专利名称：具有散热孔的陶瓷基板的制作方法
具有散热孔的陶瓷基板发明背景 发明领域本发明涉及陶瓷基板中的散热孔的结构。
背景技术：
近年来，由于形成的电路愈来愈复杂，因此对基板具有更好的热发散性能的需求 也日益增多。改善散热性的已知方法是改善基板等组成材料的热导率。例如，W02002-045470公 开了一种通过焙烧之前降低氮化铝模制主体中残余碳的含量来获得高热传导率的氮化铝 的方法。另一种改善散热性的已知方法是使用散热孔。由薄片和其他热发生器产生的热量 通过散热孔传递到基板以外。JP 2002-158318公开了通过在散热孔周边布置高热传导材料 来促进散热的技术。为了达到改善散热性的目的，可以把散热孔的尺寸做大；但如果散热孔太大，则散 热孔填料与散热孔四周之间的粘附力不足，填料可能在受到外力时脱落。期望提供确保散热孔填料与大开口的散热孔四周之间的粘附力的方法。发明概述本发明是具有散热孔的陶瓷基板，散热孔穿过该基板以用于将热量发散到基板以 外，其中该陶瓷基板具有加强结构，该加强结构将散热孔的开口分成两个或更多个，并且该 加强结构的高度小于散热孔的高度。本发明还涉及制造所述陶瓷基板以及包括该陶瓷基板的电子元件的方法。通过在陶瓷基板上提供与散热孔内具体环境匹配的加强结构有可能增强陶瓷基 板与散热孔内填料之间的粘合强度，从而使填料在受到外力时不会脱落。附图简述图IA和IB示出了本发明的一个实施方案中陶瓷基板的结构，图IA为顶视图，图 IB为剖面图；图2A和2B示出了本发明的陶瓷基板中散热孔与加强结构之间的关系，图2A和 2B示出了本发明的一个实施方案的顶视图和剖面图，图2C至图2H示出了比较实施例的视 图；图3示出了本发明的陶瓷基板中散热孔与加强结构之间的关系，图3A和3B示出 了本发明的一个实施方案的顶视图和剖面图，图3C至图3D示出了比较实施例；图4示出了本发明的陶瓷基板中散热孔与加强结构之间的关系，图4A和4B示出 了本发明的一个实施方案，图4C至图4H示出了比较实施例；图5示出了本发明的陶瓷基板中散热孔与加强结构之间的关系，图5A、5B和5C示 出了本发明的一个实施方案，图5D至图51示出了比较实施例；
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图6A至6D示出了本发明的陶瓷基板的制造方法；图7A至7D示出了本发明的陶瓷基板的另一种制造方法；图8A至8J示出了用填料组合物填充本发明的陶瓷基板中通路孔等的步骤；图9为示出本发明的电子元件的一个实例的图；并且
图10示出本发明的实施例制备的陶瓷基板的形状等。发明详述本发明涉及具有散热孔的陶瓷基板的结构，所述散热孔穿过该基板以用于向外散热。具体地讲，本发明的陶瓷基板中散热孔具有加强结构，该加强结构将散热孔的开口分成 两个或更多个，并且该加强结构的高度小于散热孔的高度。氧化铝、氮化铝、氧化锆或已知的二氧化硅、玻璃或其他基板可用作本发明的陶瓷基板。散热孔包含的加强结构的材料不受具体限制，只要该材料可避免填充到散热孔的 填料脱落，但是优选该材料与陶瓷基板的材料相同。本发明的散热孔的加强结构可以是任何结构，只要它将散热孔的开口分成两个或 更多个，并且只要该加强结构的高度小于散热孔的高度。本发明的一个实施方案是具有包含加强结构的散热孔的陶瓷基板，其结构如图1 所示。图IA示出顶视图，而图IB示出a-a’横截面。在该实施方案中，如图IA所示，陶瓷基板100具有基板主体102和散热孔104，并 且加强结构106将散热孔104平均分成四个(在这些说明中，加强结构106a(竖直显示) 和加强结构106b (水平显示)一起被称为106)。如图IB横截面所示，加强结构106从散热 孔一端的开口 110(底部)竖直形成，其朝向另一端的开口 108 (顶部)，并且其高度a小于 散热孔的高度(加强结构的高度a和散热孔的高度h在下文中定义)。在图1中，加强结构 和散热孔被分别成形为矩形并且垂直于陶瓷基板的厚度(本发明中优选的形状)，但本发 明并不局限于这种结构，例如加强结构和散热孔可以具有梯形的横截面，其中顶部开口 108 大于底部开口 110。如本文所用，术语“顶部开口，，和“底部开口，，分别指当陶瓷基板用作电子元件时 要安装热发散的组件(例如LED薄片)的一面和不安装此类组件的一面。在这些说明中， 顶视图是指从具有顶部开口的一面观察到的视图。如该实施方案所示，本发明的散热孔具有加强结构106，该加强结构将散热孔分成 两个或更多个。在上述实例中，散热孔被分成4个，但是散热孔也可以例如仅被图1中的加 强结构106a (竖直显示)或加强结构106b (水平显示)中的任何一个来分成两个，还可将加 强结构安排成将散热孔分成三个或更多个。散热孔中的加强结构的位置也不受具体限定。 也就是说，在本发明的一个实施方案中，如图1所示，散热孔104的通孔被均勻划分，但是本 发明的加强结构不局限于这种设计。散热孔中的加强结构在陶瓷基板的垂直方向(厚度) 上的位置也不受特殊限制，可在避免通路孔中填料脱落的适当范围内进行选择。在本发明 中，加强结构优选被成形为矩形，从散热孔的底部开口 110竖直延伸至顶部开口 108，如图 IB所示。如上所述，本发明中的加强结构置于基板主体102的散热孔内部。除上述说明之 夕卜，期望加强结构还满足下列(i)至(iii)的所有条件
(i)假定加强结构高度为a，并且散热孔高度为h，则a/h在0.1至0.8的范围内；(ii)假定加强结构的顶部面积为b，并且散热孔的开口面积为S，则b/s在0. 10至 0. 80的范围内；(iii)假定散热孔的开口面积为s，并且散热孔的表面面积为t，则t/s为4. 0或更 下面结合附图来说明上述(i)至(iii)中的参数。 coos ](说明 mi在说明(i)中，“加强结构的高度a”为陶瓷基板的散热孔中的加强结构在竖直方 向(厚度方向)上的高度。在说明(i)中，“散热孔的高度h”为在陶瓷基板中的散热孔在 竖直方向(厚度方向)上的高度。具体地讲，“加强结构的高度a”和“散热孔的高度h”参 照图2A至图2H进行了说明。图2仅为示例，本发明并不局限于此。图2A和2B示出与图 1所示相同的本发明所期望的具有加强结构的散热孔，图2C和2D示出不具有加强结构的 散热孔，图2E和2F示出了在散热孔的一面具有阶梯202 (非加强结构)的实例，并且图2G 和2H示出具有加强结构的实例，其中该加强结构将散热孔分成多个孔洞，并且加强结构的 高度与散热孔的高度h相同。在图2B、2D、2F和G中，横截面分别为顶视图中的a-a’横截 面和d-d’横截面。如图2A至图2G所示，“加强结构的高度a”表示在陶瓷基板的散热孔104中加强 结构106在厚度方向(垂直方向)上的高度(以a表示)。“散热孔的高度h”表示无论有 无加强结构106，在陶瓷基板的厚度方向(竖直方向)上从一个开口(顶部开口)108延伸 至另一个开口(底部开口)110的高度(以h表示)。(说明(ii))在说明(ii)中，“加强结构的顶部面积b”表示朝向在散热孔中的顶部开口的加强 结构的顶部的面积。在说明(ii)中，“散热孔的开口面积S”表示在陶瓷基板中的散热孔的 顶部开口的面积。具体地讲，“加强结构的顶部面积b”参照图3A至图3D进行了说明，而 “散热孔的开口面积s”参照图4A至图4H进行了说明。图3和图4仅为示例，本发明并不局 限于此。图3A和图4A示出了与上面图1所示相同的本发明所期望的具有加强结构的散热 孔，而图4C示出了不具有加强结构的散热孔的实例，并且图4E示出了在散热孔的一面中具 有阶梯202 (非加强结构)的实例，并且图3C和图4G示出了具有加强结构的实例，其中该 加强结构将散热孔分成多个孔洞并且加强结构的高度与散热孔的高度h相同。在图3A和 3C中，横截面分别为顶视图的a-a’横截面和b-b’横截面；而在图4A和4G中，横截面分别 为顶视图a-a’横截面和d-d’横截面。如图3所示，“加强结构的顶部面积b”表示在散热孔104的加强结构106朝向顶 部开口 108的顶部平坦表面的面积(图3A和图3C的顶视图中以实心点显示的十字并且始 终用b表示的部分(下文同)，以及在图3A和3C的横截面图中以粗实线显示的部分和始 终用b表示的部分(下文同))。“散热孔的顶部面积S”表示顶部开口 108的面积，无论是 否具有加强结构106。更具体地讲，如图4A所示，当加强结构的高度a小于散热孔的高度h 时，则顶部开口的面积即为作为整体的顶部开口的面积s，其包括加强结构的顶部面积(图 3A的顶视图中b部分)(图4A的顶视图中的实心点部分和始终用s表示的部分(下文同)， 以及在图4A的横截面中显示为实线的部分(始终用s表示的部分，下文同))。如在图4C
5中所示，当不存在加强结构时，则它就是散热孔的顶部开口的面积S。如在图4E中所示，当 散热孔在散热孔洞的边缘处形成有阶梯时，则它就是包括阶梯在内的作为整体的顶部开口 的面积S。最后，如图4G所示，当加强结构的高度a与散热孔的高度h相同时，则它就是散 热孔洞被分成两个或更多个之后其中一个孔洞的顶部开口的面积(在4G的顶视图中实心 点显示的并且始终以s表示的部分(下文同)，以及在横截面图4H中用实线显示的并且也 在图4G中用s表示的部分(下文同))。(说明Oiill在说明(iii)中，“散热孔的开口面积S”的定义与上述说明(ii)相同。在说明 (iii)中，“散热孔的表面面积t”为包括散热孔洞的整个表面的面积，并且如果存在加强结 构，还包括加强结构的所有表面的面积。“散热孔的表面积t”参照图5A至图5E进行了详 细说明。然而，图5仅为示例，本发明并不局限于此。图5A示出了与图1所示相同的本发 明所期望的具有加强结构的散热孔，图5D示出了不具有加强结构的散热孔的实例，图5F示 出了在散热孔的边缘具有阶梯202 (非加强结构)的实例，并且图5H示出了具有加强结构 的实例，其中该加强结构将散热孔分成多个孔洞并且加强结构的高度与散热孔的高度h相 同。在图5A中，横截面图(5B)和(5C)分别为在顶视图中的al-al’和a2_a2’横截面，而 在图5H中，横截面为在顶视图中的d-d’横截面。如图5A所示，当加强结构的高度小于散热孔高度h时，则“散热孔的表面面积t” 为包括散热孔自身的表面面积502和加强结构的表面面积504的面积。当如在5D中所示 不存在加强结构时，则表面面积t为竖直方向(厚度方向)上的散热孔的面积502。当如图 5F所示，散热孔的孔洞边缘具有阶梯时，则表面面积t为包括散热孔在竖直方向(厚度方 向)上的面积502以及阶梯部分的面积502的面积。当如图5D所示加强结构的高度a与 散热孔的高度h相同时，则表面积t为散热孔的整个表面积502和加强结构的整个表面积 504之和。应当指出，为了使图片简单明了，图1至5对应部分的相关符号并未全部标出。接下来，为了增加热传导率，使用填料对本发明的陶瓷基板中的散热孔进行填充。 所述填料由填料组合物组成，填料组合物中包含具有良好热导率的材料。在本发明中，填料组合物包含金属和载体，并可任选地包含除金属之外的其他导 热材料。下面将说明填料组合物的组分。1.金属对于金属没有特别限制，但是优选为包括选自银、钯、金、钼、铜、铝和镍的一种或 两种或更多种金属的材料。这些金属可以各种形状予以利用，包括球体和薄片等。所述金 属的平均粒度不受特别限制，但优选为0. 5至8 μ m，或更优选1至6 μ m。2.导热材料除了前述金属以外，填料组合物还可包含导热材料。对于非金属的导热材料没有 特别限制，但是优选选自碳化硅(SiC)、氮化铝(AlN)、金刚石和石墨。3.载体载体的类型不受特殊限制。例如，粘合剂树脂(例如乙基纤维素树脂、丙烯酸类 树脂、松香改性的树脂、和聚乙烯醇缩丁醛树脂等)和有机溶剂(例如丁基卡必醇乙酸酯(BCA)、萜品醇、醇酯、BC和TPO等)的有机混合物可作为载体使用。在填料组合物中，金属、载体和导热材料的含量百分比按组合物的总重量计分别 为70至96重量％或更优选80至94重量％的金属，4至40重量％或更优选6至20重量％ 的载体，以及0至10重量％或更优选0. 2至5重量％的导热材料。本发明的填料组合物可包含玻璃粉等作为附加组分。配混玻璃粉的目的是增强焙 烧陶瓷和烧结组成之间的粘合力。玻璃粉的含量按组合物的总重量计优选为0. 1至10重 量％，或更优选0. 2至5重量％。玻璃粉的平均粒度优选为0. 1 μ m至5 μ m，或更优选0. 3 μ m 至 3 μ m0本发明的填料组合物可通过使用三辊磨等混合前述组分来适当地制备。下文将说明制造本发明的陶瓷基板的方法。第一实施方案结合图6说明陶瓷基板的制造方法，其中通过喷砂或激光形成通路 孔。第一实施方案中的陶瓷基板的制造方法为制造用于向外散热的具有穿过基板的 散热孔的陶瓷基板的方法。具体地讲，这一方法包括(1)提供陶瓷基板步骤和(2)使用喷砂 机或激光在陶瓷基板中切割形成具有加强结构的散热孔的步骤，该步骤形成的散热孔中， 加强结构将散热孔的开口分成两个或更多个并且加强结构的高度小于散热孔的高度。结合图6说明本实施方案的制造方法的第1步。在步骤1中，见图6A，制备陶瓷 基板主体602 (这种基板为市售陶瓷基板，例如Tokuyama、Asahi Technoglass AlN基板、 Kyocera Al2O3基板等)。必要时，目标陶瓷基板主体也可以通过焙烧由适当材料构成的印 刷电路基板来制备。根据印刷电路基板的类型，可在适当的条件下用适当的方法进行焙烧。接下来，在步骤2中，见图6B，在陶瓷基板主体602中形成具有加强结构106的通 路孔。可采用喷砂工艺、激光工艺、电子束工艺等方法在陶瓷基板主体602中形成具有 加强结构106的通路孔104。通过这些方法在陶瓷基板主体中形成具有加强结构106的通 孔，从而制造散热孔。具体地讲，在喷砂工艺中，通过喷砂将细小的沙粒606吹过具有加强 结构106形状的掩模604来形成特定的结构(例如上述图6B中的加强结构608)。用于电 子元件的陶瓷基板为了达到导热的目的，除了散热孔之外，还具有小直径的环形通路孔。根 据图6所示的构型，大直径通路孔104组成散热孔(包括加强结构106)以用于发散安装组 件产生的热，而小直径通路孔610为环形通路孔。通孔形成后，为了将加强结构606的高度降至小于通路孔的高度，可以通过掩模 612(不具有加强结构的形状)进行喷砂，直到加强结构106达到指定高度。在激光方法或 电子束方法中，激光或电子束可以用来切割陶瓷基板主体602，直至加强结构106达到指定 高度。针对被切割的陶瓷基板主体的不同，激光或电子束方法采用不同的条件。可从传统 方法中选择适当的陶瓷基板主体的暴露条件。散热孔(通孔)的尺寸不受具体限制，但优选在与基板表面平行的平面上，通孔的 面积为4mm2或更大。更具体地讲，如果散热孔为圆形，则优选具有2. 5mm或更大的相对大直径。接下来，结合图7的第二实施方案说明使用印刷电路基板制造陶瓷基板的方法。该方法是使用印刷电路基板来制造具有穿过基板的散热孔的陶瓷基板以用于向外散热，其中散热孔也具有加强结构。具体地讲，该方法包括步骤(1)图7A，制备(7a)陶瓷 印刷电路基板，该陶瓷印刷电路基板具有散热孔，该散热孔不具有将散热孔的开口分成两 个或更多个的加强结构，以及(7b)陶瓷印刷电路基板，该陶瓷印刷电路基板形成有将散热 孔分成两个或更多个的加强结构；步骤(2)图7B，层压这些陶瓷印刷电路基板以形成层压 印刷电路基板，该基板具有加强结构，将散热孔的开口分成两个或更多个，并且加强结构的 高度小于散热孔的高度；步骤⑶图7C，焙烧层压印刷电路基板。第1步是制备上述印刷电路基板(a)和(b)。首先，制备不具有通孔的印刷电路基板702和704 (图7A)作为这些印刷电路基板 的基础。就例如低温焙烧陶瓷而言，这些印刷电路基板可由50至65重量％的 CaO-SiO2-Al2O3-B2O3玻璃和50至35重量％的氧化铝的混合物构成。此外，也可以使 用例如MgO-SiO2-Al2O3-B2O3玻璃和氧化铝的混合物、SiO2-B2O3玻璃和氧化铝的混合物、 PbO-SiO2-B2O3玻璃和氧化铝的混合物、或堇青石微晶玻璃或在800至1000°C下焙烧的其他 低温焙烧陶瓷材料。接着，在对应(a)的印刷电路基板702以及对应(b)的印刷电路基板704上的特 定位置形成通孔706、708和710作为通路孔(参阅图7B)。在对应(b)的印刷电路基板中 形成通孔708，保留部分712作为加强结构。通孔706形成为不具有加强结构106的散热 孔104的开口部分，并且通孔708形成为具有加强结构106中的散热孔104中的开口部分。 通孔710为环形通路孔。所有通孔都可以通过冲压方法来形成。形成通孔作为通路孔的一种方法是如上所述通过冲压印刷电路基板形成特定尺 寸的通孔，但是如第一实施方案所述，也可以用其他方法形成通孔，如喷砂或激光或电子束 方法。本发明中，可以制造并层压多个印刷电路基板(a)和(b)，以获得所期望厚度的印 刷电路基板。接下来说明第2步。第2步为层压印刷电路基板(a)和(b)，以形成具有加强结构 的印刷电路基板(图7C)。首先，完成第1步后，将所得的印刷电路基板层压和按压使之粘结(图7C)。如果 存在多个印刷电路基板(a)和(b)，则将其层压以形成具有加强结构的层压板。具体地讲，加热并按压第1步所得的印刷电路基板，使之在例如60至150°C、0. 1 至30MPa (优选1至IOMPa)的条件下形成单元。第3步为焙烧第2步所得的层压印刷电路基板(图7D)。焙烧第2步所得的层压印刷电路基板。具体地讲，在例如800至1000°C (优选 9000C )下焙烧层压印刷电路基板，保持20分钟。如第一实施方案中的制造方法所述，用于电子元件的陶瓷基板除具有散热孔以 外，还具有小直径环形通路孔e以用于导热。根据图7所示构型，大直径通路孔104为具有 加强结构106的通孔，构成散热孔用以发散安装组件的热量，而小直径通路孔610为环形通 路孔。 在本发明的陶瓷基板中，通路孔可以被填料填充。这些填料可以实现对电路更有 效的热扩散以及热传导。
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下面结合图8说明填充填料的过程。在本发明的陶瓷基板制造方法中，在第一实 施方案第2步之后和第二实施方案第2步和第3步之间，可以向通路孔中填充填料组合物。 具体地讲，按如下步骤完成该过程。图8A至图8H显示第一实施方案的填充过程，而图8A’ 至8H’显示第二实施方案的填充过程。首先，将填充组合物填入陶瓷基板主体102中形成的通孔104和610或印刷电路 基板702和703的层压体中形成的通孔104、610和708中。填料组合物可以为如上所述的 组合物。通常，采用印刷方法进行填充。在第一实施方案中，通孔104包含加强结构106，而 在第二实施方案中，通孔708包含将成为加强结构的712部分。为了降低制造成本，可以在印刷布线图案的同时填充陶瓷基板102或印刷电路基 板702和704中的通孔104、610和708。在这种情况下，前述填料组合物也可以用作布线图案。在同时进行的印刷步骤中，将筛网掩模804置于陶瓷基板主体102或印刷电路基 板702上，该筛网掩模上形成有用于填充通孔104、610和708并且用于印刷布线图案802 的印刷图案，将填料组合物806施用到筛网掩模上，用刮板808沿着筛网掩模的顶部表面滑 动，以同时填充通孔并且印刷布线图案(图8A和图8A’至图8B和图8B’)。还期望在印刷 布线图案的同时通过印刷散热孔104的对应部分的开口的上表面来形成与组件安装区域 812对应的导体图案。当使用印刷电路基板时，可在印刷电路基板焙烧之后来印刷与表面层 布线图案802、组件安装区域812等对应的部分。在上述印刷步骤完成后，将反向布线图案810印刷在陶瓷基板主体102和印刷电 路基板704上的通路孔开口的下表面上(图8E和图8F’至图8G和图8H’ )。将筛网掩模 814置于陶瓷基板主体102或印刷电路基板704的底部上，该筛网掩模上形成有用于印刷与 反向布线图案810对应的部分的印刷图案，将填料组合物806施用到筛网掩模上，然后用刮 板808沿着筛网掩模的顶部表面滑动。通过这些步骤，本发明的填料组合物可施用到与表面层布线图案802、反向布线图 案810和安装区域812对应的各部分，然后填充到通孔104、610和708 (图8G和图8H，)中。接下来，焙烧填料组合物或填料组合物与印刷电路基板(图81和图8J’)。干燥和 焙烧本发明的填料组合物的条件按适于基板和应用进行确定，必要时参考官方通告。例如， 当陶瓷或玻璃基板用于电子电路基板时，则首先通过印刷方法填充组合物并印刷，在70°C 至200°C的温度范围内干燥5至60分钟，然后在带式炉或箱式炉等中共焙烧20至120分 钟，其中在450°C至900°C的最高温度范围内保持5至30分钟。下面说明本发明中的电子元件。本发明的电子元件的实例参看图9。图9为竖式横截面图，其示出了一个实例的模 型视图，该实例使用了本发明的一个实施方案的陶瓷基板。本发明并不局限于图9所示的 实施方案，并且可以应用于具有通路孔的各种类型电子元件。如图9所示，该电子元件具有特定尺寸的基板102和在基板上的特定位置上的通 路孔104和610。电阻器以及其他各种电路组件(未示出)和布线图案802、810等形成在 基板的一个表面或两个面上，安装组件902 (例如LED薄片等)安装在安装区域812上。通 路孔104和通路孔610填充了由上述填料组合物形成的填料904。根据图9所示的构型，大
9直径通路孔104是散热孔以用于发散安装组件902产生的热量，而小直径通路孔610是环 形通路孔。除上述陶瓷基板制造方法和填料组合物填充过程外，如图9所示的电子元件还可 使用常规方法来制造以形成各种电路组件，从而得到其上可以安装必要组件的电子电路基 板。然而，在这些说明中，电子电路基板是具有所形成的各种电路并且经上述步骤填充填料 的陶瓷基板，但无任何安装组件。本发明的电子元件和电子电路基板可包括例如上述的单层基板，也可将特定尺寸 的多个基板层压在一起，其中在每个基板上在特定的位置上具有各种电路组件和通路孔。 就此类多层基板而言，每个基板上的导热通路孔不必在相同的位置上，而是可以在不同的 位置上形成。然而，散热孔优选在每个基板上的相同位置上形成，以实现有效地将热量传输 到基板的背面。通过使用本发明的陶瓷基板，可防止填充于电子元件中大直径散热孔内的填料的 脱落，从而保持通路孔的良好的电导率和热导率。使用本发明的陶瓷基板制造的电子元件可以用于各种应用。例如，可以用于手机 的高频电路或LED的散热片电路等。
实施例通过下列实施例详细说明本发明，但这些实施例仅作示例之用，并非旨在限制本 发明。这些实施例中的基板材料、填料材料、基板、基板印刷、干燥、焙烧及评估条件如下 所述。(1)基板使用2 平方英寸、0. 635mm 厚的 AlN 基板(Asahi Technoglass 基板 230ff/m. K)。⑵通路孔形成分别在每个AlN基板上通过喷砂形成图10所示的4种形状和尺寸的通路孔。(3)填充通路孔填料组合物如下制备称量92重量％、组成比率为银钯=95 5的金属和8重 量％的载体(纤维素载体)，在混合器中充分搅拌，并且然后经三辊磨分散。将填料组合物 通过印刷填充到通路孔中，干燥并焙烧，以制备填料。⑷印刷、干燥、焙烧在如下条件下将前述填料组合物填充到基板上的通路孔中，然后干燥并焙烧。印刷使用15(^!11厚的不锈钢金属掩模，彻《101^自动印刷机，氨基甲酸酯平面刮 板(硬度70)干燥在箱式空气箱中，在100°C下干燥20分钟焙烧在带式炉中焙烧10分钟，峰值温度550°C(5)基板评估方法将所得的具有已填充通路孔的基板进行表面抛光。抛光方法为4个步骤碾磨表 面以除去基板表面上的薄层，然后打磨、抛光和超声清洁。使用粗糙游离抛光粉打磨。使用 细小游离抛光粉抛光。使用超声清洁来除去残留在表面上的细小颗粒。超声清洁后，清点表面抛光之后保留填料的数量。「表 11 如表所示，本发明的具有加强结构的散热孔的填料保留比例远高于本发明的范围 之外的散热孔的填料保留比例。
权利要求
陶瓷基板，所述陶瓷基板具有穿过所述基板的散热孔以用于向外散热，其中所述陶瓷基板具有将所述散热孔的开口分成两个或更多个部分的加强结构，并且所述加强结构的高度小于所述散热孔的高度。
2.根据权利要求1的陶瓷基板，其中假定“a”作为所述加强结构的高度并且“h”作为 所述散热孔的高度，则a/h为0. 1至0. 8 ；并且假定“b”作为所述加强结构的顶部面积并且 “s”作为所述散热孔的开口面积，则b/s为0. 10至0. 80 ；并且假定“s”作为所述散热孔的 开口面积并且“t”作为所述散热孔的表面面积，则t/s为4. 0或更低。
3.根据权利要求1的陶瓷基板，其中所述陶瓷基板由选自氧化铝、氮化铝、氧化锆和玻 璃的无机化合物形成。
4.根据权利要求1的陶瓷基板，其中所述散热孔填充有包括选自银、钯、金、钼、铜、铝 和镍的一种或两种或更多种金属的材料。
5.根据权利要求4的陶瓷基板，其中所述散热孔还填充有具有良好热导率并且选自碳 化硅(SiC)、氮化铝(A1N)、金刚石和石墨的材料。
6.制造陶瓷基板的方法，所述陶瓷基板具有穿过所述基板的散热孔以用于向外散热， 所述方法包括(1)提供陶瓷基板的步骤；以及(2)通过喷砂或激光或电子束切割方法在所述陶瓷基板中形成具有加强结构的散热孔 的步骤，其中所述加强结构将所述散热孔的开口分成两个或更多个，并且所述加强结构的 高度小于所述散热孔的高度。
7.制造陶瓷基板的方法，所述陶瓷基板具有穿过所述基板的散热孔以用于向外散热， 所述散热孔具有加强结构，所述方法包括(1)制备(a)和(b)的步骤，所述(a)为具有散热孔但未形成有将所述散热孔的开口分 成两个或更多个的加强结构的陶瓷印刷电路基板，所述(b)为形成有将所述散热孔的开口 分成两个或更多个的加强结构的陶瓷印刷电路基板；(2)将所述陶瓷印刷电路基板层压在一起以形成具有加强结构的层压印刷电路基板的 步骤，所述加强结构将所述散热孔的开口分成两个或更多个并且其高度小于所述散热孔的 高度；以及(3)焙烧所述层压印刷电路基板。
8.包括权利要求1的陶瓷基板的电子元件。
全文摘要
本发明涉及陶瓷基板，所述陶瓷基板具有穿过基板的散热孔以用于向外散热，其中所述陶瓷基板具有将散热孔的开口分成两个或更多个部分的加强结构，并且加强结构的高度小于散热孔的高度。
文档编号H01L23/367GK101874299SQ200880118674
公开日2010年10月27日 申请日期2008年12月11日 优先权日2007年12月11日
发明者成田季总, 稻叶明 申请人:E.I.内穆尔杜邦公司