技术特征：
技术总结
提供了一种包括堆叠结构的半导体器件。包括多个栅电极的堆叠结构垂直地堆叠在衬底上并在第一方向上延伸。沟道结构包括穿透堆叠结构的垂直沟道以及连接垂直沟道的水平沟道。水平沟道被提供在堆叠结构下方。第一下布线图案设置在衬底与堆叠结构之间并电连接到沟道结构。每个第一下布线图案包括在第一方向上具有彼此不同宽度的第一部分和第二部分。每个第一下布线图案在交叉第一方向的第二方向上延伸并在第二方向上跨过堆叠结构。
技术研发人员：曹诚汉;姜信焕
受保护的技术使用者：三星电子株式会社
技术研发日：2018.04.20
技术公布日：2018.11.02