专利名称：金属氧化物半导体p-n结萧基二极管结构及其制作方法
技术领域：
本发明为一种金属氧化物半导体P-N结萧基二极管结构及其制作方法， 尤指具有较低漏电流，较低正向导通压降值(V。，较高反向耐电压值，与低 反向回复时间特性的一种金属氧化物半导体P-N结萧基二极管结构。
背景技术：
萧基二极管为以电子作为载流子的单极性元件，其特性为速度快与正向 导通压降值(Vp)低，但反向偏压漏电流则较大(与金属功函数及半导体掺杂浓 度所造成的萧基势垒值有关)。而P-N 二极管，为一种双载流子元件，传导 电流量大。但元件的正向操作压降值(VF)—般比萧基二极管高，且因空穴载 流子的作用使P-N二极管反应速度较慢，反向回复时间较长。关于沟渠式的萧基势垒二极管装置，其代表性前述申请可参阅1994年 的美国专利，第5，365，102号提案名称SCHOTTKY BARRIER RECTIFIER WITH MOS TRENCH所揭示的元件结构为代表。请参阅图l(a)-图1(f)所示， 其制作方法主要包括步骤首先，如图l(a)所示，提供基板11与已长好的 N-型外延层(epitaxial layer)12，于其上成长垫氧化层13，以降低后续氮化硅 掩模层沉积的应力，接着成长掩模氮化硅层(mask nitride)15。而后如图l(b) 所示，于掩模氮化硅层15上形成光致抗蚀剂层17后进行光刻工艺及蚀刻工 艺，以移除部分掩模氮化硅层15，垫氧化层13及N-外延层12,形成沟渠的 结构22。之后，如图l(c)所示，成长热氧化层16于沟渠的侧壁及底部。如 图l(d)所示，移除掩模化硅层15及垫氧化层13。接着如图l(e)所示，镀上 阳极金属层18，而后进行阳极金属的光刻与蚀刻工艺，金属层18与平台14 的源极为萧基结。最后，进行晶背研磨与晶背阴极金属电极20的工艺，如 图l(f)所示。到此，即完成晶片部分的工艺。由上述的工艺方法制作的沟渠式萧基二极管(Trench MOS Barrier Schottky Rectifier; TMBR)，具有极低的正向导通压降值(Vp)，但反向漏电流则会相对提高。若要有较低的漏电流，其中一个方法是选择功函数较高的金 属。如此，又会拉高萧基二极管的正向导通压降值(VF)。因此，对萧基二极 管而言，这两者实为鱼与熊掌，难以兼得。此外，另一种方法为加深基板中 沟渠的深度，以增长反向夹止通道的长度，来抑制漏电流。但此方式不利于
高电压元件的制作，因其须使用更厚的N型外延层来增加反向耐压能力。因 此，往高电压的萧基二极管元件发展时，回归到平面式元件的设计，在工艺 与材料选择，所耗费的成本较为低廉，也较易达成高耐压的设计。由于高压 的萧基二极管较难制作，在搜寻目前市面量产的萧基二极管元件时，所看到 的最高反向电压的产品为600伏特。而其实际为2个300伏特的沟渠式萧基 二极管串联而成，且元件的正向导通压降值CW)也较高。如何设计元件以达 到具有较高的反向耐电压(如600伏特以上)，较低的正向导通压降值(V》， 较低的反向漏电流与较低的反向回复时间(Reverse Recovery Time; tRR)，即指 具有较快的反应速度，实为一大挑战。
发明内容
本发明所提供的金属氧化物半导体P-N结萧基二极管结构及其制作方 法，其在元件的结构设计上，同时具有萧基二极管，金属氧化物半导体N型 通道结构与P-N结二极管的特性。借由此种结构设计，当元件于正向偏压操 作时为萧基二极管，金属氧化物半导体N型通道与P-N面二极管并联，具有 如萧基二极管的反应速度快与正向导通压降值(V。低的特性。而于反向偏压 操作时，借由两边P-N结二极管耗尽区的夹止与N型通道关闭的行为，使元 件具有非常低的漏电流。因此，同时融合P-N结二极管与萧基二极管的优点。 即为具有反应速度快，正向导通压降值(V》值低，且反向偏压漏电流小，等 特性的二极管元件。
为完成上述结构，本发明所述的制作方法至少包含下列步骤提供一基 板；于该基板上形成一第一掩模层；对该基板进行一第一光刻蚀刻工艺，进 而去除部分该第一掩模层并于该基板上形成一沟渠结构；于该沟渠结构内进 行一第一离子注入工艺，进而于该基板上形成一第一深度注入区域；对该基 板进行一第二光刻蚀刻工艺，进而去除部分该第一掩模层以形成一侧壁结 构；于该沟渠结构的底部与该侧壁结构上形成一第二掩模层；对该基板进行一第三光刻蚀刻工艺，进而于该沟渠结构中形成一栅极结构；于该沟渠结构 内进行一第二离子注入工艺，进而于该基板上形成相邻于该第一深度注入区 域的一第二深度注入区域；于去除光致抗蚀剂后在该沟渠结构内进行一第三 离子注入工艺，进而于该基板上形成相邻于该第二深度注入区域的一第三深 度注入区域；对该基板进行一第四光刻蚀刻工艺，进而移除部分该栅极结构 并露出部分该沟渠结构的底部；于该沟渠结构的底部、该栅极结构的表面与 该侧壁结构上形成一金属层；以及对该基板进行一第五光刻蚀刻工艺，进而 去除掉部分该金属层。
本发明所述的金属氧化物半导体P-N结萧基二极管结构，其至少包含 一基板，具有一表面； 一沟渠结构，形成于该基板上方； 一栅极结构，形成 于该沟渠结构内并突出于该基板的表面； 一侧壁结构，形成于该基板的表面 并位于该栅极结构之侧； 一金属层，形成于该基板的表面、该栅极结构与该 侧壁结构上，该金属层并与该基板的表面形成一萧基结；以及一离子注入区 域，以多个深浅不同的区域形成于该基板中，且该离子注入区域相邻于该栅 极结构，且该离子注入区域与该金属层形成一欧姆结。
本发明同时融合P-N结二极管与萧基二极管的优点。即为具有反应速度 快，正向导通压降值低，且反向偏压漏电流小，等特性的二极管元件。
本发明借由下列附图及说明，得到一更深入的了解
图1(a) 图l(f)，其为美国专利第5,365,102号所揭示的沟渠式的萧基势 垒二极管装置制作方法示意图。
图2，其为本发明为改善公知技术手段的缺点所发展出一金属氧化物半 导体P-N结萧基二极管结构的优选实施例示意图。
图3(a) 图3(s),其为本发明为改善公知技术手段的缺点所发展出的金属 氧化物半导体P-N结萧基二极管结构制作流程示意图。
其中，附图标记说明如下
11基板 12N-型外延层
13垫氧化层 14平台
15掩模氮化硅层 16热氧化层18阳极金属层 20沟渠结构 21基板 23栅极结构 25金属层
17光致抗蚀剂层 19阴极金属电极 2萧基二极管 22沟渠结构 24侧壁结构 26离子注入区域 211高掺杂浓度N型硅基板 212低掺杂浓度N型外延层 2120表面 251第一金属层 261第一深度注入区域 263第三深度注入区域 201第一掩模层 2011、 2012、 2013光致抗蚀剂层 2001、 2002、 2003光致抗蚀剂图形 2021第一氧化层 2022聚合物层
2023第二氧化层
252第二金属层 262第二深度注入区域 2620表面 202第二掩模层
具体实施例方式
请参见图2，其为本发明为改善公知技术手段的缺点所发展出一金属氧 化物半导体P-N结萧基二极管结构的优选实施例示意图。从图中我们可以清 楚的看出该金属氧化物半导体P-N结萧基二极管2结构主要包含有一基板 21、沟渠结构22、 一栅极结构23、 一侧壁结构24、 一金属层25以及一离子 注入区域26，其中该基板21由一高掺杂浓度N型硅基板(N+硅基板)211与 一低掺杂浓度N型外延层(N-外延层)212所构成，该沟渠结构22形成于该基 板21的上方，该栅极结构23形成于该沟渠结构22内并突出于该低掺杂浓 度N型外延层212的表面2120，该侧壁结构24形成于该基板21的表面并 位于该栅极结构23之侧，该金属层25形成于该低掺杂浓度N型外延层212 的表面2120、该栅极结构23与该侧壁结构24上，且该金属层25与该低掺 杂浓度N型外延层212的表面2120接合时，便会成为一萧基结，而该金属层25与该离子注入区域262的表面2620接合处则为欧姆结，且其是以多个 深浅不同的区域形成于该基板21中，且该离子注入区域26相邻于该栅极结 构23。
承上述的技术说明，本发明所述的金属氧化物半导体P-N结萧基二极管 结构2所包含的该侧壁结构24由一氧化物材质所完成，该金属层25包含一 第一金属层251与一第二金属层252，其中该第一金属层251形成于该低掺 杂浓度N型外延层212的表面2120、该栅极结构23与该侧壁结构24上， 该第一金属层251是以一钛金属(Ti)或氮化钛(TiN)所完成，该第二金属层252 形成于该第一属层251上，该第二金属层我们可以使用铝金属或其他金属来 完成，而该离子注入区域26形成于该基板21所包含的该低掺杂浓度N型外 延层212中的一种P型传导类型材质，且该离子注入区域26由一第一深度 注入区域261与一第二深度注入区域262所构成，以及由该第一深度注入区 域261、该第二深度注入区域262与一第三深度注入区域263所构成。
请参见图3(a) 图3(s)，其为本发明为改善公知技术手段的缺点所发展出 的金属氧化物半导体P-N结萧基二极管结构制作流程示意图。从图中我们可 以清楚的看出，首先，提供一基板21(如图3(a)所示)，该基板21为一高掺杂 浓度N型硅基板211(N+硅基板)与一低掺杂浓度N型外延层212(N-外延层) 所构成；如图3(b)所示，通过一氧化工艺于该基板21上形成一第一掩模层 201(氧化层)；于该第一掩模层201上形成一光致抗蚀剂层2011(如图3(c)所 示)；于该光致抗蚀剂层2011上定义出一光致抗蚀剂图形2001(如图3(d)所 示)；根据该光致抗蚀剂图形2001对该第一掩模层201进行蚀刻并在去除剩 余的该光致抗蚀剂层2011后而于该基板21中形成一沟渠结构22(如图3(e) 所示)；然后于该沟渠结构22内进行一第一离子注入工艺，进而于该低掺杂 浓度N型外延层212中形成一第一深度注入区域261(如图3(f)所示);于该第 一掩模层201上形成一光致抗蚀剂层2012(如图3(g)所示)；于该光致抗蚀剂 层2012上定义出一光致抗蚀剂图形2002(如图3(h)所示)；根据该光致抗蚀剂 图形2002对该基板21进行蚀刻并去除剩余的该光致抗蚀剂层2012后而于 该基板21上形成一侧壁结构24(如图3(i)所示)；于该低掺杂浓度N型外延层 212的表面2120与该侧壁结构24上形成一第二掩模层202(如图3(j)所示)； 于该第二掩模层202上形成一光致抗蚀剂层2013(如图3(k)所示)；于该光致抗蚀剂层2013上定义出一光致抗蚀剂图形2003(如图3(1)所示)；根据该光致抗蚀剂图形2003对该基板21进行蚀刻后而于该沟渠结构22内形成一栅极结构23(如图3(m)所示)；于该沟渠结构22内进行一第二离子注入工艺，进而于该低掺杂浓度N型外延层212中形成相邻于该第一深度注入区域261的一第二深度注入区域262(如图3(n)所示)；移除剩余该光致抗蚀剂层2013后再于该沟渠结构22内进行一第三离子注入工艺，进而于该低掺杂浓度N型外延层212中形成相邻于该第二深度注入区域262的一第三深度注入区域263(如图3(0)所示)；于该低掺杂浓度N型外延层212的表面2120、该侧壁结构24与该栅极结构23上形成一光致抗蚀剂层2014(如图3(p)所示)；于该光致抗蚀剂层2014上定义出一光致抗蚀剂图形2004(如图3(q)所示);根据该光致抗蚀剂图形2004对该栅极结构23进行蚀刻并移除剩余该光致抗蚀剂层2014后，进而去移除部分该栅极结构23并露出部分低掺杂浓度N型外延层212的表面2120(如图3(r)所示)；最后于该低掺杂浓度N型外延层212的表面2120、该栅极结构23与该侧壁结构24上形成一金属层25(如图3(s)所示)；对该金属层25进行一光刻蚀刻工艺，以去除部分该金属层25，进而完成如图2所示的金属氧化物半导体P-N结萧基二极管结构2。
承接上述的技术说明，在图3(f)、图3(n)、图3 (o)所示的步骤中所形成的该第一深度注入区域261 、该第二深度注入区域262与该第三注入区域263为一 P型传导类型半导体材质，此外，于该沟渠结构22内进行该第一离子注入工艺将硼离子注入到该低掺杂浓度N型外延层212，再配合一热退火工艺后形成该第一深度注入区域261，而该第二离子注入工艺是以一深层离子注入的方式将硼离子注入，该第三离子注入是以一浅层离子注入的方式将硼离子注入，最后再配合一快速热退火工艺后形成该第二深度注入区域262与该第三深度注入区域263。在图3(j)所示的步骤中，该第二掩模层202的形成方式为于该低掺杂浓度N型外延层212的表面2120上形成一第一氧化层2021(即栅极氧化层)；以一化学气相沉积法(chemical vapor deposition,简称CVD)于该第一氧化层2021上形成一聚合物层2022，然后进行一聚合物氧化工艺，进而使部分该聚合物层氧化而形成一第二氧化层2023。而在图3(m)所示的步骤中，该蚀刻工艺为对该第二氧化层2023进行一湿式蚀刻，而对该聚合物层2022进行一干式蚀刻，进而完成该栅极结构23的构形。在图3(r)所示的步骤中，对该栅极结构23进行的蚀刻为对该第二氧化层2023进行湿式蚀刻，进而将该第二氧化层去除，再对该聚合物层2022进行干式蚀刻，进而去除部分该聚合物层2022，最后在对该第一氧化层2021进行湿式蚀刻，进而去除部分该第一氧化层2021。在图3(s)所示的步骤中，该金属层25包含有该第一金属层251与该第二金属层252，其中该第一金属层251形成于该低掺杂浓度N型外延层212的表面2120、该侧壁结构24上后进行一快速氮化工艺(Rapid Thermal Nitridation，简称RTN)，进而使得该第一金属层251能完全的接着于该低掺杂浓度N型外延层212的表面2120、该侧壁结构24上，另外，于该沟渠结构22的底部与该侧壁结构24上形成该金属层25后进行一热融合工艺(Sintering)，进而使得该金属层25能够更密合于该低掺杂浓度N型外延层212的表面2120、该栅极结构23的表面侧壁结构24上。
综合以上技术说明，我们可以清楚的了解到，相较于公知的萧基二极管结构，利用本发明所述的制作方法所完成的金属氧化物半导体P-N结萧基二极管结构具有低反向电压漏电流，低正向导通压降值(Vp)，高反向耐电压值，与低反向回复时间特性，如此一来，本发明所述的金属氧化物半导体P-N结萧基二极管结构有效的解决了先前技术中所产生的缺点，进而完成发展本发明的最主要的目的。
1权利要求
1. 一种金属氧化物半导体P-N结萧基二极管制作方法，该方法至少包含下列步骤提供一基板；于该基板上形成一第一掩模层；对该基板进行一第一光刻蚀刻工艺，进而去除部分该第一掩模层并于该基板上形成一沟渠结构；于该沟渠结构内进行一第一离子注入工艺，进而于该基板中形成一第一深度注入区域；对该基板进行一第二光刻蚀刻工艺，进而去除部分该第一掩模层以形成一侧壁结构；于该基板的表面与该侧壁结构上形成一第二掩模层；对该基板进行一第三光刻蚀刻工艺，进而于该沟渠结构中形成一栅极结构；于该沟渠结构内进行一第二离子注入工艺，进而于该基板中形成相邻于该第一深度注入区域的一第二深度注入区域；于光致抗蚀剂去除后，于该沟渠结构内进行一第三离子注入工艺，进而于该基板中形成相邻于该第二深度注入区域的一第三深度注入区域；对该基板进行一第四光刻蚀刻工艺，进而移除部分该栅极结构并露出部分该基板的表面；于该基板的表面、该栅极结构与该侧壁结构上形成一金属层；以及对该基板进行一第五光刻蚀刻工艺，进而去除掉部分该金属层。
2. 如权利要求1所述的金属氧化物半导体P-N结萧基二极管制作方法， 其中该基板为一高掺杂浓度N型硅基板与一低掺杂浓度N型外延层所构成， 而于该沟渠结构内所进行的该第一离子注入工艺可在该基板所包含的该低 掺杂浓度N型外延层中形成P型传导类型的该第一深度注入区域，且该第一 离子注入工艺利用硼离子注入并配合进行一热退火工艺后形成该第一深度 注入区域，该第二离子注入是以一深层离子注入的方式将硼离子注入，而该 第三离子注入是以一浅层离子注入的方式将硼离子注入，并配合一快速热退 火工艺后形成该第二深度注入区域与该第三深度注入区域；其中该第一掩模层为通过一氧化工艺所完成的一氧化层，而该第二掩模层包含有一第一氧化 层、 一聚合物层与一第二氧化层，而形成该第二掩模层的方法包含下列步骤: 于该基板的表面上形成该第一氧化层；以一化学气相沉积法于该第一氧化层与该侧壁结构上形成该聚合物层；以及进行一聚合物氧化工艺，进而使部分该聚合物层氧化而形成该第二氧化 层；其中该金属层包含 一第一金属层，形成于该基板的表面、该栅极结构 与该侧壁结构上，其是以一钛金属或氮化钛所完成；以及一第二金属层，形 成于该第一金属层上，其是以一铝金属或其他金属所完成，且该第一金属层 形成于该基板的表面、该栅极结构与该侧壁结构上后进行一快速氮化工艺， 进而使得该第一金属层能完全的接着于该基板的表面、该栅极结构与该侧壁 结构上。
3.如权利要求1所述的金属氧化物半导体P-N结萧基二极管制作方法， 其中该第一光刻蚀刻工艺包含下列步骤于该第一掩模层上形成一光致抗蚀剂层； 于该光致抗蚀剂层上定义出 一光致抗蚀剂图形；根据该光致抗蚀剂图形对该第一掩模层进行蚀刻而形成该沟渠结构；以 及去除该光致抗蚀剂层；其中该第二光刻蚀刻工艺包含下列步骤 于该第一掩模层与该基板的表面形成一光致抗蚀剂层； 于该光致抗蚀剂层上定义出一光致抗蚀剂图形；根据该光致抗蚀剂图形对该第一掩模层进行蚀刻，进而去除部分该第一 掩模层以形成该侧壁结构；以及去除该光致抗蚀剂层；其中该第三光刻蚀刻工艺包含下列步骤 于该第二氧化层上形成一光致抗蚀剂层；于该光致抗蚀剂层上定义出 一光致抗蚀剂图形；根据该光致抗蚀剂图形对该第二氧化层与进行一湿式蚀刻，进而将部分 该第二氧化层去除；根据该光致抗蚀剂图形对该聚合物层进行一干式蚀刻，进而将部分该聚 合物层去除而于该沟渠结构中形成该栅极结构；以及去除该光致抗蚀剂层；其中该第四光刻蚀刻工艺包含下列步骤于该基板的表面、该侧壁结构与该栅极结构上形成一光致抗蚀剂层； 于该光致抗蚀剂层上定义出 一光致抗蚀剂图形；根据该光致抗蚀剂图形对该第二氧化层进行一第一湿式蚀刻，进而将该 第二氧化层去除；根据该光致抗蚀剂图形对该聚合物层进行一干式蚀刻，进而将部分该聚 合物层去除；根据该光致抗蚀剂图形对第一氧化层进行一第二湿式蚀刻，进而将部分 该第一氧化层去除并露出部分该基板的表面；以及去除该光致抗蚀剂层；其中该第五光刻蚀刻工艺包含下列步骤 于该金属层上形成一光致抗蚀剂层； 于该光致抗蚀剂层上定义出 一光致抗蚀剂图形；根据该光致抗蚀剂图形对该金属层进行蚀刻，进而去除部分该金属层；以及去除该光致抗蚀剂层。
4. 如权利要求1所述的金属氧化物半导体P-N结萧基二极管制作方法， 包含下列步骤对该基板进行一热融合工艺，进而使得该金属层能够更密合于该基板的 表面、该栅极结构与侧壁结构上。
5. —种金属氧化物半导体P-N结萧基二极管结构，其至少包含 一基板，具有一表面；一沟渠结构，形成于该基板上方；一栅极结构，形成于该沟渠结构内并突出于该基板的表面； 一侧壁结构，形成于该基板的表面并位于该栅极结构之侧； 一金属层，形成于该基板的表面、该栅极结构与该侧壁结构上，该金属层并与该基板的表面形成一萧基结；以及一离子注入区域，是以多个深浅不同的区域形成于该基板中，且该离子注入区域相邻于该栅极结构，且该离子注入区域与该金属层形成一欧姆结。
6. 如权利要求5所述的金属氧化物半导体P-N结萧基二极管结构，其中 该基板由一高掺杂浓度N型硅基板，即N+硅基板，与一低掺杂浓度N型外 延层，即N-外延层，所构成，其中该离子注入区域形成于该低掺杂浓度N型外延层中的一 P型传导类 型材质。
7. 如权利要求5所述的金属氧化物半导体P-N结萧基二极管结构，其 中该侧壁结构由一氧化物材质所完成，而该栅极结构包含一栅极氧化层与一 聚合物 层。
8. 如权利要求5所述的金属氧化物半导体P-N结萧基二极管结构，其 中该金属层包含一第一金属层，形成于该基板的表面、该栅极结构与该侧壁结构上，其 是以一钛金属或氮化钛所完成；以及一第二金属层，形成于该第一金属层上， 其是以一铝金属或其他金属所完成。
9. 如权利要求5所述的金属氧化物半导体P-N结萧基二极管结构，其 中该离子注入区域可为由一第一深度注入区域与一第二深度注入区域所构 成的该离子注入区域。
10. 如权利要求5所述的金属氧化物半导体P-N结萧基二极管结构，其中该离子注入区域可为由一第一深度注入区域、 一第二深度注入区域以及一 第三深度注入区域所构成的该离子注入区域。
全文摘要
一种金属氧化物半导体P-N结萧基二极管结构及其制作方法，该方法包含步骤提供一基板；于基板上形成一第一掩模层；进行一第一光刻蚀刻工艺，形成一沟渠结构；于第一沟渠结构内进行第一离子注入工艺；进行一第二光刻蚀刻工艺，形成一侧壁结构；于该沟渠结构的底部与该侧壁结构上形成一第二掩模层；对基板进行一第三光刻蚀刻工艺，于沟渠结构中形成一栅极结构；于沟渠结构内进行一第二离子注入工艺；于去除光致抗蚀剂后在该沟渠结构内进行一第三离子注入工艺；进行一第四光刻蚀刻工艺；于所得结构的栅极的表面上形成一金属层；以及进行一第五光刻蚀刻工艺，去除掉部分金属层。本发明同时融合P-N结二极管与萧基二极管的优点。
文档编号H01L21/70GK101533804SQ20091013256
公开日2009年9月16日 申请日期2009年4月2日 优先权日2009年4月2日
发明者苏子川, 赵国梁, 郭鸿鑫 申请人:英属维京群岛商节能元件股份有限公司