技术总结
本实用新型公开了一种用于链式刻蚀机的刻蚀减薄量监控装置，包括至少1组用于检测刻蚀前硅片厚度的前激光探头组、至少1组用于检测刻蚀后硅片厚度的后激光探头组、控制系统和报警机构；所述前激光探头组或后激光探头组均包括上探头和下探头；所述前激光探头组和后激光探头组的输出信号传输至控制系统；所述报警机构由控制系统控制连接。本实用新型实现了实时自动监控蚀刻减薄量，当监控装置测定的刻蚀减薄量的数值超出标准范围之外时，控制系统控制报警机构进行报警，表明刻蚀工艺活设备出现了问题，实现了自动化监控和反馈，减少返工率、减少损失，降低了制造成本，具有积极的现实意义。
技术研发人员：周军;党继东;刘东续
受保护的技术使用者：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
文档号码：201621081621
技术研发日：2016.09.27
技术公布日：2017.03.22