气缸控时监测装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种气缸控时监测装置，用以侦测系统设备内气缸的启动与停止，包括：传感器，感应气缸杆的动作，于该气缸杆行程开始时产生第一时点讯号，并于该气缸杆到达行程终点时产生第二时点讯号；信号转换器，接收该第一时点讯号及该第二时点讯号；微处理器，接受经过所述信号转换器转换的第一时点讯号、第二时点讯号，由第一时点讯号、第二时点讯号计算出该气缸杆行程所需实际时间；系统停止线路，接收所述微处理器产生的异常讯号。本实用新型气缸控时监测装置，结构简单，能及时地侦测气缸行程作动的时间点并能在异常时自动停机，减少损失。
【专利说明】气缸控时监测装置
【技术领域】
[0001]本实用新型是一种气缸控时监测装置，更确切说是一种应用于半导体设备气缸行程时间的监测装置。
【背景技术】
[0002]半导体设备除了讲究无尘环境以外，各种相关的驱动装置在定位性与作动时间上的准确性也会影响半导体成品的质量，而由于半导体设备的驱动装置大部分采用气缸的线性运动来达成，因此，如果气缸由于不明原因导致暴冲，或者因使用时间长造成性能老化，都会导致气缸的行程产生不稳定的问题，而目前并没有一套能够实时针对气缸行程的不稳定性进行监控的系统，导致一旦发现气缸产生不稳定的动作行程时，往往已经造成许多的不良品,造成生产上的损失,也间接地增加了生产成本。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的是提供一种气缸控时监测装置，解决上述现有技术中的一个或者是多个。
[0004]本实用新型提供一种气缸控时监测装置，用以侦测系统设备内气缸的启动与停止，包括:传感器，感应气缸杆的动作，于该气缸杆行程开始时产生第一时点讯号，并于该气缸杆到达行程终点时产生第二时点讯号；信号转换器，接收该第一时点讯号及该第二时点讯号并转换为特定格式的相对应讯号；微处理器，接受经过信号转换器转换的第一时点讯号、第二时点讯号，由第一时点讯号、第二时点讯号计算出该气缸杆行程所需实际时间，并与预先储存于微处理器内的理论时间进行比较，在实际时间未符合理论时间可容许的误差范围内时产生一异常讯号；系统停止线路，接收微处理器产生的异常讯号后使该系统设备停止动作。
[0005]本实用新型气缸控时监测装置，结构简单，能及时地侦测气缸行程作动的时间点并能在异常时自动停机，减少损失。
[0006]在一些实施方式中，还包括:显示器，电连接微处理器以显示其处理的信息。
[0007]在一些实施方式中，还包括:通信界面，与外部装置进行讯号交换。
[0008]在一些实施方式中,还包括:输入设备，用以输入信号。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型气缸控时监测装置的结构图。
【具体实施方式】
[0010]如图1所示，本实用新型气缸控时监测装置，包括:传感器1、信号转换器2、微处理器3及系统停止线路4，使其用以对应监测半导体用的系统设备内气缸的动作。
[0011]传感器I可以是电磁传感器、光辆合传感器或微动开关传感器等等，但并不限于上述传感器，传感器I感应气缸的气缸杆(图未示)的动作，设置的位置视气缸的配置而定，当气缸杆行程开始时传感器I会产生第一时点讯号，并在气缸杆到达行程终点时则产生第二时点讯号。
[0012]信号转换器2接收第一时点讯号和第二时点讯号，并转换为微处理器3可接受的讯号。
[0013]微处理器3接收经过信号转换器3转换的第一时点讯号喝第二时点讯号，由第一时点讯号和第二时点讯号计算出气缸杆行程所需实际时间，并与预先储存于微处理器3内的理论时间进行比较，如果实际时间符合理论时间或在理论时间所能允许的误差范围内时，微处理器3并不会产生任何讯号，但是在实际时间未符合谈理论时间可容许的误差范围内时，例如实际时间相较于理论时间过短而可能为暴冲情况发生，或是实际时间相较于理论时间过长而可能为故障情况发生时，微处理器3即产生异常讯号。
[0014]系统停止线路4电连接微处理器3，一旦接收到异常讯号后会立即使系统设备实时停止动作，如此即可快速反应以避免系统设备继续产出不良品，并且能够实时进行检修。
[0015]此外，本实用新型气缸控时监测装置还包括:显示器5，如LED或IXD等装置，显示器5电连接微处理器3，能即时显示微处理器3处理的信息及系统状态，让管理人员判断；通信界面6 (如RS-232、USB或ETHERNET等规格界面)，与一外部装置进行讯号交换或进行控制，在本实施例中，外部装置为计算机7，计算机7可以一次连接多个检测装置，并抓取微处理器3处理的资料来进行存储和分析。
[0016]另外，本实用新型气缸控时检测装置还包括有连接微处理器3的输入设备8 (如键盘或者鼠标)，用来对微处理器3的输入控制信号。
[0017]以上所述仅是本实用新型的一种实施方式，应当指出，对于本领域普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干相似的变形和改进，这些也应视为本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种气缸控时监测装置，用以侦测系统设备内气缸的启动与停止，其特征在于，包括:传感器，感应气缸杆的动作，于该气缸杆行程开始时产生第一时点讯号，并于该气缸杆到达行程终点时产生第二时点讯号；信号转换器，接收该第一时点讯号及该第二时点讯号并转换为特定格式的相对应讯号；微处理器，接受经过所述信号转换器转换的第一时点讯号、第二时点讯号，由第一时点讯号、第二时点讯号计算出该气缸杆行程所需实际时间，并与预先储存于所述微处理器内的理论时间进行比较，在实际时间未符合理论时间可容许的误差范围内时产生一异常讯号；系统停止线路，接收所述微处理器产生的异常讯号后使该系统设备停止动作。
2.根据权利要求1所述的气缸控时监测装置，其特征在于，还包括:显示器，电连接所述微处理器以显示其处理的信息。
3.根据权利要求1所述的气缸控时监测装置，其特征在于，还包括:通信界面，与外部装置进行讯号交换。
4.根据权利要求1所述的气缸控时监测装置，其特征在于，还包括:输入设备，用以输入信号。
【文档编号】H01L21/67GK203941890SQ201420300119
【公开日】2014年11月12日 申请日期:2014年6月8日 优先权日:2014年6月8日
【发明者】袁晨雅, 刘潇昱, 王任远, 邓钰千 申请人:袁晨雅, 刘潇昱, 王任远, 邓钰千