一种特种晶圆片定位装置的制作方法

技术总结
本实用新型提出一种特种晶圆片定位装置，包括：旋转台；真空吸盘，设置于所述旋转台上方，用于承载所述特种晶圆片；反射式传感系统，设置于所述特种晶圆片上方。本实用新型提出一种特种晶圆片定位装置，能够对蓝宝石或碳化硅晶圆片进行精准定位。

技术研发人员：张霖;张泳
受保护的技术使用者：上海精典电子有限公司
文档号码：201621390644
技术研发日：2016.12.16
技术公布日：2017.07.11