技术总结
蚀刻装置(100)包括：蚀刻槽(110)，具有基板搬入口(111)及基板搬出口(112)；搬运装置(120)，从基板搬入口(111)朝向基板搬出口(112)搬运基板(500)；喷嘴(130)，设置在蚀刻槽(110)的内部，向由搬运装置(120)搬运的基板500的背面(510)喷吹反应气体；及气流控制装置(140)，设置在蚀刻槽(110)的内部，抑制从基板搬入口(111)及基板搬出口(112)流入到蚀刻槽(110)的内部的外部气体向基板(500)的背面(510)与喷嘴(130)之间的间隙(131)的流入。
技术研发人员：富永龙;佐藤启史;似内佑辅;深泽宁司;城山厚;中谷嘉孝;若林沙枝
受保护的技术使用者：旭硝子株式会社
文档号码：201580019805
技术研发日：2015.04.15
技术公布日：2016.12.14