专利名称：一种锗硅异质结双极晶体管的制造方法
技术领域：
本发明属于半导体集成电路制造工艺，尤其是一种锗硅异质结双极晶体管的制造方法。
背景技术：
近年来，随着无线通讯技术的快速发展，对高性能器件和电路的需求也大大增加。SiGe-HBT (锗硅异质结双极晶体管)不但具有Si器件的低成本、高集成度，而且具有GaAs器件的高频率特性，正在被广泛应用于无线通讯、移动通讯设备中。对于SiGe-HBT，由于其异质发射结和基区中的漂移电场(在SiGe基区中掺入Ge的分布不均匀所致)，就容许基区高掺杂,并且可大大缩短基区渡越时间,所以使得器件的截止频率和最高振荡频率都能达到很高的水平，适合于射频应用。同时，因为SiGe-HBT基区的高掺杂，使得器件的基区宽度调变效应减弱和基区电阻减小，从而SiGe-HBT在RF(射频)应用方面也具有优良的性能。在HBT制作中，一般通过采用自对准制造工艺，可以使外基区电阻和集电极、基极之间的电容值达到最小。随着发射极宽度的进一步减小，传统的SiGe-HBT的横向和纵向的缩小将会继续下去，减小寄生电阻和电容的办法，需要进一步加以改进。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种锗硅异质结双极晶体管的制造方法，本发明采用硼硅玻璃定义外基区，并对外基区进行额外的掺杂，进一步降低外基区电阻，以达到降低基极电阻的目的。为解决上述技术问题，本发明提供一种锗硅异质结双极晶体管的制造方法，包括如下步骤步骤I，在硅衬底上依次生长锗硅层、硼硅玻璃层和氮化硅层；步骤2，光刻定义发射极窗口，依次刻蚀步骤I的氮化硅层和硼硅玻璃层；步骤3，在其上全面淀积二氧化硅层；步骤4，干法刻蚀步骤3的二氧化硅层，在发射极窗口形成二氧化硅侧壁；步骤5，湿法刻蚀二氧化硅；步骤6，发射极多晶硅淀积和刻蚀。在步骤I中，所述硼硅玻璃层的厚度为200 600埃，其中硼的质量百分比含量为2 10% ;所述硼硅玻璃层采用PECVD方式以SiH4、B2H6和N2O或以TE0S、TMB和O2反应生长，或者采用SACVD方式以TEOS、TMB和O3反应生长。在步骤I中，所述氮化硅层的厚度为200 500埃，采用LPCVD或PECVD方式生长。在步骤2中，所述氮化硅层刻蚀采用干法刻蚀，所述硼硅玻璃层刻蚀采用湿法刻蚀，在湿法刻蚀硼硅玻璃层之后与上层氮化硅层形成底切，该底切的宽度为300 900埃。在步骤3中，所述二氧化硅层采用LPCVD或SACVD淀积，其厚度为500 800埃；由于LPCVD或SACVD 二氧化硅具有非常好的台阶覆盖性，会减小硼硅玻璃层刻蚀后形成的底切高度。
在步骤4中，所述干法刻蚀步骤3的二氧化硅层，刻蚀量控制在300-400埃，同时保证最终在发射极窗口形成的二氧化硅侧壁宽度在300-400埃。
在步骤5中，采用湿法刻蚀工艺将发射极窗口的二氧化硅层刻蚀掉，将锗硅层露出来，形成发射极窗口。
和现有技术相比，本发明具有以下有益效果本发明采用在SiGe-HBT制作中，在 SiGe淀积完成后制作发射极时，采用硼硅玻璃和氮化硅作为发射极窗口定义介质层，通过湿法刻蚀形成一定宽度底切并制作二氧化硅侧壁将硼硅玻璃与发射极多晶硅隔离。硼硅玻璃中的硼在后续工艺热处理过程中将扩散至硼硅玻璃底下的外基区中，增加外基区的掺杂浓度，降低外基区电阻率从而减小基极电阻。
图I
图2
图3
图4
图5
图6
在图6为多晶硅，A具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细的说明。
如图I所示为本发明完成后的示意图，该示意图为SiGe-HBT单元结构,在作为集电极的硅衬底I上生长锗硅2作为HBT基区，在上述锗硅2上制作硼硅玻璃3和氮化硅4 刻蚀出窗口后制作二氧化硅侧壁5形成发射极窗口，在发射极窗口淀积多晶硅8形成发射极。本发明方法的具体步骤如下
步骤I.如图2所示，在硅衬底I (可以是N型掺杂硅衬底)上依次生长锗硅2，硼硅玻璃3和氮化硅4。硼硅玻璃3的厚度为200 600埃，其中硼含量为质量百分比2 10%。硼硅玻璃3可以采用PECVD (等离子体增强化学气相沉积)方式以SiH4、B2H6和N2O 或者以TEOS (液态硅源硅酸乙酯)、TMB和O2反应生长，也可以是采用SACVD (次常压化学气相沉积)方式TE0S、TMB和O3反应生长。氮化硅4的厚度为200 500埃，采用LPCVD (低压化学气相沉积)或PECVD方式生长。
步骤2.如图3所示，光刻定义发射极窗口后，采用氮化膜对氧化膜高选择比的干法一步刻蚀氮化硅4并停在下层的硼硅玻璃3上后(硼硅玻璃3作为刻蚀停止层(Stop layer))，再用湿法刻蚀剩下所有的硼硅玻璃3，由于湿法刻蚀硼硅玻璃3时需要有过刻蚀以保证底部的硼硅玻璃3刻蚀干净，该过刻蚀量就形成了如图3所示底切A，底切A的宽度为300 900埃，可利用控制湿法刻蚀酸液的浓度和时间来控制底切A的宽度。
步骤3.如图4所示，采用LPCVD或SACVD淀积一层二氧化硅5，其厚度为500 800埃。由于LPCVD或SACVD 二氧化硅具有非常好的台阶覆盖性，二氧化硅5将会填充进底切区域，形成如图4所示形貌，减小硼硅玻璃3刻蚀后形成的底切高度。步骤4.如图5所示，氧化硅侧壁刻蚀，采用干法刻蚀工艺对二氧化硅5进行部分刻蚀，刻蚀量控制在300-400埃，防止过刻蚀时等离子体伤害锗硅的膜质，影响器件的质量，同时保证最终在发射极窗口形成的氧化硅侧壁宽度在300-400埃。 步骤5.如图6所示，采用湿法刻蚀工艺刻蚀二氧化硅5，将发射极窗口剩余的二氧化娃5刻蚀掉,将锗娃2露出来,形成发射极窗口，同时也将氮化娃4上面的二氧化娃5去除，仅留下底切处的二氧化硅5。步骤6.最后在发射极窗口淀积和刻蚀形成发射极多晶娃6,最终形成如图I所不结构。本发明采用在SiGe-HBT制作中，在SiGe (锗硅2)淀积完成后制作发射极时，采用 硼娃玻璃3和氮化娃4作为发射极窗口定义介质层,通过湿法刻蚀形成一定宽度底切A并制作二氧化硅侧壁5将硼硅玻璃3与发射极多晶硅6隔离。硼硅玻璃3中的硼在后续工艺热处理过程中将扩散至硼硅玻璃3底下的SiGe外基区中，增加外基区的掺杂浓度，降低外基区电阻率从而减小基极电阻。
权利要求
1.一种锗硅异质结双极晶体管的制造方法，其特征在于，包括如下步骤步骤I，在硅衬底上依次生长锗硅层、硼硅玻璃层和氮化硅层；步骤2，光刻定义发射极窗口，依次刻蚀步骤I的氮化硅层和硼硅玻璃层；步骤3，在其上全面淀积二氧化硅层；步骤4，干法刻蚀步骤3的二氧化硅层，在发射极窗口形成二氧化硅侧壁；步骤5，湿法刻蚀二氧化硅；步骤6，发射极多晶硅淀积和刻蚀。
2.如权利要求I所述的方法，其特征在于，在步骤I中，所述硼硅玻璃层的厚度为 200 600埃，其中硼的质量百分比含量为2 10% ;所述硼硅玻璃层采用PECVD方式以 SiH4' B2H6和N2O或以TEOS, TMB和O2反应生长，或者采用SACVD方式以TEOS, TMB和O3反应生长。
3.如权利要求I所述的方法，其特征在于，在步骤I中，所述氮化硅层的厚度为200 500埃，采用LPCVD或PECVD方式生长。
4.如权利要求I所述的方法，其特征在于，在步骤2中，所述氮化硅层刻蚀采用干法刻蚀，所述硼硅玻璃层刻蚀采用湿法刻蚀，在湿法刻蚀硼硅玻璃层之后与上层氮化硅层形成底切，该底切的宽度为300 900埃。
5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，在步骤3中，所述二氧化硅层采用LPCVD或 SACVD淀积，其厚度为500 800埃；由于LPCVD或SACVD 二氧化硅具有非常好的台阶覆盖性，会减小硼硅玻璃层刻蚀后形成的底切高度。
6.如权利要求I所述的方法，其特征在于，在步骤4中，所述干法刻蚀步骤3的二氧化硅层，刻蚀量控制在300-400埃，同时保证最终在发射极窗口形成的二氧化硅侧壁宽度在 300-400 埃。
7.如权利要求I所述的方法，其特征在于，在步骤5中，采用湿法刻蚀工艺将发射极窗口的二氧化娃层刻蚀掉，将锗娃层露出来，形成发射极窗口。
全文摘要
本发明公开了一种锗硅异质结双极晶体管的制造方法，包括如下步骤步骤1.在硅衬底上依次生长锗硅层、硼硅玻璃层和氮化硅层；步骤2.光刻定义发射极窗口，依次刻蚀步骤1的氮化硅层和硼硅玻璃层；步骤3.在其上全面淀积二氧化硅层；步骤4.干法刻蚀步骤3的二氧化硅层，在发射极窗口形成二氧化硅侧壁；步骤5.湿法刻蚀二氧化硅；步骤6.发射极多晶硅淀积和刻蚀。本发明采用硼硅玻璃定义外基区，并对外基区进行额外的掺杂，进一步降低外基区电阻，以达到降低基极电阻的目的。
文档编号H01L21/331GK102931079SQ201110226958
公开日2013年2月13日 申请日期2011年8月9日 优先权日2011年8月9日
发明者袁苑, 梅绍宁, 季伟, 彭虎, 姚嫦娲 申请人:上海华虹Nec电子有限公司