可调节高度的扫描电镜样品台的制作方法

本实用新型涉及一种可调节高度的扫描电镜样品台,属于扫描电镜耗材领域。

背景技术：

扫描电子显微镜简称扫描电镜，是一种利用电子束轰击样品，收集样品表面信号从而成像的电子光学仪器。由于其具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像分辨率高、景深大等特点，现已经被广泛地应用于材料、化学、生物、微电子等多领域的研究和工业生产。

在扫描电镜测试过程中，在形貌分析时，要求电子束与观察的表面垂直，目前商用的扫描电镜样品台功能单一，样品的高度无法调节，对样品的形状和厚度有限制，测试效率低，极大的限制了材料微观表征的效果。

技术实现要素：

本实用新型的目的是针对以上不足之处，提供了一种可调节高度的扫描电镜样品台。

本实用新型解决技术问题所采用的方案是，一种可调节高度的扫描电镜样品台，包括外壳、底座、若干载物台、若干侧方螺钉、若干底部螺钉，所述底座设置在外壳下方并与外壳相连接以支撑外壳，所述外壳内设设置有放置槽，所述放置槽内间隔设置有若干载物台，所述放置槽底部设置有若干螺孔A，所述外壳前后侧壁设置有若干螺孔B，所述底部螺钉一端贯穿螺孔A并与载物台相连接，底部螺钉与螺孔A螺纹连接，载物台能经底部螺钉带动相对放置槽上下升降，所述侧方螺钉一端贯穿螺孔B并伸入放置槽内并位于载物台正上方，侧方螺钉与螺孔B螺纹连接。

进一步的，所述载物台包括载物板，载物板底面中部设置有底柱，底部螺钉上端与底柱转动连接。

进一步的，所述底柱内设置有圆孔，底部螺钉上端伸入圆孔内。

进一步的，所述载物台前后侧面与槽体前后侧壁之间的缝隙不超过0.5mm。

进一步的，所述外壳内对称设置有两个放置槽，位于外壳前侧的侧方螺钉伸入前侧的放置槽内，位于外壳后侧的侧方螺钉伸入后侧的放置槽内。

进一步的，每个放置槽内间隔设置5个载物台。

进一步的，所述载物台上涂覆有导电胶。

进一步的，所述外壳、底座、载物台均为铝合金材质。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：结构简单，设计合理，操作方便，可放置规则长方体、不规则块状体和薄片状样品，通用性高，一次性最多可放多个样品，避免了频繁的放真空、装样、抽真空等操作，提高了扫描测试的速率，既提高了扫描质量又提升了扫描效率。

附图说明

下面结合附图对本实用新型专利进一步说明。

图1为该实用新型的结构示意图一；

图2为该实用新型的结构示意图二；

图3为该实用新型的结构示意图三。

图中：

1-外壳；2-底座；3-载物台；4-侧方螺钉；5-底部螺钉；6-放置槽。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明。

如图1-3所示，一种可调节高度的扫描电镜样品台，包括外壳1、底座2、若干载物台3、若干侧方螺钉4、若干底部螺钉5，所述底座2设置在外壳1下方并与外壳1相连接以支撑外壳1，所述外壳1内设设置有放置槽6，所述放置槽6内间隔设置有若干载物台3，所述放置槽6底部设置有若干螺孔A，所述外壳1前后侧壁设置有若干螺孔B，所述底部螺钉5一端贯穿螺孔A并与载物台3相连接，底部螺钉5与螺孔A螺纹连接，载物台3能经底部螺钉5带动相对放置槽6上下升降，所述侧方螺钉4一端贯穿螺孔B并伸入放置槽6内并位于载物台3正上方，侧方螺钉4与螺孔B螺纹连接，使用时先将样品放置在载物台3上表面，调整各个底部螺钉5使格载物台3是的样品上表面齐平，最后通过侧方螺钉4将样品固定在放置槽6内，由于载物台3上的样品可通过侧方螺钉4固定，此装置可以替代导电胶的使用，还可通过底部螺钉5控制载物台3的高度，保证整个样品台上的所有样品高度基本一致。

在本实施例中，所述载物台3包括载物板，载物板底面中部设置有底柱，底部螺钉5上端与底柱转动连接。

在本实施例中，所述底柱内设置有圆孔，底部螺钉5上端伸入圆孔内。

在本实施例中，所述载物台3前后侧面与槽体前后侧壁之间的缝隙不超过0.5mm。

在本实施例中，所述外壳1内对称设置有两个放置槽6，位于外壳1前侧的侧方螺钉4伸入前侧的放置槽6内，位于外壳1后侧的侧方螺钉4伸入后侧的放置槽6内。

在本实施例中，每个放置槽6内间隔设置5个载物台3，使用时可批量实验，简单易操作。

在本实施例中，所述载物台3上涂覆有导电胶。

在本实施例中，根据需要可以选择使用导电胶或是通过侧方螺钉4固定，扫描时不会出现样品晃动的现象，有效地提高了扫描测试质量

在本实施例中，所述外壳1、底座2、载物台3均为铝合金材质，极大地减轻了样品台本身的质量，且在扫描电镜下导电性良好，使用起来更加轻松，且铝合金耐磨，延长了样品台的使用寿命。

在本实施例中，可以通过直接手旋底部螺钉5来调整物体上表面的高度，调整方式简单，达到减少扫描测试误差的效果。

本实用新型可适用于规则长方体、不规则块状体和薄片状样品，以常见的AZ31镁合金为例：

对于规则长方体样品，进行电镜扫描时，将样品放置在载物台3上，手旋底部螺钉5调整样品高度，之后通过旋动侧方螺钉4将物体夹紧即可（或通过导电胶将样品直接粘在载物台3上，通过手旋底部螺钉5来调整样品高度）。

对于不规则块状体样品，将样品用导电胶粘在载物台3上，通过手旋底部螺钉5来调整样品高度。

对于薄片状样品，若要扫描其表面，则直接将样品通过导电胶粘在载物台3上，手旋底部螺钉5调整高度，以致待测面水平高度高于外壳1表面，即可进行扫描；若要扫描其断面，则直接将样品紧贴外壳1上的放置槽6的内壁放置，用侧方螺钉4旋紧，即可进行扫描。

当要进行多个样品批量扫描时，在装置样品前手旋松动其中一个底部螺顶，将载物台3上提至适当高度，再旋紧侧方螺钉4，其他样品装样时，以第一个样品为水平高度标准，通过旋动对应的底部螺顶使所有样品待测面高度齐平。

特别地，此样品台在使用时，具有以下优点：①实现了多个样品批量扫描；②实现了样品高度的可控性；③减少了导电胶的使用；④可适应于多种形状的样品。此样品台结构简单，具有通用性，既提高了扫描质量又提升了扫描效率。

上列较佳实施例，对本实用新型的目的、技术方案和优点进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。