专利名称：有机电致发光显示面板的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种有机电致发光显示面板。
背景技术：
通常，有机电致发光(EL)显示器是自发射显示器件，通过激励发射性 有机材料使其发光而显示图像。该有机EL显示器包括阳极(空穴注入电极)、 阴极(电子注入电极)和夹在其间的有机发光层。当空穴和电子注入到发光层 时，它们复合并且成对湮灭同时产生光。该发光层还包括电子传输层(ETL) 和空穴传输层(HTL)以及电子注入层(EIL)和空穴注入层(HIL)，用于增强光 发射。
以矩阵的形式设置并且以无源矩阵(或者简单矩阵)寻址或者有源矩阵 寻址的方式驱动多个像素的有机EL显示器，每个像素都包括阳极、阴极和
发光层。
无源矩阵型有机EL显示器包括多条阳极线、与阳极线相交的多条阴极 线、以及多个像素，每个像素都包括发光层。选择阳极线之一和阴极线之 一使位于选定信号线交点处的像素发光。
有源矩阵型有机EL显示器包括多个像素，每个像素包括开关晶体管、 驱动晶体管和存储电容器以及阳极、阴极和发光层。EL显示器还包括传输 栅信号的多条栅极线和传输数据电压的多条数据线。开关晶体管与栅极线 之一和数据线之一连接，并且响应栅信号从数据线传输数据电压。驱动晶 体管从开关晶体管接收数据电压，并且驱动由数据电压与预定电压(例如电 源电压)之间的差确定其幅度的电流。来自驱动晶体管的电流进入发光层以 便引起强度取决于电流的发光。存储电容器连接在数据电压与电压源之间 以便保持它们的电压差。通过控制数据电压以便调整由驱动晶体管驱动的
电流来实现有源矩阵型EL显示器的灰度色标(grayscaling)。通过提供红色、 绿色和蓝色发光层获得EL显示器的彩色显示。
同时，电源电压的降低减小了由驱动晶体管驱动的电流，使得显示的 图像比预期的暗。例如，用于显示较高灰度的具有较高幅度的数据电压经 历较高的电压降，使得由驱动晶体管驱动的电流减小得非常厉害。较小的 电流使与其相关的像素发射更暗的光，从而产生干扰，当期望发射亮光的 像素数量增加时，这种情况更加严重。
发明内容
本发明的目的是解决上述问题。
根据本发明的技术方案，提供一种有机电致发光显示面板，包括绝 缘衬底；形成在衬底上的多晶硅层；形成在多晶硅层上的第一绝缘层；形 成在第一绝缘层上的栅极线；形成在栅极线上的第二绝缘层；形成在第二 绝缘层上并包括第 一和第二部分的数据线；与数据线的第 一部分连接的像 素电极；限定像素电极上的区域的隔离物；形成在像素电极上的该区域中 的有机发光部件；形成在发光部件上的公共电极；以及，设置在像素电极 与衬底之间并且与数据线的第二部分连接的平面电源电压电极。
电源电压电极可直接设置在衬底上。
有机电致发光显示面板还可包括形成在衬底上的阻挡层。阻挡层可具 有露出部分电源电压电极的开口 ，第一和第二绝缘层具有通过开口暴露电 源电压电极的露出部分的接触孔，且数据线的第二部分通过开口和接触孔 连接到电源电压电41。开口可比4妻触孔更大。
多晶硅层可包括第一和第二晶体管部分，每个部分都包括沟道区、源 极区和漏极区，栅极线包括分别与第一和第二晶体管部分交叠的第一和第
二栅极电极，数据线包括与第一晶体管部分的源极区连接的第一源极电极、 与第一晶体管部分的漏极区和第二栅极电极连接的第一漏极电极、与第二
晶体管部分的源极区和电源电压电极连接的第二源极电极、以及与第二晶 体管部分的漏极区和像素电极连接的第二漏极电极。
多晶体层还可包括与第二晶体管部分的源极区连接的存储电极区，而 栅极线还包括与存储电极区交叠并且与第二栅极电极连接的存储电极。
像素电极可由与数据线相同的层或者相同的材料构成。有机电致发光显示面板还可包括连接在电源电压电极与第二源极电极 之间的辅助电极。辅助电极包括与4册极线相同的层。 隔离物优选包括黑色光致抗蚀剂。
像素电极可以是不透明的，而公共电极是透明的。或者，像素电极是 透明的，而公共电极是不透明的。
当像素电极是透明的时，电源电压电极优选具有面对发光部件的透射 部分，用于透过来自发光部件的光。
电源电压电极优选具有面对至少部分多晶硅层的开口 。
通过参考附图详细描述本发明的实施例，本发明将变得更加明显易懂，
附图中
图1是根据本发明实施例的有机EL显示面板的布局图2是沿线II-II，截取的图1所示的有机EL显示面板的截面图3是沿线III-m，截取的图1所示有机EL显示面板的截面图4A是在根据本发明实施例的制造方法的第一步骤中，图1至3所示
的有机EL显示面板的布局图4B和4C分别是沿着线IVB-IVB，和IVC-IVC，截取的图4A所示的有
机EL显示面板的截面图5A是在图4A至4C所示步骤之后的步骤中图1至3所示有机EL显
示面板的布局图5B和5C分别是沿着线VB-VB，和VC-VC，截取的图5A所示有机EL 显示面板的截面图6A是在图5A至5C所示步骤之后的步骤中图1至3所示有机EL显 示面板的布局图6B和6C分别是沿着线VIB-VIB，和VIC-VIC，截取的图6A所示有机 EL显示面板的截面图7A是在图6A至6C所示步骤之后的步骤中图1至3所示有机EL显 示面板的布局图7B和7C分别是沿着线VIIB-VIIB，和VIIC-VIIC，截取的图7A所示 有机EL显示面板的截面图；图8A是在图7A至7C所示步骤之后的步骤中图1至3所示有机EL显 示面板的布局图8B和8C分别是沿着线VIIIB-VIIIB，和VIIIC-VniC，截取的图8A所 示有机EL显示面板的截面图9A是在图8A至8C所示步骤之后的步骤中图1至3所示有机EL显 示面板的布局图9B和9C分别是沿着线IXB-IXB，和IXC-IXC，截取的图9A所示有机 EL显示面^1的截面图IOA是在图9A至9C所示步骤之后的步骤中图1至3所示有机EL 显示面板的布局图IOB和IOC分别是沿着线XB-XB，和XC-XC，截取的图IOA所示有机 EL显示面板的截面图12是沿着线XII-Xir截取的图11所示显示面板的典型截面图13是沿着线xin-xnr截取的图ii所示显示面板的典型截面图； 图14是沿着线xni-xnr截取的图ii所示显示面板的另一个典型截面 图；以及
图15是沿着线xm-xnr截取的图ii所示显示面板的再一个典型截面图。
具体实施例方式
下面将参考附图更加全面地描述本发明，其中示出了本发明的优选实 施例。然而，本发明可以以多种不同的形式实施，不应认为限于这里所阐 述的实施例。
在附图中，为了清楚起见，放大了层和区的厚度。相同的附图标记始 终表示相同的部件。应理解，当将诸如层、膜、区、衬底或者面板的元件 描述为在另一个元件"上"时，它可以直接在另一个元件上，也可以存在 夹在其间的元件。相反，当元件描述为"直接在另一个元件上"时，就不 存在夹在其间的元件。
下面，将参考附图描述根据本发明实施例的有机电致发光显示器及其 制造方法。
首先，参考图1至3详细描述根据本发明实施例的有机EL显示器。 图1是根据本发明实施例的有机EL显示面板的布局图，图2是沿着线
n-n，截取的图i所示有机EL显示面板的截面图，而图3是沿着线iii-m，截
取的图1所示有机EL显示面板的截面图。
在优选由透明玻璃或硅晶片制成的绝缘衬底110上形成施加有诸如电 源电压的预定电压的电源电压电极112。电源电压电极112优选由具有低电 阻率的导电材料(例如Al、 Al合金、Ag或Ag合金)制成，并且基本上覆盖 衬底110的整个表面，以便具有平面形状而不会形成带状。
在电源电压电极112上形成优选由氧化硅或者氮化硅制成的阻挡层
111。
在阻挡层111上形成多晶硅层，该多晶硅层包括多对用于开关薄膜晶 体管(TFT)的第一晶体管部分150a和用于驱动TFT的第二晶体管部分150b。
第一晶体管部分150a包括多个以n型杂质掺杂并且彼此分离的杂质区 和多个本征区，所述杂质区例如为(第一)源极区153a、中间区152a和(第一) 漏极区155a，所述本征区例如为设置在杂质区153a、 152a与155a之间的 成对的(第一)沟道区154a。第一源极区153a延伸而形成存储电极区157。
第二晶体管部分150b包括以p型杂质掺杂的多个杂质区和一本征区， 所述杂质区例如是(第二)源极区1Wb和(第二)漏极区l"b，所述本征区例 如是设置在杂质区153b与155b之间的(第二)沟道区154b。
可选的，根据驱动条件，用p型杂质掺杂第一晶体管部分150a的杂质 区153a、 152a和155a，同时用n型杂质掺杂第二晶体管部分150b的杂质 区153b和155b。
优选由氧化硅或者氮化硅制成的栅极绝缘层140形成在多晶硅层150a 和150b上。
在栅极绝缘层140上形成多条栅极线121,栅极线121包括优选由低电 阻率材料(例如Al或者Al合金)制成的多对第一栅极电极123a和第二栅极 电极123b。每对第一栅极电极123a都从栅极线121分盆并且与第一晶体管 部分150a相交，使得它们与成对的第一沟道区154a交叠。每个第二栅极电 极123b与栅极线121分离，并且与第二晶体管部分150b相交，使得它与 第二沟道区154b交叠。第二栅极电极123b延伸而形成与多晶硅层150a和 150b的存储电极区157交叠的存储电极133，从而形成存储电容器。
在栅极线121和第一及第二栅才及电极123a和123b上形成第一层间绝 缘膜801。
在第一层间绝缘膜801上形成多条数据线171,每条数据线都包括多个 第一源极电极173a、多个第二源极电极173b和多个第一及第二漏极电极 175a和175b。
每个第一源极电极173a从数据线171分岔并且通过穿过第一层间绝缘 膜801和栅极绝缘层140的接触孔181与第一源极区153a连接。每个第一 漏极电极175a通过穿过第一层间绝缘膜801和栅极绝缘层140的接触孔182 与第一漏极区155a连接。第一漏极电极175a还通过穿过第一层间绝缘膜 801和栅极绝缘层140的接触孔183与第二栅极电极123b连接。
每个第二源极电极173b都呈岛状，它通过穿过第一层间绝缘膜801和 栅极绝缘层140的接触孔184与第二源极区153b连接。每个第二漏极电极 175b通过穿过第一层间绝缘膜801和栅极绝缘层140的接触孔186与第二 漏极区155b连接。第二源极电极173b还通过穿过第一层间绝缘膜801、栅 极绝缘层140和阻挡层111的接触孔187与电源电压电极112连接。
在数据线171、源极电极173a和173b、以及漏极电极175a和175b上 形成第二层间绝缘膜802 。第二层间绝缘膜802优选由氮化硅、氧化硅或者 有机绝缘材料制成，并且它具有露出第二漏极电极175b的多个接触孔185。
在第二层间绝缘膜802上形成多个像素电极190。每个像素电极190 都通过接触孔185与第二漏极电极175b连接，并且其优选由反射性不透明 材料(例如Al或者Ag合金)制成。然而，像素电极190可以由透明的导电材 料(例如ITO(氧化铟锡)和IZO(氧化铟锌))制成。像素电极190可以与第二漏 极电极175b结合，用于降低制造成本。
在第二层间绝缘膜802和像素电极190上形成用于分开有机EL显示面 板的像素的隔离物803。隔离物803像土堤一样围绕像素电极190，以便限 定用有机发光材料填充的凹陷区。隔离物803优选由有机绝缘材料、更优 选由包括黑色颜料的光敏材料制成，对其曝光并显影，使得隔离物803起 到挡光部件的作用，从而简化其制造方法。
多个发光部件70形成在像素电极190上并且设置在由隔离物803限定 的凹陷区中。发光部件70优选由发射基色光(例如红、绿和蓝光)的有机材 料制成。周期性地设置发射红、绿和蓝光的部件70。
在发光部件70和隔离物803上形成緩冲层804。如果不需要，也可以 省略该緩冲层804。
在緩冲层804上形成施加有预定电压的公共电极270。公共电极270 优选由透明导电材料(例如ITO和IZO)制成。如果像素电极190是透明的， 则公共电极270优选由反射性不透明金属(例如Al)制成。
可选地设置由低电阻率材料制成的辅助电极(未示出)，用于补偿公共电 极270的电导率。辅助电极可以设置在公共电极270与緩冲层804之间或 者设置在公共电极270上，并且优选具有矩阵形式并且沿着隔离物803设 置，使得其不与发光部件70交叠。
在上述有机EL显示面板中，第一晶体管部分150a、与栅极线121连 接的第一栅极电极123a、与数据线171连接的第一源极电极153a、以及第 一漏极电极155a形成开关TFT。此外，第二晶体管部分150b、与第一漏极 电极155a连接的第二栅极电极123b、与电源电压电极112连接的第二源极 电极153b、以及与像素电极l卯连接的第二漏极电极155b形成驱动TFT。 另外，像素电极190和公共电极270分别作为阳极和阴极，与第一漏极电 极155a连接的存储电极区157和通过第二源极电极153b与电源电压电极 112连接的存储电极133形成存储电容器。
响应于来自栅极线121的栅信号，开关TFT将数据电压从数据线171 传输给驱动TFT。在接收到数据电压时，驱动TFT产生电流，该电流的幅 度取决于数据电压与电源电压之间的差。此外，数据电压给存储电容器充 电，并在开关TFT关断之后保持。由驱动TFT驱动的电流通过像素电极190 进入发光部件70，并且到达公共电极270。发光部件170中的电流流动意 味着正电荷载流子(例如空穴)和负电荷载流子(例如电子)分别从阳极190和 阴极270注入到发光部件70中，并且通过由阳极190与阴极270之间的电 压差产生的电场漂移。然后发光部件70中的空穴和电子彼此相遇，复合为 激子，发出预定波长的光。发光强度取决于由驱动TFT驱动并且流入发光 部件70的电流。
发射的光在经过公共电极270或者像素电极190之后离开显示面板。 透明的公共电极270和不透明的像素电极l卯可以应用于顶部发射型EL显 示器，这种显示器在其顶表面上显示图像。相反，透明的像素电极190和 不透明的公共电极270可以应用于底部发射型EL显示器，这种显示器在其
底表面上显示图像。对于前者，电源电压电极112可以具有在发光部件70 与衬底111之间的各种不同的位置或者设置。对于后者，电源电压电极112 可以至少部分是透明的，以便传送从发光部件70发射的光。
如上所述，由于电源电压电极112具有覆盖有机EL显示面板整个表面 的平面形状，因此施加于像素的电源电压的幅度几乎是恒定的。此外，由 于电源电压电极112具有表面电阻，因此电压降基本上不能够分辩施加给 像素的电源电压的幅度。因此，明显减少了由像素之间的亮度差产生的干 扰。
下面将参考图4A至10C以及图l至3描述图1至3所示的有机EL显 示面板的制造方法。
图4A、 5A、 6A、 7A、 8A、 9A和10A是在根据本发明实施例的有机 EL显示面板的制造方法的中间步骤中、图1至3所示的有机EL显示面板 的布局图，图4B、 5B、 6B、 7B、 8B、 9B和10B分别是沿着线IVB-IVB，、 VB-VB,、 VIB-VIB,、 VIIB-VIIB，、 VIIIB-VIIIB，和XB-XB，截取的图4A、 5A、 6A、 7A、 8A、 9A和IOA所示有机EL显示面板的截面图，图4C、 5C、 6C、 7C、8C、9C和10C分别是沿着线IVC-IVC，、VB-VB，、VIC-VIC，、VIIC-VIIC，、 VIIIC-VIIIC，、 IXC-IXC，和XC-XC，截取的图4A、 5A、 6A、 7A、 8A、 9A和 10A所示的有机EL显示面板的截面图。
参考图4A至4C,在绝缘衬底110上沉积导电材料，以便形成电源电 压电极112。可以光刻电源电压电极112以便在其中形成开口或者透射部分。
优选由氧化硅制成的阻挡层111形成在绝缘衬底110上，并在阻挡层 lll上沉积非晶硅层。优选通过LPCVD(低温化学汽相沉积)、PECVD(等离 子增强化学汽相沉积)或者溅射进行非晶硅层的沉积。接着，激光退火非晶 硅层，以便结晶为多晶硅层。
然后，光刻该多晶硅层以便形成多对第一和第二晶体管部分150a和 150b。
参考图5A至5C,在多晶硅层150a和150b上沉积4册极绝缘层140。 接着，在栅极绝缘层140上沉积栅极金属层，并且涂覆光致抗蚀剂膜， 曝光和显影，以便形成第一光致抗蚀剂PR1。利用第一光致抗蚀剂PR1作 为蚀刻掩模蚀刻栅极金属层，以便形成包括存储电极133的多个栅极电极 123b和多个栅极金属部件120。将P型杂质注入多晶硅层的第二晶体管部200810211163.9
说明书第9/ll页
分150b的暴露部分中，以便形成多个P型杂质区153b和155b。此时，多 晶硅层的第一晶体管部分150a被第一光致抗蚀剂PR1和栅极金属部件120 覆盖，以避免杂质注入。
参考图6A至6C，除去第一光致抗蚀剂PR1，涂覆另一层光致抗蚀剂 膜，曝光和显影，以便形成第二光致抗蚀剂PR2。利用第二光致抗蚀剂PR2 作为蚀刻掩模蚀刻栅极金属层120,以便形成包括栅极电极123a的多条栅 极线121。将N型杂质注入到多晶硅层的第一晶体管部分150a的暴露部分 中，以便形成多个N型杂质区153a和155a。此时，多晶硅层的第二晶体管 部分150b被第二光致抗蚀剂PR2覆盖，以避免杂质注入。
参考图7A至7C，在栅极线121和栅极电极123a和123b上沉积第一 层间绝缘膜801。光刻第一层间绝缘膜801、栅极绝缘层140和阻挡层111, 以便形成分别暴露杂质区153a、 155a、 153b和155b的多个接触孔181、 182、 184和186,以及暴露4册极电极123b和部分电源电压电极112的4妄触孔183 和187。
参考图8A至8C，沉积并光刻数据金属层，以便形成包括第一源极电 极173a的多条数据线171、多个第二源极电极173b、多个第一和第二漏极 电极175a和175b。
参考图9A至9C，在数据线171、源极电极173a和173b、以及漏极电 极175a和175b上、以及在第一层间绝缘膜801上沉积第二层间绝缘膜802。 光刻第二层间绝缘膜以便形成暴露第二漏极电极175b的多个接触孔185。
参考图IOA至IOC，沉积并构图透明导电材料或者低电阻率反射材料， 以便形成多个像素电极190。当像素电极190由反射性不透明材料制成时， 像素电极可以与数据线171 —起由数据金属层形成。
参考图1至3,在像素电极190和第二层间绝缘膜802上涂覆包括黑色 颜料的有机膜，曝光并显影以便形成在像素电极190上限定多个凹陷区的 隔离物803。此后，通过掩模之后的沉积或者喷墨印刷在凹陷区中形成多个 有机发光部件70。有片几发光部件70优选具有多层结构。
然后，在发光部件70上沉积有机导电材料，以便形成緩沖层804,并 在緩冲层804上沉积ITO或者IZO以1"更形成7>共电极270。
可以在形成公共电极270之前或者之后形成由低电阻率材料(如Al)制 成的辅助电极(未示出)。 如上所述，根据本实施例的顶部发射型有机EL显示面板包括不透明的 像素电极和透明的公共电极270，并在其顶表面显示图像。可以将电源电压 电极112设置在有机发光部件70下面的其它位置。
下面，参考图11至15详细描述底部发射型有机EL显示面板，该有机 EL显示面板包括透明的像素电极和不透明的公共电极，用于在其底表面上 显示图像。
图12和13分别是沿着线xn-xn，和xin-xnr截取的图ii所示显示面板的
典型截面图。
如图11至13所示，根据本实施例的有机EL显示面板的结构类似于图 1至3所示的面板结构。
详细而言，电源电压电极112和阻挡层111依次形成在绝缘衬底110 上。多晶硅层形成在阻挡层111上，并在上面形成栅极绝缘层140，该多晶 硅层包括多对用于开关TFT的第 一晶体管部分150a和用于驱动TFT的第二 晶体管部分150b。第一晶体管部分150a包括多个杂质区和设置在杂质区 153a、 152a和155a之间的一对第一沟道区154a，杂质区例如是第一源极区 153a、中间区152a、以及第一漏极区155a。第二部分150b包括第二源极区 153b、第二漏极区155b和设置在第二源极区153b与第二漏才及区155a之间 的第二沟道区154a。包括第一栅极电极123a的多条栅极线121和包括存储 电极133的多个第二栅极电极123b形成在栅极绝缘层140上，并在其上形 成第一层间绝缘膜801。包括第一源极电极173a的多条数据线171、多个第 二源极电极173b和多个第一和第二漏极电极175a和175b形成在第一层间 绝缘膜801上，并在其上形成第二层间绝缘膜802。多个像素电极190和在 像素电极190上限定多个凹陷区的隔离物803形成在第二层间绝缘膜802 上，而多个有机发光部件70形成在像素电极190上的凹陷区中。緩冲层804 形成在有机发光部件70和隔离物803上，7>共电极270形成在緩冲层804 上。
像素电极l卯是透明的，而公共电极270是不透明的。电源电压电极 112具有多个面对像素电极190的透射部分T，用于透射从发光部件70发 射的光。此外，电源电压电极112具有面对第一晶体管部分150a的沟道区 154a的多个开口 S,用于使电源电压对开关TFT的影响最小。
根据本发明实施例，图11至13所示的有机EL显示面板的制造方法、 通过在沉积电源电压电极112之后利用光刻工艺构图电源电压电极112形 成了开口 S和透射部分T。
与常规的直线形电源电压电极相比，可以增加根据本实施例的平面电 源电压电才及112的透射部分T的面积。
图14是沿着线xni-xnr截取的图11所示的显示面板的另一个典型截 面图。
参考图14,用于补偿电源电压电极112与第二源极电极173b之间的连 接的多个辅助部件127形成在栅极绝缘层140上。辅助部件127通过穿透 栅极绝缘层140和阻挡层111的接触孔147连接到电源电压电极112，并且 还通过穿透第一层间绝缘膜801的接触孔187连接到第二源极电极173b。 辅助部件127优选由与4册^L线121相同的层的制成。
图15是沿着线XIII-XIir截取的图11所示的显示面板的另一个典型截 面图。
参考图15，阻挡层111具有暴露电源电压电极112的多个开口 117， 以及在开口 117中形成穿透第一层间绝缘膜801和栅极绝缘层140和尺寸 比开口 117小的多个接触孔187。第二源极电极173b通过接触孔187与电 源电压电才及112连接。
尽管上面已经详细描述了本发明的优选实施例，但应清楚地理解，对 于本领域技术而言，将有对此处教导的基本发明理念的许多变化和/或修改， 其都属于如所附权利要求所限定的本发明的精神和范围内。
权利要求
1.一种有机电致发光显示面板，包括绝缘衬底；形成在该衬底上的多晶硅层；形成在多晶硅层上的第一绝缘层；形成在第一绝缘层上的栅极线；形成在栅极线上的第二绝缘层；形成在第二绝缘层上并包括第一和第二部分的数据线；与数据线的第一部分连接的像素电极；限定像素电极上的区域的隔离物；形成在像素电极上的该区域中的有机发光部件；形成在有机发光部件上的公共电极；设置在像素电极与衬底之间的平面电源电压电极；以及连接在电源电压电极与数据线的第二部分之间的辅助电极。
2. 根据权利要求1的有机电致发光显示面板，其中电源电压电极直接 设置在该衬底上。
3. 根据权利要求1的有机电致发光显示面板，其中多晶硅层包括第一 和第二晶体管部分，每个部分都包括沟道区、源极区和漏极区，栅极线包括分別与第一和第二晶体管部分交叠的第一和第二栅极电极，以及数据线 包括与第一晶体管部分的源极区连接的第一源极电极、与第一晶体管部分 的漏极区和第二栅极电极连接的第一漏极电极、与第二晶体管部分的源极 区和电源电压电极连接的第二源极电极、以及与第二晶体管部分的漏极区 和像素电极连接的第二漏极电极；以及其中多晶硅层还包括与第二晶体管部分的源极区连接的存储电极区， 而栅极线还包括与存储电极区交叠并且与第二栅极电极连接的存储电极。
4. 根据权利要求3的有机电致发光显示面板，其中像素电极由与数据 线相同的层或者相同的材料构成。
5. 根据权利要求1的有机电致发光显示面板，其中辅助电极包括与栅 4及线相同的层。
6. 根据权利要求1的有机电致发光显示面板，其中该隔离物包括黑色光致抗蚀剂。
7. 根据权利要求1的有机电致发光显示面板，其中像素电极是透明的， 电源电压电极具有面对有机发光部件的开口 ，用于透过来自有机发光部件 的光。
8. 根据权利要求7的有机电致发光显示面板，其中公共电极是不透明的。
全文摘要
本发明公开了一种有机电致发光显示面板，包括绝缘衬底；形成在衬底上的多晶硅层；形成在多晶硅层上的第一绝缘层；形成在第一绝缘层上的栅极线；形成在栅极线上的第二绝缘层；形成在第二绝缘层上并包括第一和第二部分的数据线；与数据线的第一部分连接的像素电极；限定像素电极上的区域的隔离物；形成在像素电极上的该区域中的有机发光部件；形成在发光部件上的公共电极；以及，设置在像素电极与衬底之间并且与数据线的第二部分连接的平面电源电压电极。
文档编号H01L27/10GK101359681SQ20081021116
公开日2009年2月4日 申请日期2003年12月11日 优先权日2002年12月11日
发明者崔凡洛, 申暻周, 蔡钟哲 申请人:三星电子株式会社