栅极全包覆式纳米线场效晶体管装置的制作方法

文档序号:12066058阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种栅极全包覆式纳米线场效晶体管装置,包含有:

半导体基板;

纳米线,位于该半导体基板上;

栅极结构,环绕该纳米线的一中间部位;

源、漏极区域,位于该栅极结构的一侧的该纳米线上;以及

至少一插排面,设于该源、漏极区域内。

2.如权利要求1所述的栅极全包覆式纳米线场效晶体管装置,其中该插排面为一渐缩椎体形插排面。

3.如权利要求1所述的栅极全包覆式纳米线场效晶体管装置,其中该栅极结构包含栅极介电层以及金属栅极。

4.如权利要求1所述的栅极全包覆式纳米线场效晶体管装置,其中另包含间隙壁,位于该栅极结构上。

5.如权利要求1所述的栅极全包覆式纳米线场效晶体管装置,其中该源、漏极区域另包含有外延应力诱发材料。

6.如权利要求5所述的栅极全包覆式纳米线场效晶体管装置,其中该外延应力诱发材料包含有碳化硅、磷化硅、掺杂磷碳化硅或以上组合。

7.如权利要求1所述的栅极全包覆式纳米线场效晶体管装置,其中该纳米线为一硅纳米线。

8.如权利要求1所述的栅极全包覆式纳米线场效晶体管装置,其中该栅极全包覆式纳米线场效晶体管装置为NMOS场效晶体管装置。

9.如权利要求1所述的栅极全包覆式纳米线场效晶体管装置,其中该半导体基板包含硅覆绝缘基板。

10.如权利要求1所述的栅极全包覆式纳米线场效晶体管装置,其中该纳米线位于两连接垫之间。

11.如权利要求1所述的栅极全包覆式纳米线场效晶体管装置,其中该半导体基板包含氧化层,且该纳米线悬于该氧化层上方。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1