1.一种用于将液体分配至基片上的设备，包括：
贮存器，所述贮存器用于储存待分配的所述液体；
过滤器，所述过滤器包括入口和出口，所述过滤器的入口与所述贮存器流体连通；
定量泵，所述定量泵包括入口和出口，所述定量泵的入口与所述贮存器流体连通，所述定量泵被配置成供给一定量的所述液体并且泵送所述液体；
分配喷嘴，所述分配喷嘴与所述定量泵的出口流体连通，所述分配喷嘴被配置成将所述液体分配至所述基片上；以及
再循环泵，所述再循环泵包括入口和出口，所述再循环泵的出口与所述过滤器的入口流体连通，并且所述再循环泵的入口与所述过滤器的出口流体连通，所述再循环泵被配置成使所述液体再循环通过所述过滤器。
2.根据权利要求1所述的设备，其中所述再循环泵是蠕动泵。
3.根据权利要求1所述的设备，还包括设置在所述定量泵与所述分配喷嘴之间的混合系统，所述混合系统包括：
溶剂供应入口，所述溶剂供应入口与溶剂供应流体连通；
处理液供应入口，所述处理液供应入口与所述定量泵的出口流体连通；
混合室，所述混合室与所述溶剂供应入口和所述处理液供应入口流体连通，并且被配置成将溶剂与处理液混合；
出口，所述出口与所述混合室和所述分配喷嘴流体连通，并且被配置成将所混合的溶剂和处理液供应至所述分配喷嘴；
用于所述溶剂供应入口的流量阀；以及
用于所述处理液供应入口的流量阀；
其中所述流量阀被配置成调节进入所述混合室的所述溶剂与所述处理液的比例。
4.一种用于使用设备将液体分配至基片上的方法，所述设备包括：贮存器，所述贮存器用于储存待分配的液体；过滤器，所述过滤器包括入口和出口，所述过滤器的入口与所述贮存器流体连通；定量泵，所述定量泵包括入口和出口，所述定量泵的入口与所述贮存器流体连通；分配喷嘴，所述分配喷嘴与所述定量泵的出口流体连通；以及再循环泵，所述再循环泵包括入口和出口，所述再循环泵的出口与所述过滤器的入口流体连通，并且所述再循环泵的入口与所述过滤器的出口流体连通；所述方法包括：
使用所述再循环泵来使所述液体再循环通过所述过滤器。
5.根据权利要求4所述的方法，其中所述设备还包括混合系统，所述混合系统设置在所述定量泵与所述分配喷嘴之间，并且包括：溶剂供应入口，所述溶剂供应入口与溶剂供应流体连通；处理液供应入口，所述处理液供应入口与所述定量泵的出口流体连通；混合室，所述混合室与所述溶剂供应入口和所述处理液供应入口流体连通，并且被配置成将溶剂与处理液混合；出口，所述出口与所述混合室和所述分配喷嘴流体连通，并且被配置成将所混合的溶剂和处理液供应至所述分配喷嘴；用于所述溶剂供应入口的流量阀；以及用于所述处理液供应入口的流量阀；所述方法还包括：
使用所述流量阀来调节进入所述混合室的所述溶剂和所述处理液的比例。
6.根据权利要求4所述的方法，其中持续地执行再循环所述液体。
7.根据权利要求4所述的方法，其中间隙地停止再循环所述液体。
8.根据权利要求4所述的方法，还包括：
使所述定量泵再装载液体；以及
将所述液体从所述定量泵通过所述分配喷嘴分配至所述基片上。
9.根据权利要求8所述的方法，还包括在再装载所述定量泵时停止所述再循环泵。
10.一种用于将液体分配至基片上的设备，包括：
贮存器，所述贮存器用于储存待分配的所述液体；
过滤器，所述过滤器包括入口和出口，所述过滤器的入口经由第一阀与所述贮存器流体连通；
定量泵，所述定量泵包括入口、第一出口以及第二出口，所述定量泵的入口与所述贮存器流体连通，并且所述定量泵的第二出口经由第二阀与所述过滤器的入口流体连通，所述定量泵被配置成供给一定量的所述液体并且泵送所述液体；以及
分配喷嘴，所述分配喷嘴与所述定量泵的第一出口流体连通，所述分配喷嘴被配置成将所述液体分配至所述基片上；
其中所述定量泵被配置成：
将所述液体通过所述分配喷嘴分配至所述基片上；以及
交替地进行以下操作：使所述液体从所述定量泵经由所述第二阀流动至所述过滤器以过滤所述液体，同时维持所述过滤器的入口处的正压力；以及使所述液体从所述贮存器经由所述过滤器和捕集贮存器流动以再装载所述定量泵，同时过滤所述液体；以及
其中每次分配所述液体多次交替地从所述定量泵和从所述贮存器流动。
11.根据权利要求10所述的设备，其中从所述定量泵流动的所述液体的体积小于或等于所述定量泵的容量。
12.根据权利要求10所述的设备，其中从所述贮存器流动的所述液体的体积小于或等于所述定量泵的容量。
13.根据权利要求10所述的设备，其中设置从所述定量泵流动的所述液体的体积、从所述贮存器流动的所述液体的体积或其组合，以基于使分配循环时间期间施加至所述过滤器的总压力最大化来使每次分配由所述过滤器过滤的液体的量最大化。
14.根据权利要求13所述的设备，还包括：
第一压力传感器，被配置成检测所述过滤器的入口侧的压力；以及
第二压力传感器，被配置成检测所述过滤器的出口侧的压力；
其中，所述总压力基于所述过滤器的入口侧的压力与所述过滤器的出口侧的压力之间的差。
15.根据权利要求10所述的设备，还包括设置在所述定量泵与所述分配喷嘴之间的混合系统，所述混合系统包括：
溶剂供应入口，所述溶剂供应入口与溶剂供应流体连通；
处理液供应入口，所述处理液供应入口与所述定量泵的出口流体连通；
混合室，所述混合室与所述溶剂供应入口和所述处理液供应入口流体连通，并且被配置成将溶剂与处理液混合；
出口，所述出口与所述混合室和所述分配喷嘴流体连通，并且被配置成将所混合的溶剂和处理液供应至所述分配喷嘴；
用于所述溶剂供应入口的流量阀；以及
用于所述处理液供应入口的流量阀；
其中所述流量阀被配置成调节进入所述混合室的所述溶剂与所述处理液的比例。
16.一种用于使用设备将液体分配至基片上的方法，所述设备包括：贮存器，所述贮存器用于储存待分配的所述液体；过滤器，所述过滤器包括入口和出口，所述过滤器的入口经由第一阀与所述贮存器流体连通；定量泵，所述定量泵包括入口、第一出口以及第二出口，所述定量泵的入口与所述贮存器流体连通，并且所述定量泵的第二出口经由第二阀与所述过滤器的入口流体连通；以及分配喷嘴，所述分配喷嘴与所述定量泵的第一出口流体连通；所述方法包括：
将所述液体通过所述分配喷嘴分配至所述基片上；以及
交替进行以下操作：使所述液体从所述定量泵经由所述第二阀流动至所述过滤器以过滤所述液体，同时维持所述过滤器的入口处的正压力；以及使所述液体从所述贮存器经由所述过滤器和捕集贮存器流动以再装载所述定量泵，同时过滤所述液体；
其中每次分配所述液体多次交替地从所述定量泵和从所述贮存器流动。
17.根据权利要求16所述的方法，其中所述设备还包括混合系统，所述混合系统设置在所述定量泵与所述分配喷嘴之间，并且包括：溶剂供应入口，所述溶剂供应入口与溶剂供应流体连通；处理液供应入口，所述处理液供应入口与所述定量泵的出口流体连通；混合室，所述混合室与所述溶剂供应入口和所述处理液供应入口流体连通，并且被配置成将溶剂与处理液混合；出口，所述出口与所述混合室和所述分配喷嘴流体连通，并且被配置成将所混合的溶剂和处理液供应至所述分配喷嘴；用于所述溶剂供应入口的流量阀；以及用于所述处理液供应入口的流量阀；所述方法还包括：
使用所述流量阀来调节进入所述混合室的所述溶剂和所述处理液的比例。
18.根据权利要求16所述的方法，其中从所述定量泵流动的所述液体的体积小于或等于所述定量泵的容量。
19.根据权利要求16所述的方法，其中从所述贮存器流动的所述液体的体积小于或等于所述定量泵的容量。
20.根据权利要求16所述的方法，还包括设置从所述定量泵流动的所述液体的体积、从所述贮存器流动的所述液体的体积或其组合，以基于使分配循环时间期间施加至所述过滤器的总压力最大化来使每次分配由所述过滤器过滤的液体的量最大化。
21.根据权利要求20所述的方法，还包括基于所述过滤器的入口侧的压力与所述过滤器的出口侧的压力之间的差来检测总压力。
22.一种用于将液体分配至基片上的设备，包括：
贮存器，所述贮存器用于储存待分配的所述液体；
定量泵，所述定量泵包括入口和出口，所述定量泵的入口与所述贮存器流体连通，所述定量泵被配置成供给一定量的所述液体并且泵送所述液体；
分配喷嘴，所述分配喷嘴与所述定量泵的出口流体连通，所述分配喷嘴被配置成将所述液体分配至所述基片上；以及
再循环回路，所述再循环回路包括：
与所述贮存器流体连通的入口；
与所述贮存器流体连通的出口；
再循环泵；以及
过滤器；
其中所述再循环泵和所述过滤器被配置成连续地过滤所述贮存器中的所述液体。
23.一种用于使用设备将液体分配至基片上的方法，所述设备包括：贮存器，所述贮存器用于储存待分配的所述液体；定量泵，所述定量泵包括入口和出口，所述定量泵的入口与所述贮存器流体连通，所述定量泵被配置成供给一定量的所述液体并且泵送所述液体；分配喷嘴，所述分配喷嘴与所述定量泵的出口流体连通，所述分配喷嘴被配置成将所述液体分配至所述基片上；以及再循环回路，所述再循环回路包括与所述贮存器流体连通的入口、与所述贮存器流体连通的出口、再循环泵以及过滤器；所述方法包括：
使用所述再循环泵和所述过滤器来连续地过滤所述贮存器中的所述液体。
24.根据权利要求23所述的方法，还包括：
使所述定量泵再装载液体；以及
将所述液体从所述定量泵通过所述分配喷嘴分配至所述基片上。
25.一种用于将液体分配至基片上的设备，包括：
贮存器，所述贮存器用于储存待分配的所述液体；
过滤器，所述过滤器包括入口和出口，所述过滤器的入口与所述贮存器流体连通；
液空LE贮存器，所述LE贮存器包括入口、第一出口、第二出口以及排放端口，所述LE贮存器的入口经由第一阀与所述过滤器的出口流体连通，所述排放端口包括用于对于压力选择性地打开所述LE贮存器的第二阀，并且所述第二出口经由第三阀与所述贮存器流体流通；
定量泵，所述定量泵包括入口、第一泵出口以及第二泵出口，所述泵的入口与所述LE贮存器的第一出口流体连通，并且所述第二泵的出口经由第四阀与所述过滤器的入口流体连通，所述定量泵被配置成供给一定量的所述液体并且泵送所述液体；以及
分配喷嘴，所述分配喷嘴与所述第一泵出口流体连通，所述分配喷嘴被配置成将所述液体分配至所述基片上。
26.根据权利要求25所述的设备，其中所述压力基本上等于大气压力。
27.根据权利要求25所述的设备，还包括设置在所述定量泵与所述分配喷嘴之间的混合系统，所述混合系统包括：
溶剂供应入口，所述溶剂供应入口与溶剂供应流体连通；
处理液供应入口，所述处理液供应入口与所述定量泵的出口流体连通；
混合室，所述混合室与所述溶剂供应入口和所述处理液供应入口流体连通，并且被配置成将溶剂和处理液混合；
出口，所述出口与所述混合室和所述分配喷嘴流体流通，并且被配置成将所混合的溶剂和处理液供应至所述分配喷嘴；
用于所述溶剂供应入口的流量阀；以及
用于所述处理液供应入口的流量阀；
其中所述流量阀被配置成调节进入所述混合室的所述溶剂和所述处理液的比例。
28.根据权利要求27所述的设备，其中对所述压力选择性地打开所述LE贮存器使得来自所述LE贮存器的液体流动至所述定量泵并且再装载所述定量泵。
29.一种用于使用设备将液体分配至基片上的方法，所述设备包括：贮存器，所述贮存器用于储存待分配的所述液体；过滤器，所述过滤器包括入口和出口，所述过滤器的入口与所述贮存器流体连通；液空LE贮存器，所述LE贮存器包括入口、第一出口、第二出口以及排放端口，所述LE贮存器的入口经由第一阀与所述过滤器的出口流体连通，所述排放端口包括用于对于压力选择性地打开所述LE贮存器的第二阀，并且所述第二出口经由第三阀与所述贮存器流体连通；定量泵，所述定量泵包括入口、第一泵出口以及第二泵出口，所述泵的入口与所述LE贮存器的第一出口流体连通，并且所述第二泵出口经由第四阀与所述过滤器的入口流体连通；以及分配喷嘴，所述分配喷嘴与所述第一泵出口流体连通；所述方法包括：
在维持所述过滤器的入口处的正压力的同时，通过使来自所述贮存器的液体流动通过所述过滤器和所述第一阀而使所述LE贮存器填充液体；
在维持所述过滤器的入口处的正压力的同时，使来自所述定量泵的所述液体经由所述第四阀通过所述过滤器、所述第一阀、所述LE贮存器以及所述第三阀而流动至所述贮存器，以过滤所述液体；
打开所述第二阀以使所述LE贮存器中的液体暴露于压力，并且使来自所述LE贮存器的所述液体流动至所述定量泵以再装载所述定量泵；以及
将所述液体从所述定量泵通过所述分配喷嘴分配至所述基片上。
30.根据权利要求29所述的方法，其中所述设备还包括混合系统，所述混合系统设置在所述定量泵与所述分配喷嘴之间，并且包括：溶剂供应入口，所述溶剂供应入口与溶剂供应流体连通；处理液供应入口，所述处理液供应入口与所述定量泵的出口流体连通；混合室，所述混合室与所述溶剂供应入口和所述处理液供应入口流体连通，并且被配置成将溶剂与处理液混合；出口，所述出口与所述混合室和所述分配喷嘴流体连通，并且被配置成将所混合的溶剂和处理液供应至所述分配喷嘴；用于所述溶剂供应入口的流量阀；以及用于所述处理液供应入口的流量阀；所述方法还包括：
使用所述流量阀来调节进入所述混合室的所述溶剂和所述处理液的比例。
31.根据权利要求29所述的方法，还包括通过使来自所述贮存器的所述液体流动通过所述过滤器、所述第一阀以及所述LE贮存器而使所述定量泵再装载所述液体。
32.一种用于供应液体的设备，包括：
主贮存器，用于储存所述液体；
第一液空LE贮存器，所述第一LE贮存器与所述主贮存器流体连通；
过滤器，所述过滤器与所述第一LE贮存器流体连通；
第二LE贮存器，所述第二LE贮存器与所述过滤器流体连通；以及
驱动系统，所述驱动系统耦接至所述第一LE贮存器和所述第二LE贮存器，并且被配置成使所述第一LE贮存器和所述第二LE贮存器交替地填充来自所述主贮存器的所述液体，其中所述第一LE贮存器和所述第二LE贮存器的交替填充使得所述液体被所述过滤器过滤。
33.根据权利要求32所述的设备，其中所述驱动系统包括氮气源，所述氮气源经由第一阀耦接至所述第一LE贮存器，并且经由第二阀耦接至所述第二LE贮存器。
34.根据权利要求32所述的设备，还包括：
定量泵，所述定量泵被配置成供给一定量的所述液体并且泵送所述液体；以及
分配喷嘴，所述分配喷嘴与所述定量泵流体连通，所述分配喷嘴被配置成将所述液体分配至基片上。
35.根据权利要求32所述的设备，还包括设置在所述定量泵与所述分配喷嘴之间的混合系统，所述混合系统包括：
溶剂供应入口，所述溶剂供应入口与溶剂供应流体连通；
处理液供应入口，所述处理液供应入口与所述定量泵流体连通；
混合室，所述混合室与所述溶剂供应入口和所述处理液供应入口流体连通，并且被配置成将溶剂和处理液混合；
出口，所述出口与所述混合室和所述分配喷嘴流体连通，并且被配置成将所混合的溶剂和处理液供应至所述分配喷嘴；
用于所述溶剂供应入口的流量阀；以及
用于所述处理液供应入口的流量阀；
其中所述流量阀被配置成调节进入所述混合室的所述溶剂和所述处理液的比例。
36.一种用于使用设备来供应液体的方法，所述设备包括：主贮存器，用于储存所述液体；第一液空LE贮存器，所述第一LE贮存器与所述主贮存器流体连通；过滤器，所述过滤器与所述第一LE贮存器流体连通；第二LE贮存器，所述第二LE贮存器与所述过滤器流体连通；以及驱动系统，所述驱动系统耦接至所述第一LE贮存器和所述第二LE贮存器；所述方法包括：
使用所述驱动系统来使所述第一LE贮存器和所述第二LE贮存器交替地填充来自所述主贮存器的所述液体，其中所述第一LE贮存器和所述第二LE贮存器的交替填充使得所述液体被所述过滤器过滤。
37.根据权利要求36所述的方法，其中所述设备还包括定量泵和分配喷嘴，所述方法还包括：
使用所述定量泵供给一定量的所述液体并且泵送所述液体；以及
使用所述分配喷嘴将所述液体分配至基片上。
38.根据权利要求36所述的方法，其中所述设备还包括混合系统，所述混合系统设置在所述定量泵与所述分配喷嘴之间，并且包括：溶剂供应入口，所述溶剂供应入口与溶剂供应流体连通；处理液供应入口，所述处理液供应入口与所述定量泵的出口流体连通；混合室，所述混合室与所述溶剂供应入口和所述处理液供应入口流体连通，并且被配置成将溶剂与处理液混合；出口，所述出口与所述混合室和所述分配喷嘴流体连通，并且被配置成将所混合的溶剂和处理液供应至所述分配喷嘴；用于所述溶剂供应入口的流量阀；以及用于所述处理液供应入口的流量阀；所述方法还包括：
使用所述流量阀来调节进入所述混合室的所述溶剂和所述处理液的比例。