专利名称：移动台、具有移动台的输送装置及带电粒子束装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及在例如半导体制造装置或液晶制造装置中用于输送试料的移动台及具有该移动台的输送装置、以及带电粒子束装置。
背景技术：
作为在制造半导体设备时使用的装置，有使用电子束或离子束的图案描绘装置及检查装置。在这些装置中，为了使试料移动到目标位置而使用的移动台例如在基座上配置有沿X轴方向移动的X台，并在X台上配置有沿Y轴方向移动的Y台。并且，提出有一种以与X台的移动方向平行的方式对Y台设置滑动件，并对动力传递部即Y驱动轴设置由固定辊和按压辊构成的辊钩部(口一，7 7々部)的结构(例如，日本特开2007-184193号公报)。在该结构中，Y驱动轴被固定于直线电动机，滑动件在固定辊与按压辊之间能够沿着 X轴方向移动。然而，在专利文献1的结构中，在滑动件与按压辊及固定辊之间容易发生打滑，从而会产生Y台的位置精度变差的问题。因此，追求一种抑制台的位置精度恶化的技术。
发明内容
本发明的一形态的移动台具有第一台、第二台、生成部、动力传递部。第一台能够沿着第一方向移动。第二台其至少一部分位于第一台上且能够沿着与第一方向交叉的第二方向进行移动。生成部生成用于使第二台沿着第二方向移动的驱动力。动力传递部从生成部向第二台传递驱动力，且至少一部分伴随着第一台的移动而进行动作。本发明的一形态的输送装置具有移动台和控制生成部的动作的控制器。本发明的一形态的带电粒子束装置具有能够向第二台上载置试料的输送装置和设置在第二台的上方并对试料照射带电粒子束的带电粒子束源。根据本发明的一形态的移动台及输送装置，能够抑制台的位置精度的恶化。根据本发明的一形态的带电粒子束装置，能够更高精度地向对称物的所希望的位置照射带电粒子束。
图1是本发明的第一实施方式的移动台的俯视图。图2是本发明的第一实施方式的移动台的侧视图，是从图1的箭头A方向观察而得到的侧视图。图3是图1的B-B线处的剖视图。图4是图1的由虚线C包围的部分的剖视图，是图2的D-D线的截面的俯视观察时的图。图5是本发明的第二实施方式的移动台的俯视图。
图6是本发明的第二实施方式的移动台的侧视图，是从图5的箭头E方向观察而得到的侧视图。图7是表示图6的F-F线处的旋转轴的一部分及齿轮部的截面的图。图8是本发明的第二实施方式的移动台的一变形例的俯视图。图9是图8的H-H线处的旋转轴的一部分及齿轮部的截面的从箭头G方向观察时的图。图10是本发明的第三实施方式的移动台的俯视图，尤其是详细地表示微调机构的结构的图。图11是图10的J-J线处的剖视图。图12是本发明的第三实施方式的移动台的一变形例的俯视图。图13是详细地表示图12的移动台的微调机构的结构的图。图14是图13的K-K线处的剖视图。图15是表示本发明的输送装置的结构例的俯视图。图16是表示使用了本发明的实施方式的移动台的带电粒子束装置的结构例的侧视图。
具体实施例方式以下，参照附图，详细地说明本发明的实施方式。需要说明的是，在图4以外的全部的附图中标注有正交坐标系的X轴、Y轴及Z轴。而且，为了便于说明，在图1、图5、图8、 图10、图12、图13、图15中标注有俯视观察移动台1时看不见的Y滚珠丝杠17。(第一实施方式)如图1-图3所示，第一实施方式的移动台IA具有基台11、在基台11上能够沿着 X轴方向呈直线状移动的X台12、在X台12上能够沿着Y轴方向呈直线状移动的Y台13。 而且，移动台IA具有在基台11的上表面以沿着X轴方向延伸的方式设置的X直线引导件 14 ；在X台12的上表面以沿着Y轴方向延伸的方式设置的Y直线引导件15。X台12由X 直线引导件14引导，Y台13由Y直线引导件15引导。基台11、X台12及Y台13配置在由强磁性体即纯铁、低碳钢或坡莫合金等制作的真空腔室3内。需要说明的是，X直线引导件14和Y直线引导件15在俯视观察时以正交的方式设置，因此配置在移动台IA上的晶片等试料能够在XY平面中自如地移动。在X台12的与基台11对置的表面上设有X滚珠丝杠16。X滚珠丝杠16的丝杠轴在X电磁电动机MX所产生的驱动转矩的作用下旋转。X台12对应于该X滚珠丝杠16的丝杠轴的旋转，被X直线引导件14引导而进行移动。同样地，Y台13也通过Y电磁电动机MY驱动。具体而言，在Y台13的与X台12 对置的表面上设置的Y滚珠丝杠17的丝杠轴在Y电磁电动机MY所产生的驱动转矩的作用下旋转。在此，Y滚珠丝杠17安装在Y台13的X轴方向上的中央部。当Y滚珠丝杠17的丝杠轴旋转时，Y台13在X台12上被Y直线引导件15引导而进行移动。Y台13的至少一部分位于X台12上。需要说明的是，在本实施方式的移动台IA中，X电磁电动机MX及Y电磁电动机MY所生成的驱动转矩是指旋转转矩。此外，X电磁电动机MX及Y电磁电动机MY发热且周围的磁场可能会发生变动，因此分别安装在真空腔室3的外壁面上。由此，能够抑制真空腔室3的内部空间受到这些发热及磁场变动的影响的情况。例如，在真空腔室3的内部，在对半导体晶片进行描绘时，能够抑制带电粒子束因磁场而发生弯曲的情况。另外，通过利用X电磁电动机MX使X滚珠丝杠16的旋转数及旋转速度等变化，而能够控制X台12的X轴方向的移动。同样地，通过利用Y电磁电动机MY使Y滚珠丝杠17 的旋转数及旋转速度等变化，而能够控制Y台13的Y轴方向的移动。在此，Y滚珠丝杠17从Y电磁电动机MY经由驱动转矩传递部20来传递驱动转矩。 以下，参照图4，说明驱动转矩传递部20的详细结构。驱动转矩传递部20具有中间旋转轴21 ；能够绕中间旋转轴21自由地进行旋转移动的两个臂22、23 ；在第一臂22的两端部通过轴承等以可旋转的方式配置的两个平带轮 (以下，称为“滑轮”)对、25 ；在第二臂23的两端部通过轴承等以可旋转的方式配置的两个平带轮(滑轮)26、27。而且，驱动转矩传递部20还具有架设在滑轮M与滑轮25之间的环状的平带28 ；架设在滑轮沈与滑轮27之间的环状的平带四；用于对各平带观、四施加一定张力的张力轮30、31。驱动转矩传递部20将Y电磁电动机MY和Y台13连结。以下，对驱动转矩传递部 20与Y台13及Y电磁电动机MY的连接状态进行说明。滑轮M经由联轴器41及驱动轴 42而与Y电磁电动机MY的电动机轴40连接。该驱动轴42与滑轮M牢固地连接，将Y电磁电动机MY的旋转转矩向滑轮M传递。驱动轴42通过轴承43保持成与套筒44同心。并且，第一臂22固定于套筒44。 由此，驱动轴42相对于第一臂22能够自由旋转。而且，套筒44经由一对轴承45而由固定座46保持。其结果是，滑轮M与第一臂22相互不干涉，并能够与电动机轴40同心地绕电动机轴40进行旋转运动。另外，第一臂22固定在中间旋转轴21上。滑轮25 J6经由一对轴承48而安装于中间旋转轴21。由此，滑轮25、沈可以不受第一臂22干涉地进行旋转。需要说明的是，在此，滑轮25、沈一体构成。平带28架设在滑轮M与滑轮25之间。平带28对应于滑轮M的旋转而保持一定的张力，并绕驱动轴42及中间旋转轴21旋转，从而将传递给滑轮M的来自Y电磁电动机MY的驱动转矩向滑轮25、26传递。接着，中间旋转轴21经由一对轴承49而与第二臂23连接。由此，中间旋转轴21 相对于第二臂23能够旋转。第二臂经由一对轴承50而固定于传递轴51。S卩，传递轴51相对于第二臂23能够旋转。在传递轴51固定有滑轮27。平带四架设在滑轮沈与滑轮27之间。平带四对应于滑轮沈的旋转而保持一定的张力，并绕中间旋转轴21及传递轴51旋转，从而将传递给滑轮沈的来自Y电磁电动机MY的驱动转矩向滑轮27传递。由此，从Y电磁电动机MY向滑轮25 J6传递的驱动转矩经由滑轮27向传递轴51传递。并且，传递轴51通过联轴器52与Y滚珠丝杠17连结。Y滚珠丝杠17的丝杠轴对应于传递轴51的旋转而进行旋转。由于该旋转，Y台13沿着Y轴方向移动。第一臂22及第二臂23能够以中间旋转轴21为中心进行旋转。在X台12移动时，中间旋转轴21沿着与X轴及Y轴垂直的Z轴方向移动，并且第一臂22与第二臂23所成的角度发生变化。具体而言，当伴随着X台12的移动而驱动轴40与传递轴51之间的距离减小时，中间旋转轴21沿着X轴方向进行移动并沿着Z轴方向向上移动，第一臂22与第二臂 23所成的角度减小。即，具有第一臂22和第二臂23的驱动转矩传递部20成为沿着X轴方向收缩的状态。另一方面，当伴随着X台12的移动而驱动轴40与传递轴51之间的距离增大时，中间旋转轴21沿着X轴方向进行移动，并沿着Z轴方向以使中间旋转轴21与驱动轴40 (及传递轴51)之间的距离减小的方式进行移动，第一臂22与第二臂23所成的角度增大。艮口， 驱动转矩传递部20成为沿着X轴方向伸长的状态。如此，在移动台IA中，滚珠丝杠17固定于Y台13，伴随着X台12的移动，具有第一臂22及第二臂23的驱动转矩传递部20沿着X轴方向进行伸缩。如上所述，在本实施方式的移动台IA中，伴随着X台12的移动，从Y电磁电动机 MY向Y台13传递驱动力的驱动转矩传递部发生变形。驱动转矩传递部伴随着X台11的移动而发生变形。在此，驱动转矩传递部20具有被Y电磁电动机MY驱动而旋转的驱动轴 42、中间旋转轴21、传递轴51、平带观、29、第一臂22及第二臂23等。该驱动转矩传递部20与以可旋转的方式安装于Y台13的Y滚珠丝杠17连接。并且，伴随着X台12的移动而驱动转矩传递部20的X轴方向的长度发生变化。需要说明的是，在移动台IA中，将包含驱动转矩传递部20及Y滚珠丝杠17在内的结构称为动力传递部。而且，当驱动转矩传递部20发生变形时，动力传递部整体也发生变形。如上所述，在本实施方式的移动台IA中，动力传递部伴随着X台11的移动而进行动作。由此，即使在Y台13沿着X轴方向移动时，动力传递部也能够保持该Y台13的位置精度并同时传递驱动力。而且，在移动台IA中，由于动力传递部伴随着X台11的移动而进行动作，因此与动力传递部在X轴方向上被固定在规定位置上的情况相比，能够减少施加给动力传递部的负载。由此，能够抑制Y台13从动力传递部受到反作用力的情况，因此能够抑制Y台13的姿态精度及位置精度的恶化。由此，能够进一步减少通过移动台IA要移动到的试料的目标位置与移动到的试料的实际位置的偏差(以下，简称为“试料的位置偏差”)。另外，在本实施方式的移动台IA中，来自Y电磁电动机MY的驱动力经由Y滚珠丝杠17而施加给Y台13的X轴方向上的中央部，因此能够抑制多余的旋转力矩施加给Y台 13而使Y台13产生俯仰方向及偏转方向上的旋转的情况。由此，能够更加良好地保持Y台 13的姿态精度，并抑制试料相对于X、Y方向及XY平面发生倾斜的情况。由此，能够进一步减少试料的位置偏差。需要说明的是，滑轮M、25J6、27与平带28、四相接的外周面优选为凸曲面。这样，当滑轮M、25J6、27的外周面为凸曲面时，平带28J9不易脱落。在本实施方式的移动台IA中，平带观、29由例如不锈钢(SUS)构成。而且，平带 28,29的尺寸例如其厚度为0. 08mm,宽度为5mm。另外，滑轮24,25,26,27的供平带28,29接触的部分的宽度，即，滑轮24、25、26、 27的与平带观、29的宽度方向相同的方向上的长度例如为7mm，在滑轮M、25J6、27的外周面为凸曲面时，该凸曲面的曲率例如为半径90mm。
另外，在本实施方式的移动台IA中使用了平带观、29，但只要能够在保持一定的张力的同时进行旋转，并从驱动轴42向传递轴51传递旋转转矩，也可以使用例如链等其他的张力线。另外，X台12及Y台13优选由陶瓷构成。陶瓷通常比金属的比重小且刚性率高， 因此，当利用陶瓷来形成X台12及Y台13 (以下，在未区别X台12及Y台13时，称为“台 12,13")时，台12、13的厚度即使薄也不易发生变形，可以减小驱动台12、13的驱动力。这会带来能够延长带的耐久期间及减小消耗电力等效果。而且，在台12、13由陶瓷构成时，即使台12、13被施加应力也不易变形，在施加驱动力时能立即进行移动。其结果是，能够进一步提高台的位置精度及姿态精度。另外，由于陶瓷比金属的热膨胀率小，因此即使台12、13的温度发生变化，其尺寸也不易变化，从而能够以更高的精度来对台进行定位。此外，X直线引导件14及Y直线引导件15优选由陶瓷构成。需要说明的是，在本实施方式的移动台IA中，使用了 LM引导件(Linear Motion Guide)，但也可以是交叉辊引导件。当X直线引导件14及Y直线引导件15为陶瓷时，耐磨损性及比刚度提高，因此直线引导件14、15不易磨损且维护管理容易，从而能够进一步提高台的位置精度及姿态精度。另外，为了进一步减小磁场变动，优选利用非磁性不锈钢来形成X滚珠丝杠16及 Y滚珠丝杠17的丝杠轴，并利用氮化硅等高强度陶瓷来形成螺母内部的滚珠。(第二实施方式)接下来，对本发明的第二实施方式进行说明。第二实施方式的移动台与第一实施方式的移动台的不同点在于动力传递部的结构。如图5至图7所示，移动台IB的动力传递部具有旋转轴60和齿轮部61。旋转轴60与Y电磁电动机MY连接，且在X轴方向上被固定在规定位置。齿轮部61与旋转轴60连接，伴随着X台12的移动而能够沿着X轴方向移动。而且，齿轮部61伴随着旋转轴60的旋转而进行旋转。滚珠丝杠17的丝杠轴与齿轮部 61连接。旋转轴60在Y电磁电动机MY所施加的驱动力的作用下进行旋转，滚珠丝杠17的丝杠轴对应于齿轮部61的旋转而进行旋转。需要说明的是，在图5至图7中，使用蜗轮作为齿轮部61。齿轮部61具有螺旋齿轮(Screw gear) 61a和斜齿齿轮61b (helical gear)。斜齿齿轮61b与旋转轴60连接。螺旋齿轮61a与滚珠丝杠17的丝杠轴连接。由此，当旋转轴 60旋转时，斜齿齿轮61b也旋转，而且，与斜齿齿轮61b啮合的螺旋齿轮61a也旋转。其结果是，与螺旋齿轮61a连接的滚珠丝杠17的丝杠轴也旋转。斜齿齿轮61b经由直线辊轴承 62而与旋转轴60连接。直线辊轴承62在其内部具有辊槽。而且，旋转轴60在其表面具有与轴向平行的直线状的槽63。直线辊轴承62具有多个球状的辊。上述辊槽和旋转轴60的槽63作为这些辊的引导而发挥作用。而且，多个辊能够沿着上述辊槽及旋转轴60的槽63在自身进行旋转的同时进行循环。由此，直线辊轴承62能够沿着旋转轴60的槽63进行移动。其结果是，斜齿齿轮62b能够沿着X轴方向进行移动。另外，斜齿齿轮61b经由轴承64而由齿轮保持部65保持。通过该轴承64，斜齿齿轮61b相对于齿轮保持部65能够旋转。由此，斜齿齿轮61b能够伴随着旋转轴60的旋转而进行旋转。
通过以上的结构，齿轮部61伴随着X台12的移动而能够沿着X轴方向移动，且能够对应于旋转轴60的旋转而进行旋转。由此，通过利用Y电磁电动机MY使旋转轴60旋转， 而能够使滚珠丝杠17旋转，从而能够使Y台13移动。而且，通过利用Y电磁电动机MX来改变Y滚珠丝杠17的旋转数及旋转速度等，而能够控制Y台11的Y轴方向的移动。另外，如图8及图9所示，作为齿轮部61，也可以使用其他种类的齿轮。图8及图 9所示的移动台IC的齿轮部61具有两个锥齿轮(bevel gear)61a、61b。一个锥齿轮61b 与旋转轴60连接，另一个锥齿轮61a与滚珠丝杠17的丝杠轴连接。由此，当旋转轴60旋转时，锥齿轮61b也旋转，而且，与锥齿轮61b啮合的锥齿轮61a也旋转。其结果是，与锥齿轮61a连接的滚珠丝杠17的丝杠轴也旋转。锥齿轮61b经由直线辊轴承62而与旋转轴60 连接。直线辊轴承62在其内部具有辊槽。而且，旋转轴60在其表面具有与轴向平行的直线状的槽63。直线辊轴承62具有多个球状的辊。上述辊槽和旋转轴60的槽63作为这些辊的引导而发挥作用。而且，多个辊能够沿着上述辊槽及旋转轴60的槽63在自身进行旋转的同时进行循环。由此，直线辊轴承62能够沿着旋转轴60的槽63进行移动。其结果是，锥齿轮61b能够沿着X轴方向进行移动。另外，锥齿轮61b经由轴承64而由齿轮保持部65保持。通过该轴承64，斜齿齿轮61b相对于齿轮保持部65能够旋转。由此，锥齿轮61b能够伴随着旋转轴60的旋转而进行旋转。通过以上的结构，锥齿轮61b伴随着X台12的移动而能够沿着X轴方向移动，且能够对应于旋转轴60的旋转而进行旋转。由此，通过利用Y电磁电动机MY使旋转轴60旋转，而能够使滚珠丝杠17旋转，从而能够使Y台13移动。而且，通过利用Y电磁电动机MX 来改变Y滚珠丝杠17的旋转数及旋转速度等，而能够控制Y台11的Y轴方向的移动。在上述的移动台1B、1C中，动力传递部具有在X轴方向上被固定在规定位置的旋转轴60 ；以能够沿着X轴方向移动的方式与旋转轴60连接的齿轮部61。根据该结构，动力传递部的齿轮部61伴随着X台11的移动而进行动作，因此动力传递部即使在Y台13沿着X轴方向移动时，也能够保持该Y台13的位置精度并传递驱动力。而且，在移动台1B、 IC中，动力传递部伴随着X台11的移动而进行动作，因此与动力传递部在X轴方向上被固定在规定位置的情况相比，能够减少施加给动力传递部的负载。由此，能够抑制Y台13从动力传递部受到反作用力的情况，因此能够抑制Y台13的姿态精度及位置精度的恶化。由此，能够进一步减少试料的位置偏差。(第三实施方式)接下来，对本发明的第三实施方式进行说明。第三实施方式的移动台与第一实施方式的移动台的不同之处在于具有对Y轴方向上的Y台13的位置进行微调的微调机构。微调机构设置于Y台13。通过该微调机构，能够对Y轴方向上的Y台13的位置进行微调。在本实施方式的移动台中，如图10及图11所示，微调机构具有安装于Y台13的调整构件70和多个压电元件71。调整构件70通过螺钉72，经由辊73而安装在Y台13的背面、即安装在Y台13的与X台11对置的面上。如后所述，在对Y台13的位置进行微调时，由于螺钉72弯曲而使Y台13相对于调整构件70相对移动。而且，调整构件70固定于螺母75，该螺母75安装于滚珠丝杠17的丝杠轴。由此，Y台13能够相对于固定在螺母75上的调整构件70进行相对移动。其结果是，能够对Y台13的Y轴方向上的位置进行微调。Y台13具有沿着Y轴方向排列的多个贯通孔73。在此，作为一例，Y台13具有两个贯通孔73。需要说明的是，以下，将位于两个贯通孔73之间的Y台13的一部分称为“台部分”。调整构件70具有位于Y台13的背面的基座部分70a ；沿着Y轴方向位于台部分的两侧的多个紧固部70b。这些紧固部70b隔着Y台13的台部分设置，分别从对置的Y台 13的台部分的侧面离开。紧固部70b通过例如螺钉而与基座部分70a连接。紧固部70b优选沿着Y轴方向在台部分的两侧设置相同数目，以使得Y台13在Y 轴方向上的任一方向都能够以相同的按压力移动相同距离。需要说明的是，在图10及图11 中，在上述台部分的两侧设有一对紧固部70b。多个压电元件71对应于多个紧固部70b。各压电元件71配置在对应的紧固部70b 与Y台13之间。各紧固部70b为了将电压施加前的压电元件71压靠于Y台13而位于Y 轴方向上的Y台13的两侧。这些压电元件71最初以未施加电压的状态配置在紧固部70b与Y台13之间。此时，压电元件71以尽可能在压电元件71与Y台13之间及压电元件71与紧固部70b之间没有间隙的方式配置。接着，对压电元件71施加电压而使压电元件71沿Y方向伸长至最大伸长量的一半左右。由此，压电元件71与Y台13之间及压电元件71与紧固部70b之间的间隙完全消失或减少成可以忽视的程度。然后，在对Y台13的位置进行调整时，位于Y台13的台部分的两侧的多个压电元件71中，使位于该台部分的一侧的压电元件71a伸长，而使位于另一侧的压电元件71b收缩与压电元件71a的伸长量相同的量。由此，Y台13相对于调整构件70进行相对移动，其结果是，Y台13沿着Y轴方向进行移动。需要说明的是，虽然未图示，但压电元件71的伸缩通过对这些压电元件71施加电压来进行。根据本实施方式的移动台，由于设置微调机构，因此在通过X电磁电动机MX及Y 电磁电动机MY使X台11及Y台13移动到规定的位置后，能够对Y台13的Y轴方向上的位置进行微调。另外，也可以通过其他的结构来实现微调机构。图12至图14所示的微调机构与图10及图11所示的微调机构的不同之处在于基座部分70a的Y轴方向上的长度比Y台 13的Y轴方向上的长度长，紧固部70b设置在Y台13的外周部的外侧；以及压电元件71与 Y台13的外周部相接配置。并且，由于基座部分70a长，因此将调整构件70安装于Y台13的螺钉72的个数
^^ ο在该结构中，通过使压电元件71伸缩，能够对Y台13的Y轴方向上的位置进行微调。需要说明的是，无论微调机构为图10及图11所示的哪一结构，通过沿着Y台13 能够移动的Y轴方向对Y台13施加按压力，都能调整Y台13的Y轴方向上的位置。另外，在微调机构为图10、图11所示的结构时，与图12-图14所示的结构相比，能够抑制Y台13的姿态精度的恶化。这是因为，若由于压电元件71的伸缩而Z方向分量的力作用于Y台13时，在Y台13的外周部的外侧配置压电元件71能够减小受到该Z方向分量的力的影响。另外，如图12及图13所示，也可以将微调机构设置于X台11。设置于Y台13的微调机构和设置于X台11的微调机构的种类既可以相同也可以不同。当设置于Y台13的微调机构与设置于X台11的微调机构相同时，例如能够将对压电元件施加电压的电源等一部分系统相对于X台11及Y台13共通使用。由此，能够简化移动台的整体结构。另外，如图15所示，X电磁电动机MX及Y电磁电动机MY通过控制器80来充分控制其动作。需要说明的是，该控制器80也可以用于第二及第三实施方式的移动台。图16是表示使用了本实施方式的移动台IA的带电粒子束装置的结构例的侧视图。如图16所示，带电粒子束装置90具有移动台IA和带电粒子束源91。试料能够载置在Y台13的上表面。带电粒子束源91产生电子束或离子束等带电粒子束而对试料进行照射。带电粒子束装置90例如是电子束描绘装置时，电子束向硅晶片等试料照射。需要说明的是，移动台IA及射出带电粒子束的带电粒子束源91的出射口配置在真空腔室3的内部。当将本实施方式的移动台IA使用于带电粒子束装置91时，能够减少要移动到的试料的目标位置与实际使试料移动后的试料位置的偏差。由此，能够减少在该试料中要照射带电粒子束的位置与该试料中的实际的带电粒子束的照射位置的偏差。从而能够实现对试料的更微细的描绘或更精密的检查。[符号说明]
12第一台
13第二台
17驱动轴
MY、MY电动机
权利要求
1.一种移动台，其具有第一台，其能够沿着第一方向进行移动；第二台，其至少一部分位于所述第一台上，且能够沿着与所述第一方向交叉的第二方向进行移动；生成部，其生成用于使所述第二台沿着所述第二方向移动的驱动力； 动力传递部，其从所述生成部向所述第二台传递所述驱动力，且至少一部分伴随着所述第一台的移动而进行动作。
2.根据权利要求1所述的移动台，其中，所述动力传递部伴随着所述第一台的移动而发生变形。
3.根据权利要求2所述的移动台，其中， 所述动力传递部具有第一驱动轴，其以能够旋转的方式安装于所述第二台；变形部，其在所述生成部与所述第一驱动轴之间伴随着所述第一台的移动而发生变形。
4.根据权利要求3所述的移动台，其中，所述第一驱动轴安装在所述第二台的所述第一方向上的中央部。
5.根据权利要求3或4所述的移动台，其中，所述变形部的所述第一方向的长度伴随着所述第一台的移动而发生变化。
6.根据权利要求4或5所述的移动台，其中， 所述变形部具备第二旋转轴，其通过所述生成部而被旋转驱动； 第三旋转轴，其设置在所述第二旋转轴与所述第一旋转轴之间； 环状的第一张力线，其保持一定的张力且包围所述第二旋转轴及所述第三旋转轴，并将所述第二旋转轴的旋转向所述第三旋转轴传递；环状的第二张力线，其保持一定的张力且包围所述第三旋转轴及所述第一旋转轴，并将所述第三旋转轴的旋转向所述第一旋转轴传递，所述第三旋转轴对应于所述第一台的移动而沿着与所述第一方向垂直的方向进行位移。
7.根据权利要求6所述的移动台，其中，所述变形部具有与所述第一旋转轴连接的第一滑轮、与所述第二旋转轴连接的第二滑轮、与所述第三旋转轴连接的第三滑轮及第四滑轮，所述第一张力线是架设在第二滑轮与第三滑轮之间的带，所述第二张力线是架设在第四滑轮与第一滑轮之间的带。
8.根据权利要求7所述的移动台，其中，所述第一滑轮、所述第二滑轮及所述第三滑轮的与所述带相接的外周面是凸曲面。
9.根据权利要求1 8中任一项所述的移动台，其中，所述移动台具有微调机构，该微调机构通过沿着所述第二方向对所述第二台施加按压力，而对所述第二方向上的所述第二台的位置进行微调。
10.根据权利要求9所述的移动台，其中，所述微调机构具有安装于所述第二台的构件，其具有多个紧固部，这多个紧固部在所述第二方向上设置在所述第二台的两侧且从该第二台离开；多个压电元件，它们设置在所述第二台与所述多个紧固部之间。
11.根据权利要求9所述的移动台，其中，所述第二台具有沿着所述第二方向排列的多个贯通孔， 所述微调机构具有安装于所述第二台的构件，其具有多个紧固部，这多个紧固部设置在位于所述多个贯通孔中的相邻的所述贯通孔之间的所述第二台的一部分的所述第二方向的两侧且从该第二台的一部分离开；多个压电元件，它们设置在所述第二台与所述多个紧固部之间。
12.根据权利要求1 3中任一项所述的移动台，其中， 所述动力传递部具有第一驱动轴，其以能够旋转的方式安装于所述第二台； 固定部，其与所述生成部连接，且在所述第一方向上固定在规定位置； 移动部，其与所述固定部及所述第一驱动轴连接，伴随着所述第一台的移动而沿着所述第一方向移动。
13.根据权利要求12所述的移动台，其中，所述固定部具有通过所述生成部被旋转驱动的第二驱动轴， 所述移动部具有对应于所述第二驱动轴的旋转而进行旋转的齿轮部。
14.根据权利要求13所述的移动台，其中，所述第一驱动轴安装在所述第二台的所述第一方向上的中央部。
15.根据权利要求1 14中任一项所述的移动台，其中，所述第一台及所述第二台配置在真空容器的内部，所述生成部配置在该真空容器的外部。
16.一种输送装置，其具有权利要求1 15中任一项所述的移动台； 控制所述生成部的动作的控制器。
17.一种带电粒子束装置，其具有能够向所述第二台上载置试料的权利要求16所述的输送装置； 设置在所述第二台的上方，对所述试料照射带电粒子束的带电粒子束源。
全文摘要
本发明的移动台具有能够沿着第一方向移动的第一台(12)；至少一部分位于第一台(12)上，能够沿着与第一方向交叉的第二方向移动的第二台(13)；生成用于使第二台(13)沿着第二方向移动的驱动力的生成部(MY)；从生成部(MY)向第二台(13)传递驱动力，并且至少一部分伴随着第一台(12)的移动而进行动作的动力传递部(17、20)。
文档编号H01L21/027GK102414811SQ20098015896
公开日2012年4月11日 申请日期2009年9月30日 优先权日2009年4月27日
发明者宗石猛, 明石幸治 申请人:京瓷株式会社