专利名称：基板传动装置的制作方法
技术领域：
基板传动装置技术领域[0001]本实用新型涉及液晶基板制造技术，特别涉及一种基板传动装置。
技术背景[0002]在基板的制造工序中，需要通过基板传动装置，将待加工的基板传送至各个功 能区间进行处理，该功能区间指的是例如对基板进行湿法刻蚀的刻蚀区间、对基板进行 清洗的清洗区间等。[0003]图1为现有技术基板传动装置的结构示意图。如图1所示，该基板传动装置采用 主传动系统，该系统可以包括主传动驱动电机11、主传动驱动杆12、主传动支持轴承模 块13、主传动杆14、主传动轮15、基板行进辅助侧轮装置16和主传动定位传感器17。 其中，多个主传动杆14间隔并列地与主传动驱动杆12垂直连接，每一主传动杆14上间 隔并列地垂直连接多个主传动轮15。主传动驱动电机11通过主传动驱动杆12驱动所述 的多个主传动杆14和主传动轮15组成主传动带对基板进行传动，基板行进辅助侧轮装置 16用于在基板的传动过程中对基板进行辅助运行，主传动定位传感器17用于对基板的传 动到达位置进行感应定位。[0004]但是，上述的基板传动装置存在如下技术缺陷在基板传动过程中，经常出现 由于磨损以及药液、水、腔体气压差等因素，导致基板在传动过程中发生打滑，使得基 板在某一功能区间长时间停滞，良率大幅降低，例如，可能会引发湿法刻蚀中的过刻、 剥离工序中的剥离不良等诸多工艺不良的问题，严重时可能需要扔弃基板，给生产造成 了很大的损失。实用新型内容[0005]本实用新型的目的是提供一种基板传动装置，以解决现有技术中所存在的基板 传动打滑问题，实现基板能够在短时间内自动恢复正常传动。[0006]本实用新型提供一种基板传动装置，包括主传动系统，所述主传动系统包括主 传动驱动电机、主传动轮、主传动杆、主传动支持轴承模块和主传动定位传感器；还包 括辅助传动系统；所述辅助传动系统包括防滑带驱动电机、防滑带传动杆、防滑带、 防滑带突起拨片和防滑带启动定位传感器；[0007]数个所述防滑带传动杆，与所述主传动杆平行设置，两端分别连接于所述主传 动支持轴承模块，所述防滑带传动杆与所述防滑带驱动电机连接；用于传送基板的所述 防滑带，沿所述主传动轮的旋转方向设置，且周向套设于所述数个防滑带传动杆上，所 述防滑带所在平面低于所述主传动轮的顶部所述平面；所述防滑带突起拨片，固设于所 述防滑带上，所述防滑带突起拨片的顶部与所述防滑带所在平面之间的距离大于等于所 述基板的底部与所述防滑带所在平面之间的距离；防滑带启动定位传感器与所述主传动 定位传感器之间的设置距离大于所述基板的长度。[0008]如上所述的基板传动装置，所述防滑带传动杆上设置有防滑带卡槽；所述防滑带通过所述防滑带卡槽与所述防滑带传动杆连接。[0009]如上所述的基板传动装置，所述防滑带突起拨片的顶部与所述防滑带所在平面 之间的距离大于传动中的所述基板的顶部与所述防滑带所在平面之间的距离。[0010]如上所述的基板传动装置，所述防滑带传动杆包括驱动端传送杆和非驱动端传 送杆，所述驱动端传送杆与所述防滑带驱动电机通过磁传动模块连接。[0011]如上所述的基板传动装置，所述磁传动模块包括相对设置的驱动磁盘和非驱动 磁盘，所述驱动磁盘与所述防滑带驱动电机连接，所述非驱动磁盘连接所述驱动端传送 杆。[0012]如上所述的基板传动装置，还包括防滑带位置传感器、反射板和防滑带定位 孔；所述防滑带定位孔，设置在所述防滑带上；所述防滑带位置传感器和反射板，分别 设置于所述防滑带的上方和下方，且与所述防滑带定位孔相对。[0013]如上所述的基板传动装置，所述防滑带位置传感器包括相邻设置的减速传感器 和停止传感器。[0014]如上所述的基板传动装置，所述防滑带驱动电机为伺服电机。[0015]如上所述的基板传动装置，所述防滑带的数量至少为两条，每一条所述防滑带 上均设置有所述防滑带突起拨片。[0016]如上所述的基板传动装置，所述防滑带突起拨片为采用柔性材料制作的防滑带 突起拨片。[0017]本实用新型的基板传动装置，通过设置辅助防滑传动系统，解决了基板传动过 程中的打滑问题，可以使得基板能够在短时间内恢复正常传动，实现了基板较稳定的传 动，提高了基板良率，减少了生产损失。
[0018]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施 例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附 图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的 前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。[0019]图1为现有技术基板传动装置的结构示意图；[0020]图2为本实用新型基板传动装置实施例的俯视图；[0021]图3为本实用新型基板传动装置实施例的侧视图；[0022]图4为本实用新型基板传动装置实施例中的防滑带传感器控制方式安装结构 图；[0023]图5为本实用新型基板传动装置实施例的工作原理示意图；[0024]图6为图5中的防滑带启动定位传感器在感应基板时的应用结构示意图；[0025]图7为图5中的防滑带启动定位传感器在未感应基板时的应用结构示意图。[0026]附图标记说明[0027]11-主传动驱动电机；12-主传动驱动杆；13-主传动支持轴承模块；[0028]14-主传动杆；15-主传动轮； 16-基板行进辅助侧轮装[0029]置；[0030]17-主传动定位传感器；21-防滑带传动杆；22-辅助支持轴承模块；[0031]23-防滑带卡槽； 24-防滑带突起拨片；25-防滑带启动定位传感[0032]器；[0033]26-防滑带；27-防滑带驱动电机；28-驱动端传送杆；[0034]29-非驱动端传送杆；30-驱动磁盘； 31-非驱动磁盘；[0035]32-防滑带定位孔； 33-防滑带位置传感34-减速传感器；[0036]器；[0037]35-停止传感器； 36-M型支架； 37-支架臂；[0038]38-反射板；39-摆头部分； 40-支架部分；[0039]41-基板。
具体实施方式
[0040]为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用 新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显 然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新 型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他 实施例，都属于本实用新型保护的范围。[0041]本实用新型的主要技术方案为，在现有技术的基板传动装置的结构基础上，进 一步增设了辅助传动系统，该辅助传动系统可以用于在出现基板传动打滑时，实现在短 时间内自动恢复基板的正常传动，将生产损失最小化。[0042]下面通过附图和具体实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。[0043]图2为本实用新型基板传动装置实施例的俯视图，图3为本实用新型基板传动装 置实施例的侧视图。如图2和图3所示，本实施例的基板传动装置包括主传动系统和辅 助传动系统。其中，主传动系统的结构与目前的基板传动装置的结构相同，辅助传动系 统是本实施例在所述的主传动系统的基础上增设，主要用于在基板防滑时对基板传动起 辅助传动作用。[0044]具体的，主传动系统包括主传动驱动电机11、主传动驱动杆12、主传动支持轴 承模块13、主传动杆14、主传动轮15、基板行进辅助侧轮装置16和主传动定位传感器 17。其中，主传动驱动电机11与主传动驱动杆12连接，主传动驱动杆12上可以连接有 间隔并列的多个主传动杆14，该主传动杆14的设置方向与主传动驱动杆12垂直，且主传 动杆14可以通过主传动支持轴承模块13进行支撑。每一主传动杆14上可以分布安装有 多个间隔并列的主传动轮15，该主传动轮15的设置旋转方向与主传动杆14垂直。所述 的多排主传动杆14及其上设置的多个主传动轮15构成了传动基板的主传动带。[0045]在基板传动中，主传动驱动电机11可以依次通过主传动驱动杆12、主传动杆 14，驱动主传动轮15运转。承载在主传动轮15上的基板可以在多排主传动杆14上进行 传动。基板行进辅助侧轮装置16主要用于在基板行进的过程中对基板施加辅助传动力。 主传动定位传感器17可以用于感知基板传动所到达的位置。[0046]本实施例的基板传动装置，在上述的主传动系统的基础上，增设了用于在基板 传动防滑时辅助基板传动的辅助传动系统。其中，在具体设置时，可以是在每一功能区5间的基板传动装置设置一辅助传动系统，可以及时发现和解决基板的传动打滑问题，避 免基板在一功能区间长时间停滞造成良率降低。该辅助传动系统可以包括防滑带传动杆 21、辅助支持轴承模块22、防滑带突起拨片M、防滑带启动定位传感器25、防滑带沈和 防滑带驱动电机27。[0047]具体的，数个防滑带传动杆21设置于基板传动的反应腔内，其与主传动杆14平 行设置，两端分别连接于主传动支持轴承模块13。本实施例中，防滑带传动杆21的数量 可以为两根，包括一驱动端传送杆观和一非驱动端传送杆四。驱动端传送杆观和防滑 带驱动电机27连接，可以由防滑带驱动电机27进行驱动运转；且驱动端传送杆观可以 通过辅助支持轴承模块22进行支撑。该防滑带传动杆21设置在基板传动的某一功能区 间时，上述的驱动端传送杆观和非驱动端传送杆四可以分别设置于该功能区间的两端， 以使得防滑带26可以运行于整个功能区间，能够对整个功能区间内的基板传动打滑均予 以辅助运行。[0048]具体的，防滑带沈安装在上述的驱动端传送杆观和非驱动端传送杆四之间， 沿主传动轮15的旋转方向设置，且周向套设于驱动端传送杆观和非驱动端传送杆四 上，即该防滑带26的运行方向是垂直于上述的两根防滑带传动杆，且可以围绕上述防滑 带传动杆进行周向旋转。当驱动端传送杆观转动时，驱动端传送杆观带动防滑带沈运 动，防滑带26会进而带动非驱动端传送杆四一起运动。防滑带沈所在平面低于主传动 轮15的顶部所在平面，以避免影响基板的正常传动。[0049]在具体实施中，防滑带沈与上述的两根防滑带传动杆的连接方式可以为，防滑 带传动杆上设置有防滑带卡槽23，防滑带沈可以通过与设置在所述防滑带卡槽23内的卡 齿吻合与防滑带传动杆连接，以实现防滑带26在旋转时的位置固定。此外，防滑带沈 的条数的设置可以根据基板的尺寸大小进行设置，通常情况下至少为两条，本实施例中 防滑带沈的数量设置为两条。[0050]具体的，防滑带突起拨片M设置在防滑带沈上，可以随着防滑带沈一起转 动。本实施例中的两条防滑带26上，每一条均分别设置有一防滑带突起拨片M。该防 滑带突起拨片M的顶部与防滑带26所在平面之间的距离即防滑带突起拨片M的设置高 度，其大于等于传动中的基板的底部与防滑带26所在平面之间的距离，以使得该防滑带 突起拨片M可以接触到传动中的基板，实现对基板施加推动力。[0051]本实施例的防滑带突起拨片M的高度可以设置得大于传动中的基板的顶部与防 滑带沈所在平面之间的距离，以使得其可以在辅助传动系统启动时，推着基板前进使其 恢复正常传动，且可以保证在脱离基板时不会对基板产生损伤。此外，本实施例中的防 滑带突起拨片M可以采用柔性材料例如含氟橡胶或乙丙橡胶制作，进一步避免基板受到 损坏。[0052]进一步的，防滑带驱动电机27和驱动端传送杆观之间的驱动连接方式可以采用 磁传动模块，该磁传动模块可以包括相对设置的驱动磁盘30和非驱动磁盘31。驱动磁盘 30与防滑带驱动电机27连接，非驱动磁盘31连接驱动端传送杆观。防滑带驱动电机27 可以带动驱动磁盘30转动，驱动磁盘30可以带动非驱动磁盘31转动，进而带动驱动端 传送杆观及其连接的防滑带沈转动。驱动磁盘30和非驱动磁盘31采用磁力连接传递 力量，以及防滑带驱动电机27采取扭矩控制，可以有利于方便地控制传递到防滑带突起拨片M的推力，有效避免辅助传动系统导致基板破损情况的发生。[0053]进一步的，由于考虑到防滑带突起拨片M需要在运动时推动基板，并在停止运 动时避免损坏基板，本实施例的防滑带沈需要设置一起始位置，其每次运动从起始位置 开始，运动完毕又回到起始位置，该起始位置即指的是防滑带26停止传动时防滑带突起 拨片M不妨碍基板正常传动的位置，例如可以为防滑带突起拨片M处于水平状态的位 置。在具体实施中，防滑带26的起始运动位置的控制可以采用传感器控制方式，也可以 采用行程控制方式。[0054]例如，若采用传感器控制方式，可参见图3所示，实现防滑带的传感器定位方 式的部件可以包括防滑带位置传感器、反射板和防滑带定位孔32。其中，上述三个部件 的设置位置关系可以参见图4，图4为本实用新型基板传动装置实施例中的防滑带传感器 控制方式安装结构图。在防滑带传送过程的功能单元中，可以设置有M型支架36，防滑 带沈可以设置于M型支架36的支架臂37之间。防滑带沈上设置防滑带定位孔32 (见 图3)，该孔用于透光。在防滑带沈的上方和下方的两个支架臂37上可以分别安装防滑 带位置传感器33和反射板38。防滑带位置传感器33可以为一反射性光感传感器，其发 射端发出的光透过防滑带定位孔32后，可以经设置在防滑带定位孔上方的反射板38反 射，再被其接收端接收并检出。[0055]该防滑带位置传感器33的数量可以设置为两个，例如可以包括相邻设置的减速 传感器34和停止传感器35 (参见图幻，其中，减速传感器34用于向防滑带驱动电机27 发送减速信号，停止传感器35用于向防滑带驱动电机27发送停止信号。[0056]在图3中箭头所示的传动方向下，右边所示的减速传感器34可以给出减速信 号，当电机带动防滑带定位孔32到达其所在位置时，防滑带驱动电机27会进行减速；左 边所示的停止传感器35可以给出停止信号，当电机带动防滑带定位孔32到达其所在位置 时，防滑带驱动电机27会停止运行。每次辅助系统启动时，防滑带沈都会运行一周， 始终保持起始位置。这样就实现了防滑带突起拨片M的起始位置一致性(每次动作完成 后，该拨片都会停止在图3所示位置上)，这样就避免主传动运行过程中，防滑带突起拨 片对导致的基板的破损。[0057]例如，若采用行程控制方式，可以省略防滑带定位孔和防滑带位置传感器。对 于辅助防滑带的传动，可以采用伺服电机带动来实现。此时，防滑带驱动电机27即为伺 服电机，由于伺服电机能够精确的控制自己行程位置。那么可以预先给伺服电机一个0 点位置信号，确定图3所示位置时电机的位置，然后测量电机运行多长偏移量A可以再次 达到当前位置。预设伺服电机的行程量，以后每次辅助系统运行时，就在伺服电机的运 动量上加上相应的偏移量A，电机运行到设定值就停止。这样就保证了防滑带突起拨片 M初始位置的固定性。[0058]所述防滑带驱动电机为普通电机，通过设备控制系统单元提供的启动、减速、 停止信号实现工作运作，其中减速信号由减速传感器提供给设备控制系统单元，停止信 号由停止传感器提供给设备控制系统单元。[0059]下面对本实施例的基板传动装置的工作过程进行说明。可参见图5，图5为本实 用新型基板传动装置实施例的工作原理示意图。该图示出了由3个传动单元组成的基板 传动系统，每一传动单元可以为一基板传动的功能区间，且每一传动单元均采用本实施例所述的基板传动装置，即分别设置了一辅助传动系统。[0060]其中，a、C是单元一的进、出位置检测传感器，即主传动定位传感器，b是单 元一的辅助系统检测传感器，即防滑带启动定位传感器；d、f是单元二的进、出位置检 测传感器，e是单元二的辅助系统检测传感器；g、i是单元三的进、出位置检测传感器， h是单元三的辅助系统检测传感器。传感器位置设定，a、d、g处于各单元入口处；C、 f、i处于各单元出口处；辅助系统检测传感器b、e、h距各单元入口的距离即与主传动 定位传感器之间的设置距离，应大于基板在传动方向上的长度。[0061]其中，上述的防滑带启动定位传感器一般采用霍尔传感器，其结构可以参见图6 和图7，图6为图5中的防滑带启动定位传感器在感应基板时的应用结构示意图，图7为 图5中的防滑带启动定位传感器在未感应基板时的应用结构示意图。该霍尔传感器可以 由摆头部分39和支架部分40构成，其可以通过支架部分40固定于每一功能单元的腔体 底部。当基板41在主传动轮15的传动下经过该霍尔传感器时，其感应到基板41，则摆 头部分39将进行旋转，与支架部分40成一定夹角。当基板41未传动经过该霍尔传感器 时，其未感应到基板41，则摆头部分39不会进行旋转，其将与支架部分40—同保持垂 直，其间没有夹角。[0062]具体的，当基板从单元一入口开始向单元二搬送过程中，在辅助系统检测传感 器b和e之间设定有一时间界限。当基板到达辅助系统检测传感器b开始计时，基板在b 与e之间的传动过程中，传动时间超过设定时间传感器e还没被点亮，单元一的辅助传动 系统从初始位置开始工作，基板在防滑带突起拨片和主传动的作用下恢复正常行进。辅 助传动系统在防滑带行进一周后，可以在传感器控制或者定时控制的定位作用下再次回 到初始位置停止，等待下一次的运行。[0063]当基板从单元二入口开始向单元三搬送过程中，在辅助系统检测传感器e和h之 间设定有一时间界限，当基板到达传感器e开始计时，基板在e与h之间的传动过程中， 传动时间超过设定时间传感器h还没被点亮，单元二的辅助传动系统从初始位置开始工 作，基板在拨片和主传动的作用下恢复正常行进。辅助传动系统在防滑带行进一周后， 可以在传感器控制或者定时控制的定位作用下再次回到初始位置停止，等待下一次的运 行。[0064]其中，辅助传动系统在运行时，防滑带突起拨片的运行速度可以根据实际需要 设定，例如可以略高于或等于或小于主传送轮传送基板的线性速度。[0065]本实施例的基板传动装置，通过设置辅助传动系统，解决了基板传动过程中的 打滑问题，可以使得基板能够在短时间内恢复正常传动，实现了基板较稳定的传动，提 高了基板良率，减少了生产损失。[0066]最后应说明的是以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限 制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当 理解其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特 征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各 实施例技术方案的精神和范围。
权利要求1.一种基板传动装置，包括主传动系统，所述主传动系统包括主传动驱动电机、主 传动轮、主传动杆、主传动支持轴承模块和主传动定位传感器；其特征在于，还包括辅 助传动系统；所述辅助传动系统包括防滑带驱动电机、防滑带传动杆、防滑带、防滑 带突起拨片和防滑带启动定位传感器；数个所述防滑带传动杆，与所述主传动杆平行设置，两端分别连接于所述主传动支 持轴承模块，所述防滑带传动杆与所述防滑带驱动电机连接；用于传送基板的所述防滑带，沿所述主传动轮的旋转方向设置，且周向套设于所述 数个防滑带传动杆上，所述防滑带所在平面低于所述主传动轮的顶部所在平面；所述防滑带突起拨片，固设于所述防滑带上，所述防滑带突起拨片的顶部与所述防 滑带所在平面之间的距离大于或等于基板的底部与所述防滑带所在平面之间的距离；所述防滑带启动定位传感器与所述主传动定位传感器之间的设置距离大于所述基板 的长度。
2.根据权利要求1所述的基板传动装置，其特征在于，所述防滑带传动杆上设置有防 滑带卡槽；所述防滑带通过所述防滑带卡槽与所述防滑带传动杆连接。
3.根据权利要求1所述的基板传动装置，其特征在于，所述防滑带突起拨片的顶部与 所述防滑带所在平面之间的距离大于传动中的所述基板的顶部与所述防滑带所在平面之 间的距离。
4.根据权利要求1所述的基板传动装置，其特征在于，所述防滑带传动杆包括驱动端 传送杆和非驱动端传送杆，所述驱动端传送杆与所述防滑带驱动电机通过磁传动模块连接。
5.根据权利要求4所述的基板传动装置，其特征在于，所述磁传动模块包括相对设置 的驱动磁盘和非驱动磁盘，所述驱动磁盘与所述防滑带驱动电机连接，所述非驱动磁盘 连接所述驱动端传送杆。
6.根据权利要求1所述的基板传动装置，其特征在于，还包括防滑带位置传感 器、反射板和防滑带定位孔；所述防滑带定位孔，设置在所述防滑带上；所述防滑带位置传感器和反射板分别设置于所述防滑带的上方和下方，且与所述防 滑带定位孔相对。
7.根据权利要求6所述的基板传动装置，其特征在于，所述防滑带位置传感器包括相 邻设置的减速传感器和停止传感器。
8.根据权利要求1所述的基板传动装置，其特征在于，所述防滑带驱动电机为伺服电机。
9.根据权利要求1所述的基板传动装置，其特征在于，所述防滑带的数量至少为两 条，每一条所述防滑带上均设置有所述防滑带突起拨片。
10.根据权利要求1所述的基板传动装置，其特征在于，所述防滑带突起拨片为采用 柔性材料制作的防滑带突起拨片。
专利摘要本实用新型提供一种基板传动装置，包括主传动系统，还包括辅助传动系统；所述辅助传动系统包括防滑带驱动电机、防滑带传动杆、防滑带、防滑带突起拨片和防滑带启动定位传感器；数个防滑带传动杆与所述主传动杆平行设置，两端分别连接于主传动支持轴承模块，防滑带传动杆与防滑带驱动电机连接；防滑带沿主传动轮的旋转方向设置，且周向套设于数个防滑带传动杆上；防滑带突起拨片固设于防滑带上，其顶部与防滑带所在平面之间的距离大于等于基板的底部与防滑带所在平面之间的距离；防滑带启动定位传感器与主传动定位传感器之间的设置距离大于基板的长度。本实用新型可以使得基板能够在短时间内恢复正常传动，提高了基板良率，减少了生产损失。
文档编号H01L21/677GK201812805SQ201020533319
公开日2011年4月27日 申请日期2010年9月16日 优先权日2010年9月16日
发明者吴健 申请人:北京京东方光电科技有限公司