1.一种等离子体刻蚀炉，其特征在于，包括圆柱状的炉体(1)；所述炉体(1)的一端的上侧开放有气体进入通道(3)；所述炉体(1)下侧开放有真空排气通道(2)；所述炉体(1)中固定有晶圆放置台(4)；所述晶圆放置台(4)为倾斜状，由炉体(1)的气体进入通道(3)一端到炉体(1)的另一端，晶圆放置台(4)的位置越来越高；晶圆(5)放置于晶圆放置台(4)之上；晶圆(5)垂直于晶圆放置台(4)的上表面，且面向圆柱状炉体(1)的地面；炉体(1)周围包围有两个相对的弧状射频电极(6)；射频发生器(7)连接于其中一个射频电极(6)之上。