其特征在于，所述支承构件，具有可在从所述两侧到中央的一部分的范围之间支承所述基板的两处以上的位置的支承部，所述机械手，具有配置着在取出和放入所述基板时、在放入所述间距之间时、在所述一部分的范围内沿所述纵向上延伸设置、可支承所述横向的中心位置附近的范围的多个中心支承部的纵向构件，和从该纵向构件向所述横向的两侧延伸设置、前端部分配置着前端支承部、并设置在包括所述多个支承构件之间的位置的、从所述支承构件向所述纵向以及所述升降方向离开的位置的多个横向构件。
全文摘要
一种大幅度地减小热处理时的弯曲、提高热处理后的质量的基板支承构造及其装载容器和机械手。基板支承构造，由吊架(2)，和在吊架(2)中设置有多层以两点支承基板(W)的基板支承(1)，和具有插入基板间隔内时在基板支承(1)的间隔的中央部分(Wc)处向插入方向伸长的本体部及在插入方向上不与基板支承(1)干涉地位于该间隔部分、且在横向X上伸长到基板(1)的位置的外伸部的机械手(3)等构成。通过在X方向上重叠的基板支承和机械手的外伸部，利用哪一个都能够使弯曲很小地支承。机械手可以插拔和升降。通过减小弯曲的效果，能够维持间距的间隔。
文档编号H01L21/68GK1467058SQ03109229
公开日2004年1月14日 申请日期2003年4月3日 优先权日2002年6月26日
发明者田中秀树 申请人:爱斯佩克株式会社