专利名称：半导体制造用竖直传送带与空中升降机组合式自动物料搬运系统的制作方法
技术领域：
本发明总体上涉及自动物料搬运系统(AMHS)，尤其涉及一种允许空中升降机直接从在制品(WIP)存储单元拾取WIP部件，从而增加整个物料搬运系统的效率。
背景技术：
自动物料搬运系统是己知的，其在产品制造环境中应用WIP存储单元和空中升降机存放WIP部件，并在各工位和/或加工机器之间传输。例如，这样的自动物料搬运系统(AMHS)通常在制造集成电路(IC)芯片中应用。IC芯片的典型制造工艺包括多个步骤，其中包括沉积、清洗、离子注入、蚀刻以及钝化。此外，IC芯片制造工艺的这些步骤中的每一个通常由不同的加工机器执行，例如化学气相沉积室、离子注入室或蚀刻器。因此，WIP部件例如半导体晶片通常在不同的工位和/或加工机器之间被传输多次，以执行制造IC芯片所需的各工艺步 骤。
制造IC芯片的一种传统的AMHS包括多个用于存放半导体晶片 的WIP存储单元(也称为储料器)，和一个或多个空中升降机输送车， 用于在IC芯片制造场地上在各工位和加工机器之间输送晶片。存放在 在制品储料器中的半导体晶片通常被装入盒式容器例如前开口统一容 器(FOUP)，随后它们被传递到在悬垂轨上行进的空中升降机输送车。 在传统的AMHS中，每个储料器通常具有多个活动输入/输出口，它们 与一个内部机械手(其可以具有三个或更多的运动轴线)结合以将FOUP 装入储料器或将FOUP从储料器上卸载。FOUP被空中升降机从输入口 /输出口拾取以及放置到输入口/输出口 。
传统的AMHS的一个缺点是整个系统的效率受到机械手在WIP 储料器的活动输入口/输出口处拾取FOUP所需的时间限制。由于半导 体晶片本身通常很精密，所以通常对机械手的加速度有严格限制。为 此，使FOUP移动到储料器的输入口 /输出口和从储料器的输入口/输出 口运动通常需要最小的时间量。该最小运动时间通常决定储料器的产 量，其表示支持所需IC芯片产品水平所需要的储料器数量，以及AMHS
的总体成本。尽管通过增加每个储料器上的活动输入口/输出口的数量， 以及通过使空中升降机输送车同时到达多个输入口/输出口可以提高 AMHS的材料搬运效率，但设置附加的输入口/输出口会明显增加储料 器的成本。
另外，储料器中三轴或更多轴的内部机器人与分别具有1-3个运 动轴线的若干输入口/输出口相结合，这意味着通常的储料器可以具有 5-16个轴线的运动。这是非常复杂的，且可靠性低，存放材料的成本 高。
因此，希望具有一种AMHS，其能够提供材料搬运的效率，并能克服传统AMHS的缺点。
发明内容
本发明提供了一种高效的AMHS，其允许空中升降机直接从一个 或多个包括在该系统中的WIP存储单元装载/卸载WIP部件。
在一个实施例中，改进的AMHS包括一个空中升降机输送子系统 以及至少一个包括多个储料箱的竖直传送带WIP存储单元(储料器)。 所述空中升降机输送子系统包括至少一个设计成沿着形成至少一个预 定路径的悬空轨行驶的空中升降机输送车。预定路径通过竖直传送带 储料器，其设计成允许空中升降机从多个储料箱中所选择的一个上直 接拾取一个或多个WIP部件。在第一个实施例中，包含所需要的WIP 部件组的所选择的传送带储料箱被安置在竖直传送带储料器的顶部， 大致位于悬空轨的正下方。于是，所述空中升降机输送车沿悬空轨运 动到大致位于所选择的储料箱正上方的位置。然后，空中升降机朝所 选择的储料箱下降。最后，操作空中升降机以直接从储料箱拾取所需
要的在制品组，或将一个或多个在制品组放入传送带储料箱中。
在第二实施例中，由悬空轨形成的预定路径平行通过竖直传送带 WIP储料器，其被设计成允许空中升降机直接从其中一个传送带储料 箱拾取一个或多个WIP部件。该AMHS还包括抽取机构，其与所述竖 直传送带储料器结合工作，以相对于所述轨道恰当地安置包含有所需 要的在制品组的所选择的传送带储料箱。例如，所述抽取机构可以被 设计成使所选择的传送带储料箱(例如活动托架)沿着单伺服控制轴线 从靠近轨道的第一位置运动到大致位于轨道正下方的第二位置。在第 二实施例中，空中升降机输送车沿着运动到第二位置的大致正上方的 位置。然后，空中升降机朝第二位置下降。在一替代性实施例中，所 选择的传送带储料箱包括位于轨道侧面的托架，并且空中升降机被安 装到平移台上以将一个或多个在制品组拾取和放置到位于空中升降机 输送车侧面的托架上。最后，操作空中升降机直接从所选择的储料箱拾取所需要的在制品组，或将一个或多个在制品组放在所选择的储料 箱中。
通过设计AMHS使其允许空中升降机从各储料箱上方的位置直接 装载WIP部件到传送带储料箱或从传送带储料铕卸载，可以使AMHS 操作的效率更高。
通过下面对本发明的详细描述，本发明的其它特征、功能和情况 将更加清楚。
通过结合附图对本发明的详细描述，本发明将更加清楚。 图1是传统的AMHS的透视图。 图2是本发明的AMHS的第一个实施例的简图。 图3是图2所示AMHS的第二实施例的简图。 图4是图2所示AMHS的第三实施例的简图。 图5a-5b是本发明平移升降机输送车到达固定存放位置简图。 图6是图5a-5b所示的输送升降机输送车到达运输器上的物料的 简图。
图7是图2所示AMHS的操作方法的流程图。
具体实施例方式
2002年6月19日提交的申请号为60/389,993的美国临时专利申 请"半导体制造用竖直传送带与空中升降机组合式自动物料搬运系统" 以及2002年10月11日提交的申请号为60/417,993的美国临时专利申 请"使用运动托架或平移升降台的移动型零占地存储(ZFS)"结合在此 引作参考。
本发明公开了一种AMHS，其能提高将WIP部件装入WIP存储单 元或将WIP部件从WIP存储单元上卸载的效率。本发明公开的AMHS通过利用位于各储料箱上方的空中升降机允许在竖直传送带WIP存储 单元中实现储料箱的顶装载/卸载，从而提高物料搬运效率。
图1描述了传统的AMHSIOO，其可以应用在产品制造环境例如用 于制造IC芯片的清洁环境中自动存放以及在各工位和/或加工机器之 间输送WIP部件。如图1所示，传统的AMHS100包括WIP存储单元 (储料器)102和空中升降机输送子系统104。 WIP储料器102包括输入 口和输出口 111-112，空中升降机输送子系统104包括悬空轨108和多 个在悬空轨108上行驶的空中升降机输送车105-106。在典型操作模式 中，WIP部件被放在盒式容器110例如FOUP中输送。第一空中升降 机输送车105沿悬空轨108行驶，并停在适于将FOUP110卸载到输入 口 111的位置或从储料器102的输出口 112装入另一 FOUP的位置。 而且，第二空中升降机输送车106在悬空轨108上待命，直到第一空 中升降机输送车105完成卸载或装载FOUP并移出轨道。
在传统的AMHSIOO中，FOUP被从空中升降机卸载到输入口 111， 或被从输出口 112装入升降机，或者由机械手107在储料器102中拾 取，机械手107可以设置多达3个或更多的运动轴线。另外，从储料 器102中拾取FOUP所需的最小时间量通常决定储料器的搬运量，它 是指支持所希望的生产量水平所需的储料器的数量。因此，用于拾取 FOUP的多轴机械手107的复杂运动会使最小运动时间增加，从而增加 AMHSIOO中所需的储料器的数量和物料搬运系统的总体成本。
图2示出根据本发明的一个自动物料搬运系统(AMHS)200的实施 例。在所示实施例中，AMHS200包括空中升降机输送子系统204，以 及至少一个竖直传送带WIP存储单元(储料器)202，储料器202包括多 个储料箱例如传送带储料箱203。竖直传送带WIP存储单元202设计 成允许空中升降机输送子系统204中的空中升降机可以直接从选中的 一个传送带储料箱中拾取WIP部件。需要注意，与传统的AMHS100相同，图2中的AMHS200可以应 用于制造IC芯片的清洁环境中，例如200mm或300mm的晶片厂，或 者其它任何适合的产品制造环境。如图2所示，IC芯片制造环境包括 第一和第二地板220和226以及天花板214。第一地板220通常包括由 加强混凝土形成的格子板，第二地板226包括位于格子板220上方的 垫层地板。竖直传送带储料器202安置在格子板220上。另外，用于 执行制造IC芯片的各加工步骤的工位和/或加工机器(未示出)被安置在 垫层地板226上，地板226通常覆盖有不导电材料并被设计成满足特 殊载荷和地震要求。例如，垫层地板226可以位于格子板220上方一 定距离228(大约0.6米)处，以及位于天花板214下方一定距离224(大 于或等于约4.15米)处。
在该公开的实施例中，竖直传送带储料器202包括机架252和位 于机架内的第一和第二滑轮250-251和传送带254。如图2所示，传送 带储料箱(例如储料箱203)沿着传送带254在各间隔开的位置连接到该 传送带上，传送带254在第一和第二滑轮250-251之间形成回路，从而 通过驱动其中一个滑轮250-251允许储料箱沿着传送带路径可旋转安 置。例如，竖直传送带储料器202的高度可以是由附图标记218表示 的高度(大约3.85米)。因此，竖直传送带储料器202的顶部可以在垫层 地板226上方一定距离216(大约3.25米)处。
如上所述，竖直传送带储料器202被设计成允许空中升降机直接 从其中一个传送带储料箱中拾取WIP部件，例如半导体晶片。在示出 的实施例中，储料器机架252靠近天花板214的部分至少部分打开以 便允许顶装载/卸载所选择的传送带储料箱。另外，每个传送带储料箱 包括一固定托架，半导体晶片被装入安置在托架203上的盒式容器例 如FOUP210中。例如，每个FOUP210可以放置一个或多个半导体晶 片组，因此允许空中升降机同时在单个传送带储料箱中拾取多个晶片 组。空中升降机输送子系统204包括悬空轨208和至少一个在悬空轨 208上行驶的空中升降机输送车205。悬空轨208形成至少一个通过竖 直传送带储料器202的预定路径，从而允许空中升降机输送车205直 接从一个近似位于储料器202顶部的传送带储料箱中拾取FOUP。例如， 空中升降机输送车205可以从天花板214延伸出一定距离222(大约9 米)。
在一个示例性操作模式中，所选择的传送带储料箱，例如装有 FOUP210的储料箱203，被大致安置在竖直传送带储料箱202的顶部、 轨道208的下方。然后，空中升降机输送车205沿轨208运动到基本 位于储料箱203正上方的位置。然后，空中升降机从空中升降机输送 车205朝向储料箱203下降通过储料器机架252上的开口。例如，空 中升降机可以沿平行于储料器纵向轴线L,的方向下降。接着，操作空 中升降机使其直接从储料箱203中拾取FOUP210并随后将其输送到IC 芯片制造场地上的一个工位或加工机器处。可以理解，也可以操作空 中升降机将FOUP放到传送带储料箱203中。
图3描述了 AMHS200(见图2)的一个替代性实施例300。如图3 所示，AMHS300包括空中升降机输送系统304和至少一个竖直传送带 WIP储料器302，储料器302包括多个储料箱例如滑动安装的储料箱 332。与竖直传送带储料器202类似，竖直传送带储料器302设计成允 许空中升降机输送系统304中的空中升降机直接从所选择的传送带储 料箱中拾取WIP部件，例如半导体晶片。
特别地，AMHS300可以被应用在包括有天花板314、格子板320 和位于格子板320上方的垫层地板326的IC芯片制造环境中。如图3 所示，竖宣传送带储料器302被安置在格子板320上。例如，垫层地 板326可以位于格子板320上方一定距离328(大约0.6米)，也可以位 于天花板314下方一定距离324(大于大约5.4米)。另外，竖直传送带 储料器302包括机架352，第一和第二滑轮350-351以及安置在机架352内的传送带354。传送带储料箱(例如滑动安装储料箱332)沿着传送带 354在不同的间隔开的位置可以连接到传送带上，传送带354在第一和 第二滑轮350-351之间形成回路，从而通过驱动其中一个滑轮350-351 使储料箱能够沿着传送带路径可旋转安置。例如，竖直传送带储料器 302的高度可以是由附图标记318表示的高度(大约6米)。
如上所述，竖直传送带储料器302被设计成允许空中升降机直接 从其中一个传送带储料箱拾取半导体晶片。在所示实施例中，机架352 的至少一侧被至少部分打开以允许将所选择的储料箱从机架352中抽 出，并允许通过空中升降机进行所选择的传送带储料箱的顶装载/卸载。 特别地，AMHS300还包括至少一个抽取机构330，其用于从储料器302 中抽出半导体晶片，并相对于包括在空中升降机输送子系统304中的 悬空轨308适当地安置物料。请注意，每个储料箱可以包括活动托架 或固定托架。另外，半导体晶片被装入安置在托架332上的盒式容器 例如FOUP310中。
空中升降机输送子系统304包括悬空轨308和至少一个设计成在 悬空轨308上行驶的空中升降机输送车305。悬空轨308形成至少一个 平行通过竖直传送带储料器302的预定路径，从而允许空中升降机输 送车305直接从所选择的一个滑动安装的储料箱中拾取FOUP。
在一个示例性的操作方式中，所选择的容纳有FOUP310的储料箱 例如储料箱332被安置成允许抽取机构330从储料器302中抽出储料 箱332，以及将储料箱332安置在悬空轨308的正下方。请注意，抽取 机构330可以与储料器302组合在一起，并设计成使储料箱332沿单 伺服控制轴线398移动。然后，空中升降机输送车305沿悬空轨308 运动到位于抽出的储料箱332正上方的位置。接着，空中升降机从空 中升降机输送车305朝储料箱332下降，例如沿平行于储料器纵向轴 线L2方向。然后，操作空中升降机直接从储料箱332中拾取FOUP310 并随后输送到IC芯片制造场地上的工位或加工机器。可以理解，也可以操作空中升降机以将FOUP放入传送带储料箱332中。
图4描述了 AMHS300(见图3)的一个详细的实施例400。在所示 实施例中，AMHS400包括空中升降机输送系统404和一个竖直传送带 储如器402。空中升降机输送子系统404包括悬空轨408和设计成在悬 空轨408上行驶的空中升降机输送车405。例如，空中升降机输送车 405可以从悬空轨408延伸出一定距离436(大约0.9米)。竖直传送带储 料器402包括多个安置在储料器机架中的传送带储料箱例如储料箱 432。例如，储料箱432可以在凸起的IC芯片制造场地上方一定距离 438(大约2.6米)处。
如上所述，从储料器机架中抽出FOUP410，以允许随后进行所选 择的传送带储料箱的顶装载/卸载。空中升降机输送车405还包括具有 抓取器430的空中升降机，该抓取器被设计成将FOUP410从储料箱432 顶装载或卸载到储料箱432中。在优选实施例中，升降机抓取器430 被安装在平移台上，以便空中升降机拾取/放置盒式容器到空中升降机 输送车405的任一侧。
图5a-5b示出了到达固定存放位置的平移升降机子系统704，在所 示实施例中，平移升降机子系统704包括悬空轨708和设计成在该悬 空轨上行驶的空中升降机输送车705。空中升降机输送车705被设计成 拾取/放置FOUP710到固定位置732。例如，空中升降机输送车705可 以延伸到天花板714下方一定距离736(大约0.9米)处，并且存放位置 可以位于凸起的IC芯片制造场地的上方一定距离738(大约2.6米)处。 另外，天花板714可以在垫层地板上方一定距离790(大约3.66米)处。
空中升降机输送车705被设计成拾取(和放置)FOUP710到悬空轨 708正下方的位置。为此，空中升降机输送车705包括安装到平移台上 的升降机抓取器731，其被设计成从空中升降机输送车705延伸出来， 拾取FOUP710，并返回空中升降机输送车705,从而使FOUP710移动到空中升降机输送车705内(见图5b)。在优选实施例中，平移台被设计 成使空中升降机拾取/放置盒式容器到空中升降机输送车705的任一 侧。当FOUP710被升降机抓取器730夹持时，空中升降机输送车705 将其输送到IC芯片制造场地上的工位或加工机器。
图6示出拾取被存放在运输器895上或在运输器895上运动的物 料的平移升降机系统800。特别地，空中升降机输送子系统804被用于 直接拾取或放置FOUP810到基于轨道的空中运输器895。在所示实施 例中，空中升降机输送子系统804包括悬空轨808和设计成在该悬空 轨上行驶的空中升降机输送车805。例如，空中升降机输送车805可以 延伸到悬空轨808下方一定距离836(大约0.9米)处，并被安置在基于 轨道的运输器895上方一定距离892(大约0.35米)处。另外，空中轨道 898可以在凸起的IC制造场地上方一定距离838(大约2.6米)处。可以 理解，轨道898沿垂直于图面方向延伸。平移升降机系统800还包括 加工工具装载口 899。
空中升降机输送车805可以用于执行基于轨道的运输器895的顶 装载/卸载。为此，空中升降机输送车805包括具有空中抓取器835的 空中升降机831，空中抓取器835被安装在允许水平和竖直运动的平移 台833上，分别由方向箭头870和871表示。在所示操作方式中，使 基于轨道的运输器895运动从而FOUP810被安置在空中升降机831的 正下方。然后，空中抓取器835通过平移台833朝向FOUP810下降， 并被操作直接从运输器895拾取FOUP810。接着，携带FOUP810的升 降机抓取器835升起，并经由平移台833收回，从而使FOUP810移动 到空中升降机输送车805内。然后，空中升降机输送车805输送 FOUP810到IC芯片制造场地上的工位或加工机器。
下面参考图7描述AMHS的操作方法。如步骤902所述，所选择 的包含FOUP的储料箱被安置在竖直传送带储料器内，以便由空中升 降机拾取。例如，所选择的传送带储料箱可以被安置在竖直传送带储料器的顶部或侧面(见图2-3)。然后，空中升降机输送车沿着轨道运动 到靠近所选择的储料箱的位置，如步骤904所示。如果所选择的储料 箱被安置在储料器的顶部，则空中升降机输送车位于储料箱的上方。 如果所选择的储料箱被安置在储料器的侧面，则空中升降机输送车位 于储料箱的侧面。然后，空中升降机从输送车延伸出来并下降，使空 中抓取器能够接触到所选择的储料箱中的FOUP，如步骤卯6所示。接 着，操作空中抓取器以直接从储料箱中拾取FOUP，如步骤908所示。 然后，空中升降机升起并收回以使FOUP移动到空中升降机输送车内， 如步骤910所示。这样，FOUP被从所选择的储料箱顶部装入到空中升 降机输送车。最后，空中升降机输送车输送FOUP到生产制造场地上 的工位或加工机器，如步骤912所示。
进一步可以理解，在不脱离本发明精神的情况下，本领域普通技 术人员可以对上述AMHS进行各种修改和变化。因此，本发明由所附 权利要求的精神和范围限定。
权利要求
1.一种自动物料搬运系统，用于在产品制造设备中的各个位置之间传送物料，包括至少一个机架，其被设计成容纳着多个储料箱，每个储料箱被设计成保持至少一组物料；以及空中升降机输送子系统，其包括至少一个空中升降机和至少一个空中升降机输送车，所述空中升降机输送车被设计成沿着悬空轨行驶，所述悬空轨限定出邻近于所述机架延伸的至少一个预定路径，并且所述悬空轨布置在机架之外；其中，所述机架的一部分至少部分打开，以允许所述空中升降机直接从由容纳在所述机架中的多个储料箱中所选择的一个储料箱中拾取至少一组物料；所述空中升降机被设计成从多个储料箱中所选择的一个储料箱上直接拾取至少一组物料，以便随后沿着悬空轨输送到产品制造设备中的预定位置，其中，所述至少一个机架被设计作为至少一个固定储料位置。
2. 根据权利要求l的系统，其中，所述至少一个固定储料位置包 括至少一个固定托架。
3. —种操作自动物料搬运系统的方法，用于在产品制造设备中的 各个位置之间传送物料，该方法包括以下步骤在至少一个机架中容纳多个储料箱，每个储料箱保持至少一组物料；其中，所述机架的一部分至少部分打开，以允许直接从由容纳在 所述机架中的多个储料箱中所选择的一个储料箱中拾取至少一组物 料；通过包括在一个空中升降机输送子系统中的空中升降机，直接从 所选择的储料箱中拾取所述至少一组物料，所述空中升降机输送子系统还包括空中升降机输送车；通过所述空中升降机输送车将所述至少一组物料输送到所述产品 制造设备中的预定位置；其中，所述输送步骤包括使所述空中升降机输送车沿着悬空轨 行驶到所述预定位置，所述悬空轨限定出邻近于所述机架延伸的至少 一条预定路径，并且所述悬空轨布置在机架之外，所述方法还包括以下步骤将所述多个储料箱容纳在所述至少一 个机架中，其中，所述至少一个机架被设计作为至少一个固定储料位置。
4. 根据权利要求3所述的方法，包括以下步骤将所述多个储料 箱容纳在所述至少一个机架中，其中，所述至少一个机架被设计作为 至少一个固定储料位置，且所述至少一个固定储料位置包括至少一个 固定托架。
5. —种自动物料搬运系统，包括至少一个存储单元，其包括至少一个储料箱，所述至少一个储料 箱被设计成保持至少一组物料；以及空中升降机输送子系统，其包括至少一个空中升降机输送车和至 少一个空中升降机，所述空中升降机具有抓取器部分，该抓取器部分 被设计成抓取所述至少一组物料，所述空中升降机输送车被设计成沿 着悬空轨行驶，所述悬空轨限定出邻近于所述存储单元延伸的至少一 个预定路径，其中，所述存储单元至少部分打开，以允许所述空中升降机的所 述抓取器部分直接从所述至少一个储料箱拾取至少一组物料，以随后 沿着所述悬空轨在产品制造设备中的各个预定位置之间进行输送。
6. 根据权利要求5所述的系统，其中，所述空中升降机的所述抓 取器部分被设计成直接向所述至少一个储料箱提供至少一组物料。
7. 根据权利要求5所述的系统，其中，所述至少一个储料箱被设 计作为固定储料位置。
8. 根据权利要求7所述的系统，其中，所述固定储料位置包括固 定托架。
9. 根据权利要求5所述的系统，其中，所述空中升降机包括平移 台，该平移台被连接到所述空中升降机的所述抓取器部分，所述平移 台被设计成将所述抓取器部分从邻近所述空中升降机输送子系统的第 一位置移动到邻近所述至少一个储料箱的第二位置，从而允许所述抓 取器部分直接从所述至少一个储料箱拾取所述至少一组物料。
10. 根据权利要求9所述的系统，其中，所述平移台还被设计成 将所述抓取器从邻近所述至少一个储料箱的所述第二位置移动到邻近 所述空中升降机输送子系统的所述第一位置，从而允许所述抓取器部 分将所述至少一组物料从所述存储单元上移走。
11. 根据权利要求5所述的系统，其中，所述空中升降机包括平 移台，该平移台被连接到所述空中升降机的所述抓取器部分，所述平 移台被设计成将所述抓取器部分从邻近所述空中升降机输送子系统的 第一位置移动到第二位置和第三位置中所选择的一个位置，其中，所 述第二位置和第三位置被设置在所述空中升降机输送子系统的相对侧 上。
12. 根据权利要求5所述的系统，其中，所述物料组包括盒式容器。
13. —种操作自动物料搬运系统的方法，包括以下步骤 通过存储单元的至少一个储料箱保持至少一组物料； 通过被包括在空中升降机输送子系统中的空中升降机的抓取器部分，直接从所述至少一个储料箱拾取所述至少一组物料，所述空中升 降机输送子系统还包括空中升降机输送车；以及通过所述空中升降机输送车，将所述至少一组物料在产品制造设 备中的各个位置之间输送，其中，所述输送步骤包括通过空中升降机输送车、沿着悬空轨 行进到所述各个位置，所述悬空轨限定出邻近所述存储单元延伸的至 少一条预定路径。
14. 根据权利要求13所述的方法，还包括以下步骤通过所述空 中升降机的所述抓取器部分，直接向所述至少一个储料箱提供至少一 组物料。
15. 根据权利要求13所述的方法，还包括以下步骤通过所述空 中升降机的平移台，将所述空中升降机的抓取器部分从邻近所述空中 升降机输送子系统的第一位置移动到邻近所述至少一个储料箱的第二 位置，以允许所述抓取器部分直接从所述至少一个储料箱拾取所述至 少一组物料。
16. 根据权利要求15所述的方法，还包括以下步骤通过所述平 移台，将所述抓取器部分从邻近所述至少一个储料箱的第二位置移动 到邻近空中升降机输送子系统的第一位置，以允许所述抓取器部分将 所述至少一组物料从所述存储单元上移走。
17. 根据权利要求13所述的方法，还包括以下步骤通过所述空 中升降机的平移台，将所述空中升降机的所述抓取器部分从邻近所述 空中升降机输送子系统的第一位置移动到第二位置和第三位置中所选 择的一个位置，其中，所述第二位置和第三位置被设置在所述空中升 降机输送子系统的相对侧。
18. 根据权利要求13所述的方法，包括以下步骤通过所述至少一个储料箱而保持所述至少一组物料，并且所述物料组包括盒式容器。
19. 一种自动物料搬运系统，包括至少一个存储单元，其包括多个储料箱，所述多个储料箱中的每 个都被设计成保持至少一组物料，所述多个储料箱被设置在所述存储 单元内，以沿着传送带路径移动和定位，所述传送带路径包括至少一 个竖直路径；以及空中升降机输送子系统，其包括至少一个空中升降机输送车和至 少一个空中升降机，所述空中升降机具有抓取器部分，该抓取器部分 被设计成抓取所述至少一组物料，所述空中升降机输送车被设计成沿 着悬空轨行驶，所述悬空轨限定出邻近于所述存储单元延伸的至少一 条预定路径，其中，所述多个储料箱中的至少一个包括活动托架，其可被操作， 以从第一位置沿着所述竖直传送带路径侧向移动到邻近空中升降机输 送车的第二位置，并且其中，所述存储单元至少部分打开，以允许所述活动托架移动到 所述第二位置，从而允许所述空中升降机的所述抓取器部分直接从所 述活动托架中拾取至少一组物料，以随后沿着所述悬空轨在产品制造 设备中的各个预定位置之间进行输送。
全文摘要
本发明涉及半导体制造用竖直传送带与空中升降机组合式自动物料搬运系统。这种高效自动物料搬动系统(AMHS)允许空中升降机直接从包括在该系统中的在制品(WIP)存储单元装载/卸载WIP部件。AMHS包括空中升降机输送子系统和包括多个储料箱的竖直传送带储料器。空中升降机输送子系统包括沿着形成预定路径的悬空轨行驶的空中升降机输送车。预定路径通过竖直传送带储烊器，其允许空中升降机从选择的储料箱直接拾取WIP部件。包含需要的WIP部件组的选择的传送带储料箱被安置在竖直传送带储料器的顶部，位于悬空轨的正下方。空中升降机输送车沿悬空轨运动到大致位于选择的储料箱正上方的位置。然后空中升降机朝选择的储料箱下降。最后操作空中升降机以直接从储料箱拾取需要的在制品组，或将在制品组放入传送带储料箱中。
文档编号H01L21/677GK101648642SQ20091014064
公开日2010年2月17日 申请日期2003年3月20日 优先权日2002年6月19日
发明者布赖恩·J·多尔蒂, 托马斯·R·马里亚诺, 罗伯特·P·沙利文 申请人:布鲁克斯自动技术公司