技术特征：
技术总结
本发明提供一种基板翻转装置及其脱离基板的方法。该基板翻转装置的本体靠近基板移动装置的一侧设有与多个吸附端一一对应的测距装置，在将基板从基板翻转装置上脱离时，通过多个测距装置测量对应吸附端与基板之间的实际距离，在吸附端与基板之间的实际距离小于一预设距离时降低该吸附端对基板的吸附力，从而保证每一吸附端均与基板完全脱离开，进而避免基板移动装置远离本体移动带动基板与本体分离时，由于吸附端与基板未完全脱离导致基板产生形变，有效地提升了产品的良率及品质。
技术研发人员：陈建超
受保护的技术使用者：深圳市华星光电技术有限公司
技术研发日：2017.05.08
技术公布日：2017.09.22