技术总结
一种用于将液体分配至基片上的设备可以包括：贮存器，所述贮存器用于储存待分配的液体；过滤器，所述过滤器包括入口和出口，过滤器的入口经由第一阀与贮存器流体连通；定量泵，所述定量泵包括入口、第一出口、以及第二出口，定量泵的入口与贮存器流体连通，并且定量泵的第二出口经由第二阀与过滤器的入口流体连通，定量泵被配置成供给一定量的液体并且泵送液体；以及分配喷嘴，所述分配喷嘴与定量泵的第一出口流体连通，分配喷嘴被配置成将液体分配至基片上。
技术研发人员：迈克尔·A·卡尔卡西;华莱士·P·普林茨;乔舒亚·S·霍格
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
文档号码：201580025296
技术研发日：2015.05.14
技术公布日：2017.02.22