专利名称：基板输送装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种输送基板的装置。
背景技术：
在以液晶显示器、等离子显示器为代表的FPD (平板显示器)的生产线中，有必要 在收容基板的盒和处理装置之间或者在处理装置之间输送基板。作为输送基板的装置，在日本特开2005-64432号公报中，公开了具备载置从盒输 出的基板的载置台和将从载置台输出的基板向处理装置输送的基板输送装置的装置。但 是，此装置在基板输送装置输送基板的过程中不能从载置台向基板输送装置输出基板，基 板的输送效率降低。在日本特开2004-292094号公报中，公开了具备辊式输送器和将辊式输送器上的 基板向盒输入或从盒向辊式输送器上输出基板的转移装置的装置。此装置即使在辊式输送 器输送基板的过程中也能够由转移装置将基板从盒向辊式输送器上输出。但 是，因为转移 装置的一部分位于辊式输送器的侧方，所以，为了确保转移装置的设置空间，装置整体大型 化。在日本特开2004-284772号公报的图11以及图12中，公开了将输送方向正交的 两组辊式输送器上下重叠地配置并使其一方升降的装置。此装置也是即使在一方的辊式输 送器输送基板的过程中也能够将基板从盒向该一方的辊式输送器上输出，并将之通过另一 方的辊式输送器的升降由该另一方的辊式输送器输送。另外，通过将输送方向正交的两组 辊式输送器上下重叠地配置，还能够谋求装置整体的小型化。但是，辊式输送器具备了辊的 驱动机构，其轻量化不容易。因此，辊式输送器的升降花费时间，存在基板的输送效率降低 的情况。
发明内容
本发明的目的是提供一种能够谋求装置整体的小型化，同时提高基板的输送效率 的基板输送装置。根据本发明，提供下述的基板输送装置，所述基板输送装置具备对基板从其下侧 进行支承并在第一输送方向水平地进行输送的第一输送组件；和对上述第一输送组件上的 上述基板从其下侧进行支承并在与上述第一输送方向正交的第二输送方向水平地进行输 送的第二输送组件，上述第一输送组件由相互在上述第一输送方向分离的多列第一输送单 元构成，上述第二输送组件由相互在上述第一输送方向分离的多个第二输送单元构成，各 个上述第二输送单元具备支承单元，上述支承单元配置在上述第一输送单元间的空隙内， 对上述基板从其下侧进行支承；升降单元，上述升降单元配置在上述支承单元的下方，且与 上述支承单元连结地设置，在上述支承单元将上述第一输送单元上的上述基板从上述第一 输送单元提升的上升位置和上述支承单元不与上述第一输送单元上的上述基板干涉的降 下位置之间使上述支承单元升降；驱动单元，上述驱动单元与上述第一输送单元相比配置在下方，使上述支承单元以及上述升降单元在上述第二输送方向移动。在本发明中，根据上述结构，因为上述第二输送组件配置在上述第一输送组件的 下方，所以，能够谋求装置整体的小型化。另外，通过上述升降单元进行的上述支承单元的 升降，使上述基板升降。由于上述支承单元只要具有从下侧支承上述基板的功能即足够，不 需要用于移动上述基板的驱动机构，所以，能够谋求其轻量化。因此，能够谋求上述基板的 升降的高速化，提高基板的输送效率。
图1是表示有关本发明的一个实施方式的基板输送装置A的布局的俯视图。图2是沿图1的线I-I的正交输送装置1的构造说明图。图3是沿图1的线II-II的正交输送装置1的构造说明图。图4是第二输送单元21的立体图。图5是基板保持单元34的动作说明图。图6是收纳盒70的立体图。图7是从收纳盒70输出玻璃基板W的情况的动作说明图。图8是基板输送装置A的控制装置200的框图。图9是基板输送装置A的动作说明图。图10是基板输送装置A的动作说明图。图11是基板输送装置A的动作说明图。图12是基板输送装置A的动作说明图。图13是基板输送装置A的动作说明图。图14是基板输送装置A的动作说明图。图15是基板输送装置A的动作说明图。图16是基板输送装置A的动作说明图。
具体实施例方式为了实施发明的优选方式<整体构成>图1是表示有关本发明的一个实施方式的基板输送装置A的布局的俯视图，图2 是沿图1的线I-I的正交输送装置1的构造说明图，图3是沿图1的线II-II的正交输送 装置1的构造说明图。在各图中，箭头X、Y表示相互正交的水平方向。在特别指出Χ、Υ方 向的正反方向的情况下，称箭头的方向为+X、+Y，称相反的方向为-X、-Y。箭头Z表示上下 方向(铅直方向)。在区别上下地指出的情况下，称上方向为+Ζ，称下方向为-Ζ。基板输送装置A具备正交输送装置1、输送器装置2以及3、输送装置4、多个输送 器装置5以及多个升降装置80。基板输送装置A从收纳方形薄板状的玻璃基板W的收纳盒 70向未图示的处理装置输送玻璃基板W，另外，从该处理装置向收纳盒70输送玻璃基板W。 处理装置进行玻璃基板W的清洗、干燥、其它的处理。
<正交输送装置1>正交输送装置1具备在X方向水平地输送玻璃基板W的第一输送装置10 ；在Y方向水平地输送第一输送装置10上的玻璃基板W的第二输送装置20 ；支承第一输送装置10 以及第二输送装置20的架台500。架台500由架台主体部501和支承架台主体部501的脚 部502构成。〈第一输送装置10> 第一输送装置10由相互在X方向分离的多列第一输送单元11构成。在本实施方 式的情况下，第一输送单元11设置了四列。第一输送单元11由在Y方向排列的多个辊式输送器单元60构成。如图1至图3 所示，各辊式输送器单元60具备载置玻璃基板W的多个辊61 ；内置了辊61的驱动装置的 驱动箱62 ；检测玻璃基板W的到来的光传感器等传感器63 (参照图3)。辊61是绕Y方向 的旋转轴转动自由地设置的从动辊，是对玻璃基板W从其下侧进行支承而向+X方向以及-X 方向两方向输送的辊。各辊式输送器单元60分别能够独立地驱动，另外，由脚部601直立 支承在上述的架台500的架台主体部501上。虽然在本实施方式中，由辊式输送器单元60构成了第一输送单元11，但是，也可 以是对玻璃基板W从其下侧进行支承而进行输送的其它的输送单元，例如，皮带输送器等。<第二输送装置20>如图2所示，第二输送装置20由被同步地控制并相互在X方向分离的多个第二输 送单元21构成，设置在架台主体部501上。在本实施方式的情况下，第二输送单元21设置 了三个。以下，参照图2至图4，详述各第二输送单元21的结构。图4是第二输送单元21 的立体图。第二输送单元21具备支承单元30、升降单元40和驱动单元50。<支承单元30>支承单元30在Y方向延伸，其Y方向的长度比玻璃基板W的Y方向的宽度稍长。 因此，能够由各第二输送单元21的支承单元30稳定地支承玻璃基板W。支承单元30具备在Y方向延伸的支承部件31。在本实施方式的情况下，支承部件 31是空心的角形钢管。在支承部件31上，具备在Y方向分离地设置多个并经托架33支承 在支承部件31上的辊32。辊32旋转自由地安装在托架33上，能够绕X方向的轴旋转。在 由第二输送单元21输送玻璃基板W的情况下，玻璃基板W被载置在辊32上，辊32与玻璃 基板W的下面抵接，对玻璃基板W从其下侧进行支承。在本实施方式中，作为例子，列举了 在支承部件31上经托架33设置了辊32的情况来进行了说明，但是并不限定于此。例如， 也可以在支承部件31上设置在前端具有转动自由的轴承的销部件。支承单元30具备在Y方向分离地配置的一对基板保持单元34。在本实施方式的 情况下，基板保持单元34以夹着各辊32的方式分别配置在支承部件31的Y方向的两端部。 基板保持单元34具备与玻璃基板W的端缘抵接的抵接部件35、在Y方向往复移动抵接部件 35的移动单元36、和覆盖移动单元36的罩部件37。移动单元36在本实施方式的情况下为气缸，具备主体部36a和可动部36b。通过 对主体部36a进行空气的供给以及切换，可动部36b在Y方向往复移动。抵接部件35在本实施方式的情况下是可绕Z方向的轴旋转地被支承在可动部36b 的辊，玻璃基板W的端缘能够与其周面抵接。罩部件37是防止因移动单元36的动作而产 生的灰尘的部件，为了避免与抵接部件35的连结轴以及可动部36b的干涉，在其上面设置 了狭缝371。
图5是基板保持单元34的动作说明图。图5的上侧的状态表示在辊32上载置玻 璃基板W，基板保持单元34的抵接部件35处于退避位置的情况。从此状态通过各移动单 元36的动作使各抵接部件35向相互接近的方向移动而位于抵接位置，由此，如图5的下侧 的状态所示，各抵接部件35与玻璃基板W的Y方向的各端缘抵接，保持玻璃基板W。另外， 通过由基板保持单元34保持玻璃基板W，还能够进行玻璃基板W的Y方向的定位。在由第 二输送装置20输送玻璃基板W的期间，由基板保持单元34对玻璃基板W进行定位并保持。 进而，虽然也可以使设置成多列的第二输送单元21中的一对基板保持单元34整列同时驱 动(向接近方向移动)，但还可以与玻璃基板W的大小相应地适当选择驱动的列。在由基板保持单元34保持玻璃基板W时，虽然存在玻璃基板W在Y方向略微移动 的情况，但是，由于辊32能够绕X方向的轴旋转，所以，通过玻璃基板W的移动，防止玻璃基 板W和辊32摩擦，能够防止损伤玻璃基板W。
接着，如图2所示，支承单元30配置在第一输送单元11间的空隙内。在本实施方 式的情况下，第一输送单元11如上所述设置了四列，第一输送单元11间的空隙有三个部 位。在本实施方式中，在所有的空隙内都配置了支承单元30，因此，设置了三个第二输送单 元21。但是，没有必要设置与所有的空隙对应的数量的第二输送单元21，例如，在本实施方 式的情况下，也可以与X方向的两侧的两个部位的空隙对应地设置两个第二输送单元21。〈升降单元40>升降单元40在本实施方式的情况下为气缸，如图4所示，具备主体部42和可动部 41。通过对主体部42进行空气的供给以及切换，可动部41在Z方向往复移动。升降单元 40配置在支承单元30的下方，可动部41与支承单元30的支承部件31的下面连结。图2表示由升降单元40进行的支承单元30的升降动作。图2的上侧的状态表示 支承单元30以载置在第一输送单元11的辊61上的玻璃基板W和支承单元30不干涉的方 式处于降下位置的情况。若从此状态通过升降单元40的动作使支承单元30上升，则载置 在第一输送单元11的辊61上的玻璃基板W被载置在支承单元30的辊32上，支承单元30 位于将玻璃基板W从第一输送单元11提升的上升位置(图2的下侧的状态)。此后，通过由上述的基板保持单元34保持玻璃基板W，替代第一输送单元11，成为 能够由第二输送单元21输送玻璃基板W的状态。<驱动单元50>如图2以及图3所示，驱动单元50与第一输送单元11相比配置在下方，使支承单 元30以及升降单元40在Y方向移动。通过在第一输送单元11的下方的空间内配置驱动 单元50，能够谋求正交输送装置1整体的小型化。驱动单元50具备支承板51、滑动部件52、轨道部件53。升降单元40被搭载于支 承板51上，由此，升降单元40和支承单元30被搭载在驱动单元50上。另外，在支承板51 上还可以搭载对空气向升降单元40的供给进行切换的控制阀。根据此结构，由于接近升降 单元40地配置控制阀，所以，能够使升降单元40的升降动作成为更可靠的动作。滑动部件52被固定安装在支承板51的下面上，在Y方向以规定间隔设置多个。各 滑动部件52被设置成在轨道部件53上滑动移动自由，支承板51以及滑动部件52构成了 在轨道部件53上滑动移动的滑块。轨道部件53在Y方向延伸设置，如图3所示，遍及从第 一输送单元11的Y方向的一方端部到另一方端部的大致整个区域地延伸设置。在滑动部件(线性导块)52的与轨道部件53相向的面上内置轴承(或者滚子)。这些轴承一面在线 性导块的内部循环，一面在轨道部件53的槽内(接触面)转动(或者这些滚子在线性导块 的内部，一面与轨道部件53的接触面接触，一面转动)。因此，滑动部件52能够几乎没有受 到摩擦阻力地在轨道部件53上滑动移动。在轨道部件53的Y方向的两端部分别设置了端部部件53a，在各端部部件53a上 固定了轴承54a。在X方向延伸的轴54由轴承54a可转动地支承，在轨道部件53的Y方向 的两端部分别各设置一个。在本实施方式的情况下，轴54对所有的第二输送单元21都是 通用的，设置在各个端部的轴54连结成一根。在各轴54的周围的轨道部件53的附近设置了皮带轮55，对每个轨道部件53配置 一对皮带轮55。将皮带56卷绕于在Y方向分离的此一对皮带轮55上，皮带56的两端部分 别被固定在支承板51的前后(参照图4)。在两个轴54的一方设置了驱动源58。驱动源58具备马达58a和减速机58b，对 轴54进行旋转驱动。然后，通过由驱动源58的驱动进行的一方的轴54的旋转，固定在该 一方的轴54上的皮带轮54旋转，皮带56行走。此结果，支承板51以及滑动部件52在轨 道部件53上滑动移动，使支承单元30以及升降单元40在Y方向移动，且能够停止在任意 的位置。支承单元30以及升降单元40的重量由轨道部件53负担。因此，使皮带轮55旋 转，使皮带56行走的驱动源58，只要能够产生向Y方向的移动力就足够，是更少的输出的驱 动源就足够。至于由驱动源58的驱动进行的支承单元30以及升降单元40的Y方向的移动位 置，例如能够由反馈控制进行控制。在此情况下，与检测马达58a的转速的传感器、检测轨 道部件53上的滑动部件52的位置的传感器等的检测结果相应地控制马达58a。另外，在本实施方式中，虽然作为驱动源58采用了皮带传动机构，但也可以采用 其它的机构。例如，可以采用滚珠丝杠机构、使用了线性马达的机构。另外，在本实施方式中，对各第二输送单元21共用了驱动源58。但是，也可以对每 个第二输送单元21设置驱动源58，同步地进行控制。但是，通过共用驱动源58，能够谋求 成本的降低、控制的简便化、结构的简单化。 驱动单元50具备一对罩部件57。如图2所示，一对罩部件57构成分别配置在轨道 部件53的+X侧、-X侧的C字型，形成了空心的空间S1、S2。在空间SI内，收纳皮带轮55、 皮带56，在空间S2配置未图示的配线、配管。而且，由这些罩部件57包围轨道部件53、支承 板51、滑动部件52、皮带轮55、皮带56，防止因驱动单元50的驱动而产生灰尘。在罩部件 57上设置了多个吸引其内部的空间S1、S2内的空气并向外部排气的吸引排气组件57a(图 3)。由此，能够更可靠地防止产生灰尘。<输送器装置2以及3>参照图1，输送器装置2以及3在本实施方式的情况下均由多个辊式输送器单元60构成。输送器装置2配置在第一输送装置10的+X方向的侧方，从输送装置4向正交输 送装置1输送玻璃基板W。输送器装置3配置在第一输送装置10的+X侧，从正交输送装置 1向输送装置4输送玻璃基板W。<输送装置4>
输送装置4将从输送器装置3输送来的玻璃基板W向未图示的处理装置输送，将 从处理装置输送来的玻璃基板W向输送器装置2输送。输送装置4的结构例如可以是与正 交输送装置1同样的结构，也可以是能够在Y方向移动的多关节型的机器人等。< 收纳盒 70>图6是收纳盒70的立体图。收纳盒70设置在输送器装置5的上方，是能够以水 平姿势在ζ方向呈多段地收纳玻璃基板W的盒。另外，图6表示未收纳玻璃基板W的状态。 在本实施方式的情况下，收纳盒70由多个柱部件71、梁部件72构成了大致长方体形状的 框架体。梁部件72的配设间隔被设定成输送器装置5能够从收纳盒70的下方进入收纳盒 70内，梁部件72形成了输送器装置5能够从下方进入的开口部。柱部件71在X方向配设多个，同时，在Y方向分离地并列设置相同数量。在Y方 向分离的一对柱部件71之间，在Z方向排列，且以规定的间距铺设了线材73。各线材73的 上下之间的空间，形成收纳玻璃基板W的缝隙，玻璃基板W以水平姿势被一张一张地载置在 线材73上。而且，与在Z方向排列的线材73的数量相应地形成缝隙。在本实施方式中，虽然由线材形成了缝隙，但是，当然也可以采用其它的方式。但 是，通过使用线材，能够缩小被收纳的基板间的间隔，能够提高收纳盒70的收纳效率。<输送器装置5>输送器装置5在本实施方式的情况下由多个辊式输送器单元60构成。输送器装 置5对每个收纳盒70都设置，位于收纳盒70的下方。另外，输送器装置5如图1所示配置 在第一输送装置10的-X方向的侧方，在与正交输送装置1之间进行玻璃基板W的输送，这 里是进行玻璃基板W向收纳盒70的输入以及玻璃基板W从收纳盒70的输出。<升降装置>通过由一对升降装置80在Z方向升降收纳盒70，使收纳盒70和输送器装置5在 Z方向相对地移动。也可以替代它，做成在Z方向升降输送器装置5的结构。另外，在做成 了升降输送器装置5的结构的情况下，第一输送装置10也成为升降的结构。在本实施方式的情况下，各升降装置80以夹着收纳盒70的方式分别被配设在收 纳盒70的相互相向的Y方向的两侧部，分别悬臂支承收纳盒70。根据此结构，能够使升降 装置80进一步薄型化。升降装置80具备载置收纳盒70的底部的梁部件72的横梁部件81。通过各升降 装置80的各横梁部件81同步地在Z方向移动，收纳盒70升降。升降装置80具备驱动装 置(未图示)，通过由该驱动装置升降横梁部件81来升降收纳盒70。在各升降装置80间， 在其支柱的上端架设了梁部件80a。图7是表示从收纳盒70输出玻璃基板W的情况下的由升降装置80进行的收纳盒 70的升降动作的图。另外，在该图中，省略了升降装置80的图示。在从收纳盒70输出的情 况下，从收纳了玻璃基板W的缝隙中的被收纳在最下方的缝隙的玻璃基板W开始依次进行。首先，如图7的左上图所示，从收纳盒70位于输送器装置5的上方的状态，由升降装置80 (在图7中未图示)使收纳盒70降下，如图7的右上图所示，将输送对象的玻璃基 板W载置在输送器装置5上。此时，输送器装置5从下方进入收纳盒70内，输送对象的玻璃 基板W成为从收纳盒70的线材73浮起的状态，并成为仅由输送器装置5支承的状态。接 着，驱动输送器装置5，如图7的左下图所示，将输送对象的玻璃基板W从收纳盒70输出。以下，同样地反复进行收纳盒70的降下和输送器装置5的驱动(图7的右下图)，从下方侧 依次输出玻璃基板W。在将玻璃基板W向收纳盒70输入的情况下，成为与上述的输出时的动作大致相反 的动作。玻璃基板W的输入从没有收纳玻璃基板W的缝隙中的最上方的缝隙开始依次进行。
<控制装置>图8是表示基板输送装置A的控制装置200的结构的框图。控制装置(控制组 件)200具备负责基板输送装置A的整体的控制的CPU201 ；在提供CPU201的工作区域的同 时存储可变数据等的RAM202 ；存储控制程序、控制数据等固定性的数据的R0M203。RAM202、 R0M203也可以采用其它的存储组件。输入接口(I/F)204是CPU201和各种传感器(例如，传感器63等)的接口，CPU201 经输入I/F204取得各种传感器的检测结果。输出接口(I/F)205是CPU201和各种马达(例 如，马达58a、驱动箱62内的马达等)以及控制阀(基板保持单元34以及升降单元40用的 部件等)的接口，CPU201经输出I/F205控制各种马达、控制阀。通信接口(I/F) 206是控制包括基板输送装置A在内的基板处理设备整体的主计 算机300和CPU201的接口，CPU201与来自主计算机300的指令相应地控制基板输送装置 A0<由基板输送装置A进行的玻璃基板的输送例>参照图9至图16，说明由基板输送装置A进行的玻璃基板W的输送例。在本实施 方式中，如图9所示，对将收纳了玻璃基板W的收纳盒70配置在+Y侧，将空的收纳盒70配 置在-Y侧，从位于+Y侧的收纳盒70向处理装置输送未处理的玻璃基板W，从处理装置向位 于-Y侧的收纳盒70输送处理完的玻璃基板W的情况进行说明。首先，参照图10至图12， 说明从位于+Y侧的收纳盒70向处理装置输送未处理的玻璃基板W的情况。如图10所示，通过输送器装置5以及升降装置80工作，将玻璃基板W—张一张地 从+Y侧的收纳盒70向+X方向输送。同时，在正交输送装置1中，通过第一输送装置10的 第一输送单元10工作，将从收纳盒70输送来的玻璃基板W向+X侧输送，使玻璃基板W位 于正交输送装置1的X方向的大致中央。此时，支承单元30位于降下位置，且位于输送来 的玻璃基板W的正下方。基板保持单元34的抵接部件35位于退避位置。支承单元30是否已位于玻璃基板W的正下方，基本上是以支承单元30位于了预 定的位置的情况看做是位于了玻璃基板W的正下方。但是，也可以在支承单元30上设置检 测玻璃基板W的传感器来检测玻璃基板W，控制支承单元30的位置。接着，由升降单元40将支承单元30向上升位置移动，由此，替代第一输送装置10， 由支承单元30支承玻璃基板W。接着，通过基板保持单元34工作，将抵接部件35向抵接位 置移动，保持玻璃基板W。接着，如图11所示，通过驱动单元50工作，向-Y方向移动支承单元30，将玻璃基 板W—直移动到输送器装置3的-X侧的位置。通过玻璃基板W的移动，正交输送装置1的 +Y侧的收纳盒70的侧方的区域空出。因此，从+Y侧的收纳盒70开始第二张玻璃基板W的 输出。接着，使基板保持单元34的抵接部件35位于退避位置，将支承单元30向降下位 置移动。由此，第一张玻璃基板W再次被载置在第一输送装置10上。接着，如图12所示，由第一输送装置10以及输送器装置3向+X方向输送第一张玻璃基板W，将第一张玻璃基板 W交给输送装置4。输送装置4将第一张玻璃基板W向处理装置输送。同时，通过驱动单元50工作，向+Y方向移动支承单元30，使之位于第二张玻璃基 板W的正下方。此时，由于即使是在第一输送装置10从收纳盒70输出第二张玻璃基板W 的途中，也能够使支承单元30位于成为被输送来的玻璃基板W的正下方的位置(图9的位 置)，使之待机，所以，能够提高输送效率。以后，通过反复进行同样的顺序，能够依次连续地 从位于+Y侧的收纳盒70向处理装置输送未处理的玻璃基板W。由于能够并行地进行正交 输送装置1中的玻璃基板W的X方向以及Y方向的输送，所以，能够提高玻璃基板W的输送 效率。接着，参照图13至图16，说明从处理装置向位于-Y侧的收纳盒70输送处理完的 玻璃基板W的情况。如图13所示，处理完的玻璃基板W由输送装置4从处理装置向输送器装置2输送， 输送器装置2向正交输送装置1上输送玻璃基板W。同时，在正交输送装置1中，通过第一 输送装置10的第一输送单元10工作，将从输送器装置2输送来的玻璃基板W向-X侧输送， 使玻璃基板W位于正交输送装置1的X方向的大致中央(图14)。此时，支承单元30位于 降下位置，且位于输送来的玻璃基板W的正下方。基板保持单元34的抵接部件35位于退 避位置。接着，由升降单元40将支承单元30向上升位置移动，由此，替代第一输送装置10， 由支承单元30支承玻璃基板W。接着，通过基板保持单元34工作，向抵接位置移动抵接部 件35，保持玻璃基板W。接着，如图15所示，通过驱动单元50工作，向-Y方向移动支承单元30，将玻璃基 板W —直移动到-Y侧的收纳盒70的+X侧的位置。通过玻璃基板W的移动，正交输送装置 1的在输送器装置2的侧方的区域空出。因此，开始由输送装置4以及输送器装置2进行的 第二张玻璃基板W的输送。接着，使基板保持单元34的抵接部件35位于退避位置，将支承单元30向降下位 置移动。由此，第一张玻璃基板W再次被载置在第一输送装置10上。接着，如图16所示， 通过第一输送装置10、输送器装置5以及升降装置80工作，向-Y侧的收纳盒70输入第一 张玻璃基板W。同时，通过驱动单元50工作，向+Y方向移动支承单元30，使之位于第二张玻璃基 板W的正下方。此时，由于即使是在输送器装置2将第二张玻璃基板W向第一输送装置10 上输出的途中，也能够使支承单元30位于成为被输送来的玻璃基板W的正下方的位置(图 13的位置)，使之待机，所以，能够提高输送效率。以后，通过反复进行同样的顺序，能够依 次连续地从处理装置向位于-Y侧的收纳盒70输送处理完的玻璃基板W。由于能够并行地 进行正交输送装置1中的玻璃基板W的X方向以及Y方向的输送，所以，能够提高玻璃基板 W的输送效率。 这样，在本实施方式中，由于能够并行地进行正交输送装置1中的玻璃基板W的X 方向以及Y方向的输送，所以，能够提高玻璃基板W的输送效率。特别是，因为玻璃基板W 越是大型，在向收纳盒70输入以及从收纳盒70输出时，越需要时间，所以，像本实施方式的 这样，通过并行地进行玻璃基板W的X方向以及Y方向的输送，能够谋求生产间隔时间的缩短。而且，因为第二输送装置20配置在第一输送装置10的下方，所以，能够谋求装置 整体的小型化。另外，通过由升降单元40进行的支承单元30的升降来升降玻璃基板W。由 于支承单元30其本身不具有输送玻璃基板W的驱动机构，只要具有从下侧支承玻璃基板W 的功能即足够，所以，能够谋求其轻量化。因此，能够谋求玻璃基板W的升降的高速化，能够 提高玻璃基板W的输送效率。此外，因为能够谋求支承单元30的轻量化，所以，能够在 Y方向以更高速移动它， 能够进一步提高玻璃基板W的输送效率。另外，通过将支承单元30做成了移动的结构，Y方 向上的玻璃基板W的输送距离由驱动单元50的Y方向的全长规定，能够做成更长的距离或 更短的距离，能够提高装置的布局自由度。另外，由于能够在正交输送装置1的+X侧、-X侧分别配置输送器装置2、3以及5， 能够在它们和正交输送装置1之间进行玻璃基板W的传递，所以，能够提高装置的布局自由 度。另外，第二输送单元21能够在第一输送单元11的Y方向上的任意的位置停止。进而， 由能够独立驱动的多个辊式输送器单元60构成了第一输送单元11。由此，在将输送器装置 5等配置、连接在正交输送装置1的X方向侧方时，能够增加Y方向上的连接位置的选择方 式。由此，能够进一步提高装置的布局自由度。另外，在本实施方式中，虽然在Y方向以大致等间距配设了第一输送单元11的各 辊式输送器单元60，但是并不限定于此。辊式输送器单元60只要至少位于被配置在正交输 送装置1的侧方的输送器装置2、3以及5的侧方即足够。
权利要求
一种基板输送装置，其特征在于，具备对基板从其下侧进行支承并在第一输送方向水平地进行输送的第一输送组件；和对上述第一输送组件上的上述基板从其下侧进行支承并在与上述第一输送方向正交的第二输送方向水平地进行输送的第二输送组件，上述第一输送组件由相互在上述第一输送方向分离的多列第一输送单元构成，上述第二输送组件由相互在上述第一输送方向分离的多个第二输送单元构成，各个上述第二输送单元具备支承单元，上述支承单元配置在上述第一输送单元间的空隙内，对上述基板从其下侧进行支承；升降单元，上述升降单元配置在上述支承单元的下方，且与上述支承单元连结地设置，在上述支承单元将上述第一输送单元上的上述基板从上述第一输送单元提升的上升位置和上述支承单元不与上述第一输送单元上的上述基板干涉的降下位置之间使上述支承单元升降；驱动单元，上述驱动单元与上述第一输送单元相比配置在下方，使上述支承单元以及上述升降单元在上述第二输送方向移动。
2.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，上述第一输送单元具备能够独 立驱动的多个辊式输送器单元。
3.根据权利要求2所述的基板输送装置，其特征在于，还具备设置在上述支承单元上，在上述第二输送方向分离地配置的一对基板保持单元，上述基板保持单元具备与上述基板的端缘抵接的抵接部件；在上述第二输送方向往复移动上述抵接部件的移动单元。
4.根据权利要求3所述的基板输送装置，其特征在于， 上述支承单元具备在上述第二输送方向延伸的支承部件；在上述第二输送方向分离地设置多个，与上述基板的下面抵接，能够绕与和上述第二 输送方向正交的方向平行的轴旋转自由地经托架支承在上述支承部件上的辊。
5.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于， 上述驱动单元具备在上述第二输送方向延伸的轨道部件；在沿上述轨道部件滑动移动自由地设置的同时搭载上述升降单元的滑块。
6.根据权利要求5所述的基板输送装置，其特征在于， 上述驱动单元具备在上述第二输送方向分离的一对皮带轮； 在卷绕在上述一对皮带轮上的同时与上述滑块连结的皮带； 在上述第一输送方向延伸，分别旋转驱动上述一对皮带轮的一对轴； 旋转驱动上述一对轴中的一方的轴的驱动源，各个上述驱动单元中的上述一对轴中的一方的轴以及另一方的轴分别全部连结地设置，并在其一方的轴上连结设置一个上述驱动源。
7.根据权利要求6所述的基板输送装置，其特征在于，还具备包围上述轨道部件、上述 滑块、上述一对皮带轮和上述皮带的罩部件。
8.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，还具备第三输送组件，上述第三 输送组件配置在上述第一输送组件的上述第一输送方向的侧方，通过对上述基板从其下侧 进行支承并在上述第一输送方向水平地进行输送，在与上述第一输送组件之间输送上述基 板。
9.根据权利要求8所述的基板输送装置，其特征在于，还具备升降组件，上述升降组件 使配置在上述第三输送组件的上方，在具有上述第三输送组件能够进入的开口部的同时， 使在上下方向具备多个以水平姿势收纳上述基板的缝隙的收纳盒和上述第三输送组件相 对升降。
10.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，还具备第三输送组件，上述第三输送组件配置在上述第一输送组件的上述第一输送方向的一 方侧方，通过对上述基板从其下侧进行支承并在上述第一输送方向水平地进行输送，在与 上述第一输送组件之间输送上述基板；第四输送组件，上述第四输送组件配置在上述第一输送组件的上述第一输送方向的另 一方侧方，通过对上述基板从其下侧进行支承并在上述第一输送方向水平地进行输送，在 与上述第一输送组件之间输送上述基板。
11.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，上述支承单元的上述第二输送 方向的长度比上述基板的宽度长。
全文摘要
本发明的基板输送装置，具备在第一输送方向水平地输送的第一输送组件；将上述第一输送组件上的上述基板在与上述第一输送方向正交的第二输送方向水平地输送的第二输送组件。上述第一输送组件由相互在上述第一输送方向分离的多列第一输送单元构成，上述第二输送组件由相互在上述第二输送方向分离的多个第二输送单元构成。各个上述第二输送单元具备配置在上述第一输送单元间的空隙内，对上述基板从其下侧进行支承的支承单元；配置在上述支承单元的下方，升降上述支承单元的升降单元；与上述第一输送单元相比配置在下方，使上述支承单元以及上述升降单元在上述第二输送方向移动的驱动单元。
文档编号H01L21/677GK101842302SQ20088011403
公开日2010年9月22日 申请日期2008年1月17日 优先权日2008年1月17日
发明者藤吉诚 申请人:平田机工株式会社