装载埠以及晶圆搬送方法与流程

本发明涉及装载埠以及晶圆搬送方法。

背景技术：

硅晶圆等的晶圆是通过被称为foup(front-openingunifiedpod)或fosb(frontopenshippingbox)的晶圆收纳容器而进行搬送及保管。为了进行晶圆的加工、传送等，于自晶圆收纳容器将晶圆取出时，通过装设于装置的被称为e-fem(equipmentfrontendmodule)的构件而进行。再者，晶圆收纳容器的盖通过位在e-fem的装载埠的扉部的基盘而被吸着支承，以闩而将内藏于盖的闩杆予以动作而进行开闭。

参考图7至图8，关于已知的装载埠101进行更具体地说明。通常，装载埠101设置于设置在无尘室30的e-fem等的晶圆搬送室51的壁面。此装载埠由将具备容器本体63及盖62的晶圆收纳容器61予以载置的载置台104、以及具有将晶圆搬送室51内予以开放的开口的板状部102所构成，嵌于开口的扉部105得以驱动而自开口脱离，由此使开口得以开闭。

再者，如图7，扉部105具备通过吸着于盖62而得以支承盖62的吸着具115。再者，扉部105具备闩107。闩107得以驱动而将容器本体63与盖62的固定予以解除，或得以驱动而将容器本体63与盖62予以固定。然后，如图8，在通过吸着具115将盖62予以吸着支承的状态下，通过闩107将容器本体63与盖62的固定予以解除，通过使扉部105自开口103脱离而能使盖62自晶圆收纳容器61脱离。

然后，由此将晶圆收纳容器61的内部与晶圆搬送室51的内部予以空间地连接而通过晶圆搬送机器人52进行晶圆的出入。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本特开2015-146347号公报

[专利文献2]日本特开2002-359273号公报

技术实现要素：

[发明所欲解决的问题]

关于装载埠及e-fem的技术课题的其中之一为将至晶圆收内容器或晶圆搬送室内的微粒的进入予以防止(参考专例文献1、2)。专利文件2揭示关于将foup的盖的自动开闭予以进行的开启器(≒装载埠)及e-fem的技术，且记载有由于foup的盖的开动作，成为引发尘埃的原因的气流的扰动会发生，而有使收容于foup的晶圆污染的担忧。特别是于专利文献2的第[0006]段有“通过开启器200开启的门101，如后述在该盒b内升降，但是用于该升降的驱动源会成为引发尘埃的原因”的记载，记载了自驱动源等发生的尘埃会成为问题一事。

通常，e-fem内的气压为了保持其内部的无尘度而较无尘室为高压。e-fem的空气，如图9所示，通过将用于使装载埠的闩107动作的驱动系构件(闩驱动机构108)予以收纳的空间(闩驱动机构收纳部109)，自闩的间隙而排出至无尘室。另一方面，于晶圆收纳容器61的盖62的开闭时，在装载埠101的闩107的闩驱动机构108，尘埃会发生。

通常，收纳闩驱动机构108的闩驱动机构收纳部109位于e-fem内，此空间的气压较无尘室为高压。此因为由于闩驱动机构收纳部109的盖部分或布线孔等的间隙，闩驱动机构收纳部109的内部与e-fem内部会空间地连接的缘故。因此，发生的尘埃会随着自闩的间隙流向无尘室方向的气流而向晶圆收纳容器内移动，而附着于晶圆(参考图9)。

再者，于晶圆收纳箱61的盖62内也有在开闭时可动的零件，在此所发生的尘埃也同样地随着气流而向晶圆收纳容器61内移动，而附着于晶圆w。如此一来，已知有在装载埠及晶圆收纳容器的盖内部的可动部等发生的尘埃会附着于晶圆的问题。

本发明为鉴于如同前述的问题，目的在于提供一种装载埠及晶圆的搬送方法，能在自晶圆收纳容器将晶圆予以进行出入时，防止在装载埠及晶圆收纳容器的盖内部的可动部发生的尘埃附着于晶圆。

[解决问题的技术手段]

为了达成上述目的，本发明提供一种装载埠，设置邻接于设置在无尘室内的晶圆搬送室，用于进行在该晶圆搬送室与具有容器本体及盖的晶圆收纳容器之间的晶圆的出入，该装载埠包含：一板状部，构成该晶圆搬送室的壁面的一部分，且具有使该晶圆搬送室内开放的开口；一载置台，载置该晶圆收纳容器而使该晶圆收纳容器的盖对向于该开口；一扉部，嵌于该开口，且由于为了自该开口脱离而得以驱动，而使该开口得以开闭；一吸着具，设置于该扉部，通过吸着于该盖而得以支承该盖；一闩，设置于该扉部，以将该容器本体与该盖的固定予以解除的方式而驱动，或将该容器本体与该盖予以固定的方式而驱动；以及一闩驱动机构收纳部，设置在该晶圆搬送室内且邻接于该扉部，将驱动该闩的闩驱动机构予以收纳；其中，该装载埠构成为得以在通过该吸着具而将该盖予以吸着支承的状态下，以该闩将该容器本体与该盖的固定予以解除，通过相对于该吸着具而使该容器本体相对地移动，而使该盖得以开闭，且构成为得以使该闩驱动机构收纳部构成为使内部的气压与该无尘室的气压为同压，或较该无尘室的气压更为低压。

若为能使闩驱动机构收纳部的内部的气压对于无尘室的气压为同压或低压的装载端口，由于自闩驱动机构收纳部向无尘室的方向的气流会难以发生，在装载埠及晶圆收纳容器的盖内部的可动部等发生的尘埃会难以移动至晶圆收纳容器的缘故，而能降低晶圆的微粒附着量。

此时，该闩驱动机构收纳部与排气装置连接，通过该排气装置，得以使该闩驱动机构收纳部的气压低于该无尘室的气压为佳。

通过如此的排气装置，得以使该闩驱动机构收纳部的气压低于该无尘室的气压。

再者，该闩驱动机构收纳部通过密封材所气密，而对于该晶圆搬送室为密闭为佳。

如此之物，通过密封材而能防止来自晶圆搬送室的空气的流入，而使闩驱动机构收纳部的气压对于无尘室的气压为同压或低压。

再者，本发明的装载埠，更进一步，该闩驱动机构收纳部的内部具有将该闩驱动机构予以收纳的内盖，该内盖与排气装置连接，通过该排气装置得以使该内盖的内部的气压较该无尘室的气压更为低压为佳。

通过于闩驱动机构收纳部的内部更设置内盖，能使排气容量变小，而能减少排气量。更进一步，将内盖密封的情况，除了能使密封的形状单纯且密封面积也能变小的缘故而能更加提高密封性，更由于施工变得简单而能使机器差异变小。再者，排气量的削减使排气设备的小型化成为可能，而能削减设备费用及运转费用。

再者，本发明的装载埠，更进一步包含将该闩驱动机构收纳部予以支承的中空的轴部，该轴部的内部的空间与该闩驱动机构收纳部的内部的空间连接，该轴部的内部及该闩驱动机构收纳部的内部通过密封材所气密，而对于该晶圆搬送室为密闭，其中，通过连接于该轴部的排气装置，将该轴部的内部予以减压，而得以使该闩驱动机构收纳部的内部的气压较该无尘室的气压更为低压为佳。

如此一来，由于通过于轴部连接排气装置而能使排气管路变粗的缘故，而能采取更大的排气量。由此，由于尘埃在晶圆收纳容器内会更难以移动的缘故，而能更进一步降低晶圆的微粒附着量。再者，由于大量使用密封材的部分远离晶圆的缘故，能抑制来自密封材的污染。

再者，为了达成上述目的，本发明提供一种晶圆搬送方法，使用设置邻接于设置在无尘室内的晶圆搬送室的如同上述的装载埠，而进行在该晶圆搬送室与具有容器本体及盖的晶圆收纳容器之间的晶圆的出入，其中该闩驱动机构收纳部的内部的气压与该无尘室的气压为同压，或较该无尘室的气压更为低压，在通过该吸着具将该盖予以吸着支承的状态下，以该闩将该容器本体与该盖的固定予以解除，通过对于该吸着具使该容器本体相对地移动，而使该盖打开，且通过将该扉部予以自该开口脱离而使该开口打开，而使该晶圆搬送室的内部空间与该晶圆收纳容器的内部空间相连接后，进行在该晶圆搬送室与该晶圆收纳容器之间的晶圆的出入。

如此一来，若为使用本发明的装载埠的晶圆的搬送方法，能降低在晶圆的搬送时附着的微粒的量。

再者，能使该晶圆搬送室的内部的气压较该无尘室的气压更为高压。

由此，能抑制自无尘室向晶圆搬送室的空气的流入，而能维持晶圆搬送室的无尘度。

〔对照现有技术的功效〕

若为本发明的装载埠以及晶圆搬送方法，能将在自晶圆收纳容器将晶圆予以进行出入时，防止在装载埠及晶圆收纳容器的盖内部的可动部发生的尘埃附着于晶圆。

附图说明

图1是显示本发明的装载端口的一范例的示意图。

图2是显示本发明的装载端口的一范例的立体图。

图3是显示本发明的装载端口的闩驱动机构收纳部的一范例的示意图。

图4是显示本发明的装载端口的闩驱动机构收纳部的其他的一范例的示意图。

图5是在实施例一、二及比较例之中使用的传送机的示意图。

图6是显示在实施例一及比较例中测定的单次的搬送之中一片的晶圆的lls增加数的图。

图7是显示已知的装载端口的开口为关闭的状态的示意图。

图8是显示已知的装载端口的开口为打开的状态的示意图。

图9是已知的装载端口的闩驱动机构收纳部的示意图。

图10是显示在实施例二及比较例中测定的单次的搬送之中一片的晶圆的lls增加数的图。

图11是显示本发明的装载端口的闩驱动机构收纳部的内部设置有内盖的样貌的一范例的示意图。

图12是显示本发明的装载端口的轴部连接有排气装置的样貌的一范例的示意图。

具体实施方式

以下对于本发明的实施例进行说明，但是本发明并非限定于此。

首先，关于本发明的装载埠，参考图1至图4、图11及图12而说明。另外，对于在各图之中所示的同样的组件附上相同的符号且适当地省略说明。如图1，本发明的装载埠1设置邻接于设置在无尘室30内的晶圆搬送室51，使用于进行在晶圆搬送室51与晶圆收纳容器61之间的晶圆w的出入时。晶圆搬送室51能为例如e-fem。另外，e-fem以装载埠1、晶圆搬送机器人52及用于将晶圆搬送室51维持清净的ffu(fanfilterunit)53等所构成的模块。再者，可使用foup作为晶圆收纳容器61。

图2是仅显示装载端口1的立体图。如图1及图2，装载埠1具备有构成晶圆搬送室51的壁面的一部分且具有使晶圆搬送室51内开放的开口3的板状部2、以及为了使晶圆收纳容器61的盖62对向于开口3而载置晶圆收纳容器61的载置台4。

再者，如图1及图2，装载埠1具备有嵌于开口3的扉部5。扉部5得以驱动而自开口3脱离，由此能够使开口3得以开闭。扉部5能为例如如图1，通过扉部驱动机构6而得以于上下方向升降。例如，扉部驱动机构6能使用马达或气缸等，将连接于导件的扉部5的支承构件于上下驱动，由此而使扉部5得以升降。如此通过扉部驱动机构6，能使扉部5上升而嵌入开口3，相反地，能使扉部5下降而自开口3脱离。

再者，如图1及图2，装载埠1具备有设置于扉部5的吸着具15。吸着具15通过吸着于盖62而得以支承盖62。作为吸着具15，具体而言，使用能真空吸着于盖62的吸盘等即可。

再者，如图1及图2，装载埠1具备有设置于扉部5的闩7。闩7能驱动而将容器本体63与盖62的固定予以解除，或亦能驱动而将容器本体63与盖62予以固定。通常，于foup等的晶圆收纳容器61的盖62，具有能将容器本体63与盖62固定的锁机构。于锁机构设置有与闩7相接合的接合孔，在闩7接合于此接合孔的状态下，通过闩7自转，而能切换容器本体63与盖62的固定状态或固定解除状态。在本发明之中所谓的“将容器本体63与盖62的固定予以解除的方式而驱动”及“将容器本体63与盖62予以固定的方式而驱动”，意指：例如闩7与设置于盖62的锁机构的接合孔相接合的方式而驱动，之后，于规定的旋转方向旋转驱动等。

再者，如图1，装载埠1具备有设置在晶圆搬送室51内且邻接于扉部5，将驱动闩7的闩驱动机构8予以收纳的闩驱动机构收纳部9。另外，闩驱动机构8通过闩驱动控制部10而控制其动作，而能驱动闩7。

再者，装载埠1构成为得以在通过吸着具15而将盖62予以吸着支承的状态下，以闩7将容器本体63与盖62的固定予以解除，通过相对于吸着具15而使容器本体63相对地移动，而使盖62开闭。于此，“相对于吸着具15而使容器本体63相对地移动”可意指为使吸着具15移动，亦可意指为使容器本体63移动。

如此的构成，更具体而言，图1所示的装载埠1的情况，在以吸着具15吸着支承盖62的状态下，通过将扉部5自开口3脱离，而打开开口3的同时，能使盖62自容器本体63脱离。

于其他也能构成为：载置台4能于依然载置晶圆收纳容器61的容器本体63而在自开口3离开的方向移动，于通过吸着具15吸着支承盖62后，通过载置台4自开口3离开的方式而移动，而使盖62自容器本体63脱离。

然后，本发明的装载埠1构成为得以使闩驱动机构收纳部9的内部的气压与无尘室30的气压为同压，或较无尘室30的气压更为低压。若为如此者，由于自闩驱动机构收纳部9朝无尘室30的方向的气流会难以发生的缘故，在闩驱动机构8发生的尘埃会难以到达晶圆收纳容器61。再者，特别是低压的情况，由于会发生自无尘室30朝闩驱动机构收纳部9的方向的气流的缘故，在闩驱动机构8发生的尘埃会更难以到达晶圆收纳容器61。再者，由于闩7与晶圆收纳容器61的盖相连接的缘故，盖62内部也能对于无尘室30的气压为同压，或为低压，而在盖62内部的可动部发生的尘埃也难以到达晶圆收纳容器61的内部。其结果，能降低在搬送时的晶圆w的微粒附着量。

以下，更具体地说明用于使闩驱动机构收纳部9的内部的气压较无尘室30的气压更为低压的构成。如图1，若闩驱动机构收纳部9为连接于排气装置11(例如，泵或喷射器等)，通过排气装置11，而能使闩驱动机构收纳部9的内部的气压较无尘室30的气压更为低压。若为如此的构成，自闩驱动机构收纳部9朝无尘室30的方向的气流难以发生，并且，自无尘室30向闩驱动机构收纳部9的方向发生气流以外，更能通过排气装置11抽吸除去在闩驱动机构8等发生的尘埃，而能更降低附着于晶圆w的微粒量。另外，为了防止排气装置11的排气所导致的无尘室30的无尘度的恶化，将排气装置11设置于无尘室30之外为佳。此时，排气装置11，如图1，可通过真空管路12而连接于闩驱动机构收纳部9的内部。

再者，此时，如图1及图3，闩驱动机构收纳部9通过密封材13所气密，而对于晶圆搬送室51为密闭为佳。通过闩驱动机构收纳部9对于晶圆搬送室51为封闭，能防止来自气压为更高的晶圆搬送室51的空气的流入，而易于将闩驱动机构收纳部9的内部的气压维持于更低压。由此能更加抑制晶圆收纳容器61方向的气流，能更加降低至晶圆的微粒的附着。

特别是，如图3，闩驱动机构收纳部9的为了维修等的开闭可能的盖部14与闩驱动机构收纳部9的本体之间，或于用于将对闩驱动机构8进行电力及控制讯号的传达的缆线予以通往闩驱动机构收纳部9内部的孔的端部与缆线之间，容易产生间隙。再者，如同上述，于闩驱动机构收纳部9内部连接有真空管路12的情况也同样地容易产生间隙。于此，如图1及图3，通过使用密封材13而填补如此的间隙，能使闩驱动机构收纳部9对于晶圆搬送室51为有效地封闭。

再者，如图11，更进一步，装载埠1于闩驱动机构收纳部9的内部具有将闩驱动机构8予以收纳的内盖16为佳，该内盖16与排气装置11连接，通过该排气装置11得以使该内盖16的内部的气压较该无尘室30的气压更为低压为佳。另外，在图11之中，虽然并未图示无尘室30，但是基本上，此为与图1为相同的构成。再者，内盖16以密封材13密闭亦可。

一般而言，闩驱动机构8的构造因制造者而异。该构造简单，于闩驱动机构收纳部9的内部的空间有余裕的情况，装设内盖16为有效。通过设置内盖16，能使排气容量变小而能减少排气量。再者，以密封材13密封的形状能为单纯且密封面积也能变小的缘故而能提高密闭性，除了此优点以外，也由于施工变得简单而能得到使机器差异变小的效果。更进一步，排气量的削减使排气设备的小型化成为可能，而能削减设备费用及运转费用。

再者，通过如图12的构成，闩驱动机构收纳部9的内部的气压较无尘室30的气压更为低压亦可。亦即，如图12，装载埠1更进一步包含将闩驱动机构收纳部9予以支承的中空的轴部17，通过连接于轴部17的排气装置11，将轴部17的内部予以减压，而得以使闩驱动机构收纳部9的内部的气压较无尘室30的气压更为低压亦可。此时，轴部17的内部的空间与闩驱动机构收纳部9的内部的空间连接，轴部17的内部及闩驱动机构收纳部9的内部通过密封材13所气密，而对于晶圆搬送室51为密闭。

闩驱动机构8的构造复杂，于无法装设图11的内盖16的情况，如图12，也能采用使支承闩驱动机构收纳部9的轴部17为止气密的空间延长的构成。轴部17成为能够自下方支承闩驱动机构收纳部9，支承晶圆收纳容器61的盖62的扉部5与闩驱动机构收纳部9成为一体而能于上下前后移动，其内部成为配线或配管的通路。例如，在图1及图3的构成之中，由于有于闩驱动机构收纳部9的入口通过排气管路(真空管路12)的必要的缘故，而根据装置，会有入口狭窄，粗的管路难以通过的情况。另一方面，如图12，若将排气管路通过至轴部17的内部为止，由于能使排气管路为粗的缘故，能充分地取得排气量。再者，大量地使用密封材13的部分(轴部17的下部)，由于远离晶圆w的缘故，而能抑制来自密封材13的污染。

再者，本发明的装载埠1具有如同上述的内盖16及轴部17两者亦可。

接下来，更具体地说明用于使闩驱动机构收纳部9的内部的气压与无尘室30的气压为同压的构成。此情况，如图4所示，当闩驱动机构收纳部9通过密封材13所气密，而对于晶圆搬送室51为密闭，则能使闩驱动机构收纳部9的内部的气压与无尘室30的气压为同压。再者，与上述相同，由于能使闩驱动机构收纳部9的内部对于晶圆搬送室51为密闭的缘故，不会自晶圆搬送室51有空气流入，能防止晶圆收纳容器61方向的气流的发生，能更降低对晶圆的微粒的附着。

接下来，说明使用如同上述的装载埠1的情况的本发明的晶圆搬送方法。首先，本发明的晶圆搬送方法，使用设置邻接于设置在无尘室30内的晶圆搬送室51的本发明的装载埠1，而进行在晶圆搬送室51与晶圆收纳容器61之间的晶圆w的出入的晶圆搬送方法。然后，进行晶圆w的出入时，使本发明的装载端口1的闩驱动机构收纳部9的内部的气压与无尘室30的气压为同压，或较无尘室30的气压更为低压。更具体地，能如以下地进行晶圆的出入。

首先，将收纳于内部晶圆w的晶圆收纳容器61载置于装载埠1的载置台4。此时，以使晶圆收纳容器61的盖62对向于装载埠1的开口3的方式载置晶圆收纳容器61。

接下来，以吸着具15将载置于载置台4的晶圆收纳容器61的盖62予以吸着支承。

接下来，在通过吸着具15将盖62予以吸着支承的状态下，以闩7将容器本体63与盖62的固定予以解除，通过相对于吸着具15使容器本体63相对地移动，而使盖62打开，且通过将扉部5予以自开口3脱离而使开口3打开。由此，使晶圆搬送室51的内部空间与晶圆收纳容器61的内部空间相连接。图1的情况，能通过以闩7解除盖的固定，在以吸着具15吸着支承盖62的状态下使扉部5下降，使扉部5自开口3脱离，同时打开晶圆收纳容器61的盖62。再者，如同上述，作为载置台4，使用在依然载置晶圆收纳容器61的状态下而于自开口3离开的方向能移动者亦可。此情况，以闩7解除盖的固定，以吸着具15吸着支承盖62之后，通过使载置台4以自开口3远离的方式而移动，能使盖62自容器本体63脱离。然后，之后通过使以吸着具15所吸着支承有盖62的扉部5下降而打开开口3后，使载置台4于接近开口3的方向移动，而使容器本体63与开口3对接，能连接晶圆搬送室51的内部空间与晶圆收纳容器61的内部空间。

接下来，以晶圆搬送机器人52自晶圆收纳容器61(容器本体63)取出晶圆w。经取出的晶圆w，例如搬送至处理装置(未图标)等，或者是搬送至不同于装载侧而设置的卸除侧的晶圆收纳容器。卸除侧也能设置使用本发明的装载埠。

再者，亦能将已完成规定的处理的晶圆w以晶圆搬送机器人52再次返回晶圆收纳容器61(容器本体63)。晶圆返回之后，图1的情况，与盖62相连接的扉部5通过嵌于开口3，而能使盖62返回至容器本体63。再者，图1的情况，能通过使扉部5上升而使扉部5返回至开口3。接下来，解除闩7与盖62的连接。如同以上，能进行晶圆的出入。

再者，本发明的晶圆搬送方法，使晶圆搬送室51的内部的气压较无尘室30的气压更为高压为佳。由此，能抑制自无尘室朝晶圆搬送室的空气的流入，而能维持晶圆搬送室的无尘度。

[实施例]

以下，虽然表示本发明的实施例及比较例而更具体地说明本发明，但是发明并非限定于这些实施例。

[实施例一]

作为设置于无尘室的如图5所示的移载机的装载埠，使用如图1至图3所示的本发明的装载埠而进行晶圆的搬送。于此所用的本发明的装载埠，通过排气泵，使闩驱动机构收纳部的气压较无尘室的气压更为低压，且闩驱动机构收纳部通过密封材所密封，对于晶圆搬送室(图5的情况为设置有晶圆搬送机器人等的移载机内部)为密闭。然后，将如此的本发明的装载端口配置于如图5的移载机的埠1至4(图5中的p1至p4)。

[比较例]

除了将如图7至图9所示的已知的装载埠配设于移载机以外，与实施例一同样进行晶圆的搬送。于此所用的已知的装载埠，并未进行通过排气泵的减压以及通过密封材的闩驱动机构收纳部的密闭。

在如此的实施例一及比较例之中，皆于进行晶圆的搬送之前，进行无尘室与闩驱动机构收纳部的差压的测定、以及闩周边的空气中的尘埃的量的测定。[无尘室及闩驱动机构收纳部的差压的测定]

使用最小单位0.1pa的差压计(奥姆龙股份有限公司制)，以无尘室的气压为基准而进行闩驱动机构收纳部的气压的测定。首先，将差压计的低压侧管设置于无尘室的地板上1m的位置。接下来，将二个之中的其中一个闩盖住(另一个不盖住)，将差压计的高压侧管插入盖之中，测定差压。其结果，如同表1，在实施例一之中，全部的装载端口的闩驱动机构收纳部的气压相对于无尘室的气压为低压。另一方面，在比较例之中，全部的装载端口的闩驱动机构收纳部的气压相对于无尘室的气压为高压。再者，在实施例一之中，闩驱动机构收纳部的气压相对于无尘室的气压为平均-2.4pa，比较例为+0.1pa。

【表1】

[闩周边的空气中的尘埃的量的测定]

将微粒测定器(股份有限公司日立deco制)的抽吸管设置于闩部(无尘室侧)附近。接着，以手动操作使仅闩部连续驱动(闩的盖开闭动作)，测定空气中的微粒(尘埃)。此时，调查了尺寸为0.07μm以上的微粒的个数。测定结果示于表1。

在实施例一之中，经测定的空气中的尘埃的量为平均0个/cf(0个/立方英呎)，比较例为31,032个/cf。另外，自立方英呎单位至基于公制的单位的换算能容易地进行，1立方英呎约为28.3公升。在闩驱动机构收纳部的气压相对于无尘室的气压为低压的实施例一之中，在闩驱动机构收纳部发生的尘埃几乎没有通过闩的周边流到无尘室侧，经测定的空气中的尘埃的量非常地少。另一方面，在比较例之中，由于闩驱动机构收纳部的气压相对于无尘室的气压为高压的缘故，经测定的空气中的尘埃的量显著地增加。

[在搬送中的附着于晶圆的微粒量的测定]

首先，准备二个放入有三片直径300mm的抛光晶圆(pw)的foup。然后，对全部的晶圆进行lls(localizedlightscatters，局部的光散射体)测定。于此，调查了尺寸为28nm以上的微粒的个数。再者，作为微粒测定器，使用了klatencor公司制的surfscansp2、surfscansp3、以及surfscansp5。

接下来，如图5，将收容有晶圆的上述的foup设置于装载侧的装载埠(图5的p1、p2)，于卸除侧的装载埠(图5的p3、p4)设置空的foup，在这些foup之间进行了晶圆的往复搬送。将此在供给侧的二埠的全部进行。

接下来，对搬送完成的全部的晶圆，以上述相同的条件进行lls测定，调查了尺寸为28nm以上的微粒的个数。然后，算出在搬送前后的晶圆的lls增加个数(微粒的增加个数)，而算出每一回的搬送的lls增加数。

于图6显示将一回的搬送之中的一片晶圆的lls增加数汇整成微粒尺寸的图。如同实施例一，闩驱动机构收纳部的气压相对于无尘室的气压为低压的情况，28nm以上的微粒的个数为0.09(个/晶圆)，相较于闩驱动机构收纳部的气压相对于无尘室的气压为高压的比较例(0.85个/晶圆)，微粒的增加个数非常地少。

[实施例二]

除了将具有如图4所示的闩驱动机构收纳部的本发明的装载埠配设于移载机以外，与实施例一同样地进行了晶圆的搬送。亦即，于此使用的本发明的装载埠，通过密封材将闩驱动机构收纳部气密，对于晶圆搬送室(移载机内部)，闩驱动机构收纳部为密闭。

接下来，以与实施例一及比较例相同的方法，于进行晶圆的搬送之前，进行了无尘室及闩驱动机构收纳部的差压的测定，以及闩周边的空气中的尘埃的量的测定。其结果表示于表2。再者，为了比较，于表2亦表示上述的比较例的测定结果。

【表2】

如同表2，在实施例二之中，经测定的空气中的尘埃的量为平均0.8个/cf。在闩驱动机构收纳部的气压与无尘室的气压为同压的实施例二之中，在闩驱动机构收纳部发生的尘埃几乎没有通过闩的周边而流至无尘室侧，经测定的空气中的尘埃的量相对于比较例为非常地少。

接下来，以与实施例一及比较例相同的方式，进行了于搬送中的附着于晶圆的微粒量的测定。其结果显示于图10。另外，于此亦为了比较，实施例二的微粒量的测定结果以外，亦显示比较例的微粒量的测定结果。

如同实施例二，闩驱动机构收纳部的气压与无尘室的气压为同压的情况，28nm以上的微粒的个数成为0.18(个/晶圆)，相比于比较例(0.85个/晶圆)，微粒的增加个数较少。

[实施例三]

如图11所示，除了将在闩驱动机构收纳部的内部具有连接有排气装置的内盖的本发明的装载埠配设于移载机以外，与实施例一同样地进行了晶圆的搬送。亦即，于此使用的本发明的装载埠，通过密封材使内盖内部为气密，又加上将内盖内部排气，而使内盖的内部的气压能较无尘室的气压更为低压。

在实施例三之中，以与实施例一、二及比较例相同的方法，于进行晶圆的搬送之前，进行了无尘室及内盖内部的差压的测定，以及闩周边的空气中的尘埃的量的测定。再者，以与实施例一、二及比较例相同的方式，进行了于搬送中附着于晶圆的微粒量的测定。

[实施例四]

如图12所示，除了将通过将轴部的内部减压而使闩驱动机构收纳部的内部的气压能较无尘室的气压更为低压的装载埠予以配设于移载机之外，与实施例一同样地进行了晶圆的搬送。

在实施例四之中，以与实施例一至三及比较例相同的方法，于进行晶圆的搬送之前，进行了无尘室及内盖内部的差压的测定，以及闩周边的空气中的尘埃的量的测定。再者，以与实施例一至三及比较例相同的方式，进行了于搬送中附着于晶圆的微粒量的测定。

将在实施例三、四之中所测定的差压及闩周边的空气中的尘埃的量汇整于表3。再者，为了比较，于表3亦表示有上述的比较例的测定结果。更进一步，将于搬送中附着于晶圆的微粒量的测定结果表示于表4。另外，在表4中也为了比较，亦表示有比较例的微粒量的测定结果。

【表3】

【表4】

如表3，在实施例三、四之中，经测定的空气中的尘埃的量分别为平均0个/cf、0.25个/cf，经测定的空气中的尘埃的量相对于比较例为非常少。再者，在实施例三之中将排气流量设定为较实施例一为更小，反之在实施例四之中将排气流量设定为更大。

再者，如表4，在实施例三、四之中，28nm以上的微粒的个数成为0.08(个/晶圆)，相较于比较例的0.85(个/晶圆)微粒的增加个数为少。

此外，本发明并不限定于上述的实施例。上述实施例为举例说明，凡具有与本发明的申请专利范围所记载之技术思想实质上同样之构成，产生相同的功效者，不论为何物皆包含在本发明的技术范围内。