本发明，是关于把持圆板状的基板的缘部的基板把持手、及具备该基板把持手的基板搬送装置。
背景技术：
以往，已知基板搬送装置，具备手部，把持半导体组件的基板的材料即半导体基板的缘部；机械臂，装设有此手部。在此种基板搬送装置中，以将基板以垂直姿势搬送的方式构成者，已在例如专利文献1提案。在此，所谓“垂直姿势”，是指基板的主面朝向大致水平（即，基板的主面为垂直）的姿势。
在专利文献1中，揭示了具备夹头手的基板搬送装置，该夹头手可进行垂直姿势的基板的取出及供给，和水平姿势的基板的取出及供给。此夹头手具备平板构件、可与基板的缘部卡合的至少一个固定卡合构件、至少一个可动卡合构件、至少一个辅助卡合构件。可动卡合构件及辅助卡合构件，可朝向基板的中心进行往返移动，且藉由各自独立的驱动部动作。此外，辅助卡合构件，在与可动卡合构件的与基板的卡合位置接近的位置与该基板卡合。
在以上述构成的夹头手将垂直姿势的基板从该基板放置的沟槽取出的场合，首先，以可动卡合构件位于基板的下部的方式控制夹头手的姿势，且夹头手移动至与基板对应的位置。在此，可动卡合构件的沟槽与基板的缘部并不见得没有误差地正对，针对上述问题，首先，使固定卡合构件与基板卡合，在此状态下藉由使辅助卡合构件进行往动而与基板卡合，以辅助卡合构件及固定卡合构件将基板辅助地把持。其后，藉由使可动卡合构件进行往动，以可动卡合构件及固定卡合构件将基板把持。如上述，即使在基板放置的沟槽与可动卡合构件的沟槽之间有位置误差，藉由辅助卡合构件介于这些沟槽之间，不会对基板给予局部的应变，可在这些沟槽之间进行基板的授受。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2002-141405号公报。
技术实现要素：
发明要解决的问题
在上述专利文献1记载的基板搬送装置中，可动卡合构件与辅助卡合构件独立动作，故具备各自独立的驱动部。因此，需要针对各驱动部以在适切的时机动作的方式进行复杂的控制，此外，对各驱动部需要能源的供给。在上述各点中，专利文献1记载的基板搬送装置尚有改善的余地。
解决问题的手段：
本发明的一形态的基板把持手是一种把持圆板状的基板的基板把持手，其特征在于：
具备：
基座板，规定有从基端侧往梢端侧延伸的中心线、基板的中心位于该中心线上的把持位置；
设置于前述基座板的前述梢端侧的至少一个固定爪，可与位于前述把持位置的前述基板的边缘卡合；
可动爪，具有可对位于前述把持位置的前述基板的边缘作用的作用部，且在比前述把持位置更靠近前述基端侧处在前述中心线上往返移动；
推动器，具有可对比垂直姿势的前述基板的中心更下方的边缘作用的作用部，且在比前述把持位置更靠近前述基端侧处与前述中心线平行地往返移动；
致动器，使前述可动爪及前述推动器一体地往返移动，
以藉由朝向前述梢端侧进行往动的前述推动器对垂直姿势的前述基板作用而前述基板抬高至前述把持位置后，藉由进行往动的前述可动爪对前述基板作用而藉由前述可动爪及前述固定爪的协动把持前述基板的方式，前述推动器的作用部位于比前述可动爪的作用部更靠近前述梢端侧处。
此外，本发明的一形态的基板搬送装置具备：
上述的基板把持手；和
在指尖部装设有前述基板把持手的机械臂。
上述基板把持手及基板搬送装置中，在将以垂直姿势放置在纵置沟槽的基板从该沟槽取出时，首先，推动器对基板作用，抬高至被基板限制于把持爪为止（亦即，至把持位置的高度为止）。接着，可动爪对如上述移动至把持位置的基板作用，藉由可动爪与固定爪的协动把持基板。因此，即使在放置在纵置沟槽的基板与规定于基板把持手的把持位置之间有垂直方向及/或水平方向的位置误差，亦藉由推动器的作用而消除该位置误差，故对基板作用的可动爪可往基板的中心使按压力发生。藉此，不会使基板产生局部的应变或扭曲，可将以垂直姿势放置在纵置沟槽的基板从该沟槽顺利地取出。
此外，由于可动爪与推动器一体地动作，故可动爪与推动器对基板作用的时机预先设定，可动爪与推动器的动作的控制变单纯。另外，由于可动爪与推动器以一个致动器驱动，故与可动爪与推动器各自具备致动器的场合比较，可减少致动器的初始成本或消耗能源。另外，藉由减少基板把持手的构成要素，可将基板把持手或基板搬送装置小型化。
发明效果
根据本发明，与以往的基板把持手及基板搬送装置比较，针对控制的单纯化、及能源的减少，可有所改善。
附图说明
图1是显示本发明的一实施形态的基板搬送装置的概略构成的基板搬送装置的侧视图；
图2是显示基板搬送装置的控制构成的框图；
图3是显示基板横置容器与基板纵置容器的一例的图；
图4是基板把持手的俯视图；
图5是基板把持手的侧视图；
图6是图4的vi-vi剖面图；
图7是图4的vii-vii剖面图；
图8是可动爪的剖面图；
图9是变形例的可动爪的剖面图；
图10是推动器的俯视图；
图11是显示位于垂直姿势的基板的取出开始位置的基板把持手的状态的侧视图；
图12是显示把持了垂直姿势的基板的基板把持手的状态的侧视图；
图13是具备变形例的固定爪的基板把持手的俯视图；
图14是具备变形例的支持爪的基板把持手的俯视图。
具体实施方式
接着，参照附图说明本发明的实施形态。图1是显示本发明的一实施形态的基板搬送装置1的概略构成的图。图2是显示基板搬送装置1的控制构成的框图。此外，图3是显示基板横置容器2与基板纵置容器3的一例的图，是显示平面地观看这些基板横置容器2与基板纵置容器3的图。本实施形态的基板搬送装置1，是在基板横置容器2内的横置沟槽22与基板纵置容器3的纵置沟槽32之间，将圆板状的基板10移送的装置。
〔基板横置容器2与基板纵置容器3〕
如图3所示，基板横置容器2与基板纵置容器3，是以将多个基板10一起搬送或保管或加工为目的的载体。另外，在本发明中，基板10，是例如作为半导体基板及玻璃基板等半导体组件的基板材料的圆形薄板。作为半导体基板，有例如硅基板、蓝宝石（单结晶氧化铝）基板、其他各种基板等。作为玻璃基板，有例如fpd（flatpaneldisplay，平板显示器）用玻璃基板、mems（microelectromechanicalsystem，微电机系统）用玻璃基板等。此外，在对保存在基板横置容器2或基板纵置容器3的多个基板10进行的加工中，有热处理、不纯物导入处理、薄膜形成处理、微影处理、洗净处理、及平坦化处理等各种过程处理等。
基板横置容器2，具备箱状的壳体21，前方开放；可开闭的门（未图示），设在壳体21的前方。在基板横置容器2的内部，设有在上下方向以等间隔（例如，5～15mm间隔）排列的多段的横置沟槽22。藉由多段的横置沟槽22，形成用来将基板10以水平姿势（即主面大致水平的姿势）保持的横置架。
基板纵置容器3，具备箱状的壳体31，前方开放；可开闭的门（未图示），设在壳体31的前方。在基板纵置容器3的内部，设有在大致水平方向以大致等间隔（例如，5～15mm间隔）排列的多列的纵置沟槽32。藉由多列的纵置沟槽32，形成用来将基板10以垂直姿势（即主面大致垂直的姿势）保持的纵置架。
〔基板搬送装置1〕
如图1及图2所示，基板搬送装置1，具备机械臂4；相当于末端执行器的基板把持手5，装设在机械臂4的指尖部；控制器6，控制基板搬送装置1的动作。以下，针对基板搬送装置1的各构成要素进行说明。
〔机械臂4〕
本实施形态的基板搬送装置1的机械臂4，是具备可旋转的手腕47的水平多关节机器人。但是，机械臂4并不限于水平多关节机器人，以垂直多关节机器人为基础者亦可。
机械臂4，具备基台40；升降轴41，从基台40在上下方向伸缩；第一连杆43，可绕通过升降轴41的轴心的第一轴42转动地连结于该升降轴41；第二连杆45，可在第一连杆43的梢端绕第二轴44转动地连结；手腕47，可在第二连杆45的梢端绕第三轴46转动地连结；手基部49，在手腕47的梢端绕第四轴48连结。在此手基部49装设基板把持手5。第一轴42及第二轴44是垂直轴，第三轴46是水平轴。此外，第四轴48与第三轴46正交，标准姿势是垂直。
机械臂4，作为用来使第一连杆43、第二连杆45、手腕47、及手基部49的各者绕对应的轴旋转移动的驱动部，进一步具备伺服马达61～64及动力传达机构（未图示）。此外，机械臂4，作为用来使升降轴41从基台40伸缩的驱动部，进一步具备伺服马达65及动力传达机构（未图示）。伺服马达61～65，基于从控制器6输出的控制信号动作。
〔基板把持手5〕
图4是基板把持手5的俯视图。图5是基板把持手的侧视图。如图4及图5所示，基板把持手5，具备成为其基础的基座板51。在基座板51，规定有将基板把持手5的基端侧b与梢端侧f连接的假想的中心线c。基板把持手5，具有以中心线c为对称轴大致对称的形状。此外，在基座板51，规定有如同基板10的中心o位于中心线c上般的假想的把持位置g。将把持位置g的中心以把持中心cg表示。位于把持位置g的基板10的中心o，与把持中心cg一致。另外，上述中心线c及把持位置g规定于基板把持手5亦可。
基板把持手5，进一步具备设置于基座板51的至少一个固定爪52、在比把持位置g更靠近基端侧b处在中心线c上往返移动的可动爪56、在比把持位置g更靠近基端侧b处与中心线c平行地往返移动的推动器58、使可动爪56及推动器58一体地往返移动的致动器57。致动器57的动作，藉由前述的控制器6控制。
上述基座板51，是薄且平坦的梳状者，藉由将通过中心线c的梢端部分大幅切除而全体呈现大致y字（u字）形状。基座板51的基端，藉由紧固件等固定于手基部49。
上述固定爪52，以可与位于把持位置g的基板10的边缘卡合的方式，配置在比基座板51的把持中心cg更梢端侧f。本实施形态的固定爪52，在基座板51的比把持中心cg更靠近梢端侧f处，隔着中心线c分别设在两侧。然而，固定爪52的数量或配置并不限于上述的实施形态。
图6是表现固定爪52的剖面形状的图4的vi-vi剖面图。由于两个固定爪52具有实质上对应的形态特征，故针对两个固定爪52之中一方的固定爪52进行说明，省略另一方的说明。如图6所示，在固定爪52一体地形成有以朝向把持中心cg接近基座板51的表面r的方式倾斜的垫部面521、朝向把持中心cg与基座板51的表面r平行地开口的沟槽部522、构成沟槽部522的边缘部的爪部523。在沟槽部522，嵌合有位于把持位置g的基板10的边缘。嵌合在沟槽部522的基板10的边缘部，藉由爪部523卡止，以不会从沟槽部522脱落。
上述垫部54，设在基座板51的比把持中心cg更靠近基端侧b、且把持位置g及位于其附近的基板10的边缘部可接触的位置。在本实施形态中，在基板把持手5为垂直姿势时，在比中心线c上方处设有一个垫部54，在比中心线c下方处设有两个垫部54。然而，垫部54的数量或配置并不限于上述的实施形态。
图7是表现垫部54的剖面形状的图4的vii-vii剖面图。由于三个垫部54具有实质上对应的形态特征，故针对三个垫部54之中一方进行说明，省略其他的说明。如图7所示，垫部54，具有以朝向把持中心cg逐渐接近基座板51的表面r的方式倾斜的垫部面541、朝向把持中心cg与基座板51的表面r平行地开口的沟槽部543、构成沟槽部543的边缘部的爪部544。垫部面541，在往把持中心cg的途中倾斜角度少量变化。在沟槽部543，可将基板10的边缘嵌合。嵌合在沟槽部543的基板10的边缘部，藉由爪部544卡止，以使不会从沟槽部543脱落。
基板把持手5，进一步具备设置于基座板51的至少一个支持爪53。此支持爪53是用来从下方支持比把持位置g靠下方且位于基端侧b的垂直姿势的基板10者。支持爪53，可与上述的固定爪52或垫部54分别设置，或在固定爪52或垫部54兼备作为支持爪53的机能亦可。在本实施形态中，在基座板51的比把持中心cg更靠近梢端侧f处设有一个，在基座板51的比把持中心cg更靠近基端侧b处设有两个，合计设有三个支持爪53。然而，支持爪53的数量或配置并不限于上述的实施形态者。
设置于基座板51的比把持中心cg更靠近梢端侧f处的支持爪53，设置于两个固定爪52之中在基板把持手5垂直姿势时成为下方的固定爪52的下方最近处。此支持爪53，具有与前述的固定爪52实质上对应的形态特征。亦即，支持爪53，具有垫部面531、沟槽部532、爪部533。
此外，设置于基座板51的比把持中心cg更靠近基端侧b处的支持爪53，是在基板把持手5垂直姿势时位于比中心线c更靠近下方的两个垫部54。这些垫部54的沟槽部543与爪部544发挥作为支持爪53的机能。
图8是表现可动爪56的梢端部的剖面形状的可动爪的剖面图。如图8所示，上述可动爪56，具有作用部561、设置于作用部561的边缘的爪部562。作用部561，是相对于基座板51的表面r正交的面。但如图9所示，作用部561是以与将基座板51的表面r延长的面相向的方式倾斜的斜面亦可。作用部561，在可动爪56往梢端侧f移动时，可对位于把持位置g的基板10的边缘作用。
图10，是推动器58的俯视图。如图10所示，上述推动器58，具有作用部581、设置于作用部581的边缘的爪部582。作用部581，具有朝向梢端侧f且朝向中心线c的作用面。此作用部581，在推动器58往梢端侧f移动时，可对垂直姿势的基板10的比中心o更靠近下方的边缘作用。此外，由于推动器58的作用部581具有朝向梢端侧f且朝向中心线c侧的作用面，藉由推动器58与中心线c平行地进行往动，垂直姿势的基板10以往朝向梢端侧f且朝向中心线c侧（亦即，斜上方）抬高的方式移动。
可动爪56与推动器58，以单一的致动器57驱动。本实施形态的致动器57，是支持于手基部49的气压缸。然而，致动器57并不限于气压缸，例如，从电动马达与齿轮齿条或滚珠螺杆等动力传达机构、气压缸、油压缸等之中选择的一者亦可。致动器57的动作，藉由控制器6控制。
致动器57，具备与连结板71连结的杆部72、杆部72进退的套筒73。杆部72的延伸方向与中心线c平行，且，以杆部72配置在中心线c的延长线上的方式，套筒73固定于手基部49。藉此，杆部72与可动爪56在中心线c及其延长线上排列，可使从杆部72通过可动爪56往基板10传达的按压力朝向基板10的中心o产生。
可动爪56与推动器58藉由连结板71（连结构件）一体地连结，在此连结板71结合有杆部72的梢端侧f的端部。另外，杆部72的梢端侧f的端部结合在可动爪56亦可。藉由致动器57造成的杆部72的伸缩动作，可动爪56与推动器58一体地与中心线c平行地往返运动。杆部72收缩时，可动爪56与推动器58位于退避位置。藉由杆部72伸长，可动爪56与推动器58进行往动，最后可动爪56到达作用位置。此外，藉由杆部72缩短，可动爪56与推动器58进行往动，最后返回退避位置。
杆部72的伸缩轨道，藉由导引部74导引。导引部74，由固定于手基部49的轨道构件741、固定于杆部72的滑块构件742构成。此外，藉由滑块构件742在轨道构件741上滑动，杆部72以与中心线c平行地伸缩的方式导引。以如上述方式导引杆部72的轨道的结果，抑制连结在杆部72的可动爪56与推动器58的往返移动的轨道的变动。
如上述般往返移动的可动爪56的位置，藉由位置传感器75检测。在本实施形态中，位置传感器75的检测部751固定于手基部49，被检测部752一体地设置于滑块构件742。另外，检测部751，是接触式或非接触式的物体检测装置，藉由检测被检测部752的位置，检测可动爪56的位置。位置传感器75的检测信号，往控制器6输出。
〔基板搬送装置1的动作〕
在此，针对基板搬送装置1的动作，尤其重点对基板把持手5的动作进行说明。在以下的说明中，虽不特别记载，但机械臂4及基板把持手5的动作藉由控制器6控制。
〔垂直姿势的基板10的取出〕
首先，针对将以垂直姿势容纳在基板纵置容器3的基板10，从基板纵置容器3的纵置沟槽32取出的动作进行说明。
首先，机械臂4动作，垂直姿势的基板把持手5往与放置在纵置沟槽32的垂直姿势的基板10对应的取出开始位置移动。图11是显示位于垂直姿势的基板10的取出开始位置的基板把持手5的状态的侧视图。如图11所示，在移动至取出开始位置的基板把持手5中，藉由三个支持爪53从下方支持垂直姿势的基板10。可动爪56与推动器58位于退避位置，推动器58的作用部581与基板10的边缘抵接或稍微分离对立。
接着，致动器57动作，可动爪56与推动器58与中心线c平行地往梢端侧f进行往动。图12，是显示把持了垂直姿势的基板10的基板把持手5的状态的侧视图。如图11及12所示，在可动爪56与推动器58进行往动的期间，产生后述的（1-1）～（1-3）的过程：
（1-1）藉由往梢端侧f进行往动的推动器58对基板10作用，抬高至基板10的动作受固定爪52、52限制为止，亦即，基板抬高至把持位置g的高度为止。在此，基板10，伴随着推动器58的往动而往梢端侧f上方移动；
（1-2）基板10到达把持位置g的高度后，或在即将到达前，藉由往梢端侧f进行往动的可动爪56对基板10作用，以可动爪56与固定爪52的协动把持基板10；
（1-3）在与可动爪56对基板10作用同时或作用后，推动器58的作用部581从基板10的边缘分离。
在上述（1-1）～（1-2）的过程中，以推动器58与可动爪56对基板10作用的方式，推动器58的作用部581位于比可动爪56的作用部561更靠近梢端侧f处。另外，推动器58的作用部581与可动爪56的作用部561的与中心线c平行的方向的距离，基于推动器58与可动爪56的与中心线c正交的方向的距离、或基板10的大小等，适当设定。
此外，以上述（1-3）的过程产生的方式，亦即，以位于把持位置g的基板10的边缘与推动器58不接触的方式，推动器58从可动爪56往与中心线c正交的方向分离。推动器58与可动爪56的与中心线c正交的方向的距离，基于推动器58的作用部581与可动爪56的作用部561的与中心线c平行的方向的距离、或基板10的大小等，适当设定。
另外，在可动爪56进行往动的过程中，藉由对基板10给予按压力的构件从推动器58切换为可动爪56，会成为从单一位置对位于把持位置g的基板10施加按压力，抑制基板的应变或扭曲的发生。然而，若由可动爪56及固定爪52进行的基板10的把持已达成，在可动爪56对基板10作用后推动器58亦持续对基板10作用亦可。
〔垂直姿势的基板10的供给〕
接着，针对将垂直姿势的基板10往基板纵置容器3的纵置沟槽32供给的动作进行说明。
首先，机械臂4动作，使已把持垂直姿势的基板10的基板把持手5往纵置沟槽32的供给开始位置移动。在已移动至供给开始位置的基板把持手5中，以一个可动爪56与两个固定爪52把持基板10。推动器58的作用部581，从基板10的边缘稍微分离而对立。
接着，致动器57动作，推动器58与可动爪56与中心线c平行地往基端侧b进行返动。在可动爪56与推动器58进行返动的期间，产生后述的（2-1）～（2-3）的过程：
（2-1）藉由可动爪56往基端侧b进行返动，解除基板10的把持；
（2-2）从把持解放的基板10虽欲自由落下，但基板10的边缘抵接在推动器58的作用部581，限制基板10的动作。亦即，伴随着推动器58的往基端侧b的返动，基板10一边由推动器58从下方支持一边往基端侧b下方移动；
（2-3）基板10的边缘，在往基端侧b下方移动期间与支持爪53抵接，先暂时由支持爪53支持后，往纵置沟槽32落下。
在上述的垂直姿势的基板10的供给动作中，由支持爪53支持的基板10，在贯穿该基板10的主面的方向上的动作没有限制，故，即使在基板把持手5的把持位置g与纵置沟槽32有水平方向的位置误差，基板10仍会无阻碍地顺利往纵置沟槽32落下。
〔水平姿势的基板10的取出〕
基板把持手5，不止处理垂直姿势的基板10，亦可处理水平姿势的基板10。在此，针对将水平姿势的基板10从基板横置容器2的横置沟槽22取出的动作进行说明。
首先，机械臂4动作，使水平姿势的基板把持手5往横置沟槽22的取出开始位置移动。横置沟槽22的取出开始位置，是横置沟槽22的下方最近处的位置。另外，位于取出开始位置的基板把持手5微量上升，将欲取出的基板10以基座板51捞起。以基座板51捞起的基板10的边缘，与固定爪52的垫部面521、支持爪53的垫部面531、垫部54的垫部面541接触。
接着，致动器57动作，推动器58与可动爪56从退避位置与中心线c平行地往梢端侧f移动。在此，基板10的中心o位于中心线c或其延长线上的场合，推动器58不对基板10作用，可动爪56将基板10往梢端侧f推压，最后，藉由可动爪56与固定爪52的协动把持基板10。此外，基板10的中心o不位于中心线c或其延长线上的场合，在推动器58与可动爪56进行往动的期间，产生后述的（3-1）～（3-3）的过程：
（3-1）藉由进行往动的推动器58对基板10作用，基板10移动至把持位置g；
（3-2）基板10到达把持位置g后，或在即将到达前，藉由往动的可动爪56对基板10作用，以可动爪56与固定爪52的协动把持基板10；
（3-3）在与可动爪56对基板10作用同时或作用后，推动器58从基板10的边缘分离。然而，若由可动爪56及固定爪52进行的基板10的把持已达成，在可动爪56对基板10作用后推动器58亦持续对基板10作用亦可。
在上述的水平姿势的基板10的取出动作中，即使在以基座板51捞起的基板10与把持位置g之间有水平方向的位置误差，仍藉由推动器58的作用修正该位置误差后，可动爪56对基板10作用。因此，可使可动爪56对位于把持位置g的基板10的通过中心线c的边缘作用。进而，如上述般对基板10作用的可动爪56，可朝向基板10的中心o使按压力发生。藉此，不会使基板10发生局部性的应变或扭曲，可将放置在横置沟槽22的基板10从该横置沟槽22顺利地取出。
〔水平姿势的基板10的供给〕
接着，针对将水平姿势的基板10往基板横置容器2的横置沟槽22供给的动作进行说明。
首先，机械臂4动作，使已把持水平姿势的基板10的基板把持手5往横置沟槽22的供给开始位置移动。横置沟槽22的供给开始位置，是欲放置基板10的横置沟槽22的上方最近处。在已移动至供给开始位置的基板把持手5中，可动爪56位于作用位置，以一个可动爪56与两个固定爪52把持基板10。
接着，致动器57动作，推动器58与可动爪56与中心线c平行地往基端侧b移动。如此，在可动爪56与推动器58进行返动的期间，产生后述的（4-1）～（4-2）的过程：
（4-1）藉由可动爪56进行返动，解除基板10的把持；
（4-2）从把持解放的基板10自由落下，抵接在固定爪52的垫部面521、垫部54、支持爪53后由这些构件支持。
最后，藉由基板把持手5微量下降，基板10放置在横置沟槽22。在此，由于基板10的动作没有限制，故，即使在基板把持手5的把持位置g与横置沟槽22有水平方向的位置误差，基板10仍会无阻碍地顺利往横置沟槽22进入。
如以上已说明般，本实施形态的基板把持手5，具备基座板51，规定有从基端侧b往梢端侧f延伸的中心线c、基板10的中心o位于该中心线c上的把持位置g；设置于基座板51的梢端侧f的至少一个固定爪52，可与位于前述把持位置g的前述基板10的边缘卡合；可动爪56，具有可对位于把持位置g的前述基板10的边缘作用的作用部561，且在比把持位置g更靠近基端侧b处在中心线c上往返移动；推动器58，具有可对比垂直姿势的基板10的中心更下方的边缘作用的作用部581，且在比把持位置g更靠近基端侧b处与中心线c平行地往返移动；致动器57，使可动爪56及推动器58一体地往返移动。此外，以藉由朝向梢端侧f进行往动的推动器58对垂直姿势的基板10作用而基板10抬高至把持位置g后，藉由进行往动的可动爪56对基板10作用而藉由可动爪56及固定爪52的协动把持基板10的方式，推动器58的作用部581位于比前述可动爪56的作用部561更靠近梢端侧f处。
此外，本实施形态的基板搬送装置1，具备：基板把持手5；在指尖部装设有基板把持手5的机械臂4。
在上述基板搬送装置1及基板把持手5中，在将垂直姿势的基板10从纵置沟槽32取出时，藉由推动器58的对基板10的作用，基板抬高至把持位置g的高度后，可动爪56对基板10作用。因此，即使在放置在纵置沟槽32的基板10与规定在基板把持手5的把持位置g之间有垂直方向及/或水平方向的位置误差，亦藉由推动器58的作用而消除该位置误差，故可使可动爪56对基板10的上下中心的边缘作用。进而，如上述对基板10作用的可动爪56可往基板10的中心o使按压力发生。藉此，不会使基板产生局部的应变或扭曲，可将以垂直姿势放置在纵置沟槽32的基板10从该沟槽32顺利地取出。
另外，由于可动爪56与推动器58一体地动作，故可动爪56与推动器58对基板10作用的时机会预先设定。因此，没有将可动爪56的动作与推动器58的动作分别控制的必要，可动爪56与推动器58的动作的控制变单纯。另外，由于可动爪56与推动器58以一个致动器57驱动，故与可动爪56与推动器58各自具备致动器57的场合比较，可减少致动器57的初始成本或消耗能源。另外，如上述般的基板把持手5的构成要素的减少，可对基板把持手5或基板搬送装置1的小型化有帮助。
此外，本实施形态的基板把持手5中，推动器58的作用部581具有朝向梢端侧f且朝向中心线c的作用面。
藉此，藉由推动器58的与中心线c平行的往动，可使基板10往朝向梢端侧f且朝向中心线c侧移动。
此外，在上述实施形态的基板把持手5中，推动器58，以不与位于把持位置g的基板10的边缘接触的方式，从可动爪56往与中心线c正交的方向分离。
藉此，会成为对位于把持位置g的基板10从可动爪56施加按压力，可抑制基板10的局部的应变或扭曲的发生。
此外，在上述实施形态的基板把持手5中，可动爪56与推动器58藉由连结板71（连结构件）一体地连结，致动器57，配置在中心线c的延长线上，具备与连结板71连结的杆部72。
藉此，杆部72、可动爪56、位于把持位置g的基板10的中心o，排列在中心线c及其延长线上，可不使局部的应变或扭曲发生地以可动爪56与固定爪52把持基板10。
此外，在上述实施形态的基板把持手5中，进一步具备设置于基座板51的至少一个支持爪53，支持比把持位置g靠下方且位于基端侧b的垂直姿势的基板10。
藉此，在垂直姿势的基板10放置的纵置沟槽32、在把持位置g的由固定爪52与可动爪56进行的把持之间，可使由支持爪53进行的不受限制的支持存在。藉此，即使在纵置沟槽32与基板把持手5的把持位置g之间有位置误差产生，亦可缓冲该误差。
此外，在上述实施形态中，支持爪53的至少一个，具有以朝向把持位置g的中心（把持中心cg）往基座板51的表面r逐渐接近的方式倾斜的垫部面。此垫部面为，支持爪53的形成垫部面531的面、垫部54的垫部面541。
藉此，放置在基板把持手5的基板10，其边缘抵接在垫部面541或垫部面531，基板10的正反面与基座板51或支持爪53（垫部54）不接触。因此，可抑制基板10的污染。另外，藉由在支持爪53（垫部54）设置有垫部面531（垫部面541），可在一个构件具备支持爪53与垫部54的机能，可减少零件数目。
虽在以上说明了本发明的理想的实施形态，但上述的构成可如以下般变更。
在上述实施形态的基板把持手5中，虽设有多个固定爪52，但固定爪52是单独一个亦可。例如图13所示，可在基座板51的梢端侧f的部分设置一个固定爪52。
此外，在上述实施形态的基板把持手5中，虽设有多个支持爪53，但支持爪53是单独一个亦可。例如图14所示，可在垂直姿势的基座板51的下部设置一个支持爪53。
此外，在上述实施形态的基板把持手5中，藉由在连结板71分别结合有可动爪56与推动器58，可动爪56与推动器58连结为一体。然而，可动爪56、推动器58、及连结板71成形为一体亦可。在此场合，例如，可动爪56、推动器58、及连结板71可为由树脂构成的一体成形品。
此外，在上述实施形态的基板把持手5中，设置于基座板51的比把持中心cg更靠近梢端侧f的固定爪52与支持爪53，是分別独立的构件。然而，代替固定爪52与支持爪53，兼具此两者的机能的一个构件设置于基座板51亦可。
由以上的说明，对本领域技术人员而言，本发明的众多改良或其他实施形态是显而易见的。因此，上述说明仅应作为例示来解释，是为了将实行本发明的最理想的形态对本领域技术人员教示的目的而提供。在不脱离本发明的精神的前提下，可将其构造及/或机能的详细实质上变更。
符号说明
1基板搬送装置
2基板横置容器
3基板纵置容器
4机械臂
5基板把持手
6控制器
10基板
22横置沟槽
32纵置沟槽
49手基部
51基座板
52固定爪
53支持爪
54垫部
56可动爪
57致动器
58推动器
71连结板
72杆部
74导引部
75位置传感器
561作用部
562爪部
581作用部
582爪部
b基端侧
c中心线
f梢端侧
g把持位置
o中心。