微纳光纤表面制备的超导纳米线单光子探测器的制作方法

文档序号:11869990阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种微纳光纤表面制备的超导纳米线单光子探测器,其特征在于,所述微纳光纤表面制备的超导纳米线单光子探测器包括:微纳光纤及超导纳米线;其中,

所述超导纳米线位于所述微纳光纤表面,且所述超导纳米线的长度方向与所述微纳光纤的长度方向一致。

2.根据权利要求1所述的微纳光纤表面制备的超导纳米线单光子探测器,其特征在于:所述微纳光纤由单模光纤拉制而成,所述微纳光纤的材料为SiO2

3.根据权利要求1所述的微纳光纤表面制备的超导纳米线单光子探测器,其特征在于:所述微纳光纤的形状为圆柱形或圆锥形,所述微纳光纤端面的直径为0.1微米~3微米。

4.根据权利要求1所述的微纳光纤表面制备的超导纳米线单光子探测器,其特征在于:所述超导纳米线为直线或折线。

5.根据权利要求1所述的微纳光纤表面制备的超导纳米线单光子探测器,其特征在于:所述超导纳米线的材料包括:NbN、Nb、TaN、MoSi、MoGe、NbTiN或WSi。

6.根据权利要求1所述的微纳光纤表面制备的超导纳米线单光子探测器,其特征在于:所述超导纳米线的长度为10微米~500微米,宽度为20纳米~300纳米,厚度为3纳米~20纳米。

7.根据权利要求1所述的微纳光纤表面制备的超导纳米线单光子探测器,其特征在于:所述超导纳米线的根数为1根~20根。

8.根据权利要求1所述的微纳光纤表面制备的超导纳米线单光子探测器,其特征在于:所述超导纳米线的根数为2根或多根时,两个或多根所述超导纳米线平行间隔分布于所述微纳光纤的表面,且依次串接。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的微纳光纤表面制备的超导纳米线单光子探测器,其特征在于:还包括衬底,所述衬底的折射率小于所述微纳光纤的折射率;表面形成有所述超导纳米线的所述微纳光纤位于所述衬底的表面。

10.根据权利要求9所述的微纳光纤表面制备的超导纳米线单光子探测器,其特征在于:所述衬底的材料为MgF2

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