吸引保持手、吸引保持方法及输送装置的制作方法

专利名称：吸引保持手、吸引保持方法及输送装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及对保持对象物进行吸引保持的吸引保持手、对保持对象物进行吸引保 持的吸引保持方法及对输送对象物进行吸引保持而输送的输送装置。
背景技术：
目前，在对形成有多个半导体装置的半导体基板那样的在脆性材料上精密形成有 微细构造的被加工物进行加工的工序中，对用于在输送被加工物时不损伤被加工物的加工 面的被加工物的夹紧方法及夹紧装置进行了各种研究。作为对用于保持而能够接触的面少 的保持对象物进行保持的方法，使用如下保持方法，该保持方法使用应用伯努利定理而以 非接触的方式夹紧被加工物等保持对象物的伯努利卡盘。在专利文献1中，公开有如下无接触输送装置通过设置产生空气的回旋流的回 旋室、与回旋室连通并且与被输送物对置的对置面，而以非接触的方式吸附被输送物。在专利文献2中，公开有如下非接触输送装置通过研究回旋室的形状，从而扩大 工件相对于空气供给量的保持范围，能够将工件可靠且稳定地保持而进行输送。专利文献1 日本特开平11-254369号公报；专利文献2 日本特开2008-87910号公报。然而，在专利文献1或专利文献2所公开的输送装置中，在对保持对象物(被输送 物、工件)等进行保持(吸附)的保持终端中，存在如下课题来自回旋室的压缩空气的流 出状态在保持终端的整周上未必均勻，因此保持对象物相对于保持终端的吸附端面的姿势 也必然难以保持。保持对象物相对于吸附端面的姿势不固定而发生倾斜，从而不能确保吸 附端面与保持对象物之间的间隙，存在吸附端面与保持对象物有时接触的课题。

发明内容
本发明为了解决上述课题的至少一部分而提出，可以通过以下的方式或适用例来 实现。[适用例1]本适用例的吸引保持手利用回旋流产生室产生的气体的回旋流的中 心部所产生的负压和从所述回旋流产生室的端部向侧方流出的气体，以非接触方式对保持 对象物进行吸引保持，所述吸引保持手的特征在于，具备吸引垫，其具有开设了所述回旋 流产生室的吸引用吹出口的吸引保持面；气体吹出装置，其具有配设在与被吸引面对置，能 够向所述被吸引面吹出压缩气体的位置的多个吹出孔，其中，所述被吸引面与被所述吸引 垫吸引而位于面对所述吸引保持面的位置上的所述保持对象物的面大致连续。根据该吸引保持手，通过使具有多个吹出孔的气体吹出装置动作，由此能够向被 吸引垫吸引而吸引到面对吸引保持面的位置上的保持对象物的被吸引面吹出压缩气体。利用了伯努利定理的伯努利卡盘利用回旋流产生室产生的气体的回旋流的中心 部所产生的负压来对保持对象物进行吸引保持。回旋流产生室的气体从开设在吸引保持面 上的吸引用吹出口流出，因此，将使保持对象物离开吸引保持面的方向的力作用在被吸引
4面上，从而形成被吸引的保持对象物与吸引保持面的非接触状态。通过利用气体吹出装置向保持对象物的被吸引面吹出压缩气体，而将使保持对象 物离开吸引保持面的方向的力作用在被吸引面上，从而能够进一步可靠地维持保持对象物 与吸引保持面的非接触状态。在回旋流产生室中作为回旋流流动后从吸引用吹出口流出的 气体在吸引用吹出口的整周上未必以固定的状态流出。来自吸引用吹出口的气体的流出状 态在吸引用吹出口的周向上的波动引起保持对象物相对于吸引保持面的姿势的变动。另一 方面，利用气体吹出装置吹出的气体容易保持固定的压力，因此，通过将保持对象物相对于 吸引保持面的姿势保持为固定的姿势，能够更加可靠地维持保持对象物与吸引保持面的非 接触状态。[适用例2]优选上述适用例的吸引保持手中，所述气体吹出装置具备流量调节 阀，该流量调节阀能够调节向所述多个吹出孔中各个吹出孔供给的所述气体的流量。根据该吸引保持手，通过使用流量调节阀来调节向吹出孔供给的气体的流量，从 而能够调节与保持对象物的被吸引面接触的压缩气体的量。由此，调节压缩气体接触而作 用在被吸引面上的按压力，从而能够调节保持对象物与吸引保持面的距离。[适用例3]优选上述适用例的吸引保持手中，所述气体吹出装置具备三个以上的 所述吹出孔，三个以上的所述吹出孔的位置配设成使所述吸引用吹出口的中心位于连结所 述吹出孔的中心组成的多边形的内侧。根据该吸引保持手，吸引用吹出口位于连结吹出孔的中心的多边形的内侧，因此， 来自吸引用吹出口的吸引力的作用点也位于连结吹出孔的中心的多边形的内侧。来自吹出 孔的气体所产生的按压力的合力的作用点也位于连接吹出孔的中心的多边形的内侧。由 此，由于作用在保持对象物的吸引力与按压力的作用点的位置接近，因此能够减小因吸引 力与按压力的作用点的位置不同而产生的力矩的大小，从而能够抑制保持对象物的被吸引 面相对于吸弓I保持手的吸引保持面倾斜的情况。[适用例4]优选上述适用例的吸引保持手还具备测定所述保持对象物的部分距 所述吸引保持面的距离的测定机构。根据该吸引保持手，能够利用测定机构来测定保持对象物距吸引保持面的距离。 通过测定保持对象物的多个部分距吸引保持面的距离，从而能够求解保持对象物相对于吸 引保持面的倾斜等姿势。[适用例5]优选上述适用例的吸引保持手还具备流量平衡调节机构，该流量平衡 调节机构根据由所述测定机构测定出的所述保持对象物的每部分距所述吸引保持面的距 离，控制所述流量调节阀，从而调节向每个所述吹出孔供给的所述气体的流量。根据该吸引保持手，通过控制流量控制阀，从而调节各自的向每吹出孔供给的气 体的流量，从而能够对保持对象物的每部分调节与保持对象物的被吸引面接触的压缩气体 的量。由此，能够对保持对象物的每部分调节压缩气体接触而作用在被吸引面上的按压力， 从而调节保持对象物相对于吸引保持面的姿势。流量平衡调节机构根据由测定机构测定的 保持对象物的每部分距吸引保持面的距离，控制流量调节阀，从而能够将保持对象物相对 于吸引保持面的姿势调节成例如保持对象物相对于吸引保持面平行这样的所期望的姿势。[适用例6]本适用例的吸引保持方法利用回旋流产生室产生的气体的回旋流的 中心部所产生的负压和从所述回旋流产生室的吸引用吹出口向开设了所述吸引用吹出口
5的吸引保持面流出的气体，由具有所述吸引保持面的吸引垫以非接触的方式对保持对象物进行吸引保持，所述吸引保持方法的特征在于，包括气流吹出工序，在所述保持对象物被 所述吸引垫吸引保持而位于面对所述吸引保持面的位置上的状态时，通过向气体吹出装置 的吹出孔供给压缩气体，而向所述被吸引面吹出压缩气体，其中，所述气体吹出装置具有配 设在与被吸引面对置的位置上的多个吹出孔，所述被吸引面与所述保持对象物的面大致连 续；吸引工序，通过向所述回旋流产生室供给压缩气体，将所述保持对象物吸引在所述吸引 保持面。根据该吸引保持方法，在气流吹出工序中，通过使具有多个吹出孔的气体吹出装 置动作，能够向被吸引垫吸引而吸引到面对吸引保持面的位置上的保持对象物的被吸引面 吹出压缩气体。在吸引工序中使用的吸引保持装置利用回旋流产生室产生的气体的回旋流的中 心部所产生的负压对保持对象物进行吸引。回旋流产生室的气体从开设在吸引保持面上的 吸引用吹出口流出，因此，将使保持对象物离开吸引保持面的方向的力作用在被吸引面上， 从而形成被吸引的保持对象物与吸引保持面的非接触的状态。在气流吹出工序中，通过利用气体吹出装置向保持对象物的被吸引面吹出压缩气 体，将使保持对象物离开吸引保持面的方向的力作用在被吸引面上，从而能够更加可靠地 维持保持对象物与吸引保持面的非接触状态。在回旋流产生室中作为回旋流流动后从吸引 用吹出口流出的气体在吸引用吹出口的整周上未必以固定的状态流出。来自吸引用吹出口 的气体的流出状态在吸引用吹出口的周向上的波动引起保持对象物相对于吸引保持面的 姿势的变动。另一方面，利用气体吹出装置吹出的气体不易保持固定的压力，因此，通过将 保持对象物相对于吸引保持面的姿势保持为固定的姿势，能够更加可靠地维持保持对象物 与吸引保持面的非接触状态。[适用例7]优选上述适用例的吸引保持方法还包括调节在所述气流吹出工序中 向所述被吸引面吹出的所述压缩气体的流量的气体流量调节工序。根据该吸引保持方法，在气体流量调节工序中调节向被吸引面吹出的压缩气体的 流量。由此，调节压缩气体接触而作用在被吸引面上的按压力，从而能够调节保持对象物的 被吸引面与吸引保持面的距离。[适用例8]优选上述适用例的吸引保持方法中，所述气体吹出装置具备三个以上 的所述吹出孔，配置三个以上的所述吹出孔的位置使所述吸引用吹出口的中心位于连结所 述吹出孔的中心组成的多边形的内侧。根据该吸引保持方法，由于吸引用吹出口位于连结吹出孔的中心的多多边形的内 侧，因此，来自吸引用吹出口的吸引力的作用点也位于连结吹出孔的中心的多边形的内侧。 来自吹出孔的气体所产生的按压力的合力作用点也位于连结吹出孔的中心的多边形的内 侧。由此，由于作用在保持对象物的吸引力与按压力的作用点的位置接近，因此能够减小因 吸引力与按压力的作用点的位置不同而产生的力矩的大小，从而能够抑制保持对象物的被 吸引面相对于吸引保持面倾斜的情况。[适用例9]优选上述适用例的吸引保持方法还包括测定所述保持对象物的部分 距所述吸引用吹出口的距离的高度测定工序。根据该吸引保持方法，通过实施高度测定工序，能够测定保持对象物的被吸引面距吸引保持面的距离。进而，通过测定保持对象物的多个部分距吸引保持面的距离，能够求 解保持对象物相对于吸引保持面的倾斜等姿势。[适用例10]优选上述适用例的吸引保持方法还包括流量平衡调节工序，在该流 量平衡调节工序中，根据在所述高度测定工序中测定出的所述保持对象物的每部分距所述 吸引保持面的距离，调节向每个所述吹出孔供给的所述气体的流量。根据该吸引保持方法，通过实施气体流量调节工序而调节分别向每个吹出孔供给 的气体的流量，从而能够对保持对象物的每部分调节与保持对象物的被吸引面接触的压缩 气体的量。由此，能够对保持对象物的每部分调节压缩气体接触而作用在被吸引面上的按 压力，从而调节保持对象物相对于吸引保持面的姿势。在所述流量平衡调节工序中，根据在 高度测定工序中测定出的保持对象物的每部分距吸引保持面的距 离，控制气体的流量，从 而能够将保持对象物相对于吸引保持面的姿势调节成例如保持对象物相对于吸引保持面 平行这样的所期望的姿势。[适用例11]本适用例的输送装置具备保持机构，该保持机构利用回旋流产生室 产生的气体的回旋流的中心部所产生的负压和从所述回旋流产生室的端部向侧方流出的 气体，以非接触的方式对输送对象物进行吸引保持，所述输送装置输送由所述保持机构保 持的所述输送对象物，所述输送装置的特征在于，所述保持机构具备吸引垫，其具有开设 了所述回旋流产生室的吸引用吹出口的吸引保持面；气体吹出装置，其具有配设在与被吸 引面对置，能够向所述被吸引面吹出压缩气体的位置的多个吹出孔，其中，所述被吸引面与 被所述吸引垫吸引而位于面对所述吸引保持面的位置上的所述输送对象物的面大致连续。根据该输送装置，通过使具有多个吹出孔的气体吹出装置动作，由此能够向被吸 引垫吸引而吸引到面对吸引保持面的位置上的输送对象物的被吸引面吹出压缩气体。利用气体的回旋流的中心部产生的负压而产生的吸引力的保持机构利用回旋流 产生室产生的气体的回旋流的中心部所产生的负压来吸引输送对象物。由于回旋流产生 室的气体从开设在吸引保持面上的吸引用吹出口流出，因此将使输送对象物离开吸引保持 面的方向的力作用在被吸引面上，从而形成被吸引的输送对象物与吸引保持面的非接触状 态。通过利用气体吹出装置向输送对象物的被吸引面吹出压缩气体，而将使输送对象 物离开吸引保持面的方向的力作用在被吸引面上，从而能够进一步可靠地维持输送对象物 与吸引保持面的非接触状态。在回旋流产生室中作为回旋流流动后从吸引用吹出口流出的 气体在吸引用吹出口的整周上未必以固定的状态流出。来自吸引用吹出口的气体的流出状 态在吸引用吹出口的周向上的波动引起输送对象物相对于吸引保持面的姿势的变动。另一 方面，利用气体吹出装置吹出的气体容易保持固定的压力，因此，通过将输送对象物相对于 吸引保持面的姿势保持为固定姿势，能够更加可靠地维持输送对象物与吸引保持面的非接 触状态。[适用例12]优选上述适用例的输送装置中，输送装置所具备的所述气体吹出装 置具备流量调节阀，所述流量调节阀能够调节向所述多个吹出孔中各个吹出孔供给的所述 气体的流量。根据该输送装置，通过使用流量调节阀来调节向吹出孔供给的气体的流量，从而 能够调节与输送对象物的被吸引面接触的压缩气体的量。由此，调节压缩气体接触而作用在被吸引面上的按压力，从而能够调节输送对象物与吸引保持面的距离。
[适用例13]优选上述适用例的输送装置中，输送装置所具备的所述气体吹出装 置具备三个以上的所述吹出孔，三个以上的所述吹出孔的位置配设成使所述吸引用吹出口 的中心位于连结所述吹出孔的中心组成的多边形的内侧。根据该输送装置，吸引用吹出口位于连结吹出孔的中心的多边形的内侧，因此，来 自吸引用吹出口的吸引力的作用点也位于连结吹出孔的中心的多边形的内侧。来自吹出孔 的气体所产生的按压力的合力的作用点也位于连接吹出孔的中心的多边形的内侧。由此， 由于作用在输送对象物的吸引力与按压力的作用点的位置接近，因此能够减小因吸引力与 按压力的作用点的位置不同而产生的力矩的大小，从而能够抑制输送对象物的被吸引面相 对于吸引垫的吸引保持面倾斜的情况。[适用例14]优选上述适用例的输送装置还具备测定所述输送对象物的部分距所 述吸引保持面的距离的测定机构。根据该输送装置，能够利用测定机构来测定输送对象物距吸引保持面的距离。通 过测定输送对象物的多个部分距吸引保持面的距离，从而能够求解输送对象物相对于吸引 保持面的倾斜等姿势。[适用例15]优选上述适用例的输送装置还具备流量平衡调节机构，该流量平衡 调节机构根据由所述测定机构测定出的所述输送对象物的每部分距所述吸引保持面的距 离，控制所述流量调节阀，从而调节向每个所述吹出孔供给的所述气体的流量。根据该输送装置，通过控制流量控制阀，从而调节分别向每个吹出孔供给的气体 的流量，从而能够对输送对象物的每部分调节与输送对象物的被吸引面接触的压缩气体的 量。由此，能够对输送对象物的每部分调节压缩气体接触而作用在被吸引面上的按压力，从 而调节输送对象物相对于吸引保持面的姿势。流量平衡调节机构根据由测定机构测定的输 送对象物的每部分距吸引保持面的距离，控制流量调节阀，从而能够将输送对象物相对于 吸引保持面的姿势调节成例如输送对象物相对于吸引保持面平行这样的所期望的姿势。[适用例16]优选上述适用例的输送装置中，所述测定机构与所述保持机构的所 述吸引垫一体设置。根据该输送装置，由于测定机构与吸引垫一体形成，因此，测定机构与吸引垫的保 持吸引面的位置关系固定。由此，通过利用测定机构测定从测定机构到被吸引面的距离，能 够测定输送对象物的被吸引面距吸引保持面的距离。[适用例17]优选上述适用例的输送装置中，所述测定机构与所述保持机构的所 述吸引垫分别固定设置。根据该输送装置，测定机构与保持机构分体独立设置。由此，能够抑制将测定机构 与吸引垫制成一体所需要的测定机构的构造或尺寸等制约的增加。


图1 (a)是表示SAW共振片的一例的俯视图，(b)是形成有多个SAW图案的共振片 晶片的俯视图。图2是表示工件供给卸除装置的简要结构的外观立体图。图3是表示吸引垫的构造的立体图。
图4是表示头罩的结构的俯视图。图5(a)是表示在头罩安装有吸引垫的状态的剖面图，(b)是从吸引垫侧观察到的在头罩安装有吸引垫的状态的俯视图。图6是表示吸引保持手的整体结构的分解立体图。图7是表示吸引保持手的垫支承架周围的简要结构的外观立体图。符号说明ISAW 共振片IA共振片晶片10工件供给卸除装置20吸引保持手21吸引垫23垫支承架24装置安装部25吸引保持头26工件引导件27接合部件30机械手机构34手保持机构39工件供给卸除装置控制部51 头罩52 盖罩54吸引气体孔56吹出气体孔64吸引气体孔66吹出气体孔73吸引供气流路76吹出供气流路84主压缩空气槽85副压缩空气槽86吹出孔88压缩空气槽90距离检测装置100吸引气体供给部110吸引保持控制部120吹出气体供给部121气体供给源125流量调节阀181回旋流产生室182吸引保持面
183气体喷出流路184内周面185室流路210吸引保持控制部220吸引保持手
具体实施例方式以下，参照

吸引保持手、吸引保持方法及输送装置的一实施方式。实施方 式为输送装置的一例，以工件供给卸除装置为例进行说明。实施方式中的工件供给卸除装 置是在SAW (Surface Acoustic Wave表面声波)共振子的制造工序中对划分形成有构成 SAW共振片的多个SAW图案的共振片晶片进行操作的工件供给卸除装置。此外，在下述说明 所参照的附图中，为了便于理解构成部件而进行表示，存在部件或部分的纵横的比例尺或 每部分的比例尺与实际结构不同而进行表示的情况。(共振片晶片)首先，参照图1说明作为工件供给卸除装置10 (参照图2)所处理的输送对象物或 保持对象物的一例的共振片晶片1A。共振片晶片1A是在压电体晶片上划分形成有SAW共 振片1的结构，SAW共振片1是构成SAW共振片的主要要素。图1(a)是表示SAW共振片的 一例的俯视图。图1(b)是形成有多个SAW图案的共振片晶片的俯视图。SAW共振子通过将SAW共振片1封入壳体，利用粘接剂粘接，并通过焊丝使共振片 1与壳体端子导通而形成。如图1(a)所示，以将水晶、钽酸锂、铌酸锂等压电体切割成矩形的结构为基体(芯 片)而构成SAW共振片1。本实施方式中的压电体的芯片3被切成扁平的大致长方形，在 其表面(主面)3a的中央形成有一组电极4a及电极4b构成的交叉指型电极(IDT Inter Digital Transducer) 4 在IDT4的长度方向的两侧分别形成有格子状的反射器6。沿芯片 3的长度方向的缘部形成有分别与形成IDT4的电极4a和电极4b相连的导通用的接合面 5a及接合面5b。接合面5a及接合面5b使用与电极4a及电极4b相同的原料形成，从而能 够通过焊丝将电极4a及电极4b电连接到该接合面5a及接合面5b。将交叉指型电极4、反 射器6、接合面5a及接合面5b的组标记为SAW图案2。图1(a)中虚线所示的区域7a及区域7b是形成阳极氧化抗蚀膜的区域。阳极氧化 膜是如下的氧化膜通过对电极的表面进行阳极氧化而在电极的表面形成氧化膜，对SAW 共振片的特性几乎没有影响而保护电极，由此防止异物附着于电极所引起的故障。阳极氧 化抗蚀膜是用于使接合面5a及接合面5b上不形成阳极氧化膜的抗蚀膜。如图1(b)所示，共振片晶片1A在压电体的晶片3A上形成有多个SAW图案2。共 振片晶片1A在形成有多个SAW图案2的状态下进行阳极氧化。此外，在本实施方式中，共振 片晶片1A无论是在进行阳极氧化之前还是在进行阳极氧化之后都标记为共振片晶片1A。 向实施阳极氧化的装置供给共振片晶片1A或卸除形成有阳极氧化膜的共振片晶片1A时， 由于通过保持形成有SAW图案2的面或阳极氧化膜的面来保持共振片晶片1A，因此需要使 用对SAW图案2或阳极氧化膜没有影响的保持方法。(工件供给卸除装置)
接下来，参照图2说明工件供给卸除装置10。图2是表示工件供给卸除装置的简 要结构的外观立体图。如图2所示，工件供给卸除装置10具备吸引保持手20、具备工件供给卸除臂31 和底盘38的机械手机构30 ；工件供给卸除装置控制部39。
工件供给卸除臂31具备臂部32a、臂部32b、臂关节部33、手保持机构34、臂轴部 36。臂部32a的一端与臂部32b的一端通过臂关节部33连接。臂部32b的与臂关节部33 连接的一端的相反侧的一端与臂轴部36连接。臂轴部36将臂部32b支承为能够以臂轴部 36的转动轴为中心转动。臂部32b经由臂关节部33将臂部32a支承为能够以臂关节部33 的转动轴为中心转动。可以调节臂部32a与臂部32b在臂关节部33相互所成的角度。艮口， 工件供给卸除臂31在臂关节部33能够屈伸。臂轴部36的转动轴的轴向与臂关节部33的 转动轴的轴向相互大致平行。底盘38经由内置的滑动支承机构(未图示)将臂轴部36支 承为沿臂轴部36的转动轴的轴向滑动自如且能够精密地定位固定。在臂部32a的与臂关节部33连接的一端的相反侧的一端上固定有手保持机构34。 在手保持机构34上固定有吸引保持手20。手保持机构34具有与臂轴部36的转动轴的轴 向及臂关节部33的转动轴的轴向相同轴向的转动轴，将吸引保持手20支承为能够以该转 动轴为中心相对于臂部32a转动。吸引保持手20具备四个下述的吸引垫21 (参照图3)，吸引保持手20的吸引保持 面由四个吸引垫21所具备的四个吸引保持面182(参照图3)构成。吸引保持手20的吸引 保持面与手保持机构34的转动轴大致垂直。通过利用手保持机构34使吸引保持手20转 动，而能够在与吸引保持面平行的平面方向上改变吸引保持面的方向。工件供给卸除装置39根据经由信息输入输出装置(省略图示)预先输入的控制 程序，对工件供给卸除装置10的各部的动作统一控制。接下来，对利用工件供给卸除装置10输送工件时的工件供给卸除装置10的动作 进行说明。首先，通过臂轴部36使工件供给卸除臂31转动而朝向任意方向，在臂关节部33 通过使工件供给卸除臂31屈伸，使吸引保持手20位于任意的位置，例如位于能够吸引保持 工件的位置。接下来，通过利用基盘38的滑动支承机构使臂轴部36沿臂轴部36的转动轴 的轴向滑动，由此使吸引保持手20的吸引保持面接近到能够吸引保持工件的距离，并在该 位置吸引保持工件。接下来，通过基盘38的滑动支承机构使臂轴部36滑动，使吸引保持手 20移动，从而抬高工件。接下来，通过臂轴部36使工件供给卸除臂31转动，使工件供给卸除臂31朝向载 置工件的方向，通过在臂关节部33中使工件供给卸除臂31屈伸，而使吸引保持有工件的吸 引保持手20位于工件面对载置位置的位置。接下来，通过利用基盘38的滑动支承机构使 臂轴部36沿臂轴部36的转动轴的轴向滑动，由此使吸引保持手20接近到能够将吸引保持 的工件载置在载置面上的距离，并在该位置解除工件的吸引保持，使工件向载置面下落。通 过工件供给卸除装置10输送的共振片晶片IA等工件相当于保持对象物或输送对象物。(吸引垫)接下来，参照图3说明吸引保持手20所具备的吸引垫21。吸引垫21应用伯努利 定理，对吸引保持的部件进行吸引，并且通过流出的气体对部件施加按压力，由此维持部件与吸引垫的非接触状态，以非接触方式保持部件。图3是表示吸引垫的结构的立体图。如图3所示，吸引垫21具备回旋流产生室181、吸引保持面182、一对气体喷出流 路183、183、一对室流路185、185。回旋流产生室181是圆柱状的凹部。吸引保持面182是吸 引垫21中的回旋流产生室181开口的端面，与回旋流产生室181的开口侧端相连，是被吸 引保持的状态下的被吸引部件所面对的面。气体喷出流路183的一端向回旋流产生室181 的内周面184开口，使压缩空气向回旋流产生室181喷出，而在回旋流产生室181内产生回 旋流。室流路185与各气体喷出流路183的上游端连通，供给来自吸引气体供给部100(参 照图6)的压缩空气。从吸引气体供给部100供给的压缩空气同时流入一对室流路185内， 分别通过气体喷出流路183向回旋流产生室181喷出。
吸引垫21的外形是以大致圆形的吸引保持面182为端面的大致圆筒形状，从圆筒 的中途到吸引保持面182的相反侧的端面形成为局部被切下的形状。被切下的部分为平坦 的面，由相互平行的一对面186、186构成。室流路185的与气体喷出流路183连通的一侧 的相反侧向面186开口。回旋流产生室181形成为其内周面184的一端被封闭的圆柱状，在回旋流产生室 181的封闭侧形成有一对气体喷出流路183。流入回旋流产生室181的压缩空气沿其内周 面184流动，成为强的回旋流后立刻从打开端向侧方流出。根据伯努利定理，在回旋流的中 心部产生负压，利用该负压来吸引共振片晶片IA等。吸引保持面182与回旋流产生室181的开口侧的端部相连，形成为相对于回旋流 的回旋轴大致正交的形状。当回旋流产生室181产生的回旋流到达回旋流产生室181的打 开端时，在其离心力的作用下，沿吸引保持面182从内周侧向外周侧形成涡流而流出。通过 从回旋流产生室181流出并流出到吸引保持面182上的空气来维持共振片晶片IA等与吸 引保持面182之间的间隙。在图3所示的吸引垫21中，回旋流产生室181所产生的回旋流从吸引保持面182 侧观察时绕顺时针回旋。当使气体喷出流路183的位置位于与回旋流产生室181的包含中 心轴的面面对称的位置时，回旋流产生室181所产生的回旋流从吸引保持面182侧观察时 绕逆时针回旋。在本实施方式中，不管回旋方向，产生任意回旋方向的回旋流的结构都标记 为吸引垫21。此外，吸引垫21的形状可以形成为使回旋流产生室181的开口端逐渐扩大的钟口 形状，也可以形成为在吸引保持面182上维持涡流的涡形的槽。(头罩)接下来，参照图4及图5说明固定吸引垫21而构成吸引保持头25(参照图6)的 头罩51。图4是表示头罩的结构的俯视图。图5是表示在头罩上安装有吸引垫的状态的 图。图5(a)是表示在头罩上安装有吸引垫的状态的剖面图。图5(b)是从吸引垫侧观察到 的在头罩上安装有吸引垫的状态的俯视图。如图4及图5所示，头罩51使四个吸引垫21向下方突出且将各个回旋流产生室 181的端部保持为位于同一平面内。具体来说，四个固定安装孔在头罩51上形成为矩阵状。 固定安装孔具备能够与上述的吸引垫21的一对面186、186无间隙地嵌合的平坦面。各吸 引垫21的形成有面186的部分与固定安装孔嵌合而被粘接固定。对于吸引垫21所产生的 回旋流的回旋方向而言，四个吸引垫21配置为，四个吸引垫21中位于对角的两个吸引垫21产生绕顺时针回旋的回旋流，位于另一个对角的两个吸引垫21产生绕逆时针回旋的回旋
流。
如图4所示，形成在头罩51上的压缩空气槽88包括配设在将四个吸引垫21分 成两部分的位置上的宽度宽的主压缩空气槽84 ；从主压缩空气槽84朝向各吸引垫21垂直 分支的、对每个吸引垫21计为一组共计四组的宽度窄的副压缩空气槽85。各副压缩空气槽 85包括长的长条形副压缩空气槽85a和短的短条形副压缩空气槽85b，并配设在夹入被安 装后的吸引垫21的位置。在将吸引垫21安装在头罩51上的状态下，长条形副压缩空气槽 85a及短条形副压缩空气槽85b分别与向吸引垫21的面186开口的室流路185连通。从下 述的吸引气体供给部100(参照图6)供给的压缩空气从下述的盖罩52(参照图6)的吸引 气体孔54流入，经由主压缩空气槽84及各副压缩空气槽85流入各吸引垫21。流入吸引垫 21的压缩空气向回旋流产生室181喷出，产生如图5所示的箭头a那样回旋的回旋流。盖 罩52通过嵌合于在头罩51的周缘形成的突设框部87的内侧，而相对于头罩51定位。如图4及图5所示，在头罩51的四角分别形成有四个吹出孔86。吹出孔86形成 为在头罩51的外表面(吸引垫21所嵌合侧的面)侧的截面积被缩小的阶梯孔。从下述的 吹出气体供给部120 (参照图6)供给的压缩空气从下述的盖罩52 (参照图6)的吹出气体 孔56流入，如图5所示的箭头b那样从外表面侧吹出。(吸引保持手)接下来，参照图6说明吸引保持手20的整体结构。图6是表示吸引保持手的整体 结构的分解立体图。如图6所示，吸引保持手20具备对共振片晶片1A等工件进行吸引保持的多个 (图示为四个)吸引垫21 ；保持吸引垫21的垫支承架23 ；支承垫支承架23的装置安装部 24。而且，吸引保持手20具备供给非接触保持用的空气的吸引气体供给部100及供给吹 出用的空气的吹出气体供给部120 ；控制吸引气体供给部100及吹出气体供给部120并且 与工件供给卸除装置控制部39连结的吸引保持控制部110。垫支承架23构成为使具有上述的头罩51的吸引保持头25、垂设支承吸引保持头 25的工件引导件26、垂设支承工件引导件26的接合部件27在同轴上重叠的状态。吸引保持头25具备头罩51和盖罩52，盖罩52嵌合于在头罩51的周缘形成的突 设框部87的内侧，而无间隙地固定。通过将盖罩52固定在头罩51上，从而使形成在头罩 51上的主压缩空气槽84及各副压缩空气槽85成为与形成在盖罩52上的吸引气体孔54及 形成在吸引垫21上的室流路185连通的气体流路。形成在盖罩52上的吹出气体孔56成 为与形成在头罩51上的吹出孔86连通的气体流路。吸引气体供给部100具备吸引气体供给源101、吸引供气管102、吸引流量调节阀 105、吸引供气管103。吸引气体供给源101是例如压缩空气泵之类的送出压缩空气的装置。 吸引流量调节阀105具备压缩空气的流路；阀部，其形成在流路的中间，能够进行该流路 的开闭及压缩空气的流量的调节。吸引供气管102的一端连接到吸引气体供给源101，在吸 引供气管102的另一端连接有吸引流量调节阀105的流路的一方，在通过该流路和阀部连 通或隔断的另一方的流路上连接有吸引供气管103的一端。吸引供气管103的另一端连接 到在垫支承架23的接合部件27上形成的吸引供气流路73。吸引流量调节阀105的开闭驱动源与吸引保持控制部110电连接。吸引保持控制
13部110与工件供给卸除装置控制部39电连接。吸引保持控制部110根据来自工件供给卸除装置39的控制信号，控制开闭驱动源而实施由吸引流量调节阀105进行的吸引用气体的 供给、隔断及供给量的调节。吹出气体供给部120具备吹出气体供给源121、吹出供气管122、吹出流量调节阀 125、吹出供气管123。吹出气体供给源120是例如压缩空气泵之类的送出压缩空气的装置。 吹出流量调节阀125具备压缩空气的流路；阀部，其形成在流路的中间，能够进行该流路 的开闭及压缩空气的流量的调节。吹出供气管122的一端连接到吹出气体供给源121，在吹出供气管122的另一端连 接有吹出流量调节阀125的流路的一方，在通过该流路和阀部连通或隔断的另一方的流路 上连接有吹出供气管123的一端。吹出供气管123的另一端连接到在垫支承架23的接合部 件27上形成的吹出供气流路76。吹出气体供给部120具备四组由吹出气体供给源121、吹 出供气管122、吹出流量调节阀125及吹出供气管123构成的组，一组吹出气体供给源121、 吹出供气管122、吹出流量调节阀125及吹出供气管123分别与吸引保持手20所具备的四 个吹出孔86中的任意一个连接。吹出流量调节阀125的开闭驱动源与吸引保持控制部110电连接，吸引保持控制 部110与工件供给卸除装置控制部39电连接。吸引保持控制部110根据来自工件供给卸 除装置39的控制信号，控制开闭驱动源而实施由吹出流量调节阀125进行的吹出用气体的 供给、隔断及供给量的调节。吹出流量调节阀125相当于流量调节阀。吸引保持手20的装置安装部24形成为大致圆筒形状，在上半部的内部形成有粗 径的安装孔41，在下半部的内部形成有细径的装配孔42。安装孔41和装配孔42配设在同 轴上，安装孔41作为用于将吸引保持手20安装在机械手机构30的手保持机构34上的部 位而起作用，在装配孔42内插入装配有接合部件27的装配部72。利用与上螺纹孔43螺合的固定螺钉对嵌入在安装孔41中的手保持机构34的部 分进行固定，由此将手保持机构34与装置安装部24相互固定。利用与下螺纹孔44螺合的 固定螺钉对嵌入装配孔42中的装配部72进行固定，由此将装置安装部24与接合部件27 相互固定。垫支承架23的接合部件27具备装配部72及垂设部71。在具有大致棱柱形状的 垂设部71的一端的顶面上竖立设置有中心轴与垂设部71的大致棱柱形状的中心大体一致 的圆柱形状的装配部72。大致圆柱形状的装配部72的侧面的一部分被切下，形成与上述的 螺合于下螺纹孔44的固定螺钉对接的平坦部72a。通过使装配部72嵌合于装置安装部24 的装配孔42中并使固定螺钉与下螺纹孔44螺合，而将接合部件27装配在装置安装部24 上。在垂设部71的突出设有装配部72的端面的相反侧的端面上突出设置有对大致方形的 角进行倒角后的形状的底盘79。工件引导件26的凹部与该底盘79嵌合而被定位固定。在垂设部71的内部形成有吸引供气流路73和吹出供气流路76。吸引供气流路73是连接有吸引供气管103并且与吸引垫21的回旋流产生室181 相连的大致“L”字状的流路。吸引供气流路73具有横向流路74和纵向流路75。横向流 路74在大致棱柱形状的垂设部71的侧面开口且形成为与该侧面大致垂直，在该开口连接 有吸引供气管103。纵向流路75的一端在底盘79的面的大致中心位置开口，并形成为与 该面大致垂直，该开口与嵌合于底盘79上的工件引导件26的吸引气体孔64连接。横向流路74及纵向流路75中的与开口端相反的一侧的端部相互接合，从而形成大致“L”字状的吸引供气流路73。吹出供气流路76是连接有吹出供气管123，并且与头罩51的吹出孔86相连的大 致“L”字状的流路。吹出供气流路76具有横向流路77和纵向流路78。横向流路77在大 致棱柱形状的垂设部71的侧面开口且形成为与该侧面大致垂直，在该开口上连接有吹出 供气管123。纵向流路78的一端在底盘79的大致正方形的面的角附近开口，并形成为与该 面大致垂直。该开口与嵌合于底盘79上的工件引导件26的吹出气体孔66连接。横向流 路77及纵向流路78中的开口端相反的一侧的端部相互接合，从而形成大致“L”字状的吹 出供气流路76。在垂设部71形成有四个供气流路76，一个供气流路76与形成在头罩51 的四角上的四个吹出孔86中的任意一个分别连接。在工件引导件26中一体地形成有引导主体61与四个引导突起62，所述引导主体 61形成为大致方形的厚板的对角的两角向板的面方向鼓起的形状，所述引导突起62在鼓 出的部分的前端竖立设置在板面上。在引导主体61中的竖立设置有引导突起62的面的相反侧的面上凹入形成有落位 部，垂设部71的底盘79嵌入该落位部，形成在接合部件(垂设部71) 27的端面的底盘79 在同轴上与落位部嵌合而被固定。在与开设于底盘79上的四个纵向流路78对应的位置上分别形成有贯通引导主体 61的吹出气体孔66，纵向流路78与吹出气体孔66连通。四个引导突起62配设在能够与大致长方形或正方形的工件中的构成一组对角的 两个角的各自附近的四边分别抵接的相对位置。换言之，四个引导突起62配设在能够使工 件以如下状态与引导主体61重合的位置，S卩，工件的一个角位于接近配设的两个引导突起 62之间，构成该角的两边分别与一个引导突起62大致抵接，位于该角的对角的角也位于接 近配设的其他两个引导突起62之间，构成该角的两边分别与一个引导突起62大致抵接。利 用四个引导突起62能够限制大致正方形或长方形的工件向引导主体62的面方向的移动。 通过改变四个引导突起62的位置，能够吸引保持不同尺寸或平面形状的工件。上述吸引保持头25垂设支承于工件引导件26。在吸引保持头25垂设支承于工 件引导件26的状态下，形成在工件引导件26上的四个吹出气体孔66与形成在吸引保持头 25的盖罩52上的四个吹出气体孔56中的任意一个连通。在吸引保持头25垂设支承于工 件引导件26的状态下，形成在工件引导件26的大致中央的吸引气体孔64与形成在盖罩52 的大致中央的吸引气体孔54连通。接下来，说明利用吸引保持手20对工件进行吸引保持及保持解除之际吸引保持 手20的各部的动作。在利用吸引保持手20对工件进行吸引保持之际，使吸引气体供给部100所具备的 吸引气体供给源101工作，而能够供给压缩空气。压缩空气从吸引气体供给源101通过吸 引供气管102被供给，通过打开吸引流量调节阀105，使压缩空气通过吸引供气管103、接合 部件27的吸引供气流路73、工件引导件26的吸引气体孔64、盖罩52的吸引气体孔54、头 罩51的压缩空气槽88向吸引垫21供给。向吸引垫21供给的压缩空气从与压缩空气槽88 的长条形副压缩空气槽85a或短条形副压缩空气槽85b连通的室流路185流入，从气体喷 出流路183向回旋流产生室181供给。由于回旋流产生室181缩小了流路的截面积，因此，压缩空气从气体喷出流路183向回旋流产生室181高速喷出。如上所述，流入了回旋流产 生室181的压缩空气沿其内周面184流动，因此，高速喷出的压缩空气产生沿图5所示的箭 头a那样的高速的回旋流。在高速的回旋流的作用下，回旋流产生室181成为负压，因此， 按压力作用在位于与回旋流产生室181的开口面对的位置上的工件而使其朝向吸引垫21， 从而将工件向吸引垫21吸引。在回旋流产生室181内回旋后的压缩空气从回旋流产生室 181的开口流出，由于该空气夹在吸引保持面182与工件之间，因此，在工件与吸引保持面 182 (吸引垫21)之间形成空间。
另一方面，使吹出气体供给部120所具备的吹出气体供给源121工作，而能够供给 压缩空气。压缩空气从吹出气体供给源121通过吹出供气管122被供给，通过打开吹出流量 调节阀125，使压缩空气通过吹出供气管123、接合部件27的吹出供气流路76、工件引导件 26的吹出气体孔66、盖罩52的吹出气体孔56，向头罩51的吹出孔86供给。如上所述，喷出 孔86形成为在头罩51的外表面(吸引垫21所嵌合侧的面)侧的截面积被缩小的阶梯孔， 因此，向喷出孔86供给的压缩空气从头罩51的外表面如图5所示的箭头b那样喷出。喷 出的空气通过与被向吸引垫21吸引的工件接触，而可靠地维持工件与吸引保持面182 (吸 引垫21)之间的空间。通过调节吹出流量调节阀125的开口来调节压缩空气的流量，由此 能够调节空间的尺寸。吹出气体供给部120、吹出供气流路76、吹出气体孔66、吹出气体孔56、吹出孔86 相当于气体吹出装置。吹出流量调节阀125及压缩空气的流路对四个吹出孔86中的每个都独立设置，因 此，能够对四个吹出孔86中的每个都调节压缩空气的流量。通过对四个吹出孔86中的每 个都独立调节流量，从而也能够调节被吸引保持的工件相对于头罩51的倾斜。通过来自吸引垫21及吹出孔86的空气而施加在工件上的力是几乎与头罩51的 外表面大致垂直的方向的力。如上所述，在本实施方式的工件供给卸除装置10中，作用在 工件上的力为铅垂方向的力。由此，被吸引保持垫20吸引保持的工件几乎不受到与铅垂方 向交叉的方向的约束力，容易移动。工件引导件26的引导突起62用于约束所述移动而防 止工件从吸引保持手20脱落。若被吸引保持手20吸引保持的工件的姿势从水平倾斜，则 在自重的作用下工件向低侧移动，因此通过调节向吹出孔86的压缩空气的流量，使工件倾 斜，从而能够使工件沿下方侧的方向移动。通过使工件移动而与特定的引导突起62抵接， 能够将工件相对于吸引保持垫20定位。(其他吸引保持手)接下来，参照图7说明具备与上述吸引保持手20不同的结构的吸引保持手220。 图7是表示吸引保持手的垫支承架周围的简要结构的外观立体图。吸引保持手220具备距离检测装置90，还具备吸引保持控制部210，所述吸引保持 控制部210除具有吸引保持垫20的吸引保持控制部110的功能之外，还具有根据距离检测 装置90的检测结果控制吹出流量调节阀125等的功能，在上述点上与吸引保持手20不同。如图7所示，距离检测装置90固定在垫支承架23的接合部件27的侧面。吸引保 持手220具备四个(在图7中，被接合部件27遮挡的两个省略图示)距离检测装置90。距 离检测装置90的检测面朝向来自吹出孔86的空气的吹出方向，能够检测检测面与位于该 方向上的物体的距离。通过使用距离检测装置90，来测定检测面与被吸引保持手220吸引保持的工件的面的距离，从而检测出吸引垫21与工件的间隙大小。根据检测结果，通过调节吹出流量调节阀125的开口来调节压缩空气的流量，由此将吸引垫21与工件的间隙调节 成适当的尺寸。由于吸引保持手220具备四个距离检测装置90，因此，能够在工件的四处检测出 工件距吸引垫21的吸引保持面182的铅垂方向上的距离。由此，能够检测出工件相对于吸 引保持面182 (更准确来说，由四个工件的吸引保持面182形成的吸引保持面)的倾斜。根 据检测结果，通过对每个吹出流量调节阀125分别调节吹出流量调节阀125中的流量，从而 能够修正工件相对于吸引保持面182的倾斜。或者，能够使工件向任意方向倾斜。距离检测装置90相当于测定机构，吸引保持控制部210相当于流量平衡调节机 构。以下，叙述实施方式的效果。根据本实施方式，获得如下效果。(1)在头罩51的四角分别形成有四个吹出孔86。通过将吹出气体供给部120所 供给的压缩空气从吹出孔86外面侧吹出，从而能够对被吸引保持的工件的被吸引面吹出 压缩空气。由此，将使工件离开吸引保持面182的方向的力作用在工件上，从而能够维持工 件与吸引保持面182的间隙。(2)吹出气体供给部120具备流量调节阀125，所述流量调节阀125具备能够进行 压缩空气的流路的开闭及压缩空气的流量的调节的阀部。可以通过该吹出流量调节阀125 来调节向吹出孔86供给的压缩空气的流量。通过调节向吹出孔86供给的压缩空气的流量， 而能够调节工件与吸引保持面182的间隙。(3)吹出气体供给部120具备四个吹出流量调节阀125，所述吹出流量调节阀125 分别与四个吹出孔86对应，具备能够进行压缩空气的流路的开闭及压缩空气的流量的调 节的阀部。可以通过各自的吹出流量调节阀125来分别调节供给于各个吹出孔86供给的 压缩空气的流量。通过对每个吹出孔86调节分别向吹出孔86供给的压缩空气的流量，从 而能够局部调节工件与吸引保持面182的间隙。由此，能够调节工件相对于吸引保持面182 的姿势。(4)头罩51在中央侧固定有四个吸引垫21，在周边的四角形成有吹出孔86。四 个回旋流产生室181位于四个吹出孔86所形成的四边形的内侧。由此，四个回旋流产生室 181产生的吸引力的作用点也位于四个吹出孔86所形成的四边形的内侧。来自四个吹出孔 86的压缩空气产生的按压力的合力的作用点也位于四个吹出孔86所形成的四边形的大致 中心位置。由此，由于作用在工件上的吸引力按压力的作用点的位置接近，因此，能够减小 因吸引力与按压力的作用点的位置不同而产生的力矩的大小，从而能够抑制工件的被吸引 面相对于吸引保持面182倾斜的情况。(5)吸引保持手220具备距离检测装置90，因此，能够测定吸引垫21与被吸引保 持的工件的距离。(6)吸引保持手220具备吸引保持控制部210，所述吸引保持控制部210具有根据 距离检测装置90的检测结果控制吹出流量调节阀125等的功能，因此，能够根据测定出的 吸引垫21与被吸引保持的工件的距离，将吸引垫21与被吸引保持的工件的距离调节成适 当的尺寸。(7)吸引保持手220具备四个距离检测装置90。通过各自的距离检测装置90，能够检测出被吸引保持的工件中的与各自的距离检测装置90对置的部分距吸引垫21的吸引 保持面182的铅垂方向上的距离。通过在工件的四处检测出工件距吸引保持面182的距离， 从而能够检测出工件相对于吸引保持面182的倾斜。另外，由于能够对每个吹出流量调节阀125分别调节压缩空气在吹出流量调节阀 125中的流量，因此，能够修正工件相对于吸引保持面182的倾斜。或者，能够使工件向任意 的方向倾斜。以上，参照附图对优选的实施方式进行了说明，但优选的实施方式并不局限于上 述实施方式。在不脱离主旨的范围内当然可以对实施方式进行各种变更，可以如下所述地 实施。(变形例1)在上述实施方式中，头罩51具备四个吹出孔86，但吹出孔的数量并不 局限于四个。只要配置在使吸引力与来自吹出孔的吹出气体所产生的按压力均衡的位置 上，吹出孔的数量可以为任意个。
(变形例2)在上述实施方式中，吸引保持手20具备四个吸引垫21，但吸引保持手 所具备的吸引垫并不局限于四个。只要能够实现与吸引保持的保持对象物的尺寸和重量对 应的合适的吸引保持力，吸引保持手所具备的吸引垫可以为任意个。(变形例3)在上述实施方式中，构成气体吹出装置的吹出气体供给部120具有能 够调节压缩空气的流量的流量调节阀125作为流量调节阀，但气体吹出装置并不一定需要 具备流量调节阀。只要是将气体供给装置所供给的气体的压力维持为固定，从而将流量保 持为固定的结构即可。(变形例4)在上述实施方式中，吸引保持手20具有与四个吹出孔86对应的四个 吹出气体供给源121，但并不需要对每个吹出孔都设置吹出气体供给源。也可以是对多个吹 出孔设置共用的气体供给源的结构。(变形例5)在上述实施方式中，作为测定机构的距离检测装置90安装在吸引保持 手220的接合部件27上，但并不一定需要将测定机构与吸引保持手构成为一体。测定机构 也可以与吸引保持手不同而另行配置。通过从吸引保持手的吸引保持面的相反侧测定保持 对象物，由此能够测定被相当于吸引保持头25的部件遮挡的那样小的保持对象物的倾斜。(实施例6)在上述实施方式中，作为具备吸引保持手的输送装置的工件供给卸除 装置10，具备吸引保持手20、工件供给卸除臂31、底盘38、工件供给卸除装置控制部39，但 并不一定需要具备像工件供给卸除臂31和底盘38那样的对保持吸引保持手20等进行保 持并使其移动的装置。例如，也可以是利用简单的支承部件支承吸引保持手20，且通过手动 作业移动该支承部件之类的装置。(实施例7)在上述实施方式中，作为吸引保持手的吸引保持手220具备四个作为 测定机构的距离检测装置90，但吸引保持手所具备的测定机构的数量并不局限于四个。测 定机构即使是一个，也能够测定保持对象物的部分距吸引保持面的距离。测定机构只要在 三个以上，就能够在三处测定保持对象物的部分距吸引保持面的距离，由此能够求解保持 对象物相对于吸弓I保持面的倾斜。(实施例8)在上述实施方式中，吸引气体供给部100具备开闭压缩空气的流路的 吸引流量调节阀105，但并不一定需要设置开闭流路或调节气体的流量的装置。也可以是在 吸引用气体的供给源处实施吸引用的气体的供给及停止的操作或供给量的调解的结构。
(实施例9)在上述实施方式中，吸引气体供给部100具备吸引气体供给源101，吹出气体供给部120具备吹出气体供给源121，但吸引气体供给源与吹出气体供给源也可以 为共用的供给源。当吸引气体供给源与吹出气体供给源为共用的供给源时，优选设置像吸 引流量调节阀105或吹出流量调节阀125那样的开闭流路或调节气体的流量的装置。(实施例10)在上述实施方式中，说明了如下方式通过对每个吹出孔86调解分 别向吹出孔86供给的压缩空气的流量，从而能够局部调节工件与吸引保持面182的间隙， 由此，能够调节工件相对于吸引保持面182的姿势。也可以使工件相对于大致水平的吸引 保持面倾斜。被吸引保持手吸引保持的工件在悬吊于吸引保持手的状态下，几乎不受到与 吸引保持面平行的方向的约束力。若使工件倾斜，则在重力的作用下朝向低侧的作用力作 用在工件上，因此，使几乎不受到与吸引保持面平行的方向的约束力的工件向倾斜的铅垂 方向下侧的端部移动。通过设置引导突起62那样的限制部件，使工件与限制部件抵接。由 此，能够将工件定位在与限制部件抵接的位置上。
权利要求
一种吸引保持手，其利用回旋流产生室产生的气体的回旋流的中心部所产生的负压和从所述回旋流产生室的端部向侧方流出的气体，以非接触方式对保持对象物进行吸引保持，所述吸引保持手的特征在于，具备吸引垫，其具有开设了所述回旋流产生室的吸引用吹出口的吸引保持面；气体吹出装置，其具有配设在与被吸引面对置，能够向所述被吸引面吹出压缩气体的位置的多个吹出孔，其中，所述被吸引面与被所述吸引垫吸引而位于面对所述吸引保持面的位置上的所述保持对象物的面大致连续。
2.根据权利要求1所述的吸引保持手，其特征在于，所述气体吹出装置具备流量调节阀，该流量调节阀能够调节向所述多个吹出孔中各个 吹出孔供给的所述气体的流量。
3.根据权利要求1或2所述的吸引保持手，其特征在于，所述气体吹出装置具备三个以上的所述吹出孔，三个以上的所述吹出孔的位置配设成 使所述吸引用吹出口的中心位于连结所述吹出孔的中心组成的多边形的内侧。
4.根据权利要求1 3中任一项所述的吸引保持手，其特征在于，还具备测定所述保持对象物的部分距所述吸引保持面的距离的测定机构。
5.根据权利要求4所述的吸引保持手，其特征在于，还具备流量平衡调节机构，该流量平衡调节机构根据由所述测定机构测定出的所述保 持对象物的每部分距所述吸引保持面的距离，控制所述流量调节阀，从而调节向每个所述 吹出孔供给的所述气体的流量。
6.一种吸引保持方法，利用回旋流产生室产生的气体的回旋流的中心部所产生的负压 和从所述回旋流产生室的吸引用吹出口向开设了所述吸引用吹出口的吸引保持面流出的 气体，由具有所述吸引保持面的吸引垫以非接触的方式对保持对象物进行吸引保持，所述吸引保持方法的特征在于，包括气流吹出工序，在所述保持对象物被所述吸引垫吸引保持而位于面对所述吸引保持面 的位置上的状态时，通过向气体吹出装置的吹出孔供给压缩气体，而向所述被吸引面吹出 压缩气体，其中，所述气体吹出装置具有配设在与被吸引面对置的位置上的多个吹出孔，所 述被吸引面与所述保持对象物的面大致连续；吸引工序，通过向所述回旋流产生室供给压缩气体，将所述保持对象物吸引在所述吸 引保持面。
7.根据权利要求6所述的吸引保持方法，其特征在于，还包括调节在所述气流吹出工序中向所述被吸引面吹出的所述压缩气体的流量的气 体流量调节工序。
8.根据权利要求7所述的吸引保持方法，其特征在于，所述气体吹出装置具备三个以上的所述吹出孔，配置三个以上的所述吹出孔的位置使 所述吸引用吹出口的中心位于连结所述吹出孔的中心组成的多边形的内侧。
9.根据权利要求7或8所述的吸引保持方法，其特征在于，还包括测定所述保持对象物的部分距所述吸引用吹出口的距离的高度测定工序。
10.根据权利要求9所述的吸引保持方法，其特征在于，还包括流量平衡调节工序，在该流量平衡调节工序中，根据在所述高度测定工序中测 定出的所述保持对象物的每部分距所述吸引保持面的距离，调节向每个所述吹出孔供给的 所述气体的流量。
11.一种输送装置，其具备保持机构，该保持机构利用回旋流产生室产生的气体的回 旋流的中心部所产生的负压和从所述回旋流产生室的端部向侧方流出的气体，以非接触的 方式对输送对象物进行吸引保持，所述输送装置输送由所述保持机构保持的所述输送对象 物，所述输送装置的特征在于，所述保持机构具备吸引垫，其具有开设了所述回旋流产生室的吸引用吹出口的吸引保持面；气体吹出装置，其具有配设在与被吸引面对置，能够向所述被吸引面吹出压缩气体的 位置的多个吹出孔，其中，所述被吸引面与被所述吸引垫吸引而位于面对所述吸引保持面 的位置上的所述输送对象物的面大致连续。
12.根据权利要求11所述的输送装置，其特征在于，所述气体吹出装置具备流量调节阀，所述流量调节阀能够调节向所述多个吹出孔中各 个吹出孔供给的所述气体的流量。
13.根据权利要求11或12所述的输送装置，其特征在于，所述气体吹出装置具备三个以上的所述吹出孔，三个以上的所述吹出孔的位置配设成 使所述吸引用吹出口的中心位于连结所述吹出孔的中心组成的多边形的内侧。
14.根据权利要求11 13中任一项所述的输送装置，其特征在于，还具备测定所述输送对象物的部分距所述吸引保持面的距离的测定机构。
15.根据权利要求14所述的输送装置，其特征在于，还具备流量平衡调节机构，该流量平衡调节机构根据由所述测定机构测定出的所述输 送对象物的每部分距所述吸引保持面的距离，控制所述流量调节阀，从而调节向每个所述 吹出孔供给的所述气体的流量。
16.根据权利要求14或15所述的输送装置，其特征在于，所述测定机构与所述保持机构的所述吸引垫一体设置。
17.根据权利要求14或15所述的输送装置，其特征在于，所述测定机构与所述保持机构的所述吸引垫分别固定设置。
全文摘要
一种能够将保持对象物相对于保持终端的吸附端面的姿势保持为固定，抑制保持对象物相对于吸附端面的姿势不固定发生倾斜、不能确保吸附端面与保持对象物之间的间隙、吸附端面与保持对象物接触等的吸引保持手、吸引保持方法及输送装置。吸引保持手利用回旋流产生室产生的气体的回旋流的中心部产生的负压和从回旋流产生室的端部向侧方流出的气体，以非接触方式对保持对象物吸引保持，吸引保持手具备吸引垫，其具有开设了回旋流产生室的吸引用吹出口的吸引保持面；气体吹出装置，其具有配设在与被吸引面对置，而能够向被吸引面吹出压缩气体的位置的多个吹出孔，所述被吸引面与被吸引垫吸引而位于面对吸引保持面的位置上的保持对象物的面大致连续。
文档编号H01L21/683GK101872734SQ20101016651
公开日2010年10月27日 申请日期2010年4月20日 优先权日2009年4月21日
发明者守屋智德 申请人:精工爱普生株式会社