一种柔性显示器件及其制备方法与流程

技术特征：

1.一种柔性显示器件，包括衬底、设置在衬底上的阳极层、以及，在所述阳极层上从下至上设置的空穴注入层、空穴传输层、有机发光层、电子传输层、电子注入层、阴极层和封装层，其特征在于，

所述阳极层包括设置于所述衬底上的第三金属层，以及，上下层叠设置于所述第三金属层上的第一金属层、第二金属层；所述第一金属层、第三金属层的功函数大于所述第二金属层；所述第一金属层和/或第三金属层的功函数不小于4.5eV。

2.根据权利要求1所述柔性显示器件，其特征在于，所述第二金属层的功函数与所述第一金属层和/或第三金属层的功函数之间的差值为0.2～0.7eV。

3.根据权利要求2所述柔性显示器件，其特征在于，所述第一金属层和/或所述第三金属层的厚度为3～25nm，所述第二金属层的厚度为6～50nm。

4.根据权利要求2所述柔性显示器件，其特征在于，所述第一金属层和/或所述第三金属层的材质为Ni；所述第二金属层的材质为Ag。

5.一种柔性显示器件的制备方法，包括如下步骤：

通过真空热蒸镀方法在衬底上形成第三金属层；

通过涂布工艺在所述第三金属层上形成第二金属层，真空烘烤工艺和坚膜工艺对所述第二金属层进行干燥和固化处理；

通过真空热蒸镀方法在第二金属层上形成第一金属层；其中，所述第一金属层、第三金属层的功函数大于所述第二金属层；所述第一金属层和/或第三金属层的功函数不小于4.5eV；

通过等离子体方法对所述第一金属层进行表面除杂处理；

依次通过光刻、固化工艺，以及曝光和显影工艺在所述第一金属层上形成所述柔性显示器件的阳极层的图案；

清洗残余的光刻胶，暴露并使所述阳极层干燥；

在所述阳极层上通过真空热蒸镀的方法依次形成空穴注入层、空穴传输层、有机发光层、电子传输层、电子注入层、阴极层以及封装层。

6.根据权利要求5所述柔性显示器件的制备方法，其特征在于，所述第二金属层的功函数与所述第一金属层和/或第三金属层的功函数之间的差值为0.2～0.7eV。

7.根据权利要求5所述柔性显示器件的制备方法，其特征在于，控制所述热蒸镀速度为

8.根据权利要求5或6或7任一项所述柔性显示器件的制备方法，其特征在于，所述第一金属层和/或所述第三金属层的厚度为3～25nm，所述第二金属层的厚度为6～50nm。

9.根据权利要求5或6或7任一项所述柔性显示器件的制备方法，其特征在于，所述第一金属层和/或所述第三金属层的材质为Ni；所述第二金属层的材质为Ag。