一种半导体封装结构及封装方法与流程

文档序号:12725055阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体封装结构,其特征在于,包括金属座(1)和固定于所述金属座(1)上的芯片(2),所述芯片(2)的表面覆盖有绝缘保护膜(3),所述芯片(2)的表面还设置有金属凸起(4),所述金属凸起(4)与所述芯片(2)电连接且穿出所述绝缘保护膜(3)。

2.如权利要求1所述的半导体封装结构,其特征在于,所述半导体封装结构为二极管封装结构或三极管封装结构,所述金属座(1)上也设置有金属凸起(4),且所述金属座(1)上的所述金属凸起(4)与所述芯片(2)上的所述金属凸起(4)的顶端持平。

3.如权利要求2所述的半导体封装结构,其特征在于,所述金属座(1)上的所述金属凸起(4)由溅镀或3D打印形成。

4.如权利要求1-3任一项所述的半导体封装结构,其特征在于,所述绝缘保护膜(3)从所述芯片(2)的表面延伸并覆盖所述金属座(1)的表面。

5.如权利要求1-3任一项所述的半导体封装结构,其特征在于,所述绝缘保护膜(3)通过涂覆非固体材料后固化的方式形成,或所述绝缘保护膜(3)由固体软膜直接贴覆形成。

6.如权利要求5所述的半导体封装结构,其特征在于,当所述绝缘保护膜(3)通过涂覆非固体材料后固化的方式形成时,涂覆的材料为绿漆或液态环氧树脂。

7.如权利要求6所述的半导体封装结构,其特征在于,所述绝缘保护膜(3)由绿漆涂覆形成时,所述绿漆在所述金属凸起(4)对应的位置遮蔽后曝光固化,再将遮蔽区域蚀刻形成孔。

8.如权利要求1-3任一项所述的半导体封装结构,其特征在于,所述芯片(2)上的所述金属凸起(4)由锡膏印刷形成或设置锡球形成。

9.如权利要求1-3任一项所述的半导体封装结构,其特征在于,在所述芯片(2)上覆盖所述绝缘保护膜(3)后,在所述金属凸起(4)对应的位置激光打孔。

10.一种半导体的封装方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1:将芯片(2)固定于金属座(1)上;

S2:在所述芯片(2)和所述金属座(1)的表面覆盖绝缘保护膜(3);

S3:在所述绝缘保护膜(3)的预定区域打孔;

S4:在孔内的芯片(2)上设置金属凸起(4)。

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