微纳光纤表面制备的超导纳米线单光子探测器的制作方法

文档序号:11869990阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供一种微纳光纤表面制备的超导纳米线单光子探测器,包括:微纳光纤及超导纳米线;所述超导纳米线位于所述微纳光纤表面,且所述超导纳米线的长度方向与所述微纳光纤的长度方向一致。本发明将超导纳米线形成于所述微纳光纤表面,利用微纳光纤在微纳尺度的光传输、耦合特性,可以实现微纳光纤与超导纳米线的直接高效光耦合,提高了超导纳米线单光子探测器的光耦合效率;超导纳米线的有效面积与传统器件相比不受光纤端面尺寸限制,可以减小超导纳米线的长度,从而有效降低超导纳米线单光子探测器的动态电感,进而提高超导纳米线单光子探测器的速率;超导纳米线直接形成于所述微纳光纤的表面,提高了超导纳米线单光子探测器长期工作的稳定性。

技术研发人员:尤立星;巫君杰;李浩;王镇;方伟;童利民
受保护的技术使用者:中国科学院上海微系统与信息技术研究所;浙江大学
文档号码:201610565762
技术研发日:2016.07.18
技术公布日:2016.11.16

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